專利名稱：加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)保持在卡盤(pán)工作臺(tái)上的晶片等被加工物進(jìn)行切削加工 的加工裝置。
背景技術(shù)：
形成有多個(gè)IC (Integrated Circuit:集成電路)、LSI (large scale integration:大規(guī)模集成電路)等器件的晶片，通過(guò)磨削背面而形成為期 望的厚度，且通過(guò)切割裝置等加工裝置而分割為一個(gè)個(gè)器件，并應(yīng)用于 移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)等電子設(shè)備。
切割裝置通過(guò)將在前端安裝有高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具的主軸定位于預(yù) 定高度，并在與以軸心方向?yàn)閅軸方向的主軸正交的X軸方向上對(duì)卡盤(pán)
工作臺(tái)進(jìn)行加工進(jìn)給，來(lái)將晶片切斷。在切斷時(shí)，為了從切削刀具周邊 的刀具蓋冷卻切削刀具與工件接觸的加工點(diǎn)，或排出切削屑， 一直從噴 射嘴供給切削液。在這樣進(jìn)行切削時(shí)，需要防止切削液進(jìn)入裝置內(nèi)部。
于是，在現(xiàn)有的此種加工裝置中，在卡盤(pán)工作臺(tái)的X軸方向的兩端 部及裝置的固定壁之間安裝可自由伸縮的波紋部件，隨著波紋部件的伸 縮，卡盤(pán)工作臺(tái)在X軸方向上移動(dòng)，通過(guò)上述那樣構(gòu)成來(lái)用波紋部件覆 蓋卡盤(pán)工作臺(tái)的移動(dòng)路徑，以使切削液不會(huì)進(jìn)入到裝置內(nèi)部(例如，參 照專利文獻(xiàn)l)。此外，在切削半導(dǎo)體晶片、CSP (Chip Size Package:芯 片尺寸封裝)基板等硬質(zhì)材料的情況下，有時(shí)通過(guò)切削而形成了鋒利的 小片，該小片通過(guò)切削刀具的旋轉(zhuǎn)而飛散到波紋部件的上部，所以在例 如專利文獻(xiàn)2中，在波紋部件的表面上粘貼樹(shù)脂膜，即使在鋒利的小片 落下的情況下，也不易在波紋部件上開(kāi)孔。
專利文獻(xiàn)h日本特開(kāi)平7—156039號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2002—66866號(hào)公報(bào)
但是，在專利文獻(xiàn)l、 2等所示的加工裝置中，波紋部件在切削刀具 和噴射嘴的下方水平配置，切削后的污水和切削屑容易積存在波紋部件 上，由于在積存的狀態(tài)下反復(fù)進(jìn)行最大600mm/s的與卡盤(pán)工作臺(tái)的加工 進(jìn)給相伴的伸縮，所以損耗劇烈、而且波紋部件的更換頻率變高。此外，
有時(shí)會(huì)在波紋部件上出現(xiàn)孔，或者在e軸(卡盤(pán)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸)機(jī)構(gòu)、X軸(卡盤(pán)工作臺(tái)的加工進(jìn)給)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生破損等，對(duì)機(jī)械帶來(lái)很大的損 害。再有，在水平配置的波紋部件中，為了確保密封性，彎折成-字形、 在內(nèi)側(cè)也配置波紋等，成為復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，價(jià)格變高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題而完成，其目的是提供一種在不對(duì)切削加工動(dòng) 作產(chǎn)生妨礙的情況下可使針對(duì)切削液的防水結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、并可提高防水效 果的加工裝置。
