本發(fā)明涉及一邊使基板浮起一邊進(jìn)行輸送的基板浮起輸送裝置，尤其涉及即使對于寬度方向尺寸比基準(zhǔn)尺寸的基板大的基板也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送的基板浮起輸送裝置。

背景技術(shù)：

在液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器中，使用在基板上涂布有抗蝕液的基板(稱之為涂布基板)。該涂布基板通過如下方式來生產(chǎn)：一邊輸送基板一邊利用涂布裝置在基板上均勻地涂布抗蝕液從而形成涂布膜。之后，再通過基板輸送裝置進(jìn)行輸送并通過干燥裝置等對涂布膜進(jìn)行干燥。

在最近的基板輸送裝置中，為了避免涂布基板的背面(涂布面的相反側(cè))的損傷，使用了一邊以空氣浮起或超聲波浮起等方式使基板浮起一邊對基板進(jìn)行輸送的基板浮起輸送裝置。如圖7所示，該基板浮起輸送裝置具有使基板W浮起的浮起載臺部100和對浮起狀態(tài)的基板W進(jìn)行保持的基板保持部102，通過使基板保持部102在輸送方向上移動，而在基板W浮起于浮起載臺部100上的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。

例如，在進(jìn)行空氣浮起輸送的情況下，如圖8的(a)所示，在浮起載臺部100的使基板W浮起的基板浮起面101上，以一定的比例配置有使空氣噴出的噴出口和吸引空氣的吸引口，對空氣的噴出力和空氣的吸引力進(jìn)行調(diào)整以使基板W從基板浮起面101浮起至規(guī)定的高度位置(圖8的箭頭示出了空氣的流向)。并且，對基板W的與輸送方向垂直的方向(以下，稱為寬度方向)的兩端部借助基板保持部102的吸附部102a進(jìn)行吸附而保持，在該狀態(tài)下基板保持部102在輸送方向上行駛從而在輸送方向上輸送基板W。即，浮起載臺部100相對于基板W在寬度方向上較小地形成，并形成為：在將基板W載置于浮起載臺部100的基板浮起面101上的狀態(tài)下，在寬度方向兩端部具有能夠?qū)錡進(jìn)行吸附的程度的吸附余量(伸出區(qū)域T)的程度。并且，使基板保持部102接近浮起載臺部100而設(shè)置，從而盡量減少空氣浮起無法作用的區(qū)域，由此，能夠在寬度方向兩端的范圍內(nèi)使基板W均勻地浮起，能夠在高精度地維持基板W的平面姿勢(以下，稱為平面度)的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。由此，在與基板浮起輸送裝置組合的涂布裝置103和干燥裝置中能夠抑制由基板W的姿勢導(dǎo)致的涂布不勻和干燥不勻。

專利文獻(xiàn)1：日本特開第2013-115125號公報

近年來，隨著基板W的多種多樣化，有時會需求尺寸不同的涂布基板W。即，由于最終成品的基板尺寸的多樣化，有時會需求與通常相比在寬度方向上尺寸大的基板W(以下，稱為寬幅基板W)。但是，當(dāng)想要通過上述的基板浮起輸送裝置來輸送寬幅基板W時，如圖8的(b)所示，應(yīng)進(jìn)行涂布的基板有效區(qū)域α超過浮起載臺部100而橫跨在基板保持部102上，因而存在不能維持基板W的平面度的問題。即，當(dāng)基板有效區(qū)域α橫跨在基板保持部102上時，由于基板有效區(qū)域α內(nèi)浮起狀態(tài)因浮起載臺部100和基板保持部102而不同，所以存在如下的問題：在與基板浮起輸送裝置組合的涂布裝置103和干燥裝置中，會產(chǎn)生由基板W的姿勢變化而導(dǎo)致的涂布不勻和干燥不勻。

在這樣的情況下，存在如下的問題：寬度方向上尺寸哪怕稍大一點點的寬幅基板W就不能利用上述基板浮起輸送裝置進(jìn)行輸送，為了輸送寬幅基板W而需要另外準(zhǔn)備新的基板浮起輸送裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述的問題點而完成的，其目的在于提供一種基板浮起輸送裝置，即使對于寬度方向上尺寸大的寬幅基板，也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送。

