專利名稱：輸送控制裝置以及輸送控制方法
技術領域：
本發(fā)明涉及當在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑時，控制 在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送裝置的輸送控制裝置以及輸送控制方 法。
背景技術：
目前，存在具有多個處理裝置的處理設備。在多個處理裝置之間存在多個
^c輸送物的輸送路徑。并且，處理設備還具有在這些輸送路徑上輸送被輸送物
的輸送裝置。并且，在該處理設備中，對一個輸送裝置對應著多個被輸送物。 在這樣的處理設備中，為了實現高效率的處理，關于將哪個被輸送物輸送
到哪個處理裝置，需要適當地控制輸送裝置。
在現有的輸送控制方法中，按照根據被輸送物向輸送裝置的到達順序、到
達時刻、輸送時間、以及等待時間等預定的順序、或者按照根據負荷狀況等預
先安排的順序，輸送裝置輸送被輸送物。
此外，在現有的輸送控制方法中，將被輸送物裝載在裝載箱中集中起來一
次輸送多個祐:輸送物。
例如，在日本特開平9-30617號公報中，記載了以下的輸送系統與被輸 送物的輸送同步地從控制裝置向下一個控制裝置輸出輸送指示數據，由此使輸 送設備迅速地輸送被輸送物。作為在自動倉庫內輸送被輸送物的輸送裝置，該 輸送系統具備堆垛起重機、有軌臺車、接收用輸送器、以及出入庫用輸送器。 起重機控制裝置控制起重機，臺車控制裝置控制有軌臺車，輸送器控制裝置控 制各輸送器。通過同一通信線路連接各個控制裝置和生成指示輸送作業(yè)的數據 (輸送指示數據)的在庫管理計算機。
從在庫管理計算機輸出的輸送指示數據，經由通信線路依次從控制裝置向 控制裝置輸出，各個控制裝置按照輸送指示數據控制輸送裝置來進行輸送作 業(yè)。
發(fā)明內容
在上述現有的輸送控制方法中，因為在裝載箱中裝載多個被輸送物集中起 來一次輸送多個被輸送物，所以在被輸送物的更換較少的工序中輸送效率提 高。但是，在被輸送物的更換較多的工序中，輸送效率降^氐。在被輸送物的更 換較多的工序中，不是在裝載箱中裝載多個被輸送物進行輸送，而是通過一個 一個輸送被輸送物的所謂的單片輸送方法來進行輸送，這樣的輸送方法輸送效 率提高。
但是，在一個一個地輸送被輸送物的單片輸送線中，由于運算處理數據量
巨大，所以由于運算處理所需要的時間的原因難以縮短生產節(jié)拍時間(tact time)。此外，作為運算處理裝置，需要大型的裝置。
例如，在液晶面板制造工廠中，生產管理系統管理全部的工序順序。但是， 當 一片 一片地進行輸送來處理基板時，生產管理系統和單片輸送控制系統的通 信量增大，生產管理系統管理全部的工序處理的順序變得困難。
因此，本發(fā)明的目的在于提供即使在所謂的單片輸送線中，也不增大運 算處理數據量，作為運算處理裝置不需要大型的裝置，并且運算處理所需要的 時間也不會變長的輸送控制裝置以及輸送控制方法。
本發(fā)明的輸送控制裝置是在一種在多個處理裝置之間存在多個被輸送物 的輸送路徑，具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且使多 個被輸送物與一個所述輸送裝置對應的處理設備中，對所述輸送裝置進行控制 的裝置。輸送控制裝置具備控制所述各個輸送裝置的控制單元。所述控制單元 從上位系統接收分類條件，根據該分類條件生成分類信息，判定產生批量是否 已經開始，如果該生產批量已經開始，則判定在所述處理設備的被輸送物的 送出端口中是否具有空閑的送出端口，生產批量是否已經完成，以及是否具有 優(yōu)先度高的分類條件，如果生產批量已經完成并且具有空閑的送出端口，則按 照優(yōu)先度高的分類條件對所述送出端口分配分類信息，按照該分類信息控制所 述輸送裝置。
本發(fā)明的輸送控制方法是在一種在多個處理裝置之間存在多個被輸送物 的輸送路徑，具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且對一 個所述輸送裝置對應了多個被輸送物的處理設備中，對所述輸送裝置進行控制的輸送控制方法。根據所述輸送控制方法，從上位系統取得分類條件，根據該 分類條件生成分類信息，判定產生批量是否已經開始，如果該生產批量已經開 始，則判定在所述處理設備的被輸送物的送出端口中是否具有空閑的送出端 口，生產批量是否已經完成，以及是否具有優(yōu)先度高的分類條件，如果生產批 量已經完成并且具有空閑的送出端口 ，則按照優(yōu)先度高的分類條件對所述送出 端口分配分類信息，按照該分類信息控制所述輸送裝置。
