專利名稱：吸附傳感器控制器以及使用該吸附傳感器控制器的吸附輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于判定是否是工件(將IC芯片等電子器件作為工件)被 吸附在以真空吸附它的噴嘴的狀態(tài)的吸附傳感器控制器和使用該吸附傳感 器控制器的吸附輸送裝置，特別涉及檢測用于吸附電子器件的噴嘴的堵塞和 空氣泄漏的吸附傳感器控制器和使用該吸附傳感器控制器的吸附輸送裝置。
背景技術(shù)：
為了在檢査板上搭載IC芯片等電子器件，在安裝基板上搭載電子器件， 使用了真空吸附并輸送電子器件的吸附輸送裝置。吸附輸送裝置具有作為以 真空吸附電子器件的吸附器的噴嘴，通過對噴嘴供給負壓空氣即真空而在噴 嘴的頂端吸附電子器件，用噴嘴輸送電子器件并將其配置到規(guī)定的位置。在 具有針對這樣的工件的撿拾(pickup)步驟和安放(place)步驟的吸附輸送 裝置中，為了自動檢測電子器件被吸附在噴嘴的頂端的情況，使用了吸附檢 測傳感器。在該吸附檢測傳感器中具有用于檢測噴嘴內(nèi)流道的空氣壓力的壓 力傳感器(參見專利文獻1)、用于檢測噴嘴內(nèi)流道的空氣流量的流量傳感器 (參見專利文獻2)。壓力傳感器根據(jù)噴嘴內(nèi)流道的真空壓力而輸出輸出信 號，根據(jù)該輸出信號，在真空度變?yōu)橐?guī)定的范圍內(nèi)時，判定電子器件被吸附 在噴嘴。而流量傳感器根據(jù)噴嘴內(nèi)流道的空氣流量而輸出輸出信號，根據(jù)該 輸出信號，在流量變?yōu)橐?guī)定的范圍內(nèi)時，判定電子器件被吸附在噴嘴。該判 定根據(jù)來自吸附檢測傳感器的信號，通過吸附傳感器控制器進行判定。
專利文獻1:特開平11-214893號公報
專利文獻2:特開2005-262351號公報

發(fā)明內(nèi)容
在電子器件比較大的情況下、或者在電子器件的表面和噴嘴的頂端面之 間的密合度高的情況下，能用壓力傳感器檢測電子器件的吸附，而在電子器 件被吸附在噴嘴的狀態(tài)的基礎(chǔ)上，在發(fā)生空氣從噴嘴頂端面流入的泄漏現(xiàn)象 的情況下，使用流量傳感器。例如以噴嘴吸附一邊的電子器件為1毫米-數(shù) 毫米的小型IC芯片的情況下，在吸附前后，噴嘴內(nèi)的壓力差不會變大，所 以無法使用壓力傳感器進行檢測，而應(yīng)使用流量傳感器。
如上所述，使用流量傳感器的情況多是吸附輸送比較小型的電子器件的
情況，在使用噴嘴內(nèi)流道的內(nèi)徑為0.8毫米-0.1毫米左右的小徑噴嘴的情況 下，為了檢測電子器件向噴嘴的吸附而使用流量傳感器?？墒?，尤其是在使 用了小徑噴嘴的吸附輸送裝置中，對噴嘴供給負壓空氣，噴嘴真空吸附外部 空氣時，如果塵埃與外部空氣一起進入噴嘴內(nèi)，則有時塵埃會附著在噴嘴內(nèi) 流道匕如果塵埃附著在流道內(nèi)，則噴嘴內(nèi)流道的內(nèi)徑就會變細，因此噴嘴 內(nèi)的空氣流量減少，有可能發(fā)生工件吸附錯誤或流量傳感器引起的吸附檢測 錯誤。
如果發(fā)生這樣的誤動作，就會發(fā)生電子儀器或電子器件的組裝異常，使 生產(chǎn)成品率下降。
本發(fā)明的目的在于，能自動檢測用于吸附電子器件的噴嘴的堵塞。 本發(fā)明的其它目的在于，能自動檢測噴嘴的空氣泄漏。 本發(fā)明的吸附傳感器控制器用于判定所述電子器件是否被吸附在以真