為了解決上述問(wèn)題實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明的加工裝置的特征在于，具有 卡盤(pán)工作臺(tái)，其具有保持被加工物的保持面，該卡盤(pán)工作臺(tái)在XY平面 內(nèi)的位置固定；切削單元，其具有主軸，在該主軸上可旋轉(zhuǎn)地安裝有對(duì) 保持在所述卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行切削的切削刀具；分度進(jìn)給單 元，其在與所述卡盤(pán)工作臺(tái)的所述保持面平行、且作為所述主軸的軸心方向的Y軸方向上對(duì)所述切削單元進(jìn)行分度進(jìn)給；加工進(jìn)給單元，其對(duì) 所述切削單元在與Y軸方向正交的X軸方向上進(jìn)行加工進(jìn)給；以及切入 進(jìn)給單元，其對(duì)所述切削單元在與X軸方向和Y軸方向正交的Z軸方向 上進(jìn)行切入進(jìn)給。
此外，在上述發(fā)明的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的加工裝置的特征在于，其具 有多個(gè)所述切削單元，在每個(gè)所述切削單元上獨(dú)立地設(shè)置所述切入進(jìn)給 單元。
根據(jù)本發(fā)明的加工裝置，保持被加工物的卡盤(pán)工作臺(tái)設(shè)置成在XY 平面內(nèi)的位置固定，另一方面，通過(guò)加工進(jìn)給單元對(duì)切削單元在X軸方 向上進(jìn)行加工進(jìn)給，并且通過(guò)切入進(jìn)給單元在Z軸方向上對(duì)切削單元進(jìn) 行切入進(jìn)給，由此來(lái)進(jìn)行保持于卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物的切削加工，所以作為針對(duì)切削液的防水，不需要借助于卡盤(pán)工作臺(tái)周?chē)乃脚渲?的波紋結(jié)構(gòu)所形成的防水單元，只要在例如卡盤(pán)工作臺(tái)的上方設(shè)置相對(duì) 于加工進(jìn)給單元、分度進(jìn)給單元和切入進(jìn)給單元可隨動(dòng)于進(jìn)給動(dòng)作活動(dòng) 的防水單元即可，與在卡盤(pán)工作臺(tái)周?chē)那闆r相比，直接作用于防水單
元上的切削液的量少、且不易積存，而且使用針對(duì)噴霧狀的切削液的防 水對(duì)策就足夠了，所以具有這樣的效果在不對(duì)切削加工動(dòng)作產(chǎn)生妨礙 的情況下可使防水結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、并可提高防水效果。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的加工裝置的結(jié)構(gòu)示例的概要正視圖。 圖2是省略防水單元進(jìn)行表示的概要俯視圖。 圖3是附加防水單元進(jìn)行表示的概要俯視圖。 圖4是表示切削刀具附近的結(jié)構(gòu)示例的正視圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明
10:被加工物；20:卡盤(pán)工作臺(tái)；21:保持面；30a、 30b:切削單 元；31a、 31b:切削刀具；32a、 32b:主軸；50:加工進(jìn)給單元；60a、 60b:分度進(jìn)給單元；70a、 70b:切入進(jìn)給單元。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖來(lái)說(shuō)明作為用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的加工裝 置。圖1是表示本實(shí)施方式的加工裝置的結(jié)構(gòu)示例的概要正視圖，圖2 是省略防水單元進(jìn)行表示的概要俯視圖，圖3是附加防水單元進(jìn)行表示 的概要俯視圖，圖4是表示切削刀具附近的結(jié)構(gòu)示例的正視圖。