根據本發(fā)明的輸送控制裝置，控制單元從上位系統接收分類條件，決定應 該將各被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個輸送端口。因此，控制單元即使 關于被輸送物的每一個沒有從上位系統取得指示，也可以按照處理結果單獨地 將被輸送物輸送到輸送端口 ，所以輸送效率提高。
根據本發(fā)明的輸送控制方法，控制單元從上位系統接收分類條件，決定應 該將各被輸送物中的哪個被輸送物輸送到哪個輸送端口。因此，即使關于被輸 送物的每一個沒有從上位系統取得指示，也可以按照處理結果將被輸送物輸送 到輸送端口，所以輸送效率提高。
圖1是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的一實施方式的結構的方框圖。
圖2是表示應用了所述輸送控制裝置的處理設備的結構的(a)平面圖以 及(b)側面圖。
圖3是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的一實施方式的處理設備的結構 的方框圖。
圖4是表示所述輸送控制裝置的輸送控制系統的動作的流程圖。
圖5 (a)是表示所述輸送控制裝置的輸送控制系統的工序信息的生成動 作的流程圖，(b)是表示生產批量完成信息的項目例子的表，(c)是表示生產 批量信息的項目例子的表，(d )是表示輸送指示信息的項目例子的表。
圖6 (a)是表示所述輸送控制裝置的輸送控制系統的分類信息的生成動 作的流程圖，(b)是表示分類信息的項目例子的表。
圖7 (a)是表示所述輸送控制裝置從生產管理系統接收的工序流程的例 子的方框圖，(b)是表示與(a)對應的輸送物的流動的例子的流動圖。
圖8 (a)是表示所述輸送控制裝置從生產管理系統接收的分類條件的例子的方框圖，(b)是表示與(a)對應的輸送物的流動的流動圖。
符號說明
1生產管理系統(上位系統)；2輸送控制系統(控制單元)；3-l n設備控制板；101~104處理裝置(工序A D); 106、 107輸送裝置
具體實施例方式
以下，根據
本發(fā)明的一實施方式。(輸送控制裝置的結構)
圖1是表示本實施方式的輸送控制裝置的結構的方框圖。
如圖1所示，本實施方式的輸送控制裝置具有從生產管理系統(上位系統)1接收指示的輸送控制系統(控制單元)2。輸送控制系統2控制多個設備控
制板3-l、 3-2、......、 3-n,經由設備控制板3-l、 3-2、......、 3-n控制多個
處理裝置以及輸送裝置的動作。多個處理裝置以及輸送裝置構成了處理設備。
圖2是表示應用了本實施方式的輸送控制裝置的處理設備的結構的.(a)平面圖以及(b)側面圖。
在應用了本實施方式的輸送控制裝置的處理設備中，如圖2(a)所示，從成為出入口 105的送入送出端口 A E, 4殳入^C輸送物。通過輸送器(輸送裝置)106、 107在多個處理裝置(工序裝置)101-104之間輸送被輸送物。
如圖2所示，輸送器107由帶有分支功能的輸送器(以下成為分支輸送器FCV)、以及帶有縱向輸送(升降)功能的輸送器(以下稱為縱向輸送輸送器縱向CV)所組成。分支輸送器(FCV)水平輸送被輸送物，并且在處理裝置101~104之間進4亍#皮輸送物的收發(fā)。
在該處理設備中，在上下方向上裝載配置工序A的處理裝置101和工序D的處理裝置104。 jt匕外，在上下方向上裝載配置工序B的處理裝置102和工序C的處理裝置103。與分支輸送器(FCV)相向地配置這些各個處理裝置101~104。并且，在輸送線的起始端以及終端設置了緩沖器108。此外，在處理裝置101和處理裝置104之間設置了緩沖器109。并且，在處理裝置102和處理裝置103之間設置了緩沖器110。與縱向輸送輸送器(縱向CV)相向地配置了這些緩沖器108、 109、 110。在這些緩沖器108、 109、 IIO中臨時滯留從某個處理裝置輸送到下一個處理裝置之前期間的被輸送物。
6在該處理設備中，通過本實施方式的輸送控制裝置控制輸送器106、 107,由此將各個被輸送物輸送到各個處理裝置101 104以及各個緩沖器108 110的任意場所，在各個處理裝置101 104對各個被輸送物執(zhí)行規(guī)定處理(檢查)。
圖3是表示執(zhí)行本實施方式的輸送控制方法的處理設備的結構的方框圖。
如圖3所示，在處理設備中，在多個處理裝置101 104之間存在多個被輸送物的輸送路徑。處理設備具有按照輸送路徑輸送被輸送物的多個輸送裝置。此外，對于一個輸送裝置對應了多個被輸送物。
在這樣的處理設備中，按照從上位系統取得的處理裝置101~104(工序A D)之間的輸送信息，在處理裝置101 104之間依次輸送輸送線內的被輸送物(例如，FPD、用于半導體的玻璃基板等)。本實施方式的輸送控制方法改善這樣的處理設備的輸送效率。
