專利名稱：襯底輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使玻璃襯底在輸送路徑上浮起而進(jìn)行輸送的襯底輸送裝 置，該玻璃襯底是用于例如大型液晶顯示(下面，省略為LCD)和等離子顯 示面板(下面，省略為PDP)等平板顯示器(下面，省略為FPD)等。
背景技術(shù)：
近年來，為了對應(yīng)屏幕的大型化和減少成本的要求，F(xiàn)PD領(lǐng)域中FPD 制造工藝中所處理的玻璃襯底的大小有日益大型化的傾向。作為FPD制造 工藝中輸送大型玻璃襯底的方法，已知有采用使用了滾筒的滾動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)。
例如在專利公開公報(bào)2000 —193604號和專利公開公報(bào)2000—9661號 中記載著輸送大型玻璃襯底的技術(shù)。前者通過使一對支撐滾筒機(jī)構(gòu)僅接觸 被檢查襯底(相當(dāng)于玻璃襯底)下面的左右兩側(cè)來進(jìn)行支撐，且通過與玻 璃襯底的左右端對接的一對限制滾筒機(jī)構(gòu)來限制左右方向的位置。另外， 由于玻璃襯底的中間部分因重力而向下方彎曲，所以為了限制該玻璃襯底 的彎曲，而向玻璃襯底的下面噴射壓力空氣。
后者通過滾動(dòng)輸送部將玻璃襯底輸送到缺陷檢查部，定位玻璃襯底， 并通過夾持機(jī)構(gòu)夾持玻璃襯底的端部來進(jìn)行缺陷檢查。缺陷檢查時(shí)，為了 不接觸地支撐玻璃襯底，從空氣浮起臺(tái)上設(shè)置的排氣口中排出高壓空氣后， 將玻璃襯底的高度保持為一定。
但是，前者的玻璃襯底的輸送由于使用了一對支撐滾筒機(jī)構(gòu)和一對限 制滾筒機(jī)構(gòu)，故若高速輸送玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動(dòng) 面上產(chǎn)生了滾筒的摩擦痕跡。
后者為了通過滾動(dòng)輸送部來輸送玻璃襯底，與前者相同，若高速輸送玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動(dòng)面上產(chǎn)生了滾筒的摩擦痕跡。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種在非接觸狀態(tài)下進(jìn)行輸送，可進(jìn)行不 刮傷玻璃襯底的高速輸送的襯底輸送裝置。
根據(jù)本發(fā)明的主要觀點(diǎn)，提供了一種襯底輸送裝置，輸送平板顯示器 制造工藝中所制造的襯底，其特征在于，包括襯底浮起塊，形成為相對 于上述襯底的輸送方向的垂直方向上的寬度比上述襯底的寬度短，浮起上 述襯底；定位單元，設(shè)置在上述襯底浮起塊上，在浮起了上述襯底的狀態(tài) 下進(jìn)行定位；以及襯底輸送單元，沿上述襯底浮起塊可移動(dòng)地配置，在浮 起了由上述定位單元進(jìn)行了定位的上述襯底的狀態(tài)下，吸附保持上述襯底 的背面并向輸送方向輸送。


圖1是表示本發(fā)明涉及的襯底輸送裝置的第一實(shí)施例的平面結(jié)構(gòu)圖； 圖2是同一裝置的側(cè)面結(jié)構(gòu)圖3是同一裝置中，在襯底裝載臺(tái)1上浮起的玻璃襯底的示意圖； 圖4是同一裝置中的玻璃襯底的空氣輸送動(dòng)作的示意圖； 圖5是同一裝置中的定位動(dòng)作的示意圖； 圖6是同一裝置中的定位動(dòng)作的示意圖； 圖7是同一裝置中的定位動(dòng)作的示意圖8是同一裝置中的定位動(dòng)作后的輸送玻璃襯底輸送的示意圖； 圖9是表示本發(fā)明涉及的襯底輸送裝置的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖； 圖10是同一裝置中的在浮起塊上形成的多個(gè)槽的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的第一實(shí)施例。
圖1是將襯底(基板)輸送裝置適用于大型LCD和PDP等的FPD工序 的成線檢查情況下的平面結(jié)構(gòu)圖，圖2是同一裝置的側(cè)面 結(jié)構(gòu)圖。將搬入用的襯底裝載臺(tái)1設(shè)置在減振臺(tái)2上。該襯底裝載臺(tái)1裝載所 搬入的玻璃襯底3，其寬度(與輸送方向C垂直的方向)形成為比玻璃襯底 3的寬度稍短。在該襯底裝載臺(tái)1的上面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸入的多個(gè) 空氣孔4。另外，這些空氣孔4也可大致有規(guī)則地設(shè)置在襯底裝載臺(tái)1的整 個(gè)面上。該襯底裝載臺(tái)1上，在相對于輸送方向C為平行方向且相隔預(yù)定 間隔地形成兩條槽5。另外，在襯底裝載臺(tái)1上設(shè)置玻璃襯底3搬入時(shí)升降 的多個(gè)抬升銷(U 7卜t' 6。
