1.一種基板浮起輸送裝置，其具有：
浮起載臺部，其在輸送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及
基板保持部，其對浮起于所述基板浮起面上的基板進(jìn)行保持，
所述基板保持部在對浮起于所述基板浮起面上的狀態(tài)的基板進(jìn)行保持的狀態(tài)下沿著所述輸送方向進(jìn)行移動，由此基板在浮起于基板浮起面上的狀態(tài)下被輸送，該基板浮起輸送裝置的特征在于，
在所述浮起載臺部與所述基板保持部之間具有輔助浮起支承部，在對寬度方向尺寸比基準(zhǔn)大小的基板大的寬幅基板進(jìn)行輸送的情況下，該輔助浮起支承部使從所述基板浮起面在寬度方向上伸出的所述寬幅基板的伸出區(qū)域浮起，其中，所述寬度方向與輸送方向垂直。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板浮起輸送裝置，其特征在于，
所述輔助浮起支承部具有與所述浮起載臺部相同的浮起機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板浮起輸送裝置，其特征在于，
所述輔助浮起支承部相對于所述浮起載臺部以能夠自由拆裝的方式設(shè)置，在對所述寬幅基板進(jìn)行輸送的情況下，所述輔助浮起支承部安裝于所述浮起載臺部，所述寬幅基板借助所述浮起載臺部和所述輔助浮起支承部的浮起機(jī)構(gòu)而浮起。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板浮起輸送裝置，其特征在于，
所述基板保持部形成為能夠相對于所述浮起載臺部在寬度方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，在拆下所述輔助浮起支承部的情況下，所述基板保持部配置在接近所述浮起載臺部的位置，在所述輔助浮起支承部安裝于所述浮起載臺部的情況下，所述基板保持部配置在遠(yuǎn)離所述浮起載臺部的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板浮起輸送裝置，其特征在于，
所述輔助浮起支承部設(shè)置于所述基板保持部，借助設(shè)置于所述輔助浮起支承部的吸附部對基準(zhǔn)尺寸的基板進(jìn)行吸附而保持，借助所述基板保持部的吸附部對寬幅基板進(jìn)行吸附而保持。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板浮起輸送裝置，其特征在于，
所述基板保持部的吸附部被設(shè)定成其高度位置比所述輔助浮起支承部的吸附部高，在借助所述基板保持部的吸附部對寬幅基板進(jìn)行保持的狀態(tài)下，通過所述輔助浮起支承部的浮起機(jī)構(gòu)來維持成與所述浮起載臺部處的浮起狀態(tài)相同的浮起狀態(tài)。