本實(shí)施方式的加工裝置1表示應(yīng)用于切削被加工物10的切削裝置的 示例。這里，在XYZ坐標(biāo)軸中，以X軸方向?yàn)榧庸みM(jìn)給方向，以Y軸 方向?yàn)榉侄冗M(jìn)給方向，以Z軸方向?yàn)榍腥脒M(jìn)給方向。首先，本實(shí)施方式 的加工裝置1具有保持被加工物10的卡盤(pán)工作臺(tái)20。雖然沒(méi)有詳細(xì)圖示， 但卡盤(pán)工作臺(tái)20具有通過(guò)吸附卡盤(pán)形成的水平保持面21，吸附卡盤(pán)由多 孔質(zhì)材料形成，其保持被加工物10，被加工物10由例如通過(guò)保持帶而與框架成為一體的晶片構(gòu)成，該保持面21與未圖示的抽吸單元連通。因此， 卡盤(pán)工作臺(tái)20通過(guò)將被加工物10載置于保持面21上、并利用未圖示的 抽吸單元作用負(fù)壓，從而將被加工物10抽吸保持在保持面21上。此外， 卡盤(pán)工作臺(tái)20設(shè)置成在XY平面內(nèi)的位置固定，并安裝于未圖示的旋轉(zhuǎn) 軸的上端，該旋轉(zhuǎn)軸在圓筒部件22內(nèi)以水密狀態(tài)配置，而且在內(nèi)部形成 有抽吸路徑，卡盤(pán)工作臺(tái)20通過(guò)與旋轉(zhuǎn)軸的下端側(cè)連接的未圖示的電動(dòng) 機(jī)可在水平面內(nèi)被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
此外，本實(shí)施方式的加工裝置1具有用于切削在卡盤(pán)工作臺(tái)20上保 持的被加工物10的第一、第二切削單元30a、 30b。所述第一、第二切削 單元30a、 30b由第一、第二主軸32a、 32b和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)用的伺服電動(dòng)機(jī) 等構(gòu)成，在第一、第二主軸32a、 32b上可旋轉(zhuǎn)地安裝有對(duì)被加工物10 中的晶片沿分割預(yù)定線進(jìn)行切削的第一、第二切削刀具31a、 31b。這里， 第一、第二主軸32a、 32b的軸心方向配置為在Y軸方向所示的分度進(jìn)給 方向上一致，第一、第二切削刀具31a、 31b設(shè)定為在Y軸方向上對(duì)置。 此外，第一、第二切削刀具31a、 31b可以是用于對(duì)同一被加工物10同 時(shí)并行進(jìn)行切削的雙重切割(dual cut)相同結(jié)構(gòu)的切削刀具，另外也可 以是用于步進(jìn)切割(step cut)的不同結(jié)構(gòu)的切削刀具。
這里，雖然在圖1 圖3中省略了圖示，但本實(shí)施方式的加工裝置1 針對(duì)第一、第二切削單元30a、 30b附加設(shè)置有切削液供給單元40，該切 削液供給單元40在切削被加工物10時(shí)對(duì)第一、第二切削刀具31a、 31b 的加工點(diǎn)供給切削液。如圖4所示，切削液供給單元40具有前后一對(duì)的 噴射嘴41a (噴射嘴41b)以及連接切削液供給源和噴射嘴41a (噴射嘴 41b)之間的未圖示的配管路徑等，上述一對(duì)的噴射嘴41a (噴射嘴41b) 配置在覆蓋第一切削刀具31a (第二切削刀具31b)周?chē)牡毒呱w33a (刀 具蓋33b)上，用于向成為第一切削刀具31a (第二切削刀具31b)的加 工點(diǎn)的切削刃外周部附近從兩側(cè)供給切削液。
此外，本實(shí)施方式的加工裝置1中，在XY平面內(nèi)的位置固定的卡 盤(pán)工作臺(tái)20的上空具備具有頂板部2的門(mén)形結(jié)構(gòu)的支柱3，在頂板部2 的下表面具有對(duì)第一、第二切削單元30a、 30b在X軸方向上進(jìn)行加工進(jìn)給的加工進(jìn)給單元50;對(duì)第一、第二切削單元30a、 30b在Y軸方向 上獨(dú)立地進(jìn)行分度進(jìn)給的第一、第二分度進(jìn)給單元60a、 60b;以及對(duì)第 一、第二切削單元30a、 30b在Z軸方向上獨(dú)立地進(jìn)行切入進(jìn)給的第一、 第二切入進(jìn)給單元70a、 70b。這里，第一、第二切削單元30a、 30b相對(duì) 于頂板部2的下表面，通過(guò)加工進(jìn)給單元50、第一、第二分度進(jìn)給單元 60a、 60b以及第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b而被懸吊支撐，而且位 置比卡盤(pán)工作臺(tái)20更靠上部。
