專利名稱：一種三銀低輻射鍍膜玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種鍍膜玻璃，主要涉及一種十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻 射鍍膜玻璃。
背景技術(shù)：
低輻射鍍膜玻璃是指在玻璃表面沉積一層高紅外線反射材料(金屬銀)， 使玻璃吸收太陽光光譜中的紅外線和其它物體發(fā)出的紅外線非常少，玻璃自 身又不存儲能量，因此鍍膜玻璃向外輻射的紅外線也非常少，稱為低輻射鍍 膜玻璃。該玻璃用于窗戶上，可有效地阻擋太陽光中的紅外線進(jìn)入室內(nèi)，降 低夏天室內(nèi)溫度，節(jié)約空調(diào)制冷費用，冬天可以阻擋室內(nèi)物體發(fā)出的紅外線 被玻璃吸收，散發(fā)到室外，提高室內(nèi)溫度，節(jié)約取暖費用。
現(xiàn)在市場上已經(jīng)有很多種低輻射鍍膜玻璃產(chǎn)品，第一層膜有用氧化錫 的，也有用氧化鋅的，第二層膜都是銀膜，也有前面加一層鎳鉻膜的結(jié)構(gòu)， 第三層都用鎳鉻層，第四層主要為保護(hù)膜。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型目的是提供一種十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻射鍍膜玻璃，使其 具有輻射率低的優(yōu)點。
本實用新型的目的可采用如下技術(shù)方案來實現(xiàn)其具有玻璃基片，在玻 璃基片表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氧化錫 膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、銀膜層、鎳鉻膜層、氧化錫膜層、 氮化硅膜層，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻射鍍膜玻璃。
該產(chǎn)品具有生產(chǎn)效率高，輻射率非常低，小于0.04，耐磨性能和耐氧 化、耐腐蝕性能好的優(yōu)點。
附圖1為本實用新型的具體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1、玻璃基片，2、氧化錫膜層，3、銀膜層，4、鎳鉻膜層，5、 氧化錫膜層，6、銀膜層7、鎳鉻膜層，8、氧化錫膜層，9、銀膜層，10、 鎳鉻膜層，11、氧化錫膜層，12、氮化硅膜層。
具體實施方式
結(jié)合附圖，說明本實用新型的具體實施例。
如附圖l所示其具有玻璃基片l，在玻璃基片表面從底層向上依次
鍍有氧化錫膜層2、銀膜層3、鎳鉻膜層4、氧化錫膜層5、銀膜層6、鎳絡(luò)膜層7、氧化錫膜層8、銀膜層9、鎳鉻膜層IO、氧化錫膜層ll、氮化硅膜 層12，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻射鍍膜玻璃。
本實用新型是在真空環(huán)境下，通過磁控濺射在玻璃表面沉積十一層膜的 方法，生產(chǎn)一種紅外線輻射率很低的，包含有三個銀層的低輻射鍍膜玻璃。 所述的低輻射鍍膜玻璃是在鍍膜室抽真空至1. 1X10—4Pa以下，充入工 藝氣體(氧氣或氮氣或氬氣)，使鍍膜室壓力穩(wěn)定在0.3Pa左右，將濺射源 送電，靶材開始濺射，送入玻璃將靶材原子或其化合物沉積到玻璃表面。第 一個鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，將氧化錫膜沉積到玻璃表面為第一層膜， 厚度20至60納米，第二個鍍膜室充入氬氣，靶材為銀靶，在氧化錫上面沉 積第二層銀膜，厚度1至10納米；第三個鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶， 在銀膜上沉積第三層鎳鉻膜，厚度3至10納米；第四個鍍膜室充入氧氣， 靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第四層氧化錫膜，厚度15至60納米；第五個 鍍膜室充入氬氣，靶材為銀靶，在氧化錫上面沉積第五層銀膜，厚度1至
10納米；第六個鍍膜室充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第六層鎳 鉻膜，厚度3至10納米；第七個鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，在鎳鉻膜
上沉積第七層氧化錫膜，厚度15至30納米；第八個鍍膜室充入氬氣，靶材 為銀靶，在氧化錫上面沉積第八層銀膜，厚度1至10納米；第九個鍍膜室 充入氬氣，靶材為鎳鉻靶，在銀膜上沉積第九層鎳絡(luò)膜，厚度3至10納米; 第十個鍍膜室充入氧氣，靶材為錫靶，在鎳鉻膜上沉積第十層氧化錫膜，厚 度15至60納米；第十一個鍍膜室充入氮氣，靶材為硅靶，在氧化錫膜上沉
積第十一層氮化硅膜，厚度15 30納米。
第二層、第五層和第八層的銀膜起到降低鍍膜玻璃輻射率的作用，三層 不相鄰的銀膜，可以產(chǎn)生比一層、兩層銀膜性能好很多，即輻射率低很多的 性能。第一層、第十層氧化錫膜和第十一層氮化硅膜都起保護(hù)銀膜和鎳鉻膜 的作用，提高膜層的耐磨性能和耐氧化、耐腐蝕性能。
權(quán)利要求1、一種三銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，其特征是在玻璃基片(1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層(2)、銀膜層(3)、鎳鉻膜層(4)，氧化錫膜層(5)，銀膜層(6)，鎳鉻膜層(7)，氧化錫膜層(8)，銀膜層(9)、鎳鉻膜層(10)，氧化錫膜層(11)，氮化硅膜層(12)，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻射鍍膜玻璃。
專利摘要本實用新型公開了一種三銀低輻射鍍膜玻璃，其具有玻璃基片(1)，在玻璃基片(1)表面上從底層向上依次鍍有氧化錫膜層(2)、銀膜層(3)、鎳鉻膜層(4)，氧化錫膜層(5)，銀膜層(6)，鎳鉻膜層(7)，氧化錫膜層(8)，銀膜層(9)、鎳鉻膜層(10)，氧化錫膜層(11)，氮化硅膜層(12)，從而構(gòu)成十一層膜結(jié)構(gòu)的三銀低輻射鍍膜玻璃。該產(chǎn)品具有生產(chǎn)效率高，輻射率非常低，小于0.04，耐磨性能和耐氧化、耐腐蝕性能好的優(yōu)點。
文檔編號C03C17/36GK201250183SQ20082014844
公開日2009年6月3日 申請日期2008年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月11日
發(fā)明者孟怡敏, 王秀麗, 明 郭 申請人:洛陽新晶潤工程玻璃有限公司