在襯底裝載臺(tái)1的相對于輸送方向C垂直方向的入口側(cè)設(shè)置搬入用輸 送機(jī)器人7。該搬入用輸送機(jī)器人7通過圖中未示的多關(guān)節(jié)臂使兩個(gè)手臂8 旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)與后退，同時(shí)從盒子中取出未檢查的玻璃襯底3，并搬入到襯底 裝載臺(tái)1上。
在襯底裝載臺(tái)1的出口側(cè)，沿輸送方向C并列設(shè)置輸送架臺(tái)9。該輸 送架臺(tái)9形成為長度從玻璃襯底3的搬入側(cè)到搬出側(cè)。將該輸送架臺(tái)9裝 載在減振臺(tái)10上。
從該輸送架臺(tái)9上的搬入側(cè)到搬出側(cè)，貫穿該搬入側(cè)與搬出側(cè)的全長 設(shè)置浮起塊11。該浮起塊11形成為其寬度(相對于輸送方向C的垂直方向) 比玻璃襯底3的寬度稍短。在該浮起塊11的上面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸 入的多個(gè)空氣孔12。另外，也可在浮起塊11的整個(gè)面上大致均勻地設(shè)置這 些空氣孔12。在該浮起塊11上，與輸送方向C為平行方向且相隔預(yù)定的間 隔地形成兩條槽13。浮起塊11的表面高度與襯底裝載臺(tái)1的表面高度大致 相同。
在輸送架臺(tái)9的輸送方向C上的大致中間位置上設(shè)置對以一定速度進(jìn) 行輸送的玻璃襯底3進(jìn)行各種檢查的檢查部E。該檢査部E例如將顯微鏡、 線傳感器(， < > 七 > 廿)或CCD攝像機(jī)等各種檢査用設(shè)備14搭載在門型 臂15上。例如，檢查用設(shè)備14通過所排列的多個(gè)線傳感器取得玻璃襯底3 的圖像數(shù)據(jù)。并且，通過圖像處理該圖像數(shù)據(jù)等來進(jìn)行例如玻璃襯底3的 圖像檢查、缺陷檢査等。
在輸送架臺(tái)9的出口側(cè)，沿輸送方向C并列設(shè)置搬出用的襯底裝載臺(tái) 16。將該襯底裝載臺(tái)16設(shè)置在減振臺(tái)17上。該襯底裝載臺(tái)16為了搬出從 浮起塊11輸送來的玻璃襯底3而進(jìn)行暫時(shí)裝載，其寬度(相對于輸送方向C的垂直方向)形成為比玻璃襯底3的寬度稍短。在該襯底裝載臺(tái)16的上 面設(shè)置兼用作空氣上吹和吸入的多個(gè)空氣孔18。另外，也可在襯底裝載臺(tái) 16的整個(gè)面上大致有規(guī)則地設(shè)置這些空氣孔18。該襯底裝載臺(tái)16上相對 于輸送方向C為平行方向且相隔預(yù)定間隔地形成兩條槽19。另外，在襯底 裝載臺(tái)16上設(shè)置玻璃襯底3搬出時(shí)升降的多個(gè)抬升銷20。襯底裝載臺(tái)16 的表面高度與浮起塊11的表面高度大致相同。
在襯底裝載臺(tái)16的與輸送方向C為垂直方向的出口側(cè)上設(shè)置搬出用輸 送機(jī)器人21。該搬出用輸送機(jī)器人通過圖中未示的多關(guān)節(jié)臂使兩個(gè)手臂旋 轉(zhuǎn)、前進(jìn)和后退，同時(shí)將檢查完的玻璃襯底3容納到盒子內(nèi)。
在輸送架臺(tái)9和減振臺(tái)17上，沿輸送方向C彼此平行地設(shè)置多組夾著 浮起塊11和襯底裝載臺(tái)16的各一對滑塊23 28。 一對滑塊23、 24和27、 28設(shè)置在一對滑塊25、 26的更外側(cè)。另外，將這些滑塊23 28的高度位 置設(shè)置為相同。
將一對滑塊23、 24設(shè)置在輸送架臺(tái)9入口側(cè)的定位(7，0乂卜) 部A上。在這些滑塊23、24上分別可移動(dòng)地設(shè)置成為一對的各輸送端部29、 30。這些輸送端部29、 30具有分別可沿上下方向伸縮且自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)置 的各臂29a、 30a;在這些臂29a、 30a的前端部設(shè)置的，分別吸附保持玻璃 襯底3背面的兩端部的各吸附襯墊29b、 30b;設(shè)置在各輸送端部29、 30 內(nèi)，且使各臂29a、 30a沿與輸送方向C垂直的方向移動(dòng)的各推桿(7'， > 、乂 ^ )。
將一對滑塊25、 26設(shè)置在定位部(校準(zhǔn)部)A的出口側(cè)與輸送架臺(tái)9 的出口側(cè)之間。在這些滑塊25、 26上分別可移動(dòng)地設(shè)置成為一對的各輸送 端部31、 32。這些輸送端部31、 32與各輸送端部29、 30相同，具有各臂 31a、 32a和各吸附襯墊31b、 32b。