空吸附電子器件的噴嘴，其特征在于，所述吸附傳感器控制器包括用于存 儲針對噴嘴內(nèi)流道的基準流量的堵塞判定流量的判定流量存儲部；用于對在 電子器件不接觸噴嘴的狀態(tài)下通過對所述噴嘴供給負壓空氣而檢測到的噴 嘴內(nèi)流道的空吸流量和所述堵塞判定流量進行比較、并在所述空吸流量比所 述堵塞判定流量少時判定為噴嘴堵塞的計算單元；用于在由所述計算單元判定為噴嘴堵塞時輸出錯誤信號的輸出單元。
本發(fā)明的吸附傳感器控制器的特征在于所述判定流量存儲部存儲針對 噴嘴內(nèi)流道的基準流量的空氣泄漏判定流量，所述計算單元比較所述空吸流 量和所述空氣泄漏判定流量并在所述空吸流量比所述空氣泄漏判定流量多 時判定為空氣泄漏，在判定為空氣泄漏時輸出錯誤信號。
本發(fā)明的吸附輸送裝置具有上述吸附傳感器控制器，其特征在于該吸 附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述堵塞判定流量，在未判定為堵塞 時，不停止向所述噴嘴供給負壓空氣，以進行電子器件的吸附輸送。
本發(fā)明的吸附輸送裝置具有上述吸附傳感器控制器，其特征在于該吸 附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述堵塞判定流量，在未判定為堵塞 時，停止向所述噴嘴供給負壓空氣直到由所述噴嘴進行電子器件的吸附輸 送，在進行電子器件的吸附輸送時，使所述噴嘴接觸所述電子器件之后才對 所述噴嘴供給負壓空氣。
本發(fā)明的吸附輸送裝置具有上述吸附傳感器控制器，其特征在于該吸 附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述空氣泄漏判定流量，在未判定為空 氣泄漏時，不停止向所述噴嘴供給負壓空氣，以進行所述電子器件的吸附輸 送。
本發(fā)明的吸附輸送裝置具有上述吸附傳感器控制器，其特征在于該吸 附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述空氣泄漏判定流量，在未判定為空 氣泄漏時，停止向所述噴嘴供給負壓空氣直到由所述噴嘴進行電子器件的吸 附輸送，在進行電子器件的吸附輸送時，使所述噴嘴接觸所述電子器件之后 才對所述噴嘴供給負壓空氣。
根據(jù)本發(fā)明，在塵埃等異物進入吸附電子器件的噴嘴內(nèi)、噴嘴堵塞的情 況下，在以噴嘴吸附輸送電子器件之前，能預(yù)先根據(jù)噴嘴內(nèi)的空氣流量，自 動檢測堵塞。據(jù)此，不會在發(fā)生堵塞的情況下進行電子器件的吸附輸送動作， 所以能防止電子儀器的組裝異常等的發(fā)生。在噴嘴發(fā)生空氣泄漏的情況下，在以噴嘴進行電子器件的吸附輸送之 前，能預(yù)先根據(jù)噴嘴內(nèi)的空氣流量，自動檢測空氣泄漏。據(jù)此，不會在噴嘴 發(fā)生空氣泄漏的情況下進行電子器件的吸附輸送動作，所以能防止由空氣泄 漏引起的電子儀器的組裝異常等的發(fā)生。
利用用于檢測電子器件是否被吸附在噴嘴和電子器件是否從噴嘴脫離 的流量傳感器，能檢測噴嘴內(nèi)的堵塞，還能檢測噴嘴的空氣泄漏。據(jù)此，能 防止使用噴嘴組裝電子器件的組裝裝置中的組裝異常的發(fā)生，能提高組裝生 產(chǎn)的成品率。