為了解決上述課題，本發(fā)明的基板浮起輸送裝置具有：浮起載臺部，其在輸送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其對浮起于所述基板浮起面上的基板進(jìn)行保持，所述基板保持部在對浮起于所述基板浮起面上的狀態(tài)的基板進(jìn)行保持的狀態(tài)下沿著所述輸送方向進(jìn)行移動，由此基板在浮起于基板浮起面上的狀態(tài)下被輸送，該基板浮起輸送裝置的特征在于，在所述浮起載臺部與所述基板保持部之間具有輔助浮起支承部，在對寬度方向尺寸比基準(zhǔn)大小的基板大的寬幅基板進(jìn)行輸送的情況下，該輔助浮起支承部使從所述基板浮起面在寬度方向上伸出的所述寬幅基板的伸出區(qū)域浮起，其中，所述寬度方向與輸送方向垂直。

根據(jù)上述基板浮起輸送裝置，由于在浮起載臺部與基板保持部之間具有輔助浮起支承部，所以即使是寬度方向上尺寸大的寬幅基板也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送。即，對于寬幅基板中的、比浮起載臺部在寬度方向上伸出的區(qū)域而言，借助輔助浮起支承部的浮起機構(gòu)將其設(shè)定為與位于浮起載臺部上的基板相同的浮起狀態(tài)，由此，能夠在寬度方向范圍內(nèi)均勻地維持浮起狀態(tài)。因此，與以往的基板浮起輸送裝置相比，能夠高精度地維持寬幅基板的平面度而抑制在基板有效區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生涂布不勻的問題，能夠抑制針對寬幅基板而另外準(zhǔn)備新的基板浮起輸送裝置的設(shè)備成本。

并且，優(yōu)選如下的結(jié)構(gòu)：所述輔助浮起支承部具有與所述浮起載臺部相同的浮起機構(gòu)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于輔助浮起支承部具有與浮起載臺部相同的浮起機構(gòu)(例如空氣浮起、超聲波浮起等)，所以能夠使輔助浮起支承部處的浮起狀態(tài)與浮起載臺部處的浮起狀態(tài)成為相同的狀態(tài)，能夠在寬度方向范圍內(nèi)均勻地維持寬幅基板的浮起狀態(tài)。

例如，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)：所述輔助浮起支承部相對于所述浮起載臺部以能夠自由拆裝的方式設(shè)置，在對所述寬幅基板進(jìn)行輸送的情況下，所述輔助浮起支承部安裝于所述浮起載臺部，所述寬幅基板借助所述浮起載臺部和所述輔助浮起支承部的浮起機構(gòu)而浮起。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于僅在對寬幅基板進(jìn)行輸送的情況下將輔助浮起支承部安裝于浮起載臺部即可，所以能夠以簡單的結(jié)構(gòu)設(shè)置輔助浮起支承部。

并且，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)：所述基板保持部形成為能夠相對于所述浮起載臺部在寬度方向上進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，在拆下所述輔助浮起支承部的情況下，所述基板保持部配置在與所述浮起載臺部接近的位置，在所述輔助浮起支承部安裝于所述浮起載臺部的情況下，所述基板保持部配置在遠(yuǎn)離所述浮起載臺部的位置。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，無論有無輔助浮起支承部，由于能夠使由基板保持部和浮起載臺部(在安裝有輔助浮起支承部的情況下為輔助浮起支承部)形成的間隙成為所需的最小限度，所以能夠極力抑制該間隙對基板的平面度造成影響。

并且，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)：所述輔助浮起支承部設(shè)置于所述基板保持部，借助設(shè)置于所述輔助浮起支承部的吸附部對基準(zhǔn)尺寸的基板進(jìn)行吸附而保持，借助所述基板保持部的吸附部對寬幅基板進(jìn)行吸附而保持。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，無論在對基準(zhǔn)尺寸的基板和寬幅基板中的任意一種進(jìn)行輸送的情況下，也不用對裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行改組，能夠使準(zhǔn)備作業(yè)簡略化。