首先，加工進(jìn)給單元50用于通過(guò)使X軸工作臺(tái)51在X軸方向上移 動(dòng)來(lái)使第一、第二切削單元30a、 30b相對(duì)于卡盤(pán)工作臺(tái)20同時(shí)在X軸 方向上進(jìn)行加工進(jìn)給。加工進(jìn)給單元50具有X軸工作臺(tái)51，其配置在 頂板部2的下表面，并具有橫貫Y軸方向的整個(gè)可動(dòng)范圍區(qū)域的長(zhǎng)度； 一對(duì)導(dǎo)軌52，它們?cè)陧敯宀?的下表面以橫貫X軸方向的整個(gè)可動(dòng)范圍 區(qū)域的長(zhǎng)度與X軸方向平行地形成；被導(dǎo)引槽53，其形成在X軸工作臺(tái) 51的上表面?zhèn)?，并以由?dǎo)軌52支撐的方式與導(dǎo)軌52配合，并同時(shí)由導(dǎo) 軌52沿X軸方向引導(dǎo)；滾珠絲杠54，其在頂板部2的下表面部沿X軸 方向配置，并旋合于在X軸工作臺(tái)51上形成的未圖示的內(nèi)螺紋孔中；電 動(dòng)機(jī)55,其與該滾珠絲杠54的一端連接，用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠54; 以及支撐滾珠絲杠54的另一端的軸承56。由此，在滾珠絲杠54通過(guò)電 動(dòng)機(jī)55的驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)時(shí)，X軸工作臺(tái)51在X軸方向上移動(dòng)，通過(guò)后述 的第一、第二分度進(jìn)給單元60a、 60b以及第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b而被懸吊支撐的第一、第二切削單元30a、 30b在X軸方向上被加工 進(jìn)給。
此外，第一、第二分度進(jìn)給單元60a、 60b用于通過(guò)使Y軸工作臺(tái) 61a、 61b在Y軸方向上移動(dòng)來(lái)使第一、第二切削單元30a、 30b相對(duì)于卡 盤(pán)工作臺(tái)20分別獨(dú)立地在Y軸方向上進(jìn)行分度進(jìn)給。第一、第二分度進(jìn) 給單元60a、 60b由對(duì)稱結(jié)構(gòu)構(gòu)成，并且具有倒L字形的Y軸工作臺(tái) 61a、 61b，它們配置在X軸工作臺(tái)51的下表面；共用的一對(duì)導(dǎo)軌62， 其在X軸工作臺(tái)51的下表面以橫貫Y軸方向的大致整個(gè)區(qū)域的長(zhǎng)度與Y 軸方向平行地形成；被導(dǎo)引槽63a、 63b，它們形成在Y軸工作臺(tái)61a、61b的上表面?zhèn)龋⒁杂蓪?dǎo)軌62支撐的方式與導(dǎo)軌62配合，并同時(shí)由導(dǎo) 軌62沿Y軸方向引導(dǎo)；滾珠絲杠64a、 64b，它們?cè)赬軸工作臺(tái)51的下 表面部沿Y軸方向配置，且旋合于在Y軸工作臺(tái)61a、 61b上形成的未 圖示的內(nèi)螺紋孔中；電動(dòng)機(jī)65a、 65b，它們連接于所述滾珠絲杠64a、 64b的一端，用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠64a、 64b;以及軸承66a、 66b，它 們支撐滾珠絲杠64a、 64b的另一端。由此，在滾珠絲杠64a、 64b通過(guò) 電動(dòng)機(jī)65a、 65b的驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)時(shí)，Y軸工作臺(tái)61a、 61b在Y軸方向上 移動(dòng)，通過(guò)后述的第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b而被懸吊支撐的第 一、第二切削單元30a、 30b在Y軸方向上獨(dú)立地被分度進(jìn)給。
再有，第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b用于通過(guò)使Z軸工作臺(tái) 71a、 71b在Z軸方向上移動(dòng)來(lái)使第一、第二切削單元30a、 30b相對(duì)于卡 盤(pán)工作臺(tái)20分別獨(dú)立地在Z軸方向上進(jìn)行切入進(jìn)給。