專利名稱：：基板的輸送裝置及輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種沿一對導(dǎo)軌來輸送定位基板的基板輸送裝置及輸送方法。
背景技術(shù)：
：例如，在基板上安裝IC芯片等電子部件的情況下，沿導(dǎo)軌將上述基板輸送至設(shè)置了安裝用工作臺(tái)(stage)的安裝位置，若在該安裝位置由上述工作臺(tái)支承上述基板的下表面，則利用安裝工具將上述電子部件安裝在上述基板的上表面。上述基板由平行地離開相對的一對導(dǎo)軌來支承寬度方向的兩端部，沿上述導(dǎo)軌，例如利用卡盤機(jī)構(gòu)等傳送機(jī)構(gòu)，每隔規(guī)定距離地間歇輸送。在上述基板上安裝上述電子部件的情況下，最近要提高電子部件對基板的安裝密度，所以相對于一對導(dǎo)軌的離開方向、即上述基板的寬度方向，以規(guī)定間隔安裝多列上述電子部件。即，安裝上述電子部件，使得相對于基板的寬度方向不產(chǎn)生無用的空間。因此，上述工作臺(tái)使用具有能支承去除上述基板中由上述導(dǎo)軌支承的部分的寬度尺寸的基本全長的部分之寬度尺寸的工作臺(tái)。即，工作臺(tái)使用具有比一對導(dǎo)軌的間隔稍小的寬度尺寸的工作臺(tái)。如此在基板上安裝電子部件的情況下，在變更種類等時(shí)，上述基板的尺寸會(huì)與上次時(shí)有所變更。即，基板會(huì)尺寸變更到不同的寬度尺寸。在變更基板的尺寸的情況下，對應(yīng)于該尺寸變更來設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔。與此同時(shí)，支承基板下表面的工作臺(tái)也對應(yīng)于基板的尺寸變更而更換為不同尺寸的工作臺(tái)。即，工作臺(tái)被更換成比尺寸變更后的基板的寬度尺寸稍少的寬度尺寸的工作臺(tái)。在對應(yīng)于基板的尺寸變更而將工作臺(tái)變更為不同寬度尺寸的工作臺(tái)的情況下，必須對應(yīng)于基板的尺寸變更，將該工作臺(tái)定位于按規(guī)定間隔設(shè)定的一對導(dǎo)軌間的中央，并能在寬度方向的基本全長上確實(shí)支承被支承在導(dǎo)軌上的基板的下表面。將上述工作臺(tái)可拆裝地裝配在可動(dòng)體上。該可動(dòng)體被驅(qū)動(dòng)源在水平方向及上下方向上驅(qū)動(dòng)。另外，將對應(yīng)于基板尺寸變更的尺寸的工作臺(tái)裝配在上述可動(dòng)體上。以前，在設(shè)定一對導(dǎo)軌間隔的情況下，首先以足夠大的間隔使一對導(dǎo)軌分離，將尺寸變更后的工作臺(tái)裝配在位于這些導(dǎo)軌間的上述可動(dòng)體上。接著，以寬度方向的一側(cè)面相對于一個(gè)導(dǎo)軌為規(guī)定間隔的方式相對于水平方向定位上述工作臺(tái)的同時(shí)，將上述工作臺(tái)定位成位于一對導(dǎo)軌的中心。專利文獻(xiàn)I:特開平5-55787號公報(bào)但是，在以前如上所述變更基板的尺寸的情況下，調(diào)整一對導(dǎo)軌的間隔，并且對這些導(dǎo)軌定位調(diào)整工作臺(tái)。但是，當(dāng)執(zhí)行上述一對導(dǎo)軌的間隔調(diào)整與上述工作臺(tái)相對于一對導(dǎo)軌的定位調(diào)整時(shí)，會(huì)發(fā)生作業(yè)失誤，或會(huì)裝配弄錯(cuò)尺寸的工作臺(tái)。在將上述工作臺(tái)弄錯(cuò)為比應(yīng)更換的尺寸大的工作臺(tái)的情況下，工作臺(tái)與導(dǎo)軌會(huì)干擾，若相反將工作臺(tái)弄錯(cuò)為小的工作臺(tái)，則工作臺(tái)的寬度方向的端部與導(dǎo)軌的間隔過大，不能確實(shí)支承基板的寬度方向整體，所以無法相對于基板的寬度方向以規(guī)定間隔確實(shí)安裝多個(gè)電子部件。另外，導(dǎo)軌的間隔調(diào)整時(shí)的上述作業(yè)失誤不限于變更基板尺寸的情況，在用于輸送最初基板的調(diào)整時(shí)也可能發(fā)生。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種基板的輸送裝置及輸送方法，當(dāng)對應(yīng)于輸送的基板的尺寸來設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔與支承基板的工作臺(tái)的尺寸時(shí)，能確實(shí)且迅速地執(zhí)行這些作業(yè)，并當(dāng)弄錯(cuò)工作臺(tái)的尺寸時(shí)，能檢測該情況。