并且，也可以采用如下的結(jié)構(gòu)：所述基板保持部的吸附部被設(shè)定成其高度位置比所述輔助浮起支承部的吸附部高，在借助所述基板保持部的吸附部對寬幅基板進(jìn)行保持的狀態(tài)下，通過所述輔助浮起支承部的浮起機構(gòu)來維持成與所述浮起載臺部處的浮起狀態(tài)相同的浮起狀態(tài)。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在對寬幅基板進(jìn)行保持的情況下，對于浮起載臺部和輔助浮起支承部的任意一個而言浮起狀態(tài)都維持為相同的狀態(tài)，因此能夠在寬度方向范圍內(nèi)高精度地維持寬幅基板的平面度。

根據(jù)本發(fā)明的基板浮起輸送裝置，即使對于寬度方向上尺寸大的寬幅基板，也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送。

附圖說明

圖1是示出與本發(fā)明的一實施方式的基板浮起輸送裝置進(jìn)行組合的涂布裝置的立體圖。

圖2是與上述一實施方式的基板浮起輸送裝置進(jìn)行組合的涂布裝置的主視圖。

圖3的(a)和(b)是示出在上述一實施方式的基板浮起輸送裝置中對基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的放大圖，其中(a)是示出對標(biāo)準(zhǔn)基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖，(b)是示出為了對寬幅基板進(jìn)行保持而對浮起載臺部安裝了輔助浮起支承部的狀態(tài)的圖。

圖4的(a)和(b)是示出上述一實施方式的基板浮起輸送裝置的基板保持部的圖，其中(a)是示出對標(biāo)準(zhǔn)基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖，(b)是示出在安裝了輔助浮起支承部的情況下對寬幅基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖。

圖5的(a)和(b)是示出上述一實施方式的基板浮起輸送裝置的基板保持部的吸附墊的圖，其中(a)是示出進(jìn)行吸附之前的狀態(tài)的圖，(b)是示出進(jìn)行了吸附之后的狀態(tài)的圖。

圖6的(a)和(b)是示出其他實施方式的基板浮起輸送裝置的基板保持部的圖，其中(a)是示出對標(biāo)準(zhǔn)基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖，(b)是示出對寬幅基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖。

圖7是示出與以往的基板浮起輸送裝置進(jìn)行組合的涂布裝置的立體圖。

圖8的(a)和(b)是示出以往的基板浮起輸送裝置中的基板的保持狀態(tài)的圖，其中(a)是示出對標(biāo)準(zhǔn)基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖，(b)是示出對寬幅基板進(jìn)行保持的狀態(tài)的圖。

標(biāo)號說明

1：基板浮起輸送裝置；2：涂布裝置；3：基板輸送單元；4：輔助浮起支承部；10：浮起載臺部；12：平板部；12a：基板浮起面；30：基板保持部；33：吸附面；37：吸附塊；40：輔助塊。

具體實施方式

使用附圖對本發(fā)明的基板浮起輸送裝置的實施方式進(jìn)行說明。

圖1是概略地示出與本發(fā)明的基板浮起輸送裝置1進(jìn)行組合的涂布裝置2的立體圖，圖2是與圖1中的基板浮起輸送裝置1進(jìn)行組合的涂布裝置2的主視圖。

在圖1、圖2中，輸送基板W的基板浮起輸送裝置1與在所輸送的基板W上形成涂布膜的涂布裝置2的涂布單元21進(jìn)行組合而形成一系列的基板處理裝置。該基板浮起輸送裝置1具有在一個方向上延伸的浮起載臺部10，基板W沿著該浮起載臺部10的延伸的方向被輸送。在圖1的例子中，浮起載臺部10形成為在X軸方向上延伸，基板W在X軸方向上從上游側(cè)(前工序側(cè))輸送至下游側(cè)(后工序側(cè))。并且，從涂布單元21噴出涂布液，由此在基板W上形成涂布膜。具體地說，一邊在基板W浮起于浮起載臺部10的狀態(tài)下在X軸方向上對其進(jìn)行輸送，一邊從涂布單元21噴出涂布液，由此在基板W上形成厚度均勻的涂布膜。另外，在以下的說明中，將對基板W進(jìn)行輸送的方向設(shè)為X軸方向，X軸方向相當(dāng)于輸送方向。并且，將在水平面上與X軸方向(輸送方向)垂直的方向設(shè)為Y軸方向，特別地還將Y軸方向稱為寬度方向。并且，將與X軸方向和Y軸方向這兩者垂直的方向設(shè)為Z軸方向而進(jìn)行說明。

