專利名稱：聯(lián)鎖控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多個(gè)控制模塊的聯(lián)鎖控制裝置，特別是，涉及在蝕刻裝置等的半導(dǎo)體制造裝置中分別驅(qū)動(dòng)控制至少1個(gè)設(shè)備的多個(gè)控制模塊之間實(shí)施聯(lián)鎖控制的聯(lián)鎖控制裝置。
背景技術(shù)：
在已有的蝕刻裝置等的半導(dǎo)體制造裝置中，具有聯(lián)鎖控制功能。在具有這種現(xiàn)有的聯(lián)鎖控制功能的半導(dǎo)體制造裝置中，在每個(gè)為了控制用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造裝置的各功能的多個(gè)設(shè)備的控制模塊中設(shè)置聯(lián)鎖電路，在各個(gè)控制模塊的每一個(gè)中進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
此外，也存在著在各控制模塊之間聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行聯(lián)鎖控制的情形，在該情形中，在控制模塊之間發(fā)送接收用于聯(lián)鎖控制的信號(hào)。即，在現(xiàn)有的聯(lián)鎖控制裝置中，在控制模塊之間對(duì)每個(gè)用于實(shí)施聯(lián)鎖控制的聯(lián)鎖要因發(fā)送接收個(gè)別的聯(lián)鎖控制信號(hào)，在各控制模塊之間聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行聯(lián)鎖控制(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。例如，當(dāng)控制氣體供給裝置的氣體供給至控制模塊以對(duì)氣體供給裝置實(shí)施聯(lián)鎖控制時(shí)，在多個(gè)控制模塊中分別檢測(cè)包含來(lái)自氣體泄漏檢測(cè)器的氣體泄漏警報(bào)等的多個(gè)聯(lián)鎖要因，對(duì)每個(gè)檢測(cè)出的聯(lián)鎖要因?qū)€(gè)別的聯(lián)鎖控制信號(hào)發(fā)送到氣體供給控制模塊，氣體供給控制模塊接收上述多個(gè)聯(lián)鎖要因，當(dāng)聯(lián)鎖條件成立時(shí)，對(duì)作為聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)的設(shè)備的氣體供給箱實(shí)施聯(lián)鎖控制。
專利文獻(xiàn)1日本特愿平05-204401號(hào)專利公報(bào)但是，在當(dāng)半導(dǎo)體制造裝置等的裝置功能復(fù)雜化時(shí)，聯(lián)鎖控制條件也變得復(fù)雜化，此外，當(dāng)重視裝置的安全性時(shí)聯(lián)鎖控制條件也復(fù)雜化的已有的聯(lián)鎖控制裝置中，因?yàn)槿缟纤龅貙?duì)每個(gè)聯(lián)鎖要因在各控制模塊之間發(fā)送接收個(gè)別的聯(lián)鎖控制信號(hào)，所以聯(lián)鎖控制信號(hào)的數(shù)量變得很龐大，用于連接各控制模塊之間的配線變得復(fù)雜。
此外，在現(xiàn)有的聯(lián)鎖控制裝置中，因?yàn)閷?duì)每個(gè)聯(lián)鎖控制條件在控制模塊之間發(fā)送接收的聯(lián)鎖控制信號(hào)不同，所以在追加新的半導(dǎo)體制造裝置的開(kāi)發(fā)和控制模塊等的限度內(nèi)，需要新設(shè)計(jì)各控制模塊的聯(lián)鎖電路和變更設(shè)計(jì)等。
進(jìn)一步，在現(xiàn)有的聯(lián)鎖控制裝置中，伴隨著聯(lián)鎖功能的復(fù)雜化，當(dāng)在裝置的故障等中實(shí)施聯(lián)鎖控制時(shí)，解析其原因是困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能夠使構(gòu)造單純化的聯(lián)鎖控制裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明第一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置是具有分別驅(qū)動(dòng)控制至少1個(gè)設(shè)備的多個(gè)控制模塊的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于具有與上述多個(gè)控制模塊中的各個(gè)對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置，其中，上述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置包括對(duì)表示上述對(duì)應(yīng)的控制模塊所驅(qū)動(dòng)控制的上述設(shè)備的多個(gè)狀態(tài)的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)的多路化裝置、存儲(chǔ)上述多路化信號(hào)的存儲(chǔ)裝置、讀出上述存儲(chǔ)的多路化信號(hào)的讀出裝置、分離上述讀出的多路化信號(hào)而生成多個(gè)分離信號(hào)的分離裝置、將上述多個(gè)分離信號(hào)內(nèi)規(guī)定的分離信號(hào)傳送到上述對(duì)應(yīng)的控制模塊以外的控制模塊的傳送裝置、和根據(jù)上述分離信號(hào)驅(qū)動(dòng)控制上述對(duì)應(yīng)設(shè)備的至少1個(gè)控制裝置。
本發(fā)明第二方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，上述多路化裝置以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)ι鲜鰻顟B(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化，上述讀出裝置根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件從上述存儲(chǔ)的多路化信號(hào)讀出上述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，以該讀出的順序?qū)ι鲜鲎x出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。
本發(fā)明第三方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第一方面或者第二方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，具有分離信號(hào)監(jiān)視裝置，判別上述分離信號(hào)是否正常，當(dāng)上述分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的設(shè)備的控制信號(hào)，并輸出到與上述分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的控制裝置。
本發(fā)明第四方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第一方面至第三方面中任一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，上述從開(kāi)關(guān)裝置具有能夠顯示上述多路化信號(hào)的監(jiān)視器接口。
本發(fā)明第五方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第一方面至第四方面中任一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，具有連接上述傳送裝置、并且連接上述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置的主開(kāi)關(guān)裝置，其中，上述主開(kāi)關(guān)裝置包括對(duì)上述各個(gè)傳送裝置傳送的上述規(guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)的主多路化裝置、存儲(chǔ)上述主多路化信號(hào)的主存儲(chǔ)裝置、讀出上述存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)的主讀出裝置、分離上述讀出的主多路化信號(hào)而生成多個(gè)主分離信號(hào)的主分離裝置、和將上述主分離信號(hào)輸出到上述從開(kāi)關(guān)裝置的輸出裝置。
本發(fā)明第六方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第五方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，上述主多路化裝置，以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)ι鲜鰝魉偷囊?guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化，上述主讀出裝置，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件從上述存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)讀出上述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，并以該讀出的順序?qū)ι鲜鲎x出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)。
本發(fā)明第七方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第五方面或者第六方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，上述多路化裝置對(duì)上述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)和上述主分離信號(hào)進(jìn)行多路化。
本發(fā)明第八方面所述的聯(lián)鎖控制裝置的特征在于在第五方面至第七方面中任一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置中，上述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置具有主分離信號(hào)監(jiān)視裝置，判別上述主分離信號(hào)是否正常，當(dāng)上述主分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該主分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的上述控制模塊控制的上述設(shè)備的控制信號(hào)的。
第一方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，在與多個(gè)控制控制模塊中的各個(gè)對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置中，對(duì)通過(guò)檢測(cè)控制模塊控制的設(shè)備的多個(gè)狀態(tài)而生成的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)，分離該多路化信號(hào)生成多個(gè)分離信號(hào)，將規(guī)定的分離信號(hào)傳送到其它的控制模塊，根據(jù)分離信號(hào)驅(qū)動(dòng)控制對(duì)應(yīng)設(shè)備。這樣，因?yàn)槟軌驅(qū)魉偷狡渌刂颇K的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)作為多路化了信號(hào)，所以能夠減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)數(shù)量，能夠減少用于連接控制模塊之間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。
如果根據(jù)第二方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，則以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)顟B(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化并存儲(chǔ)起來(lái)，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件根據(jù)該存儲(chǔ)的多路化信號(hào)讀出狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，以讀出的順序?qū)ψx出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化。從而，即便在各控制模塊中追加和變更功能，或者追加新的控制模塊，通過(guò)變更上述預(yù)先設(shè)定的順序和條件也能夠進(jìn)行控制模塊的所要的聯(lián)鎖控制。這樣，能夠容易地與追加和變更控制模塊的功能以及追加新的控制模塊相對(duì)應(yīng)。