將一對滑塊27、 28設(shè)置在輸送架臺(tái)9的出口側(cè)與襯底裝載臺(tái)16的出 口側(cè)之間。在這些滑塊27、 28上分別可移動(dòng)地設(shè)置成為一對的各輸送端部 33、 34。這些輸送端部33、 34與各輸送端部29、 30相同，具有各臂33a、 34a和各吸附襯墊33b、 34b。
另外，由于一對滑塊23、 24和27、 28被設(shè)置在一對滑塊25、 26的更 外側(cè)，所以設(shè)定各臂29a、 30a、 33a、 34a的長度，使得各滑塊23、 24和
27、 28的各吸附襯墊29b、 30b、 33b、 34b的位置與各滑塊25、 26的各吸 附襯墊31b、 32b的位置相同。
另外，若為可沿XY方向微小移動(dòng)用于保持玻璃襯底3的各臂29a、30a、 31a、 32a、 33a、 34a的結(jié)構(gòu)，則這些輸送端部29、 30、 31、 32、 33、 34 也可以是任意結(jié)構(gòu)。
在浮起塊11上的定位部A上設(shè)置3個(gè)定位傳感器43 45。這些定位 傳感器43 45檢測玻璃襯底3的彼此正交的兩條邊(縱、橫)的各個(gè)邊緣， 并輸出表示其邊緣位置的檢測信號。這些定位傳感器43 45是分別按線狀 排列多個(gè)檢測元件的線傳感器。
定位傳感器43在浮起塊11寬度方向的中間位置，沿與輸送方向C相 同方向地設(shè)置線檢測方向。該定位傳感器43在定位部A中檢測浮起停止的 玻璃襯底3在輸送方向C的前側(cè)邊緣。
在浮起塊11的側(cè)面相隔預(yù)定間隔設(shè)置各定位傳感器44、 45。沿使線 檢測方向相對于輸送方向C為垂直的方向來設(shè)置這些定位傳感器44、 45。 這些定位傳感器44、 45在定位部A中檢測浮起停止的玻璃襯底3在與輸送 方向C相同方向上的邊緣。
另一方面，壓縮空氣供給部46通過管道與搬入用的襯底裝載臺(tái)1、浮 起塊11、搬出用的襯底裝載臺(tái)16的各空隙部連通，并分別有選擇地供給壓 縮空氣而從各空氣孔4、 12、 18上吹壓縮空氣，并在搬入用的襯底裝載臺(tái)1、 浮起塊ll或搬出用的襯底裝載臺(tái)16上使玻璃襯底3浮起。另外，壓縮空 氣供給部46從各空氣孔4、 12、 18上吹具有除電效果的空氣、例如由等離
子或負(fù)離子離子化后的空氣。
真空吸附部47通過管道與搬入用的襯底裝載臺(tái)1、浮起塊ll、搬出用 的襯底裝載臺(tái)16的各空隙部連通，并分別有選擇地抽成真空，而經(jīng)各空氣 孔4、 12、 18使玻璃襯底3吸附保持在搬入用的襯底裝載臺(tái)1和搬出用的 襯底裝載臺(tái)16上。
另外，真空吸附部47通過配管分別連通各吸附襯墊29b、 30b、 31b、 32b、 33b、 34b，通過將這些吸附襯墊29b、 30b、 31b、 32b、 33b、 34b抽 成真空，而吸附保持玻璃襯底3。
移動(dòng)控制部48分別在各滑塊23、 24、 25、 26、 27、 28上移動(dòng)控制各輸送端部29、 30、 31、 32、 33、 34。
姿態(tài)識(shí)別部49輸入從三個(gè)定位傳感器43 45分別輸出的各檢測信號， 根據(jù)由這些檢測信號所示的玻璃襯底3三個(gè)位置上的邊緣位置信息，識(shí)別 玻璃襯底3的姿態(tài)。
姿態(tài)控制部50為了將由姿態(tài)識(shí)別部49所識(shí)別的玻璃襯底3的姿態(tài)定 位到基準(zhǔn)位置，而沿輸送方向C、相對于輸送方向C垂直的方向移動(dòng)控制一 對輸送端部31、 32。
接著，說明如上所述構(gòu)成的裝置的動(dòng)作。
各輸送端部29、 30移動(dòng)到各滑塊23、 24上的搬入側(cè)，而停止待機(jī)。
搬入用輸送機(jī)器人7旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)和后退手臂8，而從盒子中取出未檢 查的玻璃襯底3，并輸送到襯底裝載臺(tái)1的上方。并且，襯底裝載臺(tái)1的各 抬升銷6升高。搬入用輸送機(jī)器人7使手臂8下降而將玻璃襯底3裝載在 各抬升銷6上。通過各抬升銷6下降，將玻璃襯底3裝載在襯底裝載臺(tái)1 上。由于玻璃襯底3的寬度比襯底裝載臺(tái)1的寬度長，所以從襯底裝載臺(tái)1 突出玻璃襯底3的兩端部分。
接著，各輸送端部29、 30使各臂29a、 30a升高，使各吸附襯墊29b、 30b吸附從襯底裝載臺(tái)1突出的玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊29b、 30b 的吸附位置是玻璃襯底3中的沒有形成電路圖案("夕 一 > )的背面端部， 例如，是向輸送方向C成為玻璃襯底3前側(cè)的背面的兩端部。這時(shí)，各吸 附襯墊29b、 30b在吸附于玻璃襯底3的背面的狀態(tài)下升高為僅比襯底裝載 臺(tái)1的表面高度高的位置上。