涂布單元21在基板W上涂布涂布液，具有框架部22和管口部23?？蚣懿?2具有分別配置在浮起載臺部10的Y軸方向兩側(cè)的支柱22a，在該支柱22a上設(shè)置有管口部23。具體地說，支柱22a被設(shè)置成固定在Y軸方向(寬度方向)兩側(cè)，以不妨礙后述的基板保持部30的行駛的方式配設(shè)在比基板保持部30的行駛路徑靠外側(cè)的位置。并且，管口部23被設(shè)置成架設(shè)在這些支柱22a上，以橫跨浮起載臺部10的狀態(tài)安裝管口部23。并且，在支柱22a上設(shè)置有升降機構(gòu)，能夠通過使升降機構(gòu)動作而使管口部23在Z方向上移動。即，管口部23能夠借助升降機構(gòu)而相對于浮起載臺部10進(jìn)行接近離開動作。

管口部23噴出涂布液，其形成為在一個方向上延伸。在該管口部23上形成有在一個方向上延伸的縫噴嘴23a(參照圖2)，能夠從縫噴嘴23a將貯存在管口部23內(nèi)的涂布液噴出。具體地說，縫噴嘴23a形成在與浮起載臺部10相對的面上，管口部23以縫噴嘴23a沿著寬度方向延伸的狀態(tài)設(shè)置。并且，在使管口部23相對于所輸送的基板W升降而使基板W與縫噴嘴23a之間的距離與規(guī)定的距離相符的狀態(tài)下，從縫噴嘴23a噴出涂布液，從而使寬度方向上均勻的涂布膜連續(xù)地形成在輸送方向上。

并且，基板浮起輸送裝置1一邊使基板W浮起一邊在特定方向上對其進(jìn)行輸送。基板浮起輸送裝置1具有：浮起載臺部10，其使基板W浮起；以及基板輸送單元3，其對浮起于浮起載臺部10的基板W進(jìn)行保持并輸送。

浮起載臺部10使基板W浮起，在本實施方式中該浮起載臺部10具有空氣浮起機構(gòu)。浮起載臺部10形成為在基臺11上設(shè)置有平板部12，多個平板部12形成為沿著X軸方向排列。即，平板部12具有平滑的基板浮起面12a(參照圖3)，各個基板浮起面12a被排列成高度均等。并且，在基板浮起面12a與所輸送的基板W之間形成有空氣層，由此能夠使基板W浮起至規(guī)定的高度位置。具體地說，在平板部12中，形成有在基板浮起面12a開口的微小的噴出口(未圖示)和吸引口(未圖示)，噴出口與壓縮機通過配管連接，吸引口與真空泵通過配管連接。并且，使從噴出口噴出的空氣和產(chǎn)生于吸引口的吸引力達(dá)到平衡，由此，基板W能夠以水平的姿勢浮起至距基板浮起面12a規(guī)定的高度。由此，能夠在高精度地維持著基板W的平面姿勢(稱為平面度)的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。

并且，浮起載臺部10的平板部12形成為：其Y軸方向尺寸比基準(zhǔn)尺寸的基板W(標(biāo)準(zhǔn)基板W)的Y軸方向尺寸小，當(dāng)將基板W載置到基板浮起面12a上時，成為基板W的Y軸方向端部從基板浮起面12a伸出的狀態(tài)。利用后述的基板輸送單元3對該伸出的部分(伸出區(qū)域T)進(jìn)行保持，從而能夠?qū)錡進(jìn)行輸送。該平板部12的Y軸方向尺寸被設(shè)定為伸出區(qū)域T能夠借助基板保持部30進(jìn)行保持所需的最小限度的尺寸。即，按照當(dāng)利用基板保持部30對基板W的伸出區(qū)域T進(jìn)行保持的情況下，在基板保持部30與平板部12之間形成有互相不接觸的微小的間隙的程度設(shè)定伸出區(qū)域T的伸出量。另外，所謂基準(zhǔn)尺寸的基板W是指在對基板浮起輸送裝置1進(jìn)行設(shè)計時作為基準(zhǔn)的大小的基板W，與后述的寬度方向尺寸大的寬幅基板W相比，將該基板W稱為標(biāo)準(zhǔn)基板W。