如果根據(jù)第三方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，則判別分離信號(hào)是否正常，當(dāng)分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的設(shè)備的控制信號(hào)。因此，能夠提高聯(lián)鎖控制裝置的安全性。
如果根據(jù)第四方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，則因?yàn)閺拈_(kāi)關(guān)裝置具有能夠顯示多路化信號(hào)的監(jiān)視器接口，所以操作者能夠容易地觀察多路傳送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，即聯(lián)鎖要因信號(hào)。因此，根據(jù)該聯(lián)鎖要因信號(hào)能夠容易地監(jiān)視裝置的狀態(tài)，當(dāng)在裝置中發(fā)生障礙時(shí)能夠容易地進(jìn)行原因分析等。
如果根據(jù)第五方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，則主開(kāi)關(guān)裝置連接各從開(kāi)關(guān)裝置，主開(kāi)關(guān)裝置對(duì)從各從開(kāi)關(guān)裝置傳送的規(guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)并將其存儲(chǔ)起來(lái)，讀出并分離存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)而生成多個(gè)主分離信號(hào)，將主分離信號(hào)輸出到各從開(kāi)關(guān)裝置。這樣，因?yàn)槟軌驅(qū)⒃诳刂颇K之間傳送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)作為已多路化的信號(hào)，所以能夠減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)數(shù)量，能夠減少用于連接控制模塊間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。此外，即便在各控制模塊中追加和變更功能，或者追加新的控制模塊，通過(guò)變更主開(kāi)關(guān)裝置的構(gòu)成也能夠進(jìn)行控制模塊的所要的聯(lián)鎖控制。這樣，能夠容易地與追加和變更各控制模塊的功能，追加新的控制模塊相對(duì)應(yīng)。
如果根據(jù)第六方面所述記載的聯(lián)鎖控制裝置，則在主開(kāi)關(guān)裝置中，以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)母鲝拈_(kāi)關(guān)裝置傳送的規(guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件從存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)讀出狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，以讀出的順序?qū)ψx出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)。從而，即便在各控制模塊中追加和變更功能，或者追加新的控制模塊，通過(guò)變更上述預(yù)先設(shè)定順序和條件也能夠進(jìn)行所要的控制模塊的聯(lián)鎖控制。這樣，能夠容易地與追加和變更各控制模塊的功能，追加新的控制模塊相對(duì)應(yīng)。
如果根據(jù)第七方面所述的聯(lián)鎖控制裝置，則因?yàn)樵诟鲝拈_(kāi)關(guān)裝置中對(duì)狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)和主分離信號(hào)進(jìn)行多路化，所以根據(jù)與各控制模塊對(duì)應(yīng)的設(shè)備的多個(gè)狀態(tài)在各控制模塊中能夠?qū)嵤┞?lián)鎖控制。
如果根據(jù)第八方面所述的聯(lián)鎖控制電路，則在各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置中，判別主分離信號(hào)是否正常，當(dāng)主分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該主分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的控制模塊對(duì)應(yīng)的設(shè)備的控制信號(hào)。因此，能夠提高聯(lián)鎖控制裝置的安全性。


圖1A是表示與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置全體的概略構(gòu)成的方框圖。
圖1B是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1C是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1D是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1E是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1F是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1G是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1H是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖1I是表示圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖2A是用于說(shuō)明圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的基本工作的圖，圖2A(A)～(E)是例示在圖1B、C的A、B、C、D、E點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
圖2B是用于說(shuō)明圖1A的聯(lián)鎖控制裝置的基本工作的圖，圖2B(F)～(H)是例示在圖1B的F1～F3點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
圖3是例示錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)的圖。
圖4A是用于說(shuō)明圖1A中的主開(kāi)關(guān)裝置的基本工作的圖，圖4A(A)、(B)是例示在圖1I的主開(kāi)關(guān)裝置的G、H點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
圖4B是用于說(shuō)明圖1A中的主開(kāi)關(guān)裝置的基本工作的圖，圖4B(C)～(E)是例示在圖1I的主開(kāi)關(guān)裝置的I1、I2、I3點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
圖5是表示作為具有與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置的基板處理裝置的等離子體處理裝置的概略構(gòu)成的剖面圖。
圖6是表示圖5的等離子體處理裝置的系統(tǒng)控制器的方框圖。
圖7A是表示圖5的等離子體處理裝置具有的聯(lián)鎖控制裝置全體的概略構(gòu)成的方框圖。
圖7B是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖7C是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖7D是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖7E是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖7F是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖7G是表示圖7A的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。
圖8A是用于說(shuō)明圖7A中的從開(kāi)關(guān)電路的工作的圖，圖8A(A)、(B)是表示在圖7B、C的從開(kāi)關(guān)電路的A、B點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
圖8B是用于說(shuō)明圖7A中的從開(kāi)關(guān)電路的工作的圖，圖8B(C)～(E)是表示在圖7B的從開(kāi)關(guān)電路的C1、C2、C3點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
圖9A是用于說(shuō)明圖7A中的從開(kāi)關(guān)電路的工作的圖，圖9A(A)、(B)是表示在圖7D、E的從開(kāi)關(guān)電路的A、B點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
圖9B是用于說(shuō)明圖7A中的從開(kāi)關(guān)電路的工作的圖，圖9B(C)、(D)是表示在圖7D的從開(kāi)關(guān)電路的C1、C2點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
圖10是用于說(shuō)明圖7A中的主開(kāi)關(guān)電路的工作的圖，圖10A(A)～(C)是表示在圖7F、G的主開(kāi)關(guān)電路的A、B、C點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明1、66 聯(lián)鎖控制裝置10 等離子體處理裝置11 真空容器
15 自動(dòng)壓力控制閥(APC閥)17 渦輪分子泵(TMP)18 干燥泵(DP)47 氣體供給裝置48 氣體泄漏傳感器49 腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器50 氣體無(wú)毒化裝置52 輔助(utility)供給裝置53 空氣供給壓監(jiān)視傳感器60 系統(tǒng)控制器61 處理腔室模塊(控制模塊)62 系統(tǒng)模塊(控制模塊)100、200、300 從開(kāi)關(guān)裝置101、102、103、201、202、203、301、302、303 信號(hào)變換裝置110、210、310、440 多路化裝置120、220、320、450 存儲(chǔ)器121、221、321、451 寫(xiě)入地址控制裝置124、224、324、454 讀出地址控制裝置130、230、330、460 分離裝置141、142、241、242、341、342 解碼裝置143、243、343、481、482、483 傳送裝置151、152、251、252、351、352、410、420、430 安全化裝置(分離信號(hào)監(jiān)視裝置)161、162、261、262、361、362 聯(lián)鎖控制部180、280、380 電纜配線181、281、381 數(shù)據(jù)積蓄部182、282、382 I/F400 主開(kāi)關(guān)600、700 從開(kāi)關(guān)電路601、602、603、701、702 A/D變換電路610、710、830 多路化裝置
613、713、833 多路復(fù)用器620、720、840 雙通道存儲(chǔ)電路621、721、841 寫(xiě)入地址電路624、724、844 讀出地址電路630、730、850 多路分用器641、642、741 解碼電路643、742、871、872 驅(qū)動(dòng)電路651、655、670、751、770 安全化電路661、662 聯(lián)鎖電路681、781、861 數(shù)據(jù)積蓄電路682、782、862 I/F電路具體實(shí)施方式
下面，一面參照附圖一面說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