本發(fā)明是一種基板的輸送裝置，利用平行地離開相對而配置的一對導(dǎo)軌來支承基板的寬度方向的兩端部而進(jìn)行輸送，其特征在于具備驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在彼此接近的方向上驅(qū)動(dòng)上述一對導(dǎo)軌的至少一個(gè)；工作臺(tái)，設(shè)置在上述一對導(dǎo)軌之間，支承由上述一對導(dǎo)軌支承寬度方向兩端部的基板的下表面；噴嘴體，設(shè)置在由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的至少一個(gè)導(dǎo)軌上，使正壓或負(fù)壓的氣壓作用于位于一對導(dǎo)軌間的上述工作臺(tái)的寬度方向的端面；壓力傳感器，邊使正壓或負(fù)壓的氣壓從上述噴嘴體作用于上述工作臺(tái)的側(cè)面，邊由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向接近上述工作臺(tái)的側(cè)面的方向驅(qū)動(dòng)設(shè)置了上述噴嘴體的至少一個(gè)導(dǎo)軌，從而檢測因上述噴嘴體與上述工作臺(tái)的側(cè)面的間隔變化而產(chǎn)生的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓力變化；和控制機(jī)構(gòu)，利用該壓力傳感器檢測的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓力變化，控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，設(shè)定上述一對導(dǎo)軌的間隔。本發(fā)明是一種基板的輸送方法，利用平行地離開相對而配置的一對導(dǎo)軌來支承基板的寬度方向的兩端部而進(jìn)行輸送，其特征在于具備如下工序由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)上述一對導(dǎo)軌的至少一個(gè)，設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔的工序；利用設(shè)置在上述一對導(dǎo)軌之間的工作臺(tái)，支承由上述一對導(dǎo)軌支承寬度方向兩端部的基板的下表面的工序；使正壓或負(fù)壓的氣壓從設(shè)置在由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的至少一個(gè)導(dǎo)軌上的噴嘴體作用于位于一對導(dǎo)軌間的上述工作臺(tái)的寬度方向的端面的工序；和邊使正壓或負(fù)壓的氣壓從上述噴嘴體作用于上述工作臺(tái)的側(cè)面，邊由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向接近上述工作臺(tái)側(cè)面的方向驅(qū)動(dòng)設(shè)置了上述噴嘴體的至少一個(gè)導(dǎo)軌，由壓力傳感器檢測因上述噴嘴體與上述工作臺(tái)的側(cè)面的間隔變化而產(chǎn)生的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓力變化的工序，在設(shè)定上述一對導(dǎo)軌的間隔的工序中，利用上述壓力傳感器檢測的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓力變化，驅(qū)動(dòng)控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，不但能容易且確實(shí)地執(zhí)行對應(yīng)于基板尺寸的導(dǎo)軌的間隔設(shè)定或工作臺(tái)的設(shè)定，而且在弄錯(cuò)工作臺(tái)的尺寸的情況下還能確實(shí)檢測該情況。圖I是表示本發(fā)明第I實(shí)施方式的輸送裝置的示意構(gòu)成的俯視圖。圖2是圖I所示的輸送裝置的側(cè)視圖。圖3是矩陣狀安裝電子部件的基板的俯視圖。圖4是圖I所示的輸送裝置的控制系統(tǒng)的框圖。圖5是表示從可動(dòng)體取下工作臺(tái)、并且以最大間隔使一對導(dǎo)軌離開的狀態(tài)的輸送裝置的側(cè)視圖。圖6是表示在可動(dòng)體上裝配新的工作臺(tái)、將一對導(dǎo)軌從以最大間隔離開的狀態(tài)向接近方向驅(qū)動(dòng)的狀態(tài)的輸送裝置的側(cè)視圖。圖7是表示本發(fā)明第2實(shí)施方式的輸送裝置的示意構(gòu)成的俯視圖。圖8是表示本發(fā)明第3實(shí)施方式的輸送裝置的示意構(gòu)成的俯視圖。符號說明I導(dǎo)軌3工作臺(tái)8螺旋軸9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源13可動(dòng)體19噴嘴體21供氣管24壓力傳感器25控制裝置27設(shè)定部28蜂鳴器29編碼器具體實(shí)施例方式下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖I-圖6表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式。圖I所示的輸送裝置具備矩形基盤11。在該基盤11的上表面的寬度方向具備以規(guī)定間隔離開的一對導(dǎo)軌I。設(shè)一對導(dǎo)軌I的離開方向?yàn)閳DI所示的Χ、γ方向中的Y方向。在一對導(dǎo)軌I的上端，如圖2所示，形成有在上面卡合支承著安裝IC芯片等電子部件P的基板W的寬度方向兩端部的臺(tái)階部2。使寬度方向兩端部卡合于上述臺(tái)階部2后載置的基板W由未圖示的卡盤機(jī)構(gòu)等沿上述導(dǎo)軌I每隔規(guī)定距離地間距傳送。