并且，壓縮空氣供給部46通過配管向襯底裝載臺(tái)1的空隙部供給壓縮 空氣，而從空氣孔4中上吹壓縮空氣。這時(shí)，壓縮空氣因使用具有除電效 果的離子化后的空氣，而可中和玻璃襯底的靜電，阻止玻璃襯底3上的帶 電。
通過壓縮空氣的上吹，在襯底裝載臺(tái)1和玻璃襯底3之間形成空氣層， 如圖3所示，玻璃襯底3從襯底裝載臺(tái)1的表面浮起。這時(shí)，從各空氣孔4 上吹出的空氣在襯底裝載臺(tái)1和玻璃襯底3之間通過各槽5從空氣層流出。 因此，由于空氣流通，而不滯留在襯底裝載臺(tái)1和玻璃襯底3之間，所以 玻璃襯底3保持水平度地在襯底裝載臺(tái)1上浮起。接著，移動(dòng)控制部48如圖4所示，分別以同一速度使具有吸附于玻璃 襯底3背面的各吸附襯墊29b、 30b的各輸送端部29、 30 (臂29a、 30a) 同步，而在各滑塊23、 24上沿輸送方向C移動(dòng)。
由此，玻璃襯底3在浮起并與襯底裝載臺(tái)1上面和浮起塊11上面為完 全非接觸的狀態(tài)下，通過各輸送端部29、 30牽引，而沿輸送方向C高速輸 送。通過該高速輸送，玻璃襯底3到達(dá)浮起塊11上的定位部A。
到達(dá)定位部A時(shí)，玻璃襯底3如圖5所示，有相對輸送方向C傾斜的 情況。定位部A中的定位傳感器43檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底 3在輸送方向C的前側(cè)一邊的邊緣，而輸出其檢測信號。
另外，各定位傳感器44、 45檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底3 在與輸送方向C為相同方向的另一邊的邊緣而輸出其檢測信號。
姿態(tài)識(shí)別部49輸入從三個(gè)定位傳感器43 45分別輸出的各檢測信號， 根據(jù)由這些檢測信號所示的玻璃襯底3的在三個(gè)位置上的邊緣位置信息， 來識(shí)別玻璃襯底3的姿態(tài)。這時(shí)，玻璃襯底3相對輸送方向C，前端側(cè)的右 端部比左端部向前側(cè)突出，相對輸送方向C向左側(cè)傾斜。
接著，姿態(tài)控制部50從由姿態(tài)識(shí)別部49得到的玻璃襯底3的姿態(tài)識(shí) 別結(jié)果中，首先，如圖5所示，使一個(gè)輸送端部30相對輸送方向C向反方 向(后側(cè))微小移動(dòng)。由此，玻璃襯底3以吸附襯墊29a為中心軸沿箭頭F 方向旋轉(zhuǎn)，而相對輸送方向C平行地進(jìn)行配置。
再次，姿態(tài)識(shí)別部49輸入從三個(gè)定位傳感器43 45分別輸出的各檢 測信號來識(shí)別玻璃襯底3的姿態(tài)。該識(shí)別的結(jié)果，玻璃襯底3如圖6所示， 左端部靠近滑塊23側(cè)。
姿態(tài)控制部50如圖6所示，驅(qū)動(dòng)一個(gè)輸送端部29的推桿，而沿箭頭 H方向(相對于輸送方向C垂直的方向)伸長臂29a，并且，與其同步，驅(qū) 動(dòng)另一輸送端部30的推桿而沿箭頭H方向縮短臂30a，并沿箭頭H方向移 動(dòng)玻璃襯底3從而使玻璃襯底3的中心位置與輸送路徑的中心位置匹配。
之后，姿態(tài)控制部50使各輸送端部29、 30同步地向前惻移動(dòng)，使得 玻璃襯底3的前端部與定位傳感器43的中心一致。這時(shí)，各輸送端部29、 30例如如圖7所示，沿箭頭N方向微小移動(dòng)。
結(jié)果，如圖7所示，定位玻璃襯底3，使得基準(zhǔn)位置、即相對于輸送方向C平行、且玻璃襯底3的中心與輸送路徑的中心位置大致一致。另外， 基準(zhǔn)位置是在三個(gè)定位傳感器43 45中玻璃襯底3的各邊緣位置以傳感器 中心分別檢測的地方。
玻璃襯底3的定位終止時(shí)，移動(dòng)控制部48如圖4所示，沿與輸送方向 C相反的方向分別以同一速度使各輸送端部31、 32同步，并在各滑塊25、 26上移動(dòng)。
這些輸送端部31、 32到達(dá)玻璃襯底3的下方時(shí)，在各滑塊25、 26上 的襯底傳遞基準(zhǔn)位置上停止，使各臂31a、 32a升高，而使各吸附襯墊31b、 32b吸附玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊31b、 32b的吸附位置是向玻璃 襯底3中的輸送方向C成為前側(cè)的背面兩端部。
這些吸附襯墊31b、 32b吸附玻璃襯底3時(shí)，解除各輸送端部29、 30 的各吸附襯墊29a、 30b的吸附后，各臂29a、 30a下降。