首先，說(shuō)明與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖(interlock)控制電路的基本構(gòu)成。
圖1A～I(xiàn)是表示與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的方框圖，圖1A是表示聯(lián)鎖控制裝置全體的概略構(gòu)成的方框圖，圖1B～I(xiàn)是表示聯(lián)鎖控制裝置的概略構(gòu)成的部分放大圖。在下面的說(shuō)明中，聯(lián)鎖控制裝置，在控制進(jìn)行多個(gè)處理的處理裝置中的各個(gè)功能中的每一個(gè)設(shè)備群的控制模塊A、B、C之間實(shí)施聯(lián)鎖控制。
如圖1A所示，聯(lián)鎖控制裝置1具有分別與控制模塊A、B、C對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300、和與從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300連接的主開(kāi)關(guān)裝置400。從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300經(jīng)過(guò)電纜配線180、280、380可通信地分別與主開(kāi)關(guān)裝置400連接。
從開(kāi)關(guān)裝置100，如圖1B、C所示，具有信號(hào)變換裝置101、102、103、多路化裝置110、存儲(chǔ)器120、寫(xiě)入地址控制裝置121、讀出地址控制裝置124、分離裝置130、解碼裝置141、142、安全化裝置(分離信號(hào)監(jiān)視裝置)151、155、和聯(lián)鎖控制部161、162。聯(lián)鎖控制部161、162向作為控制模塊A控制的設(shè)備的聯(lián)鎖控制實(shí)施目標(biāo)510A、520A發(fā)送聯(lián)鎖控制指令，對(duì)聯(lián)鎖控制實(shí)施目標(biāo)510A、520A實(shí)施聯(lián)鎖控制。
在從開(kāi)關(guān)裝置100中，信號(hào)變換裝置101、102、103分別與狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A相連接，其中，所述狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A分別檢測(cè)與對(duì)應(yīng)的控制模塊A的功能關(guān)聯(lián)的規(guī)定狀態(tài)。狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A是發(fā)送表示處理裝置中的規(guī)定設(shè)備的狀態(tài)或規(guī)定參數(shù)的狀態(tài)的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)的傳感器或設(shè)備，與檢測(cè)對(duì)象的狀態(tài)相應(yīng)地輸出High(高)電平信號(hào)或者Low(低)電平信號(hào)。狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，因?yàn)槿绾笫龅哪菢映蔀橛糜谠诼?lián)鎖控制裝置1中實(shí)施聯(lián)鎖控制的要因，所以，也將狀態(tài)檢測(cè)裝置501A發(fā)送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)稱為聯(lián)鎖要因信號(hào)A，將狀態(tài)檢測(cè)裝置502A發(fā)送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)稱為聯(lián)鎖要因信號(hào)B，將狀態(tài)檢測(cè)裝置503A發(fā)送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)稱為聯(lián)鎖要因信號(hào)C。此外，聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C是表示狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A檢測(cè)到的狀態(tài)的ON/OFF(接通/斷開(kāi))信號(hào)(High電平信號(hào)/Low電平信號(hào))。
信號(hào)變換裝置101對(duì)來(lái)自狀態(tài)檢測(cè)裝置501A的聯(lián)鎖要因信號(hào)A進(jìn)行A/D變換，將它變換成數(shù)字信號(hào)。同樣，信號(hào)變換裝置102、103對(duì)來(lái)自狀態(tài)檢測(cè)裝置502A、503A的聯(lián)鎖要因信號(hào)B、C進(jìn)行A/D變換，將它們變換成數(shù)字信號(hào)。
多路化裝置110具有生成預(yù)先設(shè)定的脈沖寬度的幀脈沖信號(hào)的幀脈沖信號(hào)生成部111、生成后述的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成部112、和使信號(hào)多路化的多路化部113。幀脈沖信號(hào)是如后述的那樣用于規(guī)定多路化裝置110等生成的多路化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度(時(shí)間長(zhǎng)度)的信號(hào)。多路化裝置110與信號(hào)變換裝置101、102、103連接，并且經(jīng)過(guò)后述的安全化裝置170和電纜配線180與主開(kāi)關(guān)裝置400連接，如后述的那樣以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)σ褦?shù)字化的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C和從后述的主開(kāi)關(guān)裝置400傳送的信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。幀脈沖信號(hào)生成部111具有可以變更生成的幀脈沖信號(hào)的脈沖寬度的構(gòu)成。
存儲(chǔ)器120是可以寫(xiě)入和讀出數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器，按照寫(xiě)入地址控制裝置121的控制存儲(chǔ)多路化信號(hào)。此外，按照讀出地址控制裝置124的控制讀出多路化信號(hào)。寫(xiě)入地址控制裝置121具有寫(xiě)入地址控制部122和寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123，讀出地址控制裝置124具有讀出地址控制裝置125和讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器126。
寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123具有寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)。在寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，設(shè)定著構(gòu)成多路化信號(hào)的各數(shù)據(jù)(以下，稱為要素?cái)?shù)據(jù))和寫(xiě)入它們的順序以及寫(xiě)入目標(biāo)的存儲(chǔ)器120內(nèi)的地址的關(guān)系。寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)是可以變更的，可以設(shè)定任意的寫(xiě)入地址。
寫(xiě)入地址控制部122，以將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)寫(xiě)入到根據(jù)寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)指定的寫(xiě)入目標(biāo)地址的方式而控制存儲(chǔ)器120。這樣，將在多路化裝置110中生成的多路化信號(hào)，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器120內(nèi)的規(guī)定地址中。
讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器126具有讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)。在讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，設(shè)定著從存儲(chǔ)器120讀出的數(shù)據(jù)的順序。即，在讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，設(shè)定著從存儲(chǔ)器120讀出的數(shù)據(jù)和讀出這些數(shù)據(jù)的順序以及與這些數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器120的地址的關(guān)系。讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器126的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)是可變更的，可以設(shè)定任意的讀出順序。
讀出地址控制部125，以按照由讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)指定的順序從存儲(chǔ)器120讀出要素?cái)?shù)據(jù)的方式控制存儲(chǔ)器120。存儲(chǔ)器120，按照讀出地址控制部125的控制，以設(shè)定在讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中的順序讀出要素?cái)?shù)據(jù)，以讀出的順序?qū)ψx出的各要素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行多路化。此外，能夠根據(jù)寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器的設(shè)定，來(lái)設(shè)定讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器的讀出地址。
分離裝置130，分離由存儲(chǔ)器120讀出的多路化信號(hào)并分配給各輸出目標(biāo)，對(duì)分配的信號(hào)進(jìn)行多路化，生成與每個(gè)輸出目標(biāo)對(duì)應(yīng)的分離信號(hào)。在圖1B中，因?yàn)樽鳛檩敵瞿繕?biāo)的解碼裝置141、解碼裝置142和傳送裝置143分別與分離裝置130的第一輸出端子131、第二輸出端子132和第三輸出端子133連接，所以，與解碼裝置141、解碼裝置142和傳送裝置143對(duì)應(yīng)地分離接收的多路化信號(hào)分配給3個(gè)組，對(duì)各組的信號(hào)進(jìn)行多路化，生成分別與3個(gè)輸出目標(biāo)對(duì)應(yīng)的3個(gè)分離信號(hào)。
在解碼裝置141和分離裝置130之間設(shè)置安全化裝置151，安全化裝置151由錯(cuò)誤監(jiān)視單元152、信號(hào)生成部153和選擇部154構(gòu)成。在安全化裝置151中，錯(cuò)誤監(jiān)視單元152監(jiān)視從分離裝置130輸出的分離信號(hào)判別在分離信號(hào)中是否發(fā)生錯(cuò)誤，當(dāng)發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)將錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到信號(hào)生成部153并且將切換信號(hào)發(fā)送到選擇部154。信號(hào)生成部153，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收錯(cuò)誤信號(hào)時(shí)，生成用于將發(fā)送該分離信號(hào)的設(shè)備(在圖1B中聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A)驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的信號(hào)(以下，稱為安全驅(qū)動(dòng)信號(hào))并發(fā)送到選擇部154。選擇部154選擇將從分離裝置130接收的分離信號(hào)和從信號(hào)生成部153接收的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)中的哪一個(gè)信號(hào)發(fā)送到解碼裝置141。具體地說(shuō)，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在接收的分離信號(hào)中存在錯(cuò)誤時(shí)，將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到解碼裝置141，當(dāng)沒(méi)有從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在接收的分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，將分離信號(hào)原封不動(dòng)地發(fā)送到解碼裝置141。