第一、第二切入進(jìn) 給單元70a、 70b由相同結(jié)構(gòu)構(gòu)成，并且具有Z軸工作臺(tái)71a、 71b，它 們配置在倒L字形的Y軸工作臺(tái)61的垂直面上，并一體地支撐第一、第 二主軸32a、 32b部分；共用的一對(duì)導(dǎo)軌72a、 72b，它們?cè)诘筁字形的Y 軸工作臺(tái)61的垂直面上與Z軸方向平行地形成；被導(dǎo)引槽73a、 73b，它 們形成在Z軸工作臺(tái)71a、 71b的背面?zhèn)却怪泵嫔希⒁杂蓪?dǎo)軌72a、 72b 支撐的方式與導(dǎo)軌72a、 72b配合，并同時(shí)由導(dǎo)軌72a、 72b沿Z軸方向 引導(dǎo)；滾珠絲杠74a、 74b，它們?cè)赮軸工作臺(tái)61的垂直面上沿Z軸方 向配置，并且旋合于在Z軸工作臺(tái)71a、 71b上形成的未圖示的內(nèi)螺紋孔 中；電動(dòng)機(jī)75a、 75b，它們連接于所述滾珠絲杠74a、 74b的一端，用于 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠74a、 74b;以及支撐滾珠絲杠74a、 74b的另一端的未 圖示的軸承。由此，在滾珠絲杠74a、 74b通過(guò)電動(dòng)機(jī)75a、 75b的驅(qū)動(dòng) 而旋轉(zhuǎn)時(shí)，Z軸工作臺(tái)71a、 71b在Z軸方向上進(jìn)行升降移動(dòng)，懸吊支撐 于Z軸工作臺(tái)71a、 71b的第一、第二切削單元30a、 30b在Z軸方向上 獨(dú)立地被切入進(jìn)給。
再有，如圖3所示，本實(shí)施方式的加工裝置l，具有X軸防水單元 80、 Y軸防水單元85以及Z軸防水單元90a、 90b來(lái)作為針對(duì)切削液的 防水單元。
X軸防水單元80用于對(duì)加工進(jìn)給單元50進(jìn)行防水，其由波紋部件 81a和波紋部件81b這一對(duì)部件構(gòu)成，波紋部件81a卡定在X軸工作臺(tái) 51的X軸方向的一端和通過(guò)頂板部2固定的固定端之間，波紋部件81b 卡定在X軸工作臺(tái)51的X軸方向的另一端和通過(guò)頂板部2固定的固定 端之間。所述一對(duì)波紋部件81a、 81b跟隨X軸工作臺(tái)51在X軸方向的 加工進(jìn)給而在X軸方向上伸縮，從而始終將加工進(jìn)給單元50的下表面?zhèn)?全面地封閉起來(lái)。
此外，Y軸防水單元85用于對(duì)第一、第二分度進(jìn)給單元60進(jìn)行防 水，其由一對(duì)薄板材料87a、 87b構(gòu)成，薄板材料87a、 87b的一端分別 卡定在Y軸工作臺(tái)61a、 61b的對(duì)置的端部上，另一端側(cè)則可在巻繞機(jī)構(gòu) 86內(nèi)分別自由地拉進(jìn)、拉出，巻繞機(jī)構(gòu)86在中央部支撐在X軸工作臺(tái) 51的下表面上。所述薄板材料87a、 87b構(gòu)成為通過(guò)例如加熱而成形，并 以跟隨Y軸工作臺(tái)61a、 61b在Y軸方向上的分度進(jìn)給而在巻繞機(jī)構(gòu)86 內(nèi)拉進(jìn)或拉出的方式，在Y軸方向上伸縮，從而始終將第一、第二分度 進(jìn)給單元60a、 60b的滾珠絲杠64a、 64b等的下表面?zhèn)热娴胤忾]起來(lái)。
再有，Z軸防水單元90a、 90b用于對(duì)第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b進(jìn)行防水，其由波紋部件91a、 91b構(gòu)成，波紋部件91a、 91b以圍繞 滾珠絲杠74a、 74b等的周?chē)姆绞?，卡定在Y軸工作臺(tái)61a、 61b的下 表面和Z軸工作臺(tái)71a、 71b之間。所述波紋部件91a、 91b跟隨Z軸工 作臺(tái)71a、 71b在Z軸方向上的切入進(jìn)給而在Z軸方向上伸縮，從而始終 將第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b的滾珠絲杠74a、 74b等的周?chē)?面地封閉起來(lái)。
再有，在包含第一、第二切削單元30a、 30b的加工進(jìn)給范圍的卡盤(pán) 工作臺(tái)20的周?chē)运軤顟B(tài)配置有接收切削液的未圖示的接水盒 (watercase)。該接水盒形成為單純的箱形形狀，在其底部的一部分例如 在角部形成有排液口，并連接有排水用的排水管。此外，接水盒的上空 作為未圖示的加工室而形成，該加工室包括具有上述頂板部2的支柱3 在內(nèi)封閉加工部整體，在該加工室的后壁連接有排氣管。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，概要地說(shuō)，由卡盤(pán)工作臺(tái)20抽吸保持的被加工物10通過(guò)利用未圖示的對(duì)準(zhǔn)單元的對(duì)分割預(yù)定線的拍攝、圖案匹配等對(duì)準(zhǔn) 處理，來(lái)檢測(cè)切削區(qū)域，以供切削加工動(dòng)作。而且，通過(guò)分度進(jìn)給單元