由此，玻璃襯底3的吸附保持從各輸送端部29、 30傳遞到各輸送端部 31、 32。各輸送端部29、 30在各滑塊23、 24上沿與輸送方向C相反的方 向(后側(cè))移動(dòng)，而停止在搬入用的襯底裝載臺(tái)1的襯底傳遞基準(zhǔn)位置上 后，進(jìn)行待機(jī)。若玻璃襯底3的傳遞終止時(shí)，各輸送端部31、 32如圖8所 示，以同一速度同步，并沿輸送方向C在各滑塊25、 26上移動(dòng)。由此，在 浮起塊11上浮起的玻璃襯底3通過各輸送端部31、 32牽引，沿輸送方向C 高速輸送，而到達(dá)檢查部E。
檢査部E中，壓縮空氣供給部46停止向浮起塊11的各空氣孔4的壓 縮空氣的供給。
接著，進(jìn)行從壓縮空氣供給部46向真空吸附部47的切換。該真空吸 附部47通過配管對浮起塊11的各空氣孔12抽真空，而使玻璃襯底3吸附 保持在浮起塊ll上。另外，這時(shí)，解除吸附保持玻璃襯底3的背面的各吸 附襯墊31b、 32b的吸附后，各臂31a、 31b下降。
檢查部E中，例如，使用具有線傳感器的檢査用設(shè)備14通過由玻璃襯 底3的各種檢查取得的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行玻璃襯底3的圖案檢查、缺陷檢查等。 這時(shí)，通過使裝載了檢查用設(shè)備14的門型臂15相對輸送方向C沿前后方 向移動(dòng)，而由檢查用設(shè)備14對玻璃襯底3的整個(gè)面進(jìn)行各種檢査。
檢査部E的檢查終止時(shí)，各輸送端部31、 32使各臂31a、 32a升高，而使各吸附襯墊31b、 32b向玻璃襯底3的向輸送方向C吸附成為前側(cè)的背 面的兩個(gè)端部。
并且，真空吸附部47停止對浮起塊11的各空氣孔12的抽真空。并且， 進(jìn)行從真空吸附部47向壓縮空氣供給部46的切換。該壓縮空氣供給部46 向浮起塊11的各空氣孔12供給壓縮空氣，并從這些空氣孔12上吹離子化 后的壓縮空氣，而使玻璃襯底3浮起。
另外，也可在浮起塊11上浮起玻璃襯底3的狀態(tài)下，沿輸送方向分別 以一定速度使各輸送端部31、 32同步，而在各滑塊23、 24上移動(dòng)，同時(shí) 進(jìn)行檢查部E的檢査。
之后，與上述相同，在浮起塊11上的玻璃襯底3通過壓縮空氣的上吹 而完全浮起的狀態(tài)下，各輸送端部31、 32在各滑塊25、 26上移動(dòng)，而沿 輸送方向C高速輸送玻璃襯底3。
玻璃襯底3到達(dá)浮起塊11的出口側(cè)時(shí)，玻璃襯底3的吸附保持從各輸 送端部31、 32傳遞到各輸送端部33、 34，并且壓縮空氣供給部向襯底裝載 臺(tái)16的各空氣孔8供給壓縮空氣。與上述從各輸送端部29、 30向各輸送 端部31、 32的傳遞同樣，進(jìn)行從這些輸送端部31、 32向各輸送端部33、 34的玻璃襯底3的傳遞。
玻璃襯底3的傳遞終止時(shí)，各輸送端部33、 34在各滑塊27、 28上移 動(dòng)而沿輸送方向C輸送玻璃襯底3。并且，玻璃襯底3到達(dá)搬出用的襯底裝 載臺(tái)16的上方時(shí)，各輸送端部33、 34停止在襯底傳遞基準(zhǔn)位置上。
襯底裝載臺(tái)16中各抬升銷20升高。壓縮空氣供給部46停止向襯底裝 載臺(tái)16的各空氣孔18的壓縮空氣的供給，并且，各吸附襯墊33b、 34b解 除對玻璃襯底3的背面的吸附，而使各臂33a、 34a下降。由此，將玻璃襯 底3被裝載在各抬升銷20上。搬出用輸送機(jī)器人21使手臂22旋轉(zhuǎn)、前進(jìn) 和后退，而從各抬升銷20上取出檢查完的玻璃襯底3后容納在盒子內(nèi)。
之后，依次重復(fù)進(jìn)行多個(gè)玻璃襯底3向襯底裝載臺(tái)1的搬入、空氣輸 送、定位、檢查、從襯底裝載臺(tái)16的搬出。
這樣，上述第一實(shí)施例中，在從各襯底裝載臺(tái)l、 16和浮起塊11上形 成的多個(gè)空氣孔4、 18、 12上吹空氣而使玻璃襯底3浮起的狀態(tài)下，吸附 保持玻璃襯底3在輸送方向C的前端部兩端而進(jìn)行牽引，同時(shí)進(jìn)行輸送。由此，可在浮起大型玻璃襯底3的狀態(tài)下，不刮傷玻璃襯底3，而進(jìn)行高速 輸送。
由于將多個(gè)空氣孔4、 18、 12有規(guī)則地設(shè)置在各襯底裝載臺(tái)1、 16和 浮起塊ll的空氣輸送面上，且設(shè)置了各槽5、 13、 19，所以從多個(gè)空氣孔 4、 18、 12上吹出的空氣流過各槽5、 13、 19，故玻璃襯底3和各襯底裝載 臺(tái)l、 16和浮起塊11之間不滯留空氣，而通過各槽5、 13、 19流過。由此， 大型的玻璃襯底3可進(jìn)行中央部分沒有隆起等的彎曲、保持很高的水平度 地輸送。