解碼裝置141對(duì)接收的分離信號(hào)或者安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼，分離成聯(lián)鎖要因信號(hào)。
聯(lián)鎖控制部161，解析由解碼裝置141已解碼的各聯(lián)鎖要因信號(hào)，將與解析結(jié)果相應(yīng)的聯(lián)鎖指令發(fā)送到連接的聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A。接收到聯(lián)鎖指令的聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A與接收的聯(lián)鎖指令相應(yīng)地進(jìn)行工作。此外，與聯(lián)鎖要因信號(hào)的狀態(tài)(ON或OFF)對(duì)應(yīng)地預(yù)先設(shè)定發(fā)送的聯(lián)鎖指令，此外，可以變更到任意的指令。從而，聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)的控制方法可以與接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)的內(nèi)容相應(yīng)地任意設(shè)定。
傳送裝置143經(jīng)過(guò)電纜配線180將從分離裝置130接收的分離信號(hào)傳送到主開(kāi)關(guān)裝置400。
在從開(kāi)關(guān)裝置100中，解碼裝置142、安全化裝置155和聯(lián)鎖控制部162具有與上述的解碼裝置141、安全化裝置151和聯(lián)鎖控制部161同樣的構(gòu)成。安全化裝置170具有與上述的安全化裝置151同樣的構(gòu)成。從而，省略對(duì)各構(gòu)成要素的詳細(xì)說(shuō)明。
此外，從開(kāi)關(guān)裝置100具有積蓄寫(xiě)入到存儲(chǔ)器120中的多路化信號(hào)和從存儲(chǔ)器120讀出的多路化信號(hào)的數(shù)據(jù)積蓄部181，在數(shù)據(jù)積蓄部181上，連接著可以連接個(gè)人計(jì)算機(jī)等的監(jiān)視器終端的接口(I/F)182。此外，在I/F182上，連接著可以變更寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)和讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器126的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部183。通過(guò)這種構(gòu)成，用戶通過(guò)使監(jiān)視器終端與I/F182連接起來(lái)，而能夠在監(jiān)視器終端觀察積蓄的多路化信號(hào)。即，能夠觀察積蓄的聯(lián)鎖要因信號(hào)，即現(xiàn)在或過(guò)去的種種裝置狀態(tài)，當(dāng)在裝置中發(fā)生障礙時(shí)，能夠容易地進(jìn)行原因分析等。此外，用戶通過(guò)監(jiān)視器終端，而能夠確認(rèn)、變更設(shè)定的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)和讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)。
此外，從開(kāi)關(guān)電路100具有生成規(guī)定頻率的時(shí)鐘信號(hào)的時(shí)鐘信號(hào)生成裝置184。
因?yàn)榕c控制模塊B對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置200和與控制模塊C對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置300具有與上述從開(kāi)關(guān)裝置100同樣的構(gòu)成，所以省略對(duì)它們的說(shuō)明(參照?qǐng)D1D～G)。
主開(kāi)關(guān)裝置400，如圖1H、I所示，具有經(jīng)過(guò)電纜配線180、280、380分別與從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300的傳送裝置143、243、343連接的安全化裝置410、420、430。安全化裝置410具有與從開(kāi)關(guān)裝置100的安全化裝置151同樣的構(gòu)成，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元411中判別是否在從傳送裝置143傳送的分離信號(hào)中發(fā)生錯(cuò)誤，當(dāng)發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，在信號(hào)生成部412中生成與分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的聯(lián)鎖要因信號(hào)處在安全側(cè)那樣的信號(hào)(安全驅(qū)動(dòng)信號(hào))并從選擇部413輸出，當(dāng)不發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，從選擇部413原封不動(dòng)地輸出分離信號(hào)。因?yàn)榘踩b置420、430也具有與安全化裝置410同樣的構(gòu)成，所以省略對(duì)它們的說(shuō)明。
此外，主開(kāi)關(guān)裝置400具有與安全化裝置410、420、430連接的多路化裝置440、存儲(chǔ)器450、寫(xiě)入地址控制裝置451、讀出地址控制裝置454、分離裝置460、數(shù)據(jù)積蓄部471、I/F472、存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部473和時(shí)鐘信號(hào)發(fā)生裝置474。分離裝置460，經(jīng)過(guò)電纜配線180、280、380和安全化裝置170、270、370分別與從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300的多路化裝置110、210、310連接。
因?yàn)橹鏖_(kāi)關(guān)裝置400的多路化裝置440、存儲(chǔ)器450、寫(xiě)入地址控制裝置451、讀出地址控制裝置454、分離裝置460、數(shù)據(jù)積蓄部471、I/F472、存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部473和時(shí)鐘信號(hào)發(fā)生裝置474具有與上述的從開(kāi)關(guān)裝置100的多路化裝置110、存儲(chǔ)器120、寫(xiě)入地址控制裝置121、讀出地址控制裝置124、分離裝置130、數(shù)據(jù)積蓄部181、I/F182、存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部183和時(shí)鐘信號(hào)發(fā)生裝置184同樣的構(gòu)成，所以省略對(duì)它們的詳細(xì)說(shuō)明。
下面，說(shuō)明聯(lián)鎖控制裝置1的工作。
圖2A、B是用于說(shuō)明聯(lián)鎖控制裝置1的基本工作的圖，圖2A(A)～(E)和圖2B(F)～(H)是例示在圖1B、C的A、B、C、D、E、F1～F3點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
首先，說(shuō)明聯(lián)鎖控制裝置1的工作的概略。在與控制模塊A對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置100中，聯(lián)鎖控制部161與狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A進(jìn)行聯(lián)鎖控制。此外，聯(lián)鎖控制部162與狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A和狀態(tài)檢測(cè)裝置501B、502B的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)520A進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
在與控制模塊B對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置200中，聯(lián)鎖控制部261與狀態(tài)檢測(cè)裝置503A、501B、503B的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)C、D、F所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510B進(jìn)行聯(lián)鎖控制。此外，聯(lián)鎖控制部262與狀態(tài)檢測(cè)裝置503A、501B、502B、503B的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)C、D、E、F所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)520B進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
在與控制模塊C對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置300中，聯(lián)鎖控制部361與狀態(tài)檢測(cè)裝置503A、501C、502C的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)C、G、H所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510C進(jìn)行聯(lián)鎖控制。此外，聯(lián)鎖控制部362與狀態(tài)檢測(cè)裝置503A、501C、502C、503C的檢測(cè)結(jié)果，即聯(lián)鎖要因信號(hào)C、G、H、J所示的值相應(yīng)地對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)520C進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
從上述關(guān)系，主開(kāi)關(guān)裝置400，經(jīng)過(guò)電纜配線180將包含聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的多路化信號(hào)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置100，經(jīng)過(guò)電纜配線280將包含聯(lián)鎖要因信號(hào)C的多路化信號(hào)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置200，經(jīng)過(guò)電纜配線380將包含聯(lián)鎖要因信號(hào)C的多路化信號(hào)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置300。此外，從各從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300，將與它們對(duì)應(yīng)的控制模塊A、B、C的功能有關(guān)的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)傳送到主開(kāi)關(guān)裝置400。即，從從開(kāi)關(guān)裝置100的傳送裝置143傳送聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C，從從開(kāi)關(guān)裝置200的傳送裝置243傳送聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E、F，從從開(kāi)關(guān)裝置300的傳送裝置343傳送聯(lián)鎖要因信號(hào)G、H、J。