另外，若將上述基板W定位在規(guī)定位置、例如安裝位置，則在上述基板W由設(shè)定成比上述一對導(dǎo)軌I的相對間隔小的寬度尺寸的平面形狀為矩形的工作臺(tái)3支承其下表面后，在其上表面沿寬度方向以規(guī)定間隔安裝上述電子部件P，且相對于與寬度方向正交的長度方向?qū)⒍鄠€(gè)電子部件P安裝成一列。即，在基板W的上表面，如圖3所示，遍及寬度方向和與寬度方向正交的方向的大致整個(gè)面地矩陣狀安裝多個(gè)電子部件P。在上述一對導(dǎo)軌I的長度方向的兩端部的下端面分別設(shè)置卡合部件5。各導(dǎo)軌I的各自一對卡合部件5可移動(dòng)地卡合于配置在與上述基盤11的上述一對導(dǎo)軌I的相對方向即Y方向正交的X方向的兩端部上的一對直線導(dǎo)軌6。在上述一對導(dǎo)軌I的長度方向中央部分別設(shè)置內(nèi)螺紋體7。設(shè)置在一個(gè)導(dǎo)軌I上的內(nèi)螺紋體7與設(shè)置在另一個(gè)導(dǎo)軌I中的內(nèi)螺紋體7形成為反螺紋，在各內(nèi)螺紋體7上分別螺紋結(jié)合有螺旋軸8的、形成為方向?qū)?yīng)于上述一對內(nèi)螺紋體7的反螺紋的第I外螺紋部8a與第2外螺紋部8b。如圖I所示,上述螺旋軸8由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。若上述螺旋軸8由上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9例如沿順時(shí)針方向驅(qū)動(dòng)，則一對導(dǎo)軌I由上述螺旋軸8的反向形成的第I外螺紋部8a與第2外螺紋部Sb向接近的方向同步驅(qū)動(dòng)，若將上述螺旋軸8沿逆時(shí)針方向驅(qū)動(dòng)，則向離開的方向同步驅(qū)動(dòng)。S卩，一對導(dǎo)軌I由上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9沿相對于這些導(dǎo)軌I的相對方向的中心線即寬度方向的中心線0(圖I所示)接近的方向或背離的方向、相對上述螺旋軸8的旋轉(zhuǎn)、以相同距離驅(qū)動(dòng)，可調(diào)整沿Y方向的間隔。另外，由上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9、上述螺旋軸8構(gòu)成設(shè)定一對導(dǎo)軌I的間隔的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在上述一對導(dǎo)軌I之間配置上述工作臺(tái)3。該工作臺(tái)3可拆裝地設(shè)置在沿X、Y及Z方向驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)體13的上面。上述可動(dòng)體13如圖2所示,經(jīng)XY臺(tái)(table)14及Z臺(tái)15沿水平方向及上下方向可驅(qū)動(dòng)地設(shè)置。這些臺(tái)14、15由圖4所示的XY驅(qū)動(dòng)源16及Z驅(qū)動(dòng)源17分別沿XY方向及Z方向驅(qū)動(dòng)。定位上述可動(dòng)體13，以使沿一對導(dǎo)軌I的離開方向即Y方向的寬度方向的中心與上述一對導(dǎo)軌I的離開方向的中心線O—致，上述工作臺(tái)3的寬度方向的中心與上述可動(dòng)體13的寬度方向中心一致地可拆裝地裝配在該可動(dòng)體13上。因此，裝配在上述可動(dòng)體13上的工作臺(tái)3的寬度方向的中心與一對導(dǎo)軌I的離開方向的中心即中心線O—致。在上述一對導(dǎo)軌I的一方的長度方向的中央部，前端面向?qū)к塈的內(nèi)面?zhèn)燃匆粚?dǎo)軌I之間設(shè)置的上述工作臺(tái)3的寬度方向一側(cè)面地，設(shè)置噴嘴體19。在上述噴嘴體19上連接壓縮空氣等加壓氣體的供氣管21的前端。該供氣管21的基端經(jīng)壓力調(diào)整閥23連接于供氣源22上。并且，在上述供氣管21中，如圖I或圖4所示，在上述壓力調(diào)整閥23的下游側(cè)設(shè)置檢測上述供氣管21內(nèi)的氣體壓力變化的壓力傳感器24。設(shè)置于一個(gè)導(dǎo)軌I的噴嘴體19的前端與該前端相對的上述工作臺(tái)3的寬度方向的一側(cè)面的間隔變得越小，上述壓力傳感器24檢測的上述供氣管21內(nèi)的氣體壓力就變得越大。若上述壓力傳感器24檢測到上述供氣管21內(nèi)的上述壓力調(diào)整閥23的下游側(cè)的加壓氣體的壓力變化，則如圖4所示，將其檢測信號輸出到構(gòu)成控制機(jī)構(gòu)的控制裝置25。上述控制裝置25將上述壓力傳感器24的檢測信號與由圖4所示的設(shè)定部27事先設(shè)定的設(shè)定值S相比較。該設(shè)定值S，例如當(dāng)上述噴嘴體19的前端與上述工作臺(tái)3的側(cè)面的間隔為幾mm左右的規(guī)定間隔、例如Nmm時(shí)，設(shè)定為與上述壓力傳感器24輸出的檢測信號的輸出同等的值。