圖1是表示使用本發(fā)明的一個實施方式的吸附傳感器控制器的吸附輸送 裝置中的噴嘴的上下移動部的示意圖2是表示用于對噴嘴供給負壓空氣和正壓空氣的空氣壓線路和吸附傳 感器控制器以及可編程控制器的關(guān)系的圖3是表示基于噴嘴內(nèi)的空氣流量和來自流量傳感器的輸出信號的電子 器件的吸附狀態(tài)和吸附脫離狀態(tài)的判定結(jié)果的時間圖4是表示在空吸狀態(tài)下的正常時的噴嘴內(nèi)的空氣流量以及噴嘴堵塞等 異常時的空氣流量的時間圖5是表示基于進行了噴嘴的堵塞判定和空氣泄漏判定之后以吸引后接 觸方式吸附輸送電子器件的情況下的噴嘴內(nèi)的空氣的流量變化和來自流量 傳感器的輸出信號的吸附和吸附脫離判定的時間圖6是表示基于進行了噴嘴的堵塞判定和空氣泄漏判定之后以接觸后吸 引方式吸附輸送電子器件的情況下的噴嘴內(nèi)的空氣的流量變化和來自流量 傳感器的輸出信號的吸附和吸附脫離判定的時間圖；以及
圖7是表示使用吸附傳感器控制器的吸附輸送裝置的動作控制的步驟的算法。
具體實施例方式
以下根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。
吸附輸送裝置如圖l所示，具有在水平方向自由移動的輸送頭l，在輸
送頭1上設(shè)置有空氣壓氣缸2，在由空氣壓氣缸2在上下方向驅(qū)動的活塞桿 3上設(shè)置有以真空吸附電子器件W的吸附器即噴嘴10。雖然圖1表示了一 個空氣壓氣缸2，但是在輸送頭1上設(shè)置有多個空氣壓氣缸2，在各空氣壓 氣缸2的活塞桿3上設(shè)置有噴嘴10，使用作為上下移動單元的空氣壓氣缸2， 各噴嘴IO可以上下自由移動。為了用噴嘴IO將電子器件W從器件容納部 Bl輸送到器件搭載部B2以進行搭載，水平移動輸送頭1，在將噴嘴10定 位移動到器件容納部Bl之后，使噴嘴10下降移動，用噴嘴10真空吸附電 子器件W。接著，通過使噴嘴10上升移動并且使輸送頭1水平移動，將電 子器件W輸送到器件搭載部B2。在該狀態(tài)下，通過使噴嘴10下降移動， 能在特定的位置搭載電子器件W。
圖2中表示了設(shè)置在輸送頭1上的多個噴嘴10中的一個，與噴嘴10對 應(yīng)，真空供給控制閥11和真空破壞控制閥12被設(shè)置在輸送頭1。噴嘴10 的內(nèi)部流道即裝卸流道13通過真空供給控制閥11連接在真空供給路徑14 Jl，通過真空破壞控制閥12連接在正壓供給路徑15上。真空供給路徑14 連接在由真空泵等構(gòu)成的真空供給源16上，正壓供給路徑15通過未圖示的 過濾器和調(diào)壓閥連接在由壓縮機等構(gòu)成的正壓供給源17上。
真空供給控制閥11是具有與真空供給路徑14連通的真空供給口 VS、 與裝卸流道13連通的真空口 V、與外部連通的大氣開放口 T的電磁閥，該 真空供給控制閥11具有螺線管21。真空供給控制閥11如果向螺線管21通 電，則在使真空供給口 VS與真空口 V連通的位置工作，如果停止通電，則斷開真空供給口 VS與真空口 V的連通，在使真空口 V與大氣開放口 T連 通的位置工作。如果向螺線管21通電，則對噴嘴10內(nèi)的裝卸流道13供給 來自真空供給源16的負壓空氣即真空。