下面，詳細(xì)說(shuō)明聯(lián)鎖控制裝置1的工作。
首先，說(shuō)明從開(kāi)關(guān)裝置100的工作。
信號(hào)變換裝置101、102、103分別從狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A接收聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C。聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C，如圖2A(A)所示，是用High(高)電平信號(hào)(例如+24V)或Low(低)電平信號(hào)(例如，0V)的ON/OFF信號(hào)表示聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C的內(nèi)容的信號(hào)，以與狀態(tài)檢測(cè)裝置501A、502A、503A檢測(cè)到的狀態(tài)相應(yīng)地輸出ON信號(hào)或OFF信號(hào)的方式進(jìn)行構(gòu)成。信號(hào)變換裝置101、102、103通過(guò)A/D變換對(duì)聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C進(jìn)行數(shù)字變換，如圖2A(B)所示生成ON/OFF的數(shù)字信號(hào)。
安全化裝置170，如后述的那樣，接收包含來(lái)自主開(kāi)關(guān)裝置400的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的多路化信號(hào)，進(jìn)行錯(cuò)誤監(jiān)視等將多路化信號(hào)輸出到多路化裝置110。在安全化裝置170中的工作的詳細(xì)說(shuō)明將在后面述說(shuō)。在安全化裝置170從主開(kāi)關(guān)裝置400接收的傳送數(shù)據(jù)中，包含著多路化信號(hào)、規(guī)定周期的時(shí)鐘信號(hào)和用于規(guī)定多路化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度的幀脈沖信號(hào)(參照?qǐng)D2A(C))。在多路化信號(hào)中包含著后述的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和規(guī)定的聯(lián)鎖要因信號(hào)(D，E)。
下面，多路化裝置110，在幀脈沖信號(hào)生成部111中根據(jù)來(lái)自時(shí)鐘信號(hào)生成部184的時(shí)鐘信號(hào)，生成預(yù)先設(shè)定的脈沖寬度的幀脈沖信號(hào)，在錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成部112中生成錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，在多路化部112中以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)﹀e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)、來(lái)自信號(hào)變換裝置101、102、103的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、和來(lái)自主開(kāi)關(guān)裝置400的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E進(jìn)行多路化。
在錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成部111中生成的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)是預(yù)先設(shè)定的數(shù)據(jù)，具體地說(shuō)，如圖3所示，由1，0，1，0、1，0，1，0的55的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)和0，1，0，1、0，1，0，1的AA的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)構(gòu)成。錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成部112，作為錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)交互地生成55的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)和AA的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。根據(jù)該錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，如后述的那樣，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元152等中能夠?qū)Χ嗦坊盘?hào)的錯(cuò)誤進(jìn)行監(jiān)視。此外，錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)不限于上述那些數(shù)據(jù)。
多路化部113以字母順序?qū)υ阱e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中下一個(gè)接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。多路化部113，以生成的1個(gè)幀的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度成為與來(lái)自幀脈沖信號(hào)生成部111的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的方式生成多路化信號(hào)(參照?qǐng)D2A(D))。當(dāng)對(duì)錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化得到的多路化信號(hào)比根據(jù)該幀脈沖信號(hào)規(guī)定的幀長(zhǎng)度短時(shí)，多路化部113對(duì)規(guī)定數(shù)的空白信號(hào)X進(jìn)行多路化，使生成的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度等于該幀長(zhǎng)度。此外，空白信號(hào)X是在聯(lián)鎖控制中沒(méi)有意義的規(guī)定信號(hào)，例如，是0或1的1位信號(hào)。此外，在賦予1幀的多路化信號(hào)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中，如上述那樣交互地使用55的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)和AA的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。
如上述那樣，在多路化部113中生成的多路化信號(hào)，如圖2A(D)所示，成為以錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)、聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E和規(guī)定數(shù)的空白信號(hào)的順序?qū)λ鼈冞M(jìn)行多路化而得到的信號(hào)。
在幀脈沖信號(hào)生成部111中，生成的幀脈沖信號(hào)的脈沖寬度成為可以變更的。這樣，與發(fā)送到多路化裝置110的聯(lián)鎖要因信號(hào)的種類相應(yīng)地輸出的多路化信號(hào)的1個(gè)幀的長(zhǎng)度成為可以變更的。
下面，多路化裝置110，將時(shí)鐘信號(hào)、在幀脈沖信號(hào)生成部111中生成的幀脈沖信號(hào)和在多路化部113中生成的多路化信號(hào)作為1個(gè)傳送數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出(參照?qǐng)D2A(D))。
按照寫(xiě)入地址控制裝置121的控制將在多路化裝置110中經(jīng)過(guò)多路化所得到的多路化信號(hào)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器120中。在寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，以將多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)從前頭順序地寫(xiě)入到存儲(chǔ)器120的規(guī)定地址上的方式設(shè)定著多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)的順序和寫(xiě)入目標(biāo)地址的關(guān)系，存儲(chǔ)器120，由寫(xiě)入地址控制部122控制，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)從前頭寫(xiě)入到規(guī)定地址上。具體地說(shuō)，存儲(chǔ)器120，以將作為多路化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)寫(xiě)入到存儲(chǔ)器120的規(guī)定地址，例如，號(hào)碼最新的地址上，將作為第二要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A寫(xiě)入到它的下一個(gè)地址，將作為第三要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B寫(xiě)入到它的下一個(gè)地址，將作為第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C寫(xiě)入到它的下一個(gè)地址的順序，一直寫(xiě)入到1個(gè)幀的多路化信號(hào)的最后的要素?cái)?shù)據(jù)為止。
下面，按照讀出地址控制裝置124的控制從存儲(chǔ)器120讀出寫(xiě)入到存儲(chǔ)器120中的多路化信號(hào)。在讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器126的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，首先讀出應(yīng)該從分離裝置130輸出的分離信號(hào)(多路化信號(hào))的數(shù)目只為m(在從開(kāi)關(guān)裝置100中m＝3)的錯(cuò)誤監(jiān)視信號(hào)，其次，以每次1個(gè)順序地讀出作為應(yīng)該從分離裝置130輸出的分離信號(hào)的各個(gè)要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的方式，設(shè)定讀出要素?cái)?shù)據(jù)、讀出這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和要素?cái)?shù)據(jù)的讀出地址的關(guān)系。即，首先，3次讀出錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，其次讀出作為發(fā)送到聯(lián)鎖控制部161的分離信號(hào)(以下，也稱為第一分離信號(hào))(參照?qǐng)D2B(F))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，讀出作為發(fā)送到聯(lián)鎖控制部162的分離信號(hào)(以下，也稱為第二分離信號(hào))(參照?qǐng)D2B(G))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，讀出作為應(yīng)該發(fā)送到傳送裝置143的分離信號(hào)(以下，也稱為第三分離信號(hào))(參照?qǐng)D2B(H))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，讀出作為第一分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B、作為第二分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B、作為第三分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B，而且，因?yàn)橐呀?jīng)全部讀出第一分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以讀出空白信號(hào)X，讀出作為第二分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C、作為第三分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C，進(jìn)行順序地交互讀出直到全部讀出各分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)為止。