如圖4所示，上述控制裝置25控制上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9、上述XY驅(qū)動(dòng)源16及上述Z驅(qū)動(dòng)源17的驅(qū)動(dòng)。在上述控制裝置25中，連接于該控制裝置25的上述設(shè)定部27除上述設(shè)定值S外，還能進(jìn)行對應(yīng)于支承在一對導(dǎo)軌I上輸送的基板W的寬度尺寸的一對導(dǎo)軌I的間隔等各種設(shè)定。在上述控制裝置25上連接有蜂鳴器28(如圖4所示)，當(dāng)由上述壓力傳感器24檢測到的壓力比控制裝置25中設(shè)定的設(shè)定值S大時(shí)、該蜂鳴器28輸出警報(bào)。并且，如圖4所示，向上述控制裝置25輸入來自檢測基于上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9的上述螺旋軸8的轉(zhuǎn)速的編碼器29的檢測信號。上述控制裝置25可利用來自上述編碼器29的檢測信號來檢測上述螺旋軸8的轉(zhuǎn)速、即對應(yīng)于基板W的寬度尺寸的一對導(dǎo)軌I的間隔。由控制裝置25將上述編碼器29的檢測信號與由上述設(shè)定部27設(shè)定的、與基板W的寬度尺寸對應(yīng)的一對導(dǎo)軌I的間隔相比較，若其差基本為O、即一對導(dǎo)軌I的間隔為最適于支承所設(shè)定的基板W的間隔，則停止由上述控制裝置25驅(qū)動(dòng)上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9，結(jié)束一對導(dǎo)軌I的間隔設(shè)定。接著，參照圖5與圖6來說明上述構(gòu)成的輸送裝置中、對應(yīng)于基板W的尺寸變更、導(dǎo)軌I與工作臺(tái)3A的對位。首先，如圖5所示，在將輸送裝置的一對導(dǎo)軌I自動(dòng)打開事先設(shè)定的最大間隔之后，由設(shè)定部27將輸送的基板W的寬度尺寸、即一對導(dǎo)軌I的間隔輸入設(shè)定于控制裝置25，再從可動(dòng)體13取下工作臺(tái)3。接著，如圖6所示，將寬度尺寸對應(yīng)于供給到輸送裝置的基板W的寬度尺寸的工作臺(tái)3A裝配到上述可動(dòng)體13上。在本實(shí)施方式中，工作臺(tái)3A的寬度尺寸比更換前的工作臺(tái)3A的大。若如此工作臺(tái)3A的更換結(jié)束，則邊從供氣源22向噴嘴體19供給由壓力調(diào)整閥23設(shè)定為規(guī)定壓力的加壓氣體，邊由上述控制裝置25開始輸送裝置的一對導(dǎo)軌I的間隔的自動(dòng)設(shè)定。若開始自動(dòng)設(shè)定,則旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9動(dòng)作,例如順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)螺旋軸8。由此，如圖5所示，以最大間隔離開的一對導(dǎo)軌I沿直線導(dǎo)軌6向圖6中箭頭+Y與-Y所示彼此接近的方向驅(qū)動(dòng)。另外，如圖6所示，若設(shè)置在一個(gè)直線導(dǎo)軌6上的噴嘴體19的前端與該噴嘴體19的前端相對的工作臺(tái)3A的側(cè)面3a的間隔逐漸變小，則從上述噴嘴體19的前端開口噴射的壓力氣體的阻力增大，所以流過連接于上述噴嘴體19的供氣管21內(nèi)的上述壓力調(diào)整閥23的下游側(cè)的氣體壓力上升。流過上述供氣管21的氣體的壓力由壓力傳感器24檢測，將其檢測信號輸出到控制裝置25，由該控制裝置25比較檢測信號的檢測值與控制裝置25中設(shè)定的設(shè)定值S。之后，壓力傳感器24檢測的壓力、即檢測值與控制裝置25中設(shè)定的設(shè)定值相等，且上述編碼器29檢測的基于上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9的上述螺旋軸8的轉(zhuǎn)速、即一對導(dǎo)軌I的間隔與對應(yīng)于控制裝置25中事先設(shè)定的基板W的寬度尺寸的一對導(dǎo)軌的間隔基本相同時(shí)，停止由上述控制裝置25驅(qū)動(dòng)上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9。S卩，一對導(dǎo)軌I的間隔設(shè)定結(jié)束。在這種構(gòu)成中，例如在將對應(yīng)于基板W的寬度尺寸更換的工作臺(tái)3的寬度尺寸例如錯(cuò)更換成小的寬度尺寸的情況下，即便一對導(dǎo)軌I為所設(shè)定的間隔，也處于壓力傳感器24檢測的壓力比設(shè)定值S低的狀態(tài)。在這種情況下，由控制裝置25檢測工作臺(tái)3異常，根據(jù)該檢測，蜂鳴器28鳴叫，在讓作業(yè)者知道異常的同時(shí)，停止一對導(dǎo)軌I的驅(qū)動(dòng)。相反，在將對應(yīng)于基板W的寬度尺寸更換的工作臺(tái)3A的寬度尺寸例如錯(cuò)更換成大的寬度尺寸的情況下，在一對導(dǎo)軌I為所設(shè)定的間隔之前，壓力傳感器24檢測的壓力比設(shè)定值S高。