在該處理設備中，在出入口 105投入的被輸送物依次被輸送到各個處理裝置101~104, "^丸行規(guī)定的處理，然后再次返回出入口 105。在該處理設備中，對于被輸送物，有可能根據在各個處理裝置的處理結果(例如^^查結果)，變更下一個輸送目的地處理裝置(工序)。此外，在該處理設備中，因為有時將被輸送物多次輸送給同一處理裝置(例如檢查裝置)，所以在各個處理裝置之間的輸送路徑中存在多個分支、匯合。
本實施方式的輸送控制方法特別適合于 一 片 一 片地輸送被輸送物的單片輸送線。在單片輸送線中，同時進行輸送控制的被輸送物的數量巨大，通過現有的輸送控制方法控制極為困難。
(輸送控制裝置的動作(輸送控制方法))
圖4是表示本實施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統的動作的流程圖。
在該輸送控制裝置中，輸送控制系統2執(zhí)行圖4所示的處理。
在步驟stl中，收納了多個被輸送物的裝載箱到達工序(處理設備)。在
步驟st2,從生產管理系統(上位系統)l接收工序流程，處理進入到步驟St3
以及步驟st4。
在步驟st3中，展開工序流程使其成為工序信息，將工序信息分配給各個處理裝置(工序裝置)。在工序信息數據庫中積存工序信息。
另一方面，在步驟st4中，從生產管理系統(上位系統)l接收分類信息，處理進入到步驟St5以及步驟St6。
在步驟St5中，將分類信息展開，對各個裝載箱分配分類信息。在分類信息數據庫中積存分類信息。
在步驟st6中，根據在步驟st3積存的工序信息，生成裝載箱內的被輸送物(例如基板)每一個的工序流程，處理進入到步驟st7。在步驟st7中，按照工序流程，輸送被輸送物(基板)，處理進入到步驟st8。
在步驟st8中，對應工序處理結果，根據工序流程決定下一輸送目的地，處理進入到步驟st9。在步驟st9,判斷直到步驟st8所進行的處理是否為最終處理，如果是最終處理，則處理進入步驟st10,如果不是最終處理，則處理返回到步驟st7。
在步驟stl0中，根據在步驟st5中積存的分類信息，按照分類條件將被輸送物(基板)輸送到分類用裝載箱。
圖5 (a)是表示本實施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統中的工序信息的生成動作的流程圖。
如圖5 (a)所示，在生成工序信息時，當在步驟stll中輸送控制系統2接收到工序流程時，處理進入到步驟stl2以及步驟stl3。在此，在圖7(a)中表示了一方框圖，該方框圖表示輸送控制系統從生產管理系統接收的工序流程的一例。如圖7(a)所示，工序流程例如由"生產批量信息"、"品種代碼"、"批量ID"、"當前工序代碼"、"分類代碼"、"下一工序代碼"、"下一工序制法ID"組成。圖7 (b)表示與圖7 (a)對應的被輸送物(基板)的流動的例子。
在步驟stl2中，生成生產批量信息，處理進入到步驟stl4。在步驟stl4中，判定是否接收到生產批量完成信息，如果接收到生產批量完成信息，則處理進入步驟stl5。如果沒有接收到生產批量完成信息，則處理停留在步驟stl4。如圖5(b)所示，生產批量完成信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"工序代碼"、"分類代碼"組成。
在步驟stl5中，附加批量末端標記，處理進入步驟st19。另一方面，在步驟stl3中，生成不同輸送線的生產批量信息，處理進入步驟stl6。如圖5(c)所示，生產批量信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"工序代碼"、"分類代碼"、"處理片數"、"完成片數"、"損壞片數"、"處理狀態(tài)"組成。
在步驟Stl6中，判斷是否具有空閑的處理裝置，如果具有空閑的處理裝
置，則處理進入步驟st17。如果沒有空閑的處理裝置，則處理停留在步驟st16。在步驟stl7中，對輸送線的處理裝置分配生產批量信息，處理進入步驟st18。在步驟stl8中，對處理裝置分配制法ID (處理內容)，處理進入步驟st19。
在步驟stl9,生成輸送指示信息，處理進入步驟st20。如圖5(d)所示，輸送指示信息例如由"輸送ID"、"基板ID"、"批量末端標記"、"開始(From)位置"、"結束(To)位置"、"最終輸送目的地"、"處理狀態(tài)，，組成。
在步驟st20中，判斷能否進行向下一工序的輸送，如果可以輸送，則處理進入步驟st21。如果不可進行輸送，處理停留在步驟st20。在步驟st21中，指示輸送被輸送物，處理進入步驟st22。在步驟st22中，判定是否為批量末端，如果為批量末端，則結束批量。如果不是批量末端，則處理返回到步驟st19。