各槽5、 13、 19在與輸送方向C相同的方向上形成，所以空氣的上吹 壓力分布與輸送方向C一樣。由此，玻璃襯底3在輸送時(shí)，不沿上下方向 振動(dòng)，可在穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行輸送。
玻璃襯底3的輸送分別吸附保持向玻璃襯底3的輸送方向C的前側(cè)的 背面兩端側(cè)，而進(jìn)行強(qiáng)制牽引，同時(shí)進(jìn)行高速輸送。由此，玻璃襯底3可 以在浮起狀態(tài)下進(jìn)行不為蛇行等相對輸送方向C振動(dòng)地穩(wěn)定輸送。另外， 由于吸附保持玻璃襯底3的背面兩端側(cè)，所以不接觸玻璃襯底3上形成的 電路圖案的部分，不會(huì)影響電路圖案。
這樣，由于可非接觸地高速輸送大型玻璃襯底3，所以在FPD制造等 這樣的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，可以滿足不使產(chǎn)品品質(zhì)劣化、而提高產(chǎn)品生產(chǎn)
率的要求。
由于從各空氣孔4、 18、 12上吹離子化后的壓縮空氣，而高速輸送玻 璃襯底3，所以可以中和靜電，阻止帶電到玻璃襯底3上。
由于定位部A中，在玻璃襯底3浮起的狀態(tài)下，通過三個(gè)定位傳感器 43 45、姿態(tài)識(shí)別部49和姿態(tài)控制部50進(jìn)行定位，所以可在浮起玻璃襯 底3的非接觸狀態(tài)下，不刮傷大型的玻璃襯底3，而進(jìn)行可靠的定位。
另外，該定位中，通過沿兩維方向微小移動(dòng)輸送玻璃襯底3的各輸送 端部29、 30，使這些輸送端部29、 30除了玻璃襯底3的輸送功能之外，可 兼用作定位，并可接著玻璃襯底3的輸送連續(xù)進(jìn)行定位，可以縮短定位所 需的時(shí)間。
定位中，由于通過三個(gè)定位傳感器43 45識(shí)別玻璃襯底3的姿態(tài)，所 以可以高精度地檢測玻璃襯底3的姿態(tài)。進(jìn)一步，由于三個(gè)定位傳感器43 45嵌入浮起塊11中，所以各定位 傳感器43 45的基準(zhǔn)位置不會(huì)有偏差，通常可以根據(jù)三點(diǎn)的邊緣位置信息 高精度地定位各玻璃襯底3。
另外，上述第一實(shí)施例例如可設(shè)置多個(gè)檢查部E，可適用于設(shè)置了各 種處理工藝的工序。
接著，說明本發(fā)明的第二實(shí)施例。另外，對與圖1相同的部分添加同 一符號而省略其詳細(xì)說明。
圖9是襯底輸送裝置的結(jié)構(gòu)圖。該襯底輸送裝置設(shè)置了各輸送機(jī)器人 7、 21，使得搬入用和搬出用的各輸送機(jī)器人7、 21的各手臂8、 22的前進(jìn) 和后退方向成為與輸送方向C相同的方向，且可沿輸送方向C移動(dòng)吸附保 持在輸送架臺(tái)9上的玻璃襯底3的保持器('+、 ^夕')60。
另外，除去搬入用和搬出用的各襯底裝載臺(tái)1和16具有的各抬升銷6、 20。由此，各輸送機(jī)器人7、 21通過將各個(gè)手臂8、 22伸入各襯底裝載臺(tái)1 和16的各槽5、 19內(nèi)，而直接在襯底裝載臺(tái)1上裝載玻璃襯底3，或直接 從襯底裝載臺(tái)16中取出玻璃襯底3。
在搬送架臺(tái)9上，相對輸送方向C彼此平行地鋪設(shè)兩條軌道61。在這 些軌道61上可移動(dòng)地設(shè)置移動(dòng)用浮起塊(下面，稱為保持器)60。
在保持器60的表面上在整個(gè)面上設(shè)置兼作空氣的上吹和吸入的多個(gè) 空氣孔62。與襯底裝載臺(tái)1同樣，該保持器60形成為寬度比玻璃襯底3 的寬度稍短，且保持器表面的高度形成為與襯底裝載臺(tái)1的表面高度大致 相同。
輸送架臺(tái)9上，沿輸送方向C彼此平行地設(shè)置夾著保持器60的一對滑 塊63、 64。在搬入側(cè)的襯底裝載臺(tái)1和搬出側(cè)的輸送機(jī)器人21之間設(shè)置這 些滑塊63、 64。在這些滑塊63、 64上分別可移動(dòng)地設(shè)置成為一對的定位側(cè) 的各輸送端部29、 30與檢查側(cè)的各輸送端部31、 32。
定位側(cè)的各輸送端部29、 30在各滑塊63、 64上的搬入側(cè)的輸送機(jī)器 人7側(cè)的左側(cè)端部和定位部A的右側(cè)端部Aa之間往復(fù)移動(dòng)。檢査側(cè)的各輸 送端部31、 32在各滑塊63、 64上的定位部A的右側(cè)端部Aa和搬出用的襯 底裝載臺(tái)16的右側(cè)端部之間往復(fù)移動(dòng)。與上述第一實(shí)施例相同地進(jìn)行從定 位側(cè)的各輸送端部29、 30向檢查側(cè)的各輸送端部31、 32的玻璃襯底3傳遞。
接著，說明如上所述構(gòu)成的裝置的動(dòng)作。