真空破壞控制閥12是具有與正壓供給路徑15連通的正壓口 P、與裝卸 流道13連通的輸出口 A的電磁閥，該真空破壞控制閥12具有螺線管22。 真空破壞控制閥12如果向螺線管22通電，則在使正壓口 P與輸出口 A連通 的位置工作，如果停止通電，則在斷開正壓口P與輸出口A的連通的位置工 作。如果向螺線管22通電，則對噴嘴10內(nèi)的裝卸流道13供給作為用于破 壞真空的正壓空氣。從輸出口 A噴出的壓縮空氣由可變節(jié)流孔23節(jié)流之后， 提供給裝卸流道13。
圖2中表示了對螺線管21、 22的通電停止的狀態(tài)，裝卸流道13成為大 ,(丌放狀態(tài)。為了用噴嘴IO真空吸附電子器件W，具有對真空供給控制 閥]1的螺線管21通電、在對噴嘴10的內(nèi)部流道即裝卸流道13供給負壓空 氣的狀態(tài)下使噴嘴10接近電子器件W、噴嘴10接觸電子器件W的吸引后 接觸方式；以及不對真空供給控制閥11的螺線管21通電、使噴嘴10接近 電子器件W、在使噴嘴10接觸或幾乎接觸電子器件W的狀態(tài)下對螺線管 21通電、對裝卸流道13供給負壓空氣的接觸后吸引方式。無論采用哪種方 式，通過對螺線管21通電，使噴嘴10內(nèi)的裝卸流道13保持在真空狀態(tài)， 用噴嘴10真空吸附電子器件W，在真空吸附的狀態(tài)下，通過空氣壓氣缸2 和輸送頭1的驅(qū)動，將電子器件W輸送到規(guī)定的搭載位置。
當電子器件W被輸送到規(guī)定的位置時，停止對真空供給控制閥11的螺 線管21通電，停止向噴嘴IO供給負壓空氣，并且對真空破壞控制閥12的 螺線管22通電，對噴嘴10供給正壓空氣。據(jù)此，電子器件W從噴嘴10的 頂端可靠地離開，被配置到規(guī)定的搭載位置。
為了檢測是否處于電子器件W被真空吸附在噴嘴IO的狀態(tài)、是否處于電子器件W從噴嘴10可靠地離開的狀態(tài)，在噴嘴10設(shè)置有檢測其內(nèi)部的 裝卸流道13的空氣流量的流量傳感器24。將流量傳感器24的輸出信號發(fā)送 給吸附傳感器控制器25，根據(jù)來自吸附傳感器控制器25的檢測信號，從作 為主控制器的可編程控制器26對各螺線管21、 22發(fā)送驅(qū)動信號。
圖3是表示基于噴嘴10內(nèi)的空氣流量和來自流量傳感器24的輸出信號 的電子器件W的吸附狀態(tài)和吸附脫離狀態(tài)的判定結(jié)果的時間圖，表示了用 上述的接觸后吸引方式由噴嘴10真空吸附電子器件W的情況。對圖2所示 的雙方的螺線管21、 22不通電，在噴嘴10內(nèi)的流道對大氣開放的狀態(tài)下， 使噴嘴10接近電子器件W，在噴嘴10接觸或幾乎接觸電子器件W的狀態(tài) 下，對螺線管21通電，對噴嘴10供給負壓空氣。通過向螺線管21通電， 空氣從噴嘴10和電子器件W的間隙流入噴嘴10內(nèi)，裝卸流道13內(nèi)的流量 即流速增加。
如果從真空供給源16對裝卸流道13供給一定壓力的負壓空氣，則從噴 嘴10的頂端面和電子器件W之間流入噴嘴10內(nèi)的空氣流即泄漏流量就變 為兒乎恒定。該泄漏流量如圖3所示，考慮到泄漏流量的誤差，在處于規(guī)定 的吸附判定流量L (1)與規(guī)定的吸附判定流量L (2)之間時，判定為電子 器件W吸附在噴嘴10。根據(jù)對裝卸流道13供給的負壓空氣的真空度，通過 實驗來設(shè)定吸附判定流量L (1)和吸附判定流量L (2)。