在這種情況下，控制裝置25也檢測到工作臺(tái)3A的寬度尺寸異常，根據(jù)該檢測，蜂鳴器28鳴叫，在讓作業(yè)者知道異常的同時(shí)，停止一對導(dǎo)軌I的驅(qū)動(dòng)。即，根據(jù)上述構(gòu)成的輸送裝置，對應(yīng)于基板W的寬度尺寸的變更，將支承該基板W下表面的工作臺(tái)3更換為比上述基板W的寬度尺寸稍小的不同寬度尺寸的工作臺(tái)，并相對于上述工作臺(tái)3、對應(yīng)于基板W的寬度尺寸定位一對導(dǎo)軌I的間隔的情況下，可自動(dòng)且正確地執(zhí)行上述一對導(dǎo)軌I的定位。并且，在將應(yīng)更換的工作臺(tái)3的寬度尺寸錯(cuò)弄成比基板W的寬度尺寸小或大的寬度尺寸而進(jìn)行更換的情況下，利用壓力傳感器24檢測的噴嘴體19與工作臺(tái)3的側(cè)面間隔、及由編碼器29檢測的一對導(dǎo)軌I的間隔、與相對于控制裝置25中設(shè)定的基板W的寬度尺寸的一對導(dǎo)軌I的間隔的比較，僅在更換后的工作臺(tái)3A的寬度尺寸適應(yīng)于基板W的寬度尺寸的情況下，才定位成一對導(dǎo)軌I為規(guī)定的間隔，否則，在檢測到此情況的時(shí)刻，停止驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌1，并由蜂鳴器28警報(bào)異常。因此，在更換為相對于基板W的寬度尺寸不適當(dāng)?shù)膶挾瘸叽绲墓ぷ髋_(tái)3A的情況下，能確實(shí)檢測該情況，所以在弄錯(cuò)為寬度尺寸大的工作臺(tái)3A的情況下，能確實(shí)防止導(dǎo)軌I撞上工作臺(tái)3A后導(dǎo)致變形等損傷，在弄錯(cuò)為寬度尺寸小的工作臺(tái)3A的情況下，能確實(shí)防止以不能確實(shí)支承基板W的寬度方向的基本全長的狀態(tài)下、執(zhí)行電子部件的安裝、導(dǎo)致安裝故障等。在第I實(shí)施方式中，舉例說明了能沿水平方向和上下方向驅(qū)動(dòng)定位工作臺(tái)3的構(gòu)成，但當(dāng)將上述工作臺(tái)3裝配在可動(dòng)體13上時(shí)，若工作臺(tái)3的寬度方向中心與一對導(dǎo)軌I的相對方向的中心線O—致，則只要是上述工作臺(tái)3不相對于X、Y驅(qū)動(dòng)、僅能沿Z方向驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成即可。圖7示出本發(fā)明的第2實(shí)施方式。在第2實(shí)施方式中，在一對導(dǎo)軌I之間，設(shè)置多個(gè)、在本實(shí)施方式中為至少寬度方向(Y方向)尺寸為相同尺寸的3個(gè)工作臺(tái)，即第I-第3工作臺(tái)3Χ-3Ζ。各工作臺(tái)3Χ-3Ζ可相對于水平方向與上下方向中至少上下方向定位驅(qū)動(dòng)。沿一對導(dǎo)軌I輸送的基板W在對應(yīng)于第I工作臺(tái)3Χ的位置預(yù)熱，在對應(yīng)于第2工作臺(tái)3Υ的位置在預(yù)熱后的基板W上安裝電子部件P。在對應(yīng)于第3工作臺(tái)3Ζ的位置慢冷卻安裝了電子部件P的基板W。在一對導(dǎo)軌I的一方的、例如對應(yīng)于第2工作臺(tái)3Y的側(cè)面的部位，設(shè)置噴嘴體19。另外，一對導(dǎo)軌I利用上述噴嘴體19檢測的氣體的壓力變化，與第I實(shí)施方式一樣，進(jìn)行間隔設(shè)定。S卩，若使用噴嘴體19進(jìn)行一對導(dǎo)軌I的間隔設(shè)定，則即便是具有3個(gè)工作臺(tái)3X-3Z的輸送裝置，也能利用檢測從I個(gè)噴嘴體19向第2工作臺(tái)3Y的側(cè)面噴射的氣體的壓力變化的I個(gè)壓力傳感器24的檢測信號，設(shè)定一對導(dǎo)軌I的間隔。即，因?yàn)椴皇褂脭?shù)量對應(yīng)于工作臺(tái)3X-3Z的數(shù)量的壓力傳感器24即可，所以能實(shí)現(xiàn)構(gòu)成的簡化或成本下降。在上述第2實(shí)施方式中，舉例說明了對3個(gè)工作臺(tái)設(shè)置I個(gè)噴嘴體的實(shí)例，但也可在導(dǎo)軌的對應(yīng)于各工作臺(tái)的側(cè)面的部位分別設(shè)置噴嘴體。據(jù)此，即便在裝配尺寸與各工作臺(tái)中I個(gè)或2個(gè)以上的工作臺(tái)、即至少I個(gè)工作臺(tái)不同的工作臺(tái)的情況下，若流過3個(gè)噴嘴體中至少I個(gè)噴嘴體的氣體壓力變化，則也能利用設(shè)置在供氣管中的I個(gè)壓力傳感器來檢測該情況。S卩，在存在多個(gè)工作臺(tái)的情況下，若設(shè)置數(shù)量對應(yīng)于工作臺(tái)數(shù)量的噴嘴體，則能利用I個(gè)壓力傳感器來容易定位工作臺(tái)，并確實(shí)地執(zhí)行弄錯(cuò)尺寸而裝配了的工作臺(tái)的檢測。例如，在設(shè)置光學(xué)傳感器來代替噴嘴體的情況下，對于各光學(xué)傳感器需要各自控制用的放大器，但通過從噴嘴體噴射氣體，能僅使用I個(gè)壓力傳感器來檢測，所以能簡化整體構(gòu)成。另外，在第2實(shí)施方式中，向與第I實(shí)施方式相同的部分附加相同記號，省略說明。