并且，平板部12能夠安裝輔助浮起支承部4。在對寬度方向尺寸比標(biāo)準(zhǔn)基板W大的寬幅基板W進(jìn)行輸送的情況下，該輔助浮起支承部4將寬幅基板W的姿勢維持為在寬度方向范圍內(nèi)水平。

本實施方式的輔助浮起支承部4為輔助塊40，在對寬幅基板W進(jìn)行輸送的情況下，安裝固定在平板部12的Y軸方向(寬度方向)側(cè)面上。具體地說，輔助塊40具有長方體形狀，輸送方向尺寸形成為與平板部12相同的尺寸，寬度方向尺寸形成為如下的尺寸：在將寬幅基板W載置于基板浮起面12a的情況下，成為寬幅基板W的Y軸方向端部在寬度方向上伸出的狀態(tài)。即，伸出量與標(biāo)準(zhǔn)基板W同樣地被設(shè)定為在利用基板保持部30對基板W進(jìn)行保持的情況下，基板保持部30不與輔助塊40接觸而進(jìn)行行駛所需的最低限度的尺寸，即，被設(shè)定為在基板保持部30與輔助塊40之間形成有互相不接觸的微小的間隙的尺寸。并且，在安裝有輔助塊40的狀態(tài)下，將輔助塊40的上表面設(shè)定為與平板部12的基板浮起面12a為相同高度。由此，通過平板部12和輔助塊40形成了大一圈的平坦且均勻的基板浮起面12a。

并且，輔助塊40(輔助浮起支承部4)具有與浮起載臺部10相同的浮起機構(gòu)(在本實施方式中為空氣浮起機構(gòu))。具體地說，在輔助塊40的形成基板浮起面12a的面上，與平板部12同樣地形成有噴出口(未圖示)和吸引口(未圖示)，以與平板部12的噴出口和吸引口相同的方式形成。即，以具有與平板部12的噴出口和吸引口相同的比例、相同的位置關(guān)系的方式形成，能夠使平板部12中的基板W的浮起狀態(tài)和輔助塊40中的基板W的浮起狀態(tài)為相同的狀態(tài)。因此，在安裝有輔助塊40的狀態(tài)下，即使是寬幅基板W也能夠在寬度方向范圍內(nèi)均勻地浮起，能夠在高精度地維持基板W的平面度的狀態(tài)下使其浮起。

并且，基板輸送單元3對浮起狀態(tài)的基板W進(jìn)行輸送，其具有對基板W進(jìn)行保持的基板保持部30和使基板保持部30行駛的輸送驅(qū)動部31。

輸送驅(qū)動部31構(gòu)成為使基板保持部30在輸送方向上移動，由沿著浮起載臺部10在輸送方向上延伸的輸送軌道部31a和在該輸送軌道部31a上行駛的輸送主體部31b形成。具體地說，以在輸送方向上延伸的方式設(shè)置的基臺11被配置在浮起載臺部10的寬度方向兩側(cè)，在各個基臺11上設(shè)置輸送軌道部31a。即，輸送軌道部31a沿著浮起載臺部10不中斷地連續(xù)設(shè)置。并且，輸送主體部31b是形成為凹形狀的板狀部件，如圖4的(a)所示，該輸送主體部31b以覆蓋輸送軌道部31a的上表面的方式設(shè)置。具體地說，輸送主體部31b以隔著空氣墊32覆蓋輸送軌道部31a的方式設(shè)置，通過驅(qū)動未圖示的線性馬達(dá)來使輸送主體部31b在輸送軌道部31a上行駛。即，通過對線性馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動控制，輸送主體部31b在輸送軌道部31a上以不接觸的方式行駛，并能夠在適當(dāng)?shù)奈恢猛Ｖ埂?/p>