如果判定為電子器件被真空吸附，則根據(jù)該判定，噴嘴10通過空氣壓 氣缸2被提升，通過輸送頭1的水平移動而上升移動的電子器件W被輸送 到規(guī)定的搭載位置的正上方。在該狀態(tài)下，通過驅(qū)動空氣壓氣缸2，噴嘴IO 被下降移動，電子器件W被配置在規(guī)定的搭載位置。電子器件W被配置之 后，停止對螺線管21通電，停止向噴嘴10供給負壓空氣，并且通過對螺線 管22通電，對噴嘴10內(nèi)在規(guī)定時間中供給用于破壞真空的正壓空氣。據(jù)此， 如圖3所示，噴嘴10內(nèi)的空氣流減少，在流量比吸附判定流量L (2)低的 時刻，判定電子器件W從噴嘴10離開。而在上述的吸引后接觸方式中，由于在對噴嘴10內(nèi)供給負壓空氣的狀態(tài)下，使噴嘴IO接近電子器件W，所以從噴嘴10內(nèi)的空氣流量比吸附判定 流量L (1)大的狀態(tài)來看，通過噴嘴10向電子器件W接近使得流量比吸 附判定流量L (1)低時，判定為電子器件W被吸附在噴嘴IO上。如果由于塵埃等而導(dǎo)致噴嘴IO發(fā)生堵塞時，即使對噴嘴IO供給負壓空 氣，在噴嘴10內(nèi)也不會產(chǎn)生在吸附判定流量L (2)以上的空氣流，所以無 法使電子器件W吸附到噴嘴10。而在進行吸附電子器件W的動作的狀態(tài)下， 發(fā)生在吸附判定流量L (1)以上空氣流的情況是電子器件W不接觸噴嘴10 或者噴嘴10的裝卸流道13成為空氣泄漏的情況。圖4是表示不接觸電子器件W而將對噴嘴10內(nèi)供給負壓的狀態(tài)設(shè)定為 空吸狀態(tài)、將此時的噴嘴內(nèi)的流量設(shè)定為空吸流量的情況下的正常時的空吸 流量、以及噴嘴堵塞等異常時的空吸流量的時間圖。如圖4所示，如果對噴嘴IO供給規(guī)定壓力的負壓空氣，則在不接近電 子器件W的空吸狀態(tài)下，基準流量Lc的空氣流到噴嘴10內(nèi)的流道。根據(jù) 來自真空供給源的真空壓的變動、噴嘴10的內(nèi)徑等，將從基準流量Lc減去 規(guī)定值Lbm后的流量Lcm作為堵塞判定流量，將基準流量Lc加上規(guī)定值 Lbp后的流量Lcp作為空氣泄漏判定流量。因此，在空吸狀態(tài)下，如用虛線 所示，在噴嘴10內(nèi)的空氣流量變?yōu)樵诙氯卸髁縇cm以下時，判定為噴 嘴10堵塞。此外，在空吸狀態(tài)下，如用點劃線所示，噴嘴10內(nèi)的空氣流量 變?yōu)樵诳諝庑孤┡卸髁縇cp以上時，判定噴嘴10的裝卸流道13是空氣泄 漏。圖2所示的吸附傳感器控制器25具有包含存儲器部的微處理器(CPU)、 判定流量存儲部31和計算部32。在判定流量存儲部31存儲如圖4所示的堵 塞判定流量Lcm和空氣泄漏判定流量Lcp，并且存儲吸附判定流量L ( 1) 和L(2)。即與各判定流量Lcm和Lcp對應(yīng)的流量傳感器24的輸出值、與 吸附判定流量L (1)和L (2)對應(yīng)的流量傳感器24的輸出值存儲在判定流量存儲部31中。在吸附傳感器控制器25設(shè)置有信號輸出部33。根據(jù)吸附判定流量L( 1 ) 和L(2)，由計算部32判定電子器件W的吸附和吸附脫離時，從信號輸出 部33對作為驅(qū)動空氣壓氣缸2和輸送頭1的主控制器的可編程控制器26發(fā) 送檢測信號。同樣，由計算部32判定噴嘴10的堵塞和空氣泄漏時，從信號 輸出部33對作為主控制器的可編程控制器26輸出錯誤信號，使警報燈點亮， 或者使蜂鳴器工作，從而停止吸附輸送裝置的動作。