圖8是本發(fā)明的第3實(shí)施方式。該實(shí)施方式中，一對導(dǎo)軌I中、一個(gè)導(dǎo)軌I可由直線導(dǎo)軌6沿Y方向移動(dòng)地設(shè)置，另一個(gè)導(dǎo)軌I固定設(shè)置于基盤11。在上述一個(gè)導(dǎo)軌I的一端部設(shè)置內(nèi)螺紋體7，在該內(nèi)螺紋體7上螺紋結(jié)合由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的第I螺旋軸31。由此，一個(gè)導(dǎo)軌I沿相對于固定配置在基盤11上的另一個(gè)導(dǎo)軌I接近分離的方向驅(qū)動(dòng)。另一方面，可更換地載置工作臺(tái)3的可動(dòng)體13與第I實(shí)施方式一樣，設(shè)置在Z臺(tái)15上，該Z臺(tái)15由Z驅(qū)動(dòng)源17沿上下方向驅(qū)動(dòng)。圖8中省略上述可動(dòng)體13及Z臺(tái)15。上述Z臺(tái)15載置在可沿一對導(dǎo)軌I的相對方向即Y方向移動(dòng)的Y臺(tái)18上。在該Y臺(tái)18上螺紋結(jié)合有軸線與上述第I螺旋軸31平行地配置的第2螺旋軸32的一端側(cè)。上述第2螺旋軸32的另一端可旋轉(zhuǎn)地支承在上述基盤11上所設(shè)置的軸承30上，中途部插通于一個(gè)導(dǎo)軌I上所形成的通孔37中。上述第2螺旋軸32與上述第I螺旋軸31—樣，由上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。即，在上述第I螺旋軸31的一端部嵌著驅(qū)動(dòng)鏈輪33，在第2螺旋軸32的另一端部嵌著與上述驅(qū)動(dòng)鏈輪33同徑的從動(dòng)鏈輪34。在這些鏈輪33、34上張?jiān)O(shè)有鏈條35。因此，若第I螺旋軸31旋轉(zhuǎn)，則第2螺旋軸32聯(lián)動(dòng)于該旋轉(zhuǎn)。將上述第I螺旋軸31的間距設(shè)定為上述第2螺旋軸32的間距的2倍間隔。因此，若旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第I、第2螺旋軸31、32，則上述第I螺旋軸31螺紋結(jié)合的一個(gè)導(dǎo)軌I以與設(shè)置上述工作臺(tái)3的可動(dòng)體13成倍的距離，沿接近另一個(gè)導(dǎo)軌I的方向或背離的方向驅(qū)動(dòng)。另外，與第I實(shí)施方式一樣，在上述一個(gè)導(dǎo)軌I中設(shè)置噴嘴體19，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)第I、第2螺旋軸31、32的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9的旋轉(zhuǎn)由編碼器29檢測后，輸出到控制裝置25。另外，在該第3實(shí)施方式中，向與第I實(shí)施方式相同的部分附加相同記號，省略說明。設(shè)置成當(dāng)使一個(gè)導(dǎo)軌I相對于另一個(gè)導(dǎo)軌I沿打開方向移動(dòng)最大限度的初始狀態(tài)時(shí)，上述工作臺(tái)3的寬度方向的中心線與一對導(dǎo)軌I的間隔的中心線一致。S卩，當(dāng)上述初始狀態(tài)時(shí)，設(shè)定上述工作臺(tái)3的Y方向的位置，以便當(dāng)設(shè)另一個(gè)導(dǎo)軌I與工作臺(tái)3的一個(gè)側(cè)面3a的間隔為dl時(shí)，一個(gè)導(dǎo)軌I與工作臺(tái)3的另一個(gè)側(cè)面3b的間隔為dl=d2ο根據(jù)這種構(gòu)成，若設(shè)置噴嘴體19的一個(gè)導(dǎo)軌I通過由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的第I螺旋軸31的旋轉(zhuǎn)、從全開位置向接近工作臺(tái)3的方向驅(qū)動(dòng)，則該工作臺(tái)3通過第2螺旋軸32的旋轉(zhuǎn)，向接近另一個(gè)導(dǎo)軌I的方向，以一個(gè)導(dǎo)軌I的移動(dòng)量的一半移動(dòng)量移動(dòng)。從設(shè)置在一個(gè)導(dǎo)軌I的噴嘴體19噴射氣體。之后，若噴嘴體19接近工作臺(tái)3的一側(cè)面，則向該噴嘴體19供給氣體的供氣管21內(nèi)的壓力上升，由壓力傳感器24檢測該壓力上升。若壓力傳感器24檢測的壓力變?yōu)榭刂蒲b置25中設(shè)定的設(shè)定值S，且由編碼器29檢測的一個(gè)導(dǎo)軌I的移動(dòng)量變?yōu)榭刂蒲b置25中設(shè)定的移動(dòng)量、即一對導(dǎo)軌I的間隔變?yōu)閷?yīng)于尺寸變更的基板W的寬度尺寸的移動(dòng)量，則停止由上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源9驅(qū)動(dòng)一個(gè)導(dǎo)軌I。這與第I實(shí)施方式相同。