本實(shí)用新型屬于晶硅切片技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型硅棒上下棒工裝。

背景技術(shù)：

目前，切片機(jī)在切割硅片時(shí)，需要將硅棒放入切片機(jī)里面，切割完成后將硅片取下進(jìn)入下道工序。硅棒上下切片機(jī)需要使用硅棒上下棒工裝，本專利申請(qǐng)針對(duì)現(xiàn)有硅棒上下棒工裝存在的各種問題進(jìn)行創(chuàng)新性改進(jìn)。

傳統(tǒng)切片機(jī)存在如下問題：比如專利文獻(xiàn)(CN205043987U)公開了一種硅棒上下棒裝置，其包括固定架，移動(dòng)支架，移動(dòng)支架可滑動(dòng)地連接與所述固定架上。從說明書附圖中不難看出移動(dòng)支架的滑臺(tái)其一滑動(dòng)面與夾板為面接觸，滑動(dòng)摩擦很大，會(huì)導(dǎo)致夾持硅棒推拉困難。

再比如專利文獻(xiàn)(CN204844535U)公開了一種切片機(jī)自動(dòng)上下硅棒的智能運(yùn)輸裝置，其夾持硅棒的工裝與懸臂梁之間使用萬向聯(lián)軸器連接，雖然使用萬向聯(lián)軸器在一定范圍內(nèi)能使工裝活動(dòng)，但不能依靠工裝夾持著硅棒將硅棒送入切割位置，這樣的上下棒工裝在上下棒時(shí)還需支撐柱輔助，導(dǎo)致上下棒操作困難。除所述萬向聯(lián)軸器的連接方式，市面上還有一些工裝和懸臂梁之間是滑動(dòng)摩擦的，使用時(shí)，因滑動(dòng)阻力大，夾持工件推拉困難，切割好的硅片會(huì)因?yàn)橥蝗坏募訙p速產(chǎn)生晃動(dòng)，造成硅片崩邊、亮邊等，影響硅片質(zhì)量。該專利文獻(xiàn)雖然也公開了廢料槽，用于盛接切削液，但該廢料槽安裝位置固定，如果離工裝太近會(huì)影響硅棒上下棒操作，安裝位置太遠(yuǎn)，切削液落入廢料槽也會(huì)存在往外飛濺的可能，操作使用不方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供了一種新型硅棒上下棒工裝，克服現(xiàn)有技術(shù)的上下棒工裝存在的粘貼硅棒的夾持工件與工裝之間存在較大的滑動(dòng)摩擦阻力，硅片下片時(shí)易因工裝突然的加減速造成崩邊、亮邊的問題，以及現(xiàn)有工裝沒有設(shè)計(jì)便于上下棒操作的接切削液的裝置等問題。

本實(shí)用新型提供的新型硅棒上下棒工裝，包括固定門架、與固定門架活動(dòng)連接的活動(dòng)門架，與活動(dòng)門架活動(dòng)連接的吊臂組件，所述吊臂組件包括具有橫梁和縱梁的吊臂，所述吊臂橫梁下面設(shè)有滑軌。在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還作出如下改進(jìn)：還包括托架組件，所述托架組件包括托架、滾輪安裝板、滾輪、支撐導(dǎo)軌，所述滾輪安裝板固定連接在托架兩相對(duì)邊框上，所述滾輪固定連接在滾輪安裝板上，所述滾輪與吊臂橫梁下面的滑軌相適配，所述支撐導(dǎo)軌也固定連接在托架兩相對(duì)邊框上。

進(jìn)一步的，所述固定門架和活動(dòng)門架上分別固定連接有安裝座，一絲杠通過所述固定門架和活動(dòng)門架上的安裝座將活動(dòng)門架與固定門架連接起來。

進(jìn)一步的，還包括接水盤組件，所述接水盤組件位于托架組件的下方，具有可抽拉嵌套式接水盤，所述接水盤組件還具有安裝座，所述接水盤與安裝座可拆卸式連接，所述安裝座與所述吊臂縱梁活動(dòng)連接。