在上述讀出中，當(dāng)與各分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的要素?cái)?shù)據(jù)的讀出次數(shù)相同，全部讀出分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)時(shí)，讀出空白信號(hào)。即，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度相同的方式進(jìn)行讀出。而且，存儲(chǔ)器120以讀出的順序使各要素?cái)?shù)據(jù)聚合(參照?qǐng)D2A(E))。此外，生成的聚合化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度成為從聚合化裝置110輸出的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期。此外，這時(shí)的聚合化速度是聚合化裝置110中的聚合化速度的m倍(分離裝置130的輸出數(shù)量)。即，在本實(shí)施方式中，為聚合化裝置110中的聚合化速度的3倍速度。接著，存儲(chǔ)器120輸出包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和讀出的聚合化信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D2A(E))。
下面，在分離裝置130中，從前頭開(kāi)始每次1個(gè)順序地將在存儲(chǔ)器120中讀出的聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)分配給各輸出端子。具體地說(shuō)，將作為聚合化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第一輸出端子131，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第二要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第二輸出端子132，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第三要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第三輸出端子133，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第一輸出端子131，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第五要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第二輸出端子132，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第六要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第三輸出端子133，并每次1個(gè)順序地將要素?cái)?shù)據(jù)分配給每個(gè)端子直到?jīng)]有聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)為止。(參照?qǐng)D2B(F)～(H))。
下面，通過(guò)使已分配的信號(hào)聚合化生成分離信號(hào)。這時(shí)，生成與第一輸出端子131對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到聯(lián)鎖控制部161的第一分離信號(hào)(參照?qǐng)D2B(F))，生成與第二輸出端子132對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到聯(lián)鎖控制部162的第二分離信號(hào)(參照?qǐng)D2B(G))，生成與第三輸出端子133對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到傳送裝置143的第三分離信號(hào)(參照?qǐng)D2B(H))。此外，分離裝置130，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期的方式進(jìn)行分離和聚合化。
此外，連續(xù)地進(jìn)行上述工作。即，如圖2A、B(C)～(H)所示，連續(xù)地生成各聚合化信號(hào)(1個(gè)幀長(zhǎng)度)。
下面，分離裝置130，分別從第一輸出端子131將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第一分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化裝置151，從第二輸出端子132將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第二分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化裝置152，從第三輸出端子133將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第三分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)輸出到傳送裝置143。
安全化裝置151，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元152中，監(jiān)視是否在接收的傳送數(shù)據(jù)中遺漏時(shí)鐘信號(hào)，通過(guò)觀察接收的幀脈沖信號(hào)和第一分離信號(hào)監(jiān)視在每個(gè)脈沖信號(hào)中是否交互地賦予在多路化裝置110中賦予的2類(55/AA)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D3)，監(jiān)視分離信號(hào)的數(shù)據(jù)失落和數(shù)據(jù)的Bit(位)偏離等。當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)沒(méi)有遺漏時(shí)和在每個(gè)幀脈沖信號(hào)中交互地賦予在多路化裝置110中賦予的2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別在分離信號(hào)中沒(méi)有數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離，在分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤。另一方面，當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)遺漏時(shí)和在每個(gè)幀脈沖信號(hào)中不交互地賦予在多路化裝置110中賦予的2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別在分離信號(hào)中發(fā)生數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等，和在分離信號(hào)中具有錯(cuò)誤，將錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到信號(hào)生成部153并將切換信號(hào)發(fā)送到選擇部154。
下面，信號(hào)生成部153，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收錯(cuò)誤信號(hào)時(shí)，以發(fā)送該第一分離信號(hào)的聯(lián)鎖控制部161將聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式，將第一分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B)的值變更到ON或OFF的預(yù)先設(shè)定的值，生成規(guī)定的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到選擇部154。
下面，選擇部154，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在第一分離信號(hào)中存在錯(cuò)誤時(shí)將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到解碼裝置141，當(dāng)沒(méi)有從錯(cuò)誤監(jiān)視單元152接收切換信號(hào)時(shí)，即，當(dāng)在第一分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，將第一分離信號(hào)原封不動(dòng)地發(fā)送到解碼裝置141。
安全化裝置156也與上述安全化裝置151同樣地進(jìn)行工作。
從安全化裝置151接收分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)的解碼裝置141，對(duì)接收的分離信號(hào)或者安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼，分離成各要素信號(hào)，只提取聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B)輸出到聯(lián)鎖控制部161。解碼裝置142也同樣，對(duì)接收的分離信號(hào)或者安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼，分離成各要素信號(hào)，只提取聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E)輸出到聯(lián)鎖控制部162。
另一方面，傳送裝置143，經(jīng)過(guò)電纜配線180將從分離裝置130接收的第三分離信號(hào)傳送到主開(kāi)關(guān)裝置400。
而且，從解碼裝置141接收聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B的聯(lián)鎖控制部161，解析接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B的內(nèi)容，即，通過(guò)判別是ON信號(hào)還是OFF信號(hào)，將與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B的內(nèi)容的組合相應(yīng)地預(yù)先設(shè)定的聯(lián)鎖指令(聯(lián)鎖指令A(yù))發(fā)送到聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A。因此聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)510A進(jìn)行規(guī)定的聯(lián)鎖工作。同樣，聯(lián)鎖控制部162，解析接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的內(nèi)容，將與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的內(nèi)容的組合相應(yīng)地預(yù)先設(shè)定的聯(lián)鎖指令(聯(lián)鎖指令B)發(fā)送到聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)520A。因此聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)520A進(jìn)行規(guī)定的工作。
因?yàn)閺拈_(kāi)關(guān)裝置200、300也與從開(kāi)關(guān)裝置100同樣地進(jìn)行工作，所以省略對(duì)它們的說(shuō)明。
此外，寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)和讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)的內(nèi)容不限于上述的內(nèi)容，也可以是其它的內(nèi)容。這時(shí)，只要使分離裝置130的分離方法與讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)即可。