并且，基板保持部30對基板W進(jìn)行保持，該基板保持部30安裝在輸送主體部31b上。具體地說，如圖4的(a)所示，基板保持部30形成為大致長方體的塊狀，隔著不接觸的程度的間隙安裝于浮起載臺部10的平板部12。并且，基板保持部30被設(shè)定為其上表面(吸附面33)與浮起的基板W的下表面的高度位置成為同一平面。并且，如圖5所示，在吸附面33上形成有開口部34，在該開口部34內(nèi)埋設(shè)有能夠彈性變形的折皺形狀的吸附墊35。該吸附墊35產(chǎn)生吸引力而對基板W進(jìn)行吸附保持，該吸附墊35被設(shè)定為在通常狀態(tài)(沒有基板W的狀態(tài))下在其前端稍微從開口部34突出的狀態(tài)下待機(參照圖5的(a))。并且，當(dāng)在基板浮起面12a上載置有基板W時，基板W的從基板浮起面12a朝向?qū)挾确较蛏斐龅牟糠峙c吸附墊35抵接。當(dāng)在該狀態(tài)下使吸附墊35產(chǎn)生吸引力時，一邊利用吸附墊35對基板W的下表面進(jìn)行吸引，一邊保持該吸引狀態(tài)不變地，吸附墊35自身向開口部34內(nèi)收縮，基板W的下表面與吸附面33抵接而對基板W進(jìn)行保持(參照圖5的(b))。由此，以在寬度方向范圍內(nèi)維持相同的浮起高度位置的狀態(tài)對借助浮起載臺部10浮起的基板W進(jìn)行保持。

并且，基板保持部30具有位置調(diào)節(jié)機構(gòu)。即，基板保持部30借助線性引導(dǎo)件36而設(shè)置在輸送主體部31b上，并能夠在寬度方向上移動。具體地說，在輸送主體部31b上，以能夠在寬度方向上移動的方式安裝有線性引導(dǎo)件36，在該線性引導(dǎo)件36上安裝有基板保持部30。并且，通過對線性引導(dǎo)件36進(jìn)行驅(qū)動控制而使基板保持部30在寬度方向上移動，并能夠在適當(dāng)?shù)奈恢猛Ｖ埂?/p>

在本實施方式中，在對標(biāo)準(zhǔn)基板W進(jìn)行輸送的情況下，基板保持部30移動至與浮起載臺部10接近的位置而固定(參照圖4的(a))。即，基板保持部30固定在與浮起載臺部10極力接近的位置，以便在基板保持部30與浮起載臺部10之間具有即使基板保持部30在輸送方向上行駛也不會與浮起載臺部10的平板部12接觸的程度的間隙。由此，能夠極力減少浮起機構(gòu)無法對基板W進(jìn)行作用的區(qū)域，能夠使基板W的浮起狀態(tài)在寬度方向范圍內(nèi)均等。

并且，在對寬幅基板W進(jìn)行輸送的情況下，基板保持部30僅以供輔助塊40存在的量向?qū)挾确较蛲鈧?cè)移動，并固定在與輔助塊40接近的位置(參照圖4的(b))。同樣在該情況下，以在基板保持部30與輔助塊40之間具有即使基板保持部30在輸送方向上行駛也不會與輔助塊40接觸的程度的間隙的方式進(jìn)行固定，能夠極力減少浮起機構(gòu)無法對基板W進(jìn)行作用的區(qū)域，能夠使基板W的浮起狀態(tài)在寬度方向范圍內(nèi)均等。

這樣，在本實施方式的基板浮起輸送裝置1中，由于在浮起載臺部10與基板保持部30之間具有輔助浮起支承部4(輔助塊40)，所以即使對于寬度方向上尺寸大的寬幅基板W，也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送。即，借助由輔助浮起支承部4實現(xiàn)的浮起機構(gòu)，將寬幅基板W中的、與浮起載臺部10相比在寬度方向延伸的區(qū)域設(shè)定為與位于浮起載臺部10上的基板W相同的浮起狀態(tài)，由此，能夠在寬度方向范圍內(nèi)均勻地維持浮起狀態(tài)。因此，與以往的基板浮起輸送裝置1相比，能夠高精度地維持寬幅基板W的平面度而抑制在基板W的有效區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生涂布不勻的問題，并能夠抑制針對寬幅基板W而另外準(zhǔn)備新的基板浮起輸送裝置1的設(shè)備成本。

并且，由于對于輔助塊40與浮起載臺部10同樣地使用空氣浮起機構(gòu)，所以能夠使輔助塊40處的浮起狀態(tài)與浮起載臺部10處的浮起狀態(tài)成為相同的狀態(tài)，因此能夠使基板W的浮起狀態(tài)在寬度方向范圍內(nèi)均等。