進(jìn)一步的，所述吊臂縱梁通過吊臂支座與活動(dòng)門架連接，所述吊臂支座具有一端插入吊臂支座、另一端貫穿活動(dòng)門架的軸Ⅰ，所述吊臂支座還具有貫穿吊臂支座和吊臂縱梁的軸Ⅱ。

更進(jìn)一步的，所述活動(dòng)門架上固定有若干排滾輪在固定門架上滾動(dòng)。

更進(jìn)一步的，所述接水盤組件還包括兩個(gè)固定連接在安裝座上的磁吸支架，所述磁吸支架可通過磁鐵吸附在吊臂縱梁的磁吸支架上。

更進(jìn)一步的，所述滾輪安裝板上固定連接有擋塊，所述吊臂橫梁上固定連接有彈簧搭扣，所述擋塊與彈簧搭扣相配合。

更進(jìn)一步的，所述吊臂組件還包括鎖緊手柄，所述鎖緊手柄穿過活動(dòng)門架的耳板與吊臂縱梁下部接觸。

更進(jìn)一步的，所述吊臂組件還包括一調(diào)整螺釘，所述調(diào)整螺釘設(shè)置在吊臂縱梁的下部。

更進(jìn)一步的，所述絲杠一端部連接手輪。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、活動(dòng)門架在固定門架上可左右移動(dòng)，而且通過滾輪組輔助移動(dòng)，摩擦阻力大大減小，提高定位效率。

2、軸Ⅰ與軸Ⅱ的設(shè)置，可以使吊臂實(shí)現(xiàn)角度和水平位置的微調(diào)，并且調(diào)整結(jié)束可通過鎖緊手柄和調(diào)整螺釘進(jìn)行鎖緊，使得吊臂的定位更為精準(zhǔn)，方便上下棒操作。

3、托架組件通過滾輪在吊臂的滑軌上滾動(dòng)實(shí)現(xiàn)托架組件在滑軌上的移動(dòng)，改變傳統(tǒng)上下棒工裝粘貼硅棒的夾持工件與工裝之間滑動(dòng)摩擦為滾動(dòng)摩擦，減少摩擦阻力，方便夾持工件的順暢推拉，減輕硅片下棒時(shí)的晃動(dòng)，減少硅片崩邊、亮邊的幾率，從而確保硅片質(zhì)量。

4、接水盤采用抽拉嵌套式的結(jié)構(gòu)，可根據(jù)實(shí)際需求隨意抽拉調(diào)整接水盤長(zhǎng)度，避免切削液滴落在地面上，接水盤組件通過合頁與吊臂連接，可實(shí)現(xiàn)90°旋轉(zhuǎn)，便于夾持工件的安裝、拆卸，而且接水盤定位后通過磁鐵吸附穩(wěn)固，使用更加可靠。

附圖說明

圖1是實(shí)施例一中上下棒工裝整體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖2是實(shí)施例一中活動(dòng)門架與固定門架連接關(guān)系示意圖，

圖3是實(shí)施例一中吊臂與活動(dòng)門架連接關(guān)系示意圖，

圖4是實(shí)施例一中托架組件整體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖5是實(shí)施例二中上下棒工裝整體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖6是實(shí)施例二中接水盤組件整體結(jié)構(gòu)示意圖，

圖7是實(shí)施例二中上下棒工裝使用時(shí)的結(jié)構(gòu)剖面圖。

附圖標(biāo)注：

1、固定門架，2、活動(dòng)門架，3、安裝座，4、安裝座，5、絲杠，6、手輪，7、滾輪，8、吊臂組件，9、吊臂，10、滑軌，11、吊臂支座，12、軸Ⅰ，13、軸Ⅱ，14、調(diào)整螺釘，15、鎖緊手柄，16、彈簧搭扣，17、定位板，18、托架組件，19、夾持工件，20、接水盤組件，21、磁吸支架Ⅰ，22、磁吸支架Ⅱ，23、切片機(jī)，24、吊軌支座，25、夾緊基座，26、夾緊缸，27、托架滑軌，28、耳板；