下面，參照?qǐng)D4A、B說(shuō)明主開(kāi)關(guān)裝置400的工作。圖4A、B是用于說(shuō)明主開(kāi)關(guān)裝置的基本工作的圖，圖4A、B(A)～(E)是例示在圖1H、I的主開(kāi)關(guān)裝置400的G、H、I1、I2、I3點(diǎn)上傳送的數(shù)據(jù)的圖。
安全化裝置410、420、430，經(jīng)過(guò)電纜配線180、280、380分別從從開(kāi)關(guān)裝置100、200、300的傳送裝置143、243、343接收第一、二、三傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D2B(H))。第一傳送數(shù)據(jù)，如上所述，是包含在分離裝置130中生成的第三分離信號(hào)，包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和包含在與從開(kāi)關(guān)裝置100對(duì)應(yīng)的控制模塊A中檢測(cè)到的全部聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C)的多路化信號(hào)的數(shù)據(jù)，同樣，第二傳送數(shù)據(jù)包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和包含在與從開(kāi)關(guān)裝置200對(duì)應(yīng)的控制模塊B中檢測(cè)到的全部聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E、F)的多路化信號(hào)，第三傳送數(shù)據(jù)包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和包含在與從開(kāi)關(guān)裝置300對(duì)應(yīng)的控制模塊C中檢測(cè)到的全部聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)G、H、J)的多路化信號(hào)。
安全化裝置410、420、430，與安全化裝置151同樣，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元411、421、431中觀察時(shí)鐘信號(hào)的遺漏和錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，判別有無(wú)錯(cuò)誤。當(dāng)沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，原封不動(dòng)地輸出從選擇部413、423、433接收的傳送數(shù)據(jù)。另一方面，當(dāng)具有錯(cuò)誤時(shí)，在信號(hào)生成部412、422、432中將各個(gè)多路化信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的內(nèi)容變更到以將各設(shè)備(聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo))驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式預(yù)先設(shè)定的值(ON或OFF)，將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)作為聚合化信號(hào)，從選擇部413、423、433一起輸出時(shí)鐘信號(hào)和幀脈沖信號(hào)。此外，在從安全化裝置410、420、430發(fā)送的傳送數(shù)據(jù)中的時(shí)鐘信號(hào)和幀脈沖信號(hào)分別是相互相同的信號(hào)。此外，在從各安全化裝置410、420、430發(fā)送的多路化信號(hào)中的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)也是相互相同的。
下面，多路化裝置440，與多路化裝置110同樣，以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)邮盏亩嗦坊盘?hào)進(jìn)行多路化。具體地說(shuō)，多路化裝置440以字母順序?qū)υ阱e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中下一個(gè)接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。多路化裝置440，以生成的1個(gè)幀的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度成為與接收的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的方式生成多路化信號(hào)。當(dāng)對(duì)錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化得到的多路化信號(hào)比根據(jù)該幀脈沖信號(hào)規(guī)定的幀長(zhǎng)度短時(shí)，多路化裝置440對(duì)規(guī)定數(shù)的空白信號(hào)X進(jìn)行多路化，使生成的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度為該幀長(zhǎng)度。
下面，多路化裝置440將時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和生成的多路化信號(hào)作為1個(gè)傳送數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出(參照?qǐng)D4A(A))。
按照寫(xiě)入地址控制裝置451的控制，將已由多路化裝置440進(jìn)行多路化的多路化信號(hào)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器450中。在寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器453的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，以從前頭開(kāi)始順序地將多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)寫(xiě)入到存儲(chǔ)器450的規(guī)定地址上的方式，設(shè)定著多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)、這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和寫(xiě)入目標(biāo)地址的關(guān)系，對(duì)于存儲(chǔ)器450，由寫(xiě)入地址控制裝置452控制，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)從前頭寫(xiě)入到規(guī)定地址上。具體地說(shuō)，存儲(chǔ)器450，以將作為多路化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)寫(xiě)入到存儲(chǔ)器450的規(guī)定地址，例如號(hào)碼最新的地址上，將作為第二要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A寫(xiě)入到下一個(gè)地址，將作為第三要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B寫(xiě)入到其下一個(gè)地址，將作為第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C寫(xiě)入到其下一個(gè)地址的順序，順序地寫(xiě)入到連續(xù)的地址上直到1個(gè)幀的多路化信號(hào)的最后的要素?cái)?shù)據(jù)為止。
下面，按照讀出地址控制裝置454的控制從存儲(chǔ)器450讀出寫(xiě)入到存儲(chǔ)器450中的多路化信號(hào)。在讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器456的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，首先讀出應(yīng)該從分離裝置460輸出的分離信號(hào)(多路化信號(hào))的數(shù)目只為n(在主開(kāi)關(guān)裝置400中n＝3)的錯(cuò)誤監(jiān)視信號(hào)，其次，以每次1個(gè)順序地讀出作為應(yīng)該從分離裝置460輸出的分離信號(hào)的各個(gè)要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的方式，設(shè)定讀出要素?cái)?shù)據(jù)、讀出這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和要素?cái)?shù)據(jù)的讀出地址的關(guān)系。即，首先，3次讀出錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，其次讀出作為發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置100的分離信號(hào)(以下，也稱為第十分離信號(hào))(參照?qǐng)D4B(C))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D，讀出作為發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置200的分離信號(hào)(以下，也稱為第十一分離信號(hào))(參照?qǐng)D4B(D))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C，讀出作為應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置300的分離信號(hào)(以下，也稱為第十二分離信號(hào))(參照?qǐng)D4B(E))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C，讀出作為第十分離信號(hào)的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E，而且，已經(jīng)全部讀出第十一分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)，因此，讀出空白信號(hào)，因?yàn)橐惨呀?jīng)全部讀出第十二分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以讀出空白信號(hào)，進(jìn)行讀出直到全部讀出各分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)為止。
在上述讀出中，與各分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的要素?cái)?shù)據(jù)的讀出次數(shù)相同，當(dāng)全部讀出分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)時(shí)，讀出空白信號(hào)。即，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度相同的方式進(jìn)行讀出。而且，存儲(chǔ)器450以讀出的順序使各要素?cái)?shù)據(jù)聚合生成聚合化信號(hào)，與時(shí)鐘信號(hào)和幀脈沖信號(hào)一起輸出該聚合化信號(hào)(參照?qǐng)D4A(B))。此外，生成的聚合化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的脈沖周期。