圖5和圖6分別是表示基于預(yù)先進行噴嘴10的堵塞判定和空氣泄漏判 定之后在吸附輸送電子器件W的情況下的噴嘴10內(nèi)的空氣流量變化和來自 流量傳感器24的輸出信號的吸附和吸附脫離判定的時間圖，圖5表示基于 所述吸引后接觸方式的吸附輸送，圖6表示基于所述接觸后吸引方式的吸附 輸送。無論在吸引后接觸方式還是接觸后吸引方式中，如圖5和圖6所示，首 先對噴嘴IO供給負壓空氣，進行噴嘴檢查。通過該噴嘴檢查，如果噴嘴IO 內(nèi)的空氣流量是在Lcm與Lcp之間的流量，則判定在裝卸流道13內(nèi)未發(fā)生 堵塞或者空氣泄漏。在圖5所示的吸引后接觸方式中，在噴嘴檢查之后，一 度停止負壓空氣的供給，進行電子器件W的吸附輸送時，在對噴嘴供給負 壓空氣的狀態(tài)下，使噴嘴向電子器件W接觸移動。在噴嘴10內(nèi)的空氣流量 比吸附判定流量L (1)少、并且比吸附判定流量L (2)更多時，判定為吸 附，進行電子器件的吸附輸送。而在圖6所示的接觸后吸引方式中，在噴嘴10接觸或幾乎接觸電子器 件的狀態(tài)F，對噴嘴IO供給負壓空氣。噴嘴10內(nèi)的空氣流量比吸附判定流 量L (2)多、并且比吸附判定流量L (1)少時，判定為吸附，進行電子器 件的吸附輸送。圖7是表示吸附輸送裝置的動作控制的步驟的算法的一個實例，參照圖 5和圖6來說明吸附輸送裝置的動作。首先，在步驟S1中，不輸出吸附輸送裝置中的噴嘴10的檢查指令，對圖2中的真空供給控制閥11的螺線管21進行通電，執(zhí)行步驟S2的空吸。 在步驟S3中，測定在空吸狀態(tài)下的空氣流量，判定該測定流量LO是否比堵 塞判定流量Lcm小。在圖5和圖6中，如[3]所示，如果測定流量L0比堵塞 判定流量Lcm小，就在步驟S3中判定為是。據(jù)此，在步驟S4中，從信號 輸出部33對外部的機器輸出錯誤信號，在外部的機器的顯示部點亮顯示堵 塞，在步驟S5，中止基于吸附輸送裝置的工件的輸送，在步驟S6，將可輸 送標記變?yōu)殛P(guān)。如果在步驟S3中判定為否，則執(zhí)行步驟S7。在步驟S7中，判定測定流量LO是否比空氣泄漏判定流量Lcp多。如果 在步驟S7中判定測定流量L0比空氣泄漏判定流量Lcp多，就是圖5和圖6 中的[l]的狀態(tài)，在步驟S8中，在顯示部點亮顯示空氣泄漏，再執(zhí)行上述的 步驟S5、 S6。如果在步驟S7中判定為否，則從測定流量LO來看，在噴嘴 IO未發(fā)生堵塞，而且也未發(fā)生空氣泄漏，處于吸附輸送裝置能輸送工件的狀 態(tài)，在歩驟S9中，將可輸送標記設(shè)定為開。在步驟S1中，如果噴嘴檢査為否，就執(zhí)行步驟SIO,在步驟SIO，如果 沒有工件的輸送指令，在步驟S11中，就判定可輸送標記的開關(guān)，只在可輸 送標記變?yōu)殚_時，才在步驟S12中執(zhí)行吸附輸送。圖5和圖6表示通過空吸，進行噴嘴檢査之后， 一度停止負壓空氣的供 給后進行吸附輸送的情況。優(yōu)選每次進行電子器件的吸附輸送時進行噴嘴檢 査，也可以進行規(guī)定次數(shù)的吸附輸送之后，進行噴嘴檢査。本發(fā)明并不局限于所述的實施方式，在不脫離其宗旨的范圍中能進行各 種變更。工業(yè)實用性本發(fā)明能應(yīng)用于吸附并輸送IC芯片等電子器件的情況。
權(quán)利要求