181、托架，182、滾輪安裝板，183、滾輪，184、支撐導(dǎo)軌，185、限位塊，186、擋塊；

201、接水盤，202、接水盤，203、安裝座，204、固定銷，205、合頁，206、磁吸支架，207、磁吸支架，208、磁鐵。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本實(shí)用新型，不能理解為對(duì)本實(shí)用新型具體保護(hù)范圍的限定。

實(shí)施例一

參照?qǐng)D1，所述新型硅棒上下棒工裝，包括固定門架1、活動(dòng)門架2，所述固定門架1和活動(dòng)門架2上分別固定連接有安裝座，如圖1所示的固定門架1上的安裝座3以及如圖2所示的活動(dòng)門架2上的安裝座4，一絲杠5通過所述固定門架1和活動(dòng)門架2上的安裝座3、4將活動(dòng)門架2與固定門架1連接起來，絲杠5一端部連接手輪6，通過旋轉(zhuǎn)手輪6可實(shí)現(xiàn)活動(dòng)門架2在固定門架1上的左右移動(dòng)。參照?qǐng)D2，活動(dòng)門架2上固定有四排滾輪7，每排有兩個(gè)滾輪7，其中最上排和最下排滾輪7在固定門架1的上下凹槽內(nèi)，中間兩排的滾輪7分別在固定門架1上一橫板的上下兩側(cè)。所述四排滾輪7在固定門架1上滾動(dòng)輔助活動(dòng)門架2的左右移動(dòng)。置于安裝座3、4的個(gè)數(shù)、位置，滾輪7的個(gè)數(shù)、位置均不局限于本實(shí)施例所述，任意可實(shí)現(xiàn)活動(dòng)門架2在固定門架1上左右移動(dòng)的絲杠5及滾輪7，絲杠5、滾輪7與固定門架1和活動(dòng)門架2的位置、連接關(guān)系均在本發(fā)明的保護(hù)之內(nèi)。

參照?qǐng)D1-3，所述新型硅棒上下棒工裝，還包括吊臂組件8，所述吊臂組件8包括具有橫梁和縱梁的吊臂9，所述吊臂9橫梁下面設(shè)有滑軌10。所述吊臂9縱梁通過吊臂支座11與活動(dòng)門架2連接，所述吊臂支座11具有一端插入吊臂支座11、另一端貫穿活動(dòng)門架2的軸Ⅰ12，吊臂9可以圍繞軸Ⅰ12轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)角度的微調(diào)。所述吊臂支座11還具有貫穿吊臂支座11和吊臂9縱梁的軸Ⅱ13，通過軸Ⅱ13可以實(shí)現(xiàn)吊臂9的水平調(diào)整。所述吊臂組件8還包括一調(diào)整螺釘14，所述調(diào)整螺釘14設(shè)置在吊臂9縱梁的下部，所述調(diào)整螺釘14的一端可穿過吊臂9縱梁與活動(dòng)門架2接觸。當(dāng)?shù)醣?縱梁在軸Ⅱ13上調(diào)整好位置時(shí)，通過調(diào)整螺釘14將吊臂9縱梁鎖緊在活動(dòng)門架2上。所述吊臂組件8還包括鎖緊手柄15，所述鎖緊手柄15穿過活動(dòng)門架2的耳板28與吊臂9縱梁下部接觸。當(dāng)?shù)醣?的角度以及水平位置都調(diào)整好后，通過旋轉(zhuǎn)鎖緊手柄15對(duì)吊臂9進(jìn)行固定。

進(jìn)一步的，所述吊臂9橫梁上固定連接有彈簧搭扣16，吊臂9橫梁的一端部還固定連接有定位板17，所述定位板17用于上下棒時(shí)，將吊臂9卡在切片機(jī)吊軌支座的凹槽內(nèi)。所述吊臂9縱梁的下部固定連接有兩個(gè)磁吸支架Ⅰ和磁吸支架Ⅱ。