由輸送機(jī)器人7從盒子中搬入的玻璃襯底3在襯底裝載臺(tái)1上浮起， 并與向輸送方向C的移動(dòng)同步地通過各輸送端部29、 30進(jìn)行牽引，而輸送 到在定位部A上待機(jī)的保持器60的上方。另外，各輸送端部29、 30的吸 附位置為玻璃襯底3的向輸送方向C成為前側(cè)的背面的兩端。
定位部A中，玻璃襯底3與上述第一實(shí)施例相同，在保持器60上通過 各輸送端部29、 30的微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行定位。玻璃襯底3的定位終止時(shí)，從壓 縮空氣供給部46切換到真空吸附部47,而將玻璃襯底3吸附保持在保持器 60上。
這時(shí)，各輸送端部29、 30解除對玻璃襯底3的吸附保持，而返回到各 滑塊63、 64上的搬入側(cè)輸送機(jī)器人7側(cè)的左側(cè)端部(襯底傳遞基準(zhǔn)位置)。
接著，保持器60在吸附保持了玻璃襯底3的狀態(tài)下，沿輸送方向C 移動(dòng)。保持器ll到達(dá)檢查部E時(shí)，與上述相同，在檢查部E中，進(jìn)行玻璃 襯底3的各種檢查。
對玻璃襯底3的檢查終止時(shí)，使在襯底傳遞基準(zhǔn)位置上待機(jī)的各輸送 端部31、 32的各臂31a、 32a升高，并通過各吸附襯墊31b、 32b吸附保持 玻璃襯底3的背面。這些輸送端部31、 32的吸附位置為玻璃襯底3的向輸 送方向C前側(cè)的背面的兩端。之后，從壓縮空氣供給部46向襯底裝載臺(tái)16 供給壓縮空氣，而使玻璃襯底3從保持器60上浮起。該狀態(tài)下，玻璃襯底 3通過各輸送端部31、 32牽引，而高度輸送到襯底裝載臺(tái)16上。
搬出用輸送機(jī)器人21插入槽19內(nèi)，并升高一些，來吸附保持玻璃襯 底3的背面。這時(shí)，從玻璃襯底3的背面解除各輸送端部31、 32的吸附襯 墊31b、 32b的吸附。搬出用輸送機(jī)器人21使手臂22升高，并且，使手臂 22旋轉(zhuǎn)、前進(jìn)和后退，而從襯底裝載臺(tái)16上取出檢査完的玻璃襯底3，容 納到盒子內(nèi)。
這樣，根據(jù)上述第二實(shí)施例，可以達(dá)到與上述第一實(shí)施形態(tài)相同的效 果。另外，由于沒有搬入用和搬出用的各襯底裝載臺(tái)1和16中具有的各抬 升銷6、 20，所以可將時(shí)間縮短掉各抬升銷6、 20的動(dòng)作時(shí)間。
另外，本發(fā)明并不限于上述各實(shí)施形態(tài)，在實(shí)施階段可在不脫離其要旨的范圍內(nèi)有各種變形。
使玻璃襯底3浮起的方式并不限于向玻璃襯底3的背面噴射空氣，也 可通過靜電方式浮起。在通過靜電方式浮起的情況下，可以進(jìn)行對玻璃襯 底3的除電。
輸送浮起的玻璃襯底3的方式并不限于例如在一對滑塊23、 24上移動(dòng) 一對各輸送端部29、 30，也可在各槽13內(nèi)可移動(dòng)地設(shè)置具有各吸附襯墊的 各輸送端部，并通過這些輸送端部吸附保持玻璃襯底3前端部的背面來進(jìn) 行輸送。
輸送玻璃襯底3時(shí)的吸附保持位置并不限于輸送方向C中的玻璃襯底 3的前端部兩側(cè)，也可由玻璃襯底3的前端部兩端和后端部兩端來吸附保 持，或由玻璃襯底3的相對兩邊的各中央部或沿兩邊的多個(gè)部位進(jìn)行吸附 保持。若由該玻璃襯底3的四個(gè)角、相對兩邊的中央部或沿兩邊的多個(gè)位 置吸附保持玻璃襯底3，則不僅可向搬送方向C輸送，還可向與輸送方向C 相反的方向輸送。另外，若玻璃襯底3的吸附保持位置是沒有形成電路圖 案的部分，則也可以是玻璃襯底3的表面或背表面。
向襯底裝載臺(tái)1裝載玻璃襯底3或從襯底裝載臺(tái)16取出玻璃襯底3 也可使用除各輸送機(jī)器人7、 21之外的某種機(jī)構(gòu)，也可以是從其他線輸送 空氣等的襯底浮起輸送單元。
上述實(shí)施形態(tài)中，雖然說明了大型LCD和PDP等的平板等制造工藝的 成線檢査中的玻璃襯底3的輸送，但是并不限于此，也可適用于使半導(dǎo)體
晶片等各種襯底和板狀的物體浮起來進(jìn)行高速輸送的情況。另外，使玻璃 襯底3浮起進(jìn)行高速輸送的方式并不限于從襯底裝載臺(tái)1向保持器60上的 輸送，還可適用于設(shè)置了多個(gè)可移動(dòng)的保持器60情況下的各保持器間的輸送。
定位部A中所用的各定位傳感器43 45使用線傳感器，但是并不限于 此，也可使用兩維CCD攝像機(jī)識(shí)別玻璃襯底3的邊緣位置。
為了在各襯底裝載臺(tái)1、 16和浮起塊11上沒有玻璃襯底3中央部的彎 曲，而保持水平度，分別設(shè)置了作為空氣的排氣通道(逃〖f道)的兩個(gè)槽5、 13、 19，但是如圖10所示，這些槽5、 13、 19也可相對輸送方向C平行地 設(shè)置多個(gè)。由于這些槽5、 13、 19為從各空氣孔4、 12、 18上吹出的空氣排氣通道，所以可使槽的兩端在空氣中開放，或在槽內(nèi)設(shè)置貫通背面的圓 形或條紋狀的空氣逃逸孔，使其可良好排出空氣。