S卩，根據(jù)上述構(gòu)成的輸送裝置，因?yàn)楣ぷ髋_(tái)3的移動(dòng)量為一個(gè)導(dǎo)軌I的驅(qū)動(dòng)量的1/2，所以即便是僅驅(qū)動(dòng)一個(gè)導(dǎo)軌I的構(gòu)成，也能對應(yīng)于基板W的尺寸變更將上述工作臺(tái)3的寬度方向的中心定位成與一對導(dǎo)軌I間的相對方向的中心一致。在上述各實(shí)施方式中，舉例說明了從噴嘴體向工作臺(tái)側(cè)面噴射氣體、即作用正壓的情況，但也可向噴嘴體作用負(fù)壓來代替從噴嘴體噴射氣體，利用對應(yīng)于噴嘴體與工作臺(tái)的側(cè)面的間隔而變化的負(fù)壓變化來使壓力傳感器動(dòng)作。此時(shí)，若向關(guān)閉方向驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌、噴嘴體的前端接近工作臺(tái)的側(cè)面，則作用于噴嘴體的負(fù)壓變大，所以能利用上述壓力傳感器來檢測噴嘴體的前端與工作臺(tái)側(cè)面的間隔。另外，在將工作臺(tái)誤更換為比確定的寬度尺寸小的工作臺(tái)的情況下，即便一對導(dǎo)軌的間隔為設(shè)定間隔，也因?yàn)樽饔糜趪娮祗w的負(fù)壓基本無變化，所以與使正壓作用于噴嘴體的情況一樣，能檢測到該情況。相反，在將工作臺(tái)誤更換為比確定的寬度尺寸大的工作臺(tái)的情況下，因?yàn)橐粚?dǎo)軌的間隔變?yōu)樵O(shè)定間隔之前，作用于噴嘴體的負(fù)壓變大，由壓力傳感器檢測該情況，所以檢測到工作臺(tái)比設(shè)定的寬度尺寸大。另外，在上述各實(shí)施方式中，因?yàn)閮H在設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔的情況下使正壓或負(fù)壓作用于噴嘴體，所以若一對導(dǎo)軌的間隔設(shè)定結(jié)束，則能不使正壓或負(fù)壓作用于上述噴嘴體地進(jìn)行基板的輸送。因此，在一對導(dǎo)軌的間隔設(shè)定結(jié)束之后，作用于噴嘴體的正壓或負(fù)壓不影響周圍。例如，在第2實(shí)施方式中設(shè)置3個(gè)工作臺(tái)的情況下，能防止第I工作臺(tái)的預(yù)熱溫度、第2工作臺(tái)的安裝溫度或第3工作臺(tái)的慢冷卻溫度變動(dòng)。并且，因?yàn)樵诠ぷ髋_(tái)的周圍無塵埃飛舞，所以能防止污染基板或電子部件。另外，在上述實(shí)施方式中將噴嘴體僅組入一個(gè)導(dǎo)軌中，但也可組入另一個(gè)導(dǎo)軌中。由此，即便在工作臺(tái)相對于一對導(dǎo)軌不對稱的情況下，也能對應(yīng)。另外，在上述實(shí)施方式中，說明了基板尺寸變更的情況下的導(dǎo)軌的調(diào)整，但本發(fā)明也可適用于最初的用于輸送基板的調(diào)整時(shí)。權(quán)利要求1.ー種基板的輸送裝置，利用平行地離開相對而配置的一對導(dǎo)軌來支承基板的寬度方向的兩端部而進(jìn)行輸送，其特征在于具備驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在彼此接近的方向上驅(qū)動(dòng)上述一對導(dǎo)軌的至少ー個(gè)；工作臺(tái)，設(shè)置在上述ー對導(dǎo)軌之間，支承由上述一對導(dǎo)軌支承寬度方向兩端部的基板的下表面；噴嘴體，設(shè)置在由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的至少ー個(gè)導(dǎo)軌上，使正壓或負(fù)壓的氣壓作用于位于ー對導(dǎo)軌間的上述工作臺(tái)的寬度方向的端面；壓カ傳感器，邊使正壓或負(fù)壓的氣壓從上述噴嘴體作用于上述工作臺(tái)的側(cè)面，邊由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向接近上述工作臺(tái)的側(cè)面的方向驅(qū)動(dòng)設(shè)置了上述噴嘴體的至少ー個(gè)導(dǎo)軌，從而檢測因上述噴嘴體與上述工作臺(tái)的側(cè)面的間隔變化而產(chǎn)生的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓カ變化；和控制機(jī)構(gòu)，利用該壓カ傳感器檢測的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓カ變化，控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，設(shè)定上述一對導(dǎo)軌的間隔。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板的輸送裝置，其特征在于當(dāng)由上述壓カ傳感器檢測到流過上述噴嘴體的上述氣體的壓カ達(dá)到事先設(shè)定的規(guī)定值時(shí)，上述控制機(jī)構(gòu)使上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)停止驅(qū)動(dòng)上述導(dǎo)軌。