參照?qǐng)D1和圖4，所述新型硅棒上下棒工裝，還包括托架組件18，所述托架組件18包括托架181、滾輪安裝板182、滾輪183、支撐導(dǎo)軌184，所述托架181為型，由鋁合金型材通過型材連接件組裝而成，具有兩個(gè)平行相對(duì)的長(zhǎng)邊框，以及夾在兩長(zhǎng)邊框一端中間的兩個(gè)短邊框。當(dāng)然，托架181的形狀也不局限于型，比如也可以是型或者型等任意實(shí)現(xiàn)安裝和拆卸夾持工件19的形狀。所述滾輪安裝板182下部固定連接在托架181兩相對(duì)長(zhǎng)邊框的外側(cè)，所述滾輪183固定連接在滾輪安裝板182上部的內(nèi)側(cè)，所述托架181長(zhǎng)邊框和滾輪安裝板182的內(nèi)側(cè)和外側(cè)以靠近托架181短邊框?yàn)閮?nèi)側(cè)、遠(yuǎn)離托架181短邊框?yàn)橥鈧?cè)區(qū)分，所述每塊滾輪安裝板182上的滾輪183數(shù)量為八個(gè)，且兩塊滾輪安裝板182上的滾輪183水平一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。滾輪183的數(shù)量以及位置關(guān)系也不局限于本專利。所述滾輪183可在吊臂9橫梁下面的滑軌10上來回滾動(dòng)。所述支撐導(dǎo)軌184固定連接在托架181兩長(zhǎng)邊框的內(nèi)側(cè)，用于夾持工件19的安裝。

進(jìn)一步的，所述托架181短邊框靠近支撐導(dǎo)軌184的一側(cè)固定連接有限位塊185，所述限位塊185可減少夾持工件19對(duì)托架181的沖擊，本實(shí)施例限位塊185使用聚氨酯限位塊。

進(jìn)一步的，所述滾輪安裝板182的外側(cè)靠近限位塊185的位置固定連接有擋塊186，所述擋塊186與吊臂9橫梁上的彈簧搭扣16配合，防止托架組件18在滑軌10上自由滾動(dòng)，脫離滑軌10。

實(shí)施例二

參照?qǐng)D5-6，與實(shí)施例一不同之處在于，本實(shí)施例的新型硅棒上下棒工裝還具有接水盤組件20，所述接水盤組件20位于托架組件18的下方，具有可抽拉嵌套式接水盤，所述抽拉嵌套式接水盤是指接水盤數(shù)量至少為兩個(gè)，本實(shí)施例中其中一個(gè)接水盤201可以套在另一個(gè)接水盤202外部，套在外面的接水盤201可以自由地抽出或者推進(jìn)。所述接水盤組件20還具有安裝座203，所述接水盤202通過固定銷204與安裝座203連接，所述接水盤202上便于固定銷204插入安裝座203的開口為葫蘆型，方便接水盤202的拆卸。所述安裝座203與所述吊臂9縱梁通過合頁205連接，這樣接水盤201、202就可以進(jìn)行90°的旋轉(zhuǎn)。所述接水盤組件20還包括兩個(gè)磁吸支架206、207，所述磁吸支架206、207固定連接在安裝座203上，當(dāng)安裝夾持工件19時(shí)，合頁205打開，磁吸支架206通過磁鐵208吸附在吊臂9縱梁的磁吸支架Ⅰ21上；夾持工件19安裝完畢，接水盤201、202復(fù)位，合頁205閉合，磁吸支架207通過磁鐵208吸附在吊臂9縱梁的磁吸支架Ⅱ22上。這樣，不論接水盤201、202處于哪個(gè)位置，都可以通過磁吸的方式加以穩(wěn)固。

參照?qǐng)D7，本實(shí)施例以將本實(shí)用新型工裝輔助青島高測(cè)科技股份有限公司生產(chǎn)的GCQP630切片機(jī)為例，進(jìn)一步解釋說明本實(shí)用新型的新型硅棒上下棒工裝。