60a、 60b使對(duì)應(yīng)的第一、第二切削單元30a、 30b分別獨(dú)立地在Y軸方向 上分度進(jìn)給，從而相對(duì)于卡盤(pán)工作臺(tái)20上的作為被加工物10的鼎片的 切削區(qū)域進(jìn)行第一、第二切削刀具31a、 31b的位置分度。在位置分度后， 對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的第一、第二切削刀具31a、 31b通過(guò)加工進(jìn)給單元50在X 軸方向上進(jìn)行加工進(jìn)給，并且通過(guò)第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b在 Z軸方向上進(jìn)行預(yù)定量的切入進(jìn)給，從而對(duì)晶片沿期望的兩條分割預(yù)定線 同時(shí)進(jìn)行切削形成切削槽，由此進(jìn)行切斷。再有，如果是雙重切割時(shí)， 則通過(guò)相同結(jié)構(gòu)的第一、第二切削刀具31a、 31b每次對(duì)相當(dāng)于兩條線的 分割預(yù)定線并行地同時(shí)進(jìn)行全切割，如果是步進(jìn)切割時(shí)，則這樣動(dòng)作-通過(guò)例如半切割用的第一切削刀具31a對(duì)分割預(yù)定線依次進(jìn)行半切割， 然后通過(guò)全切割用的第二切削刀具31b對(duì)半切割后的分割預(yù)定線依次并 行地進(jìn)行全切割。
在此類(lèi)切削處理時(shí)，通過(guò)對(duì)第一、第二切削刀具31a、 31b的加工點(diǎn) 從切削液供給單元40的噴射嘴41a、 41b供給切削液，來(lái)冷卻加工點(diǎn)、 或沖洗晶片上的切削屑。在對(duì)預(yù)定方向的全部分割預(yù)定線執(zhí)行這樣的切 削處理后，通過(guò)未圖示的電動(dòng)機(jī)來(lái)使卡盤(pán)工作臺(tái)20旋轉(zhuǎn)90度，由此使 晶片的方向旋轉(zhuǎn)90度，然后對(duì)與切削后的分割預(yù)定線正交的方向上剩余 的分割預(yù)定線也同樣地進(jìn)行切削處理。
在此類(lèi)切削動(dòng)作中，從噴射噴嘴41a、 41b噴射的冷卻、清潔后的清 洗水或沖掉的切削屑，從卡盤(pán)工作臺(tái)20上落下到周?chē)慕铀袃?nèi)。這里， 由于接水盒沒(méi)有凹凸地形成為平面，所以落下的清洗水和切削屑從排液 口通過(guò)排水管排出到機(jī)外。此時(shí)，由于接水盒和卡盤(pán)工作臺(tái)20的圓筒部 件22之間保持為水密狀態(tài)，所以切削液等不會(huì)從該部分進(jìn)入到機(jī)內(nèi)。
此外，由于清洗水從噴射嘴41a、 41b對(duì)第一、第二切削刀具31a、 31b進(jìn)行噴射，所以即使切削液向第一、第二切削刀具31a、 31b周?chē)?第一、第二切入進(jìn)給單元70a、 70b、第一、第二分度進(jìn)給單元60a、 60b 以及加工進(jìn)給單元50側(cè)飛濺，也會(huì)通過(guò)Z軸防水單元90、 Y軸防水單元85以及X軸防水單元80進(jìn)行防水，切削液不會(huì)落到滾珠絲杠74a、 74b、 64a、 64b、 54等上。特別是根據(jù)本實(shí)施方式，第一、第二切入進(jìn)給單元 70a、 70b、第一、第二分度進(jìn)給單元60a、 60b以及加工進(jìn)給單元50，皆 位于比噴射切削液的加工點(diǎn)靠上部的位置，直接落上的切削液的量原本 就比成為正下方的卡盤(pán)工作臺(tái)20側(cè)少，而且落上的切削液的大部分為噴 霧狀，作為波紋部件91a、 91b、 81a、 81b和薄板材料87a、 87b，采用針 對(duì)噴霧狀的水的防水對(duì)策即可(特別是在本實(shí)施方式中，加工室內(nèi)的水 蒸氣和噴霧狀的水總是通過(guò)排氣管排出)，因此切削屑等不會(huì)積存，結(jié)構(gòu) 也簡(jiǎn)單，而且即使波紋部件91a、 91b、 81a、 81b、或薄板材料87a、 87b 進(jìn)行了伸縮動(dòng)作，異物的附著也少，損耗的程度低，與現(xiàn)有的在卡盤(pán)工 作臺(tái)周?chē)乃脚渲玫牟y部件的情況相比，防水效果高。