圖6 (a)是表示本實施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統中的分類信息的生成動作的流程圖。
如圖6 (a)所示，在生成分類信息時，當在步驟st21中輸送控制系統2接收到分類條件時，處理進入步驟st32。在此，圖8表示一方框圖，該方框圖表示輸送控制系統從生產管理系統接收的分類條件的一例。如圖8 (a)所示，分類條件例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"代表工序代碼"、"代表分類代碼"、"優(yōu)先度"、"基板信息"、"輸送基板片數"、"處理狀態(tài)"組成。在圖7 (b)中表示與圖7(a)對應的輸送物(基板)的流動的例子。
在步驟st32中，生成分類信息，處理進入到步驟st33。如圖6(b)所示，分類信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"代表工序代碼"、"代表分類代碼"、"優(yōu)先度"、"基板信息"、"送出基板片數"、"處理狀態(tài)"組成。
在步驟st33中，判斷是否存在空閑的送入送出端口，如果有空閑的送入送出端口，則處理進入到步驟st34。如果沒有空閑的送入送出端口，處理停留在步驟st33。
在步驟st34,判定生產批量是否已開始，如果已經開始，則處理進入步驟st35。如果沒有開始，則處理停留在步驟st34。在步驟St35中，判定生產批量是否已完成，如果已經完成，則處理進入
步驟st36。如果沒有完成，則處理停留在步驟st35。
在步驟st36,判斷是否存在優(yōu)先度高的分類條件，如果存在優(yōu)先度高的分類條件，則處理進入步驟st37。如果不存在優(yōu)先度高的分類條件，則處理停留在步驟st36。
在步驟st37中，對送入送出端口分配分類信息，處理結束。
權利要求
1.一種輸送控制裝置，其是在處理設備中對所述輸送裝置進行控制的輸送控制裝置，該處理設備在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路徑，具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且使多個被輸送物與一個所述輸送裝置對應，該輸送控制裝置具備控制所述各個輸送裝置的控制單元，所述控制單元，從上位系統接收分類條件，根據該分類條件生成分類信息，判定產生批量是否已經開始，如果該生產批量已經開始，則判斷在所述處理設備的被輸送物的送出端口中是否具有空閑的送出端口，生產批量是否已經完成，以及是否具有優(yōu)先度高的分類條件，如果生產批量已經完成并且具有空閑的送出端口，則按照優(yōu)先度高的分類條件對所述送出端口分配分類信息，按照該分類信息控制所述輸送裝置。
2. —種輸送控制方法，其是在的處理設備中對所述輸送裝置進行控制的 輸送控制方法，該處理設備在多個處理裝置之間存在多個被輸送物的輸送路 徑，具有多個沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且對一個所述輸 送裝置對應了多個被輸送物，該輸送控制方法，從上位系統取得分類條件，根據該分類條件生成分類,信息，判定生產批量是否已經開始，如果該生產批量已經開始，則判斷在所述處理設備的被輸送物的送出端 口中是否具有空閑的送出端口，生產批量是否已經完成，以及是否具有優(yōu)先度 高的分類條件，如果生產批量已經完成并且具有空閑的送出端口 ，則按照優(yōu)先度高的分類 條件對所述送出端口分配分類信息，按照該分類信息控制所述輸送裝置。
全文摘要
提供一種輸送控制裝置和輸送控制方法，即使在被輸送物的輸送目的地的負荷高時，也可實現縮短整個處理裝置的生產節(jié)拍時間，此外，即使是單片輸送線也不會增大要進行運算處理的數據量，無需大型運算處理裝置，運算處理時間不會變長。輸送控制裝置具備控制處理設備的各輸送裝置的控制單元?？刂茊卧獜纳衔幌到y接收分類條件，根據該分類條件生成生產分類信息，判定產生批量是否已開始，如果生產批量已開始，則判斷在所述處理設備的被輸送物的送出端口中是否有空閑的輸送端口，生產批量是否已完成，以及是否有優(yōu)先度高的分類條件，如果生產批量已完成并且有空閑的送出端口，則按優(yōu)先度高的分類條件對送出端口分配分類信息，按該分類信息控制輸送裝置。
文檔編號G05B19/418GK101661285SQ20091016351
公開日2010年3月3日 申請日期2009年8月26日 優(yōu)先權日2008年8月29日
發(fā)明者大塚泰靖, 志田倫教, 長谷川文夫 申請人:株式會社Ihi;Ihi愛斯久布股份有限公司