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一種新型硅棒上下棒工裝的制作方法

文檔序號(hào):12818282閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種新型硅棒上下棒工裝,包括固定門架、與固定門架活動(dòng)連接的活動(dòng)門架,與活動(dòng)門架活動(dòng)連接的吊臂組件,所述吊臂組件包括具有橫梁和縱梁的吊臂,所述吊臂橫梁下面設(shè)有滑軌,還包括托架組件,所述托架組件包括托架、滾輪安裝板、滾輪、支撐導(dǎo)軌,所述滾輪安裝板固定連接在托架兩相對(duì)邊框上,所述滾輪固定連接在滾輪安裝板上,所述滾輪與吊臂橫梁下面的滑軌相適配,所述支撐導(dǎo)軌也固定連接在托架兩相對(duì)邊框上。托架組件通過滾輪在吊臂的滑軌上滾動(dòng)實(shí)現(xiàn)托架組件在滑軌上的移動(dòng),改變傳統(tǒng)上下棒工裝滑動(dòng)摩擦為滾動(dòng)摩擦,減少摩擦阻力,方便夾持工件的順暢推拉,從而確保硅片質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員:張璐;張秀濤;宮云慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者:青島高測(cè)科技股份有限公司
文檔號(hào)碼:201621139225
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.20
技術(shù)公布日:2017.07.07

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