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板的輸送裝置，其特征在于上述控制機(jī)構(gòu)中設(shè)有設(shè)定上述基板的尺寸的設(shè)定部；和警報(bào)機(jī)構(gòu)，當(dāng)由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)至少ー個(gè)設(shè)置了上述噴嘴體的上述導(dǎo)軌并設(shè)定ー對導(dǎo)軌的間隔時(shí)，在一對導(dǎo)軌的間隔變?yōu)橛缮鲜鲈O(shè)定部設(shè)定的基板間隔之前、上述壓カ傳感器檢測的氣體壓力變?yōu)樵O(shè)定值時(shí)，告知上述工作臺(tái)的寬度尺寸比與上述基板相對應(yīng)的寬度尺寸大，在即便ー對導(dǎo)軌的間隔變?yōu)樯鲜鲈O(shè)定部設(shè)定的、對應(yīng)于上述基板的間隔，上述壓カ傳感器檢測的氣體壓カ也不變?yōu)樵O(shè)定值時(shí)，告知上述工作臺(tái)的寬度尺寸比與上述基板相對應(yīng)的寬度尺寸小。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板的輸送裝置，其特征在于當(dāng)上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)ー對導(dǎo)軌時(shí)，使上述一對導(dǎo)軌沿接近上述工作臺(tái)的方向同步驅(qū)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板的輸送裝置，其特征在于當(dāng)上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)僅驅(qū)動(dòng)ー對導(dǎo)軌中的ー個(gè)時(shí)，相對于上述導(dǎo)軌的驅(qū)動(dòng)，沿與上述ー個(gè)導(dǎo)軌相同的方向、以上述ー個(gè)導(dǎo)軌的1/2距離驅(qū)動(dòng)上述工作臺(tái)。6.ー種基板的輸送方法，利用平行地離開相對而配置的一對導(dǎo)軌來支承基板的寬度方向的兩端部而進(jìn)行輸送，其特征在于具備如下エ序由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)上述一對導(dǎo)軌的至少ー個(gè)，設(shè)定ー對導(dǎo)軌的間隔的エ序；利用設(shè)置在上述一對導(dǎo)軌之間的工作臺(tái)，支承由上述一對導(dǎo)軌支承寬度方向兩端部的基板的下表面的エ序；使正壓或負(fù)壓的氣壓從設(shè)置在由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的至少ー個(gè)導(dǎo)軌上的噴嘴體作用于位于ー對導(dǎo)軌間的上述工作臺(tái)的寬度方向的端面的エ序；和邊使正壓或負(fù)壓的氣壓從上述噴嘴體作用于上述工作臺(tái)的側(cè)面，邊由上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)向接近上述工作臺(tái)側(cè)面的方向驅(qū)動(dòng)設(shè)置了上述噴嘴體的至少ー個(gè)導(dǎo)軌，由壓力傳感器檢測因上述噴嘴體與上述工作臺(tái)的側(cè)面的間隔變化而產(chǎn)生的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓カ變化的エ序，在設(shè)定上述一對導(dǎo)軌的間隔的エ序中，利用上述壓カ傳感器檢測的、流過上述噴嘴體的上述氣體的壓カ變化，驅(qū)動(dòng)控制上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔。全文摘要本發(fā)明提供一種基板的輸送裝置和輸送方法。該基板的輸送裝置具備設(shè)定一對導(dǎo)軌(1)的間隔的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源(9)；支承由一對導(dǎo)軌支承寬度方向兩端部的基板的下面的工作臺(tái)(3)；噴嘴體(19)，使正壓或負(fù)壓的氣壓作用于位于一對導(dǎo)軌間的工作臺(tái)的寬度方向的端面；壓力傳感器(24)，當(dāng)伴隨基板的尺寸變更、工作臺(tái)更換為不同寬度尺寸的工作臺(tái)時(shí)，通過邊使氣壓從噴嘴體作用于更換后的工作臺(tái)的側(cè)面，邊向接近工作臺(tái)側(cè)面的方向驅(qū)動(dòng)設(shè)置了噴嘴體的導(dǎo)軌，檢測因噴嘴體與工作臺(tái)的側(cè)面的間隔變化而產(chǎn)生的氣體的壓力變化；和控制裝置，利用壓力傳感器檢測的、流過噴嘴體的氣體的壓力變化，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)，設(shè)定一對導(dǎo)軌的間隔。文檔編號H01L21/677GK102760677SQ20121018254公開日2012年10月31日申請日期2012年4月20日優(yōu)先權(quán)日2011年4月22日發(fā)明者上原貞人,佐藤裕一申請人:芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社