使用時(shí)，將固定門架1安裝在電動(dòng)堆高車的升降臺(tái)(圖中未示出)上，夾持工件19平放在小推車(圖中未示出)上。硅棒上棒時(shí)，向小推車方向移動(dòng)托架組件18，使?jié)L輪安裝板182上的擋塊186超出吊臂9上彈簧搭扣16的位置停止移動(dòng)，將接水盤201、201整體轉(zhuǎn)動(dòng)90°，使磁鐵208吸住磁吸支架206與磁吸支架Ⅰ21，調(diào)整堆高車升降臺(tái)高度，搖動(dòng)手輪6，調(diào)整吊臂9位置，使支撐導(dǎo)軌184低于夾持工件19兩側(cè)的平面，推動(dòng)小推車，將夾持工件19推至限位塊185位置停止，升高堆高車升降臺(tái)，將托架組件18復(fù)位，使用彈簧搭扣16將擋塊186限位，避免托架組件18在搬運(yùn)過程中脫落。復(fù)位接水盤201、202，磁鐵208將磁吸支架207與磁吸支架Ⅱ22吸住，移走小推車。

使用電動(dòng)堆高車將硅棒搬運(yùn)至切片機(jī)23旁邊，通過調(diào)整升降臺(tái)和搖動(dòng)手輪6調(diào)整吊臂9的位置，使定位板17嵌入切片機(jī)23吊軌支座24一側(cè)的凹槽內(nèi)，切割室夾緊基座25上的夾緊缸26加壓，活塞桿伸出，活塞桿末端的夾頭拉動(dòng)托架組件18，使其沿著吊軌支座24上的導(dǎo)軌和托架滑軌27移動(dòng)，將夾持工件19送至夾緊位置。當(dāng)夾持工件19到達(dá)夾緊位置，夾緊缸26卸荷，活塞桿縮回，夾持工件19被夾緊，與支撐導(dǎo)軌184脫離。將托架組件18復(fù)位，使用彈簧搭扣16將擋塊186限位，起升堆高車升降臺(tái)，使定位板17與吊軌支座24脫離，移走電動(dòng)堆高車，完成硅棒上棒工作。

硅棒切片完成后，需要使用上下棒工裝將硅片從切片機(jī)23上取下進(jìn)行下一步工序。按照硅棒上棒時(shí)的操作，將吊臂9固定在同樣的位置，套在外部的接水盤201被抽出，將托架組件18沿吊軌支座24的導(dǎo)軌、托架滑軌27推入切割室內(nèi)部，直至限位塊185與夾持工件19接觸，夾緊缸26加壓，活塞桿伸出，夾持工件19下落到支撐導(dǎo)軌184上，將托架組件18沿著吊軌支座24的導(dǎo)軌、滑軌10緩慢得拖出切割室，直至彈簧搭扣16將擋塊186限位。起升堆高車升降臺(tái)，使定位板17與吊軌支座24脫離，移走堆高車，同時(shí)繼續(xù)拖拽接水盤201，直至完全抽出套在外部的接水盤201，防止殘留切削液滴落到地面上。夾緊缸26卸荷，活塞桿縮回。

使用電動(dòng)堆高車將硅片搬運(yùn)至小推車處，將套在外面的接水盤201縮回，然后接水盤201、202整體旋轉(zhuǎn)90°，磁鐵208將磁吸支架206與磁吸支架Ⅰ21吸住，固定接水盤201、202位置。降低堆高車升降臺(tái)高度，搖動(dòng)手輪6，使夾持工件19準(zhǔn)確的落到小推車上，繼續(xù)降低升降臺(tái)，直至支撐導(dǎo)軌184與夾持工件19脫離，移走小推車和夾持工件19，升高升降臺(tái)，復(fù)位接水盤201、202，磁鐵208將磁吸支架207與磁吸支架Ⅱ22吸住，固定位置，完成硅片下棒工作。