技術(shù)編號：11925158
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一邊使基板浮起一邊進(jìn)行輸送的基板浮起輸送裝置，尤其涉及即使對于寬度方向尺寸比基準(zhǔn)尺寸的基板大的基板也能夠一邊高精度地維持平面度一邊進(jìn)行輸送的基板浮起輸送裝置。背景技術(shù)在液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器中，使用在基板上涂布有抗蝕液的基板(稱之為涂布基板)。該涂布基板通過如下方式來生產(chǎn)：一邊輸送基板一邊利用涂布裝置在基板上均勻地涂布抗蝕液從而形成涂布膜。之后，再通過基板輸送裝置進(jìn)行輸送并通過干燥裝置等對涂布膜進(jìn)行干燥。在最近的基板輸送裝置中，為了避免涂布基板的背面(涂布面的相反側(cè))的損...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。