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吸附傳感器控制器以及使用該吸附傳感器控制器的吸附輸送裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2334665

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本發(fā)明涉及用于判定是否是工件(將IC芯片等電子器件作為工件)被 吸附在以真空吸附它的噴嘴的狀態(tài)的吸附傳感器控制器和使用該吸附傳感 器控制器的吸附輸送裝置,特別涉及檢測用于吸附電子器件的噴嘴的堵塞和 空氣泄漏的吸附傳感器控制器和使用該吸附傳感器控制器的吸附輸送裝置。背景技術(shù)為了在檢査板上搭載IC芯片等電子器件,在安裝基板上搭載電子器件, 使用了真空吸附并輸送電子器件的吸附輸送裝置。吸附輸送裝置具有作為以 真空吸附電子器件的吸附器的噴嘴,通過對噴嘴供給負(fù)壓空氣...
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