并且，在上述實施方式中，對輔助浮起支承部4是安裝于浮起載臺部10的輔助塊40的情況進(jìn)行了說明，但也可以是將輔助浮起支承部4設(shè)置于基板保持部30的結(jié)構(gòu)。在圖6所示的例子中，以基板保持部30的吸附面33a成為輔助浮起支承部4的一部分的方式構(gòu)成。即，在基板保持部30中設(shè)置有吸附塊37，在寬度方向內(nèi)側(cè)形成有輔助浮起支承部4，在寬度方向外側(cè)形成有基板保持部30，這些部件構(gòu)成為一體。具體地說，基板保持部30的吸附面33a位于寬度方向外側(cè)，形成在比輔助浮起支承部4的吸附面33b高一個臺階的位置。并且，在各個吸附面33(吸附面33a和吸附面33b)上形成有開口部34，在該開口部34內(nèi)埋設(shè)有上述的吸附墊35，能夠?qū)錡進(jìn)行吸附而保持。即，吸附塊37的輔助浮起支承部4被配置在與浮起載臺部10的平板部12接近的位置，當(dāng)在浮起載臺部10上載置標(biāo)準(zhǔn)基板W時，能夠通過吸附墊35對從基板浮起面12a伸出的伸出區(qū)域T進(jìn)行吸附(圖6的(a))。即，與上述實施方式同樣，吸附塊37的輔助浮起支承部4被配置為具有即使基板保持部30在輸送方向上行駛也不會與浮起載臺部10的平板部12接觸的程度的間隙，由此，能夠在寬度方向范圍內(nèi)使基板W均勻地浮起，并能以高精度地維持基板W的平面度的狀態(tài)使其浮起。

并且，基板保持部30中的吸附墊35被配置在能夠?qū)d置于浮起載臺部10上的寬幅基板W的伸出區(qū)域T進(jìn)行吸附的位置。并且，在輔助浮起支承部4的吸附面33b上形成有噴出口(未圖示)和吸引口(未圖示)，它們以與平板部12的噴出口和吸引口相同的方式形成。即，當(dāng)在浮起載臺部10上載置有寬幅基板W時，從浮起載臺部10伸出的部分借助設(shè)置于吸附塊37的輔助浮起支承部4的浮起機構(gòu)而浮起。并且，吸附面33b和基板浮起面12a的高度位置被設(shè)定成相同的高度。由此，由于寬幅基板W的伸出區(qū)域T能夠借助與設(shè)置于浮起載臺部10的浮起機構(gòu)為相同的結(jié)構(gòu)的浮起機構(gòu)而浮起，所以雖然基板保持部30被配置在從浮起載臺部10向?qū)挾确较蛲鈧?cè)遠(yuǎn)離的位置，也能夠使基板W的浮起狀態(tài)在寬度方向范圍內(nèi)均等。并且，在本實施方式中，由于不需要如上述實施方式那樣、在對標(biāo)準(zhǔn)基板W和寬幅基板W進(jìn)行輸送時換上輔助塊40，所以與上述實施方式相比能夠使準(zhǔn)備作業(yè)簡略化。

并且，在上述實施方式中，對使用空氣浮起機構(gòu)來作為浮起載臺部10的浮起機構(gòu)的例子進(jìn)行了說明，但也可以使用超聲波浮起等其他方式的浮起機構(gòu)。

并且，在上述實施方式中，對在輔助浮起支承部4中使用了與浮起載臺部10相同的浮起機構(gòu)的例子進(jìn)行了說明，但也可以使用不同的浮起機構(gòu)。例如，可以對浮起載臺部10使用超聲波浮起機構(gòu)，而在輔助浮起支承部4中使用空氣浮起機構(gòu)。即使使用任意的浮起機構(gòu)，只要能夠使浮起載臺部10和輔助浮起支承部4處的浮起高度相同而能夠在寬度方向范圍內(nèi)形成均勻的浮起狀態(tài)即可。

并且，在上述實施方式中，對將基板浮起輸送裝置1組合到涂布裝置2中的例子進(jìn)行了說明，也能夠?qū)⒒甯∑疠斔脱b置1組合到干燥裝置中，或者組合到各種各樣的基板處理裝置中而進(jìn)行使用。