另外，這些槽5、 13、 19的形狀也可以是四邊形、U字形、V字形、圓 弧狀的凹狀。另外，這些槽5、 13、 19的寬度也可以是在各襯底裝載臺(tái)1、 16和浮起塊11與玻璃襯底3之間形成空氣層而可浮起玻璃襯底3的寬度大 小。
這些槽5、 13、 19的寬度形成為相對輸送方向C相同，施加給輸送方 向C的玻璃襯底3的空氣壓力部分也可均勻。
另外，為了使玻璃襯底3的兩端沒有向下的彎曲，也可在各襯底裝載 臺(tái)l、 16和浮起塊11的兩端設(shè)置多個(gè)空氣噴出孔，分別向玻璃襯底3的兩 端部噴射空氣。
上述第二實(shí)施例中，雖然各滑塊63、 64延伸到搬出用的搬送機(jī)器人 21側(cè)，但是，也可延伸到搬入用的輸送機(jī)器人7側(cè)。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明用于大型LCD和PDP等的FPD等工序中的成線檢查中的玻璃襯底的 輸送，使各種襯底和板狀的物體浮起進(jìn)行高速輸送等。
權(quán)利要求
1、一種襯底輸送裝置，輸送平板顯示器制造工藝中所制造的襯底，其特征在于，包括襯底浮起塊，形成為相對于上述襯底的輸送方向的垂直方向上的寬度比上述襯底的寬度短，浮起上述襯底；定位單元，設(shè)置在上述襯底浮起塊上，在浮起了上述襯底的狀態(tài)下進(jìn)行定位；以及襯底輸送單元，沿上述襯底浮起塊可移動(dòng)地配置，在浮起了由上述定位單元進(jìn)行了定位的上述襯底的狀態(tài)下，吸附保持上述襯底的背面并向輸送方向輸送。
2、 如權(quán)利要求l所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位單元，具有對在浮起了上述襯底的狀態(tài)下彼此正交的上述襯 底的兩邊的邊緣位置信息進(jìn)行檢測的多個(gè)傳感器，并根據(jù)由這些傳感器檢 測出的上述邊緣位置信息，對上述襯底進(jìn)行定位。
3、 如權(quán)利要求1所述的襯底輸送裝置，其特征在于， 上述定位單元具有多個(gè)傳感器，檢測上述襯底的彼此正交的兩邊的邊緣位置；姿態(tài)識(shí)別部，根據(jù)由這些傳感器檢測出的上述襯底的兩邊的邊緣位置信息，識(shí)別上述襯底的姿態(tài)；以及姿態(tài)控制部，對上述襯底輸送單元進(jìn)行移動(dòng)控制，以將由上述姿態(tài)識(shí) 別部識(shí)別出的上述襯底的姿態(tài)定位到基準(zhǔn)位置。
4、 如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的襯底輸送裝置，其特征在于， 上述定位單元具有支撐吸附襯墊且向XY方向微動(dòng)的臂，通過使上述臂向XY方向微動(dòng)而將上述襯底定位在基準(zhǔn)位置，上述吸附襯墊將上述襯底的 背面吸附在位于搬入側(cè)的一個(gè)上述襯底輸送單元上。
5、 如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的襯底輸送裝置，其特征在于， 上述定位單元進(jìn)行姿態(tài)控制，以使浮起在上述襯底浮起塊上的上述襯底平行于上述輸送方向。
6、 如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的襯底輸送裝置，其特征在于，上述定位單元進(jìn)行姿態(tài)控制，以使上述襯底的中心位置與上述襯底浮 起塊的輸送路徑的中心位置一致。
7、如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的襯底輸送裝置，其特征在于， 上述定位單元分別用上述襯底輸送單元的吸附襯墊吸附保持沿上述輸 送方向的上述襯底的兩端部，并使這些襯底輸送單元的至少一個(gè)向上述輸 送方向與該輸送方向正交的方向微動(dòng)，從而對上述襯底進(jìn)行定位。
全文摘要
本發(fā)明提供一種襯底輸送裝置，其是從各襯底裝載臺(tái)(1、16)和浮起塊(11)上形成的多個(gè)空氣孔(4、18、12)上吹空氣而使玻璃襯底(3)浮起，吸附保持該浮起的玻璃襯底(3)在輸送方向C上的前端部兩端而進(jìn)行牽引，同時(shí)進(jìn)行輸送。
文檔編號H01L21/67GK101407283SQ200810176658
公開日2009年4月15日 申請日期2003年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月18日
發(fā)明者安田守, 藤崎暢夫 申請人:奧林巴斯株式會(huì)社