本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，只要在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)， 可進(jìn)行各種變形。例如，在本實(shí)施方式中，雖然構(gòu)成為通過(guò)電動(dòng)機(jī)使卡 盤(pán)工作臺(tái)20能夠旋轉(zhuǎn)，但卡盤(pán)工作臺(tái)20也可以是根據(jù)成為加工對(duì)象的 被加工物10而不旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。此外，加工進(jìn)給單元50、第一、第二分度 進(jìn)給單元60a、 60b和切入進(jìn)給單元70a、 70b的配置和結(jié)構(gòu)并不限于實(shí)施方式所示的示例，其可適當(dāng)變化。再有，即使作為切削單元，也并不 限于第一、第二切削單元30a、 30b那樣具有多個(gè)的示例，也可以是例如具有單個(gè)的切削單元的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種加工裝置，其特征在于，所述加工裝置具有卡盤(pán)工作臺(tái)，其具有保持被加工物的保持面，該卡盤(pán)工作臺(tái)在XY平面內(nèi)的位置固定；切削單元，其具有主軸，在該主軸上可旋轉(zhuǎn)地安裝有對(duì)保持在所述卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行切削的切削刀具；分度進(jìn)給單元，其在與所述卡盤(pán)工作臺(tái)的所述保持面平行、且作為所述主軸的軸心方向的Y軸方向上對(duì)所述切削單元進(jìn)行分度進(jìn)給；加工進(jìn)給單元，其對(duì)所述切削單元在與Y軸方向正交的X軸方向上進(jìn)行加工進(jìn)給；以及切入進(jìn)給單元，其對(duì)所述切削單元在與X軸方向和Y軸方向正交的Z軸方向上進(jìn)行切入進(jìn)給。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其特征在于， 所述加工裝置具有多個(gè)所述切削單元， 在每個(gè)所述切削單元上獨(dú)立地設(shè)置所述切入進(jìn)給單元。
全文摘要
本發(fā)明提供一種加工裝置，其在不對(duì)切削加工動(dòng)作產(chǎn)生障礙的情況下可使針對(duì)切削液的防水結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化并可提高防水效果。保持被加工物(10)的卡盤(pán)工作臺(tái)(20)設(shè)置成在XY平面內(nèi)的位置固定，另一方面，構(gòu)成為通過(guò)加工進(jìn)給單元(50)對(duì)切削單元(30a、30b)在X軸方向進(jìn)行加工進(jìn)給，并且通過(guò)切入進(jìn)給單元(70a、70b)對(duì)切削單元在Z軸方向上進(jìn)行切入進(jìn)給，由此來(lái)進(jìn)行在卡盤(pán)工作臺(tái)上保持的被加工物的切削加工，作為針對(duì)切削液的防水，不需要借助于卡盤(pán)工作臺(tái)周?chē)乃脚渲玫牟y結(jié)構(gòu)所形成的防水單元，只要例如在卡盤(pán)工作臺(tái)的上方設(shè)置相對(duì)于加工進(jìn)給單元、分度進(jìn)給單元和切入進(jìn)給單元可隨動(dòng)于進(jìn)給動(dòng)作而活動(dòng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的防水單元即可。
文檔編號(hào)H01L21/70GK101197316SQ20071018653
公開(kāi)日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2007年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月8日
發(fā)明者堀口義則, 田中萬(wàn)平 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科