1.一種吸附傳感器控制器，該吸附傳感器控制器用于判定電子器件是否被吸附在以真空吸附所述電子器件的噴嘴，其特征在于，所述吸附傳感器控制器包括用于存儲針對噴嘴內(nèi)流道的基準流量的堵塞判定流量的判定流量存儲部；用于對在所述電子器件不接觸所述噴嘴的狀態(tài)下通過對所述噴嘴供給負壓空氣而檢測到的所述噴嘴內(nèi)流道的空吸流量和所述堵塞判定流量進行比較、并在所述空吸流量比所述堵塞判定流量少時判定為噴嘴堵塞的計算單元；用于在由所述計算單元判定為噴嘴堵塞時輸出錯誤信號的輸出單元。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附傳感器控制器，其特征在于，具有 所述判定流量存儲部存儲針對所述噴嘴內(nèi)流道的基準流量的空氣泄漏判定流量、所述計算單元比較所述空吸流量和所述空氣泄漏判定流量并在所 述空吸流量比所述空氣泄漏判定流量多時判定為空氣泄漏、所述輸出單元在 判定為空氣泄漏時輸出錯誤信號。
3. —種吸附輸送裝置，該吸附輸送裝置具有權(quán)利要求1所述的吸附傳 感器控制器，其特征在于該吸附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述堵塞判定流量，在未判定 為堵塞時，不停止向所述噴嘴供給負壓空氣，以進行電子器件的吸附輸送。
4. 一種吸附輸送裝置，該吸附輸送裝置具有權(quán)利要求1所述的吸附傳感器控制器，其特征在于該吸附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述堵塞判定流量，在未判定為堵塞時，停止向所述噴嘴供給負壓空氣直到由所述噴嘴進行電子器件的吸 附輸送，在進行電子器件的吸附輸送時，使所述噴嘴接觸所述電子器件之后 才對所述噴嘴供給負壓空氣。
5. —種吸附輸送裝置，該吸附輸送裝置具有權(quán)利要求2所述的吸附傳感器控制器，其特征在于該吸附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述空氣泄漏判定流量，在未 判定為空氣泄漏時，不停止向所述噴嘴供給負壓空氣，以進行所述電子器件 的吸附輸送。
6. —種吸附輸送裝置，該吸附輸送裝置具有權(quán)利要求2所述的吸附傳感器控制器，其特征在于該吸附輸送裝置用于比較所述空吸流量和所述空氣泄漏判定流量，在未 判定為空氣泄漏時，停止向所述噴嘴供給負壓空氣直到由所述噴嘴進行電子 器件的吸附輸送，在進行電子器件的吸附輸送時，使所述噴嘴接觸所述電子 器件之后才對所述噴嘴供給負壓空氣。
全文摘要
吸附輸送裝置具有以真空吸附電子器件的噴嘴(10)和根據(jù)裝卸流道(13)的空氣流量來檢測電子器件是否被吸附在噴嘴(10)的流量傳感器(24)。對于噴嘴內(nèi)流道的基準流量的堵塞判定流量被存儲在吸附傳感器控制器(25)的判定流量存儲部(31)，比較在電子器件不接觸噴嘴(10)的狀態(tài)下通過對噴嘴(10)供給負壓空氣而檢測到的噴嘴內(nèi)流道的空吸流量和堵塞判定流量，在空吸流量比堵塞判定流量少時，判定為噴嘴堵塞。
文檔編號B25J15/06GK101616777SQ200880005309
公開日2009年12月30日 申請日期2008年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月4日
發(fā)明者大村雄厚, 高橋義広 申請人:株式會社小金井