下面，在分離裝置460中，從前頭開(kāi)始每次1個(gè)順序地將在存儲(chǔ)器120中讀出的聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)分配給各輸出端子。具體地說(shuō)，將作為聚合化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第一輸出端子461，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第二要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第二輸出端子462，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第三要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第三輸出端子463，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D分配給第一輸出端子461，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第五要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C分配給第二輸出端子462，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第六要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C分配給第三輸出端子463，并每次1個(gè)順序地交互將要素?cái)?shù)據(jù)分配給每個(gè)端子直到?jīng)]有聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)為止。下面，通過(guò)使已分配的信號(hào)聚合化生成分離信號(hào)。這時(shí)，生成與第一輸出端子461對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置100的第十分離信號(hào)(參照?qǐng)D4B(C))，生成與第二輸出端子462對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置200的第十一分離信號(hào)(參照?qǐng)D4B(D))，生成與第三輸出端子463對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置300的第十二分離信號(hào)(參照?qǐng)D4B(E))。此外，分離裝置460，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的脈沖周期的方式進(jìn)行分離和聚合化。
此外，連續(xù)地進(jìn)行上述工作。即連續(xù)地生成各聚合化信號(hào)(1個(gè)幀長(zhǎng)度)。
下面，分離裝置460分別從輸出端子461將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第十分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D4B(C))輸出到傳送裝置481，從輸出端子462將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第十一分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D4B(D))輸出到傳送裝置482，從輸出端子463將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和第十二分離信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D4B(E))輸出到傳送裝置483。
傳送裝置481、482、483，分別經(jīng)過(guò)電纜配線180、280、380將傳送數(shù)據(jù)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)裝置100的安全化裝置170、從開(kāi)關(guān)裝置200的安全化裝置270、和從開(kāi)關(guān)裝置300的安全化裝置370。
在從開(kāi)關(guān)裝置100中，安全化裝置170，與安全化裝置151同樣，處理從主開(kāi)關(guān)裝置400接收的傳送數(shù)據(jù)。即，安全化裝置170，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元171中，監(jiān)視是否在接收的傳送數(shù)據(jù)中遺漏時(shí)鐘信號(hào)，通過(guò)觀察接收的幀脈沖信號(hào)和第十分離信號(hào)監(jiān)視是否對(duì)每個(gè)脈沖信號(hào)交互地賦予2類(55/AA)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D3)，監(jiān)視分離信號(hào)的數(shù)據(jù)失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等。當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)沒(méi)有遺漏時(shí)和對(duì)每個(gè)幀脈沖信號(hào)交互地賦予2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別分離信號(hào)中沒(méi)有數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等，在分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤。另一方面，當(dāng)遺漏時(shí)鐘信號(hào)時(shí)和對(duì)每個(gè)幀脈沖信號(hào)不交互地賦予2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別在分離信號(hào)中發(fā)生數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等，當(dāng)判別在分離信號(hào)中具有錯(cuò)誤時(shí)，將錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到信號(hào)生成部172并將切換信號(hào)發(fā)送到選擇部173。
下面，信號(hào)生成部172，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元171接收錯(cuò)誤信號(hào)時(shí)，以將發(fā)送該第十分離信號(hào)的聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式，將第十分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)C、D)的值變更到ON或OFF，生成規(guī)定的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到選擇部173。
下面，選擇部173，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視單元171接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在第十分離信號(hào)中存在錯(cuò)誤時(shí)將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到多路化裝置110，當(dāng)沒(méi)有從錯(cuò)誤監(jiān)視單元171接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在第十分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，將第十分離信號(hào)原封不動(dòng)地發(fā)送到多路化裝置110。
從開(kāi)關(guān)裝置200的安全化裝置270和從開(kāi)關(guān)裝置300的安全化裝置370也與上述安全化裝置170同樣地進(jìn)行工作。
此外，在主開(kāi)關(guān)裝置400中，寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)和讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)的內(nèi)容不限于上述的內(nèi)容，也可以是其它的內(nèi)容。這時(shí)，可以使分離裝置460的分離方法與讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)。
如上所述，如果根據(jù)與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置，則當(dāng)實(shí)施多個(gè)控制模塊間的聯(lián)鎖控制時(shí)，因?yàn)閷?duì)在各控制模塊間(各從開(kāi)關(guān)裝置間)發(fā)送接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化，進(jìn)行發(fā)送接收，所以能夠減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)，能夠減少用于連接控制模塊之間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。
此外，如果根據(jù)與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置，則因?yàn)橥ㄟ^(guò)主開(kāi)關(guān)裝置連接各控制模塊間(各從開(kāi)關(guān)裝置間)，在主開(kāi)關(guān)裝置中分別對(duì)在各控制模塊的聯(lián)鎖控制中需要的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化，發(fā)送到各個(gè)控制模塊，所以能夠更加減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)，能夠更加減少用于連接控制模塊之間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成更加簡(jiǎn)單化。
如果根據(jù)與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置，則根據(jù)在各從開(kāi)關(guān)裝置和主開(kāi)關(guān)裝置中的多路化條件、寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)、讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)、分離條件和幀脈沖信號(hào)的脈沖周期等的預(yù)先設(shè)定的可以變更的條件來(lái)設(shè)定發(fā)送接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)的多路化和分離條件。因此，即便在各控制模塊中追加和變更功能，或者追加新的控制模塊，通過(guò)變更上述預(yù)先設(shè)定的條件也能夠進(jìn)行控制模塊之間的所要的聯(lián)鎖控制。這樣，與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置能夠容易地與追加和變更各控制模塊的功能，追加新的控制模塊對(duì)應(yīng)。
與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置具有安全化裝置，對(duì)于安全化裝置，當(dāng)在控制模塊之間傳送的傳送數(shù)據(jù)中存在錯(cuò)誤時(shí)，生成將各設(shè)備驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的信號(hào)。從而，當(dāng)在控制模塊之間傳送的傳送數(shù)據(jù)中發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，因?yàn)橐詫⒏髟O(shè)備驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式進(jìn)行控制，所以能夠提高聯(lián)鎖控制裝置的安全性，能夠提高裝置的安全性。
與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置，因?yàn)楦鲝拈_(kāi)關(guān)裝置和主開(kāi)關(guān)裝置具有數(shù)據(jù)積蓄部，數(shù)據(jù)積蓄部可以經(jīng)過(guò)I/F與監(jiān)視器終端連接，所以操作者能夠容易地觀察多路傳送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，即聯(lián)鎖要因信號(hào)。從而，從該聯(lián)鎖要因信號(hào)能夠容易地監(jiān)察裝置的狀態(tài)，當(dāng)發(fā)生障礙時(shí)能夠容易地進(jìn)行原因解析等。
與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置，處理裝置具有3個(gè)控制模塊，對(duì)應(yīng)地具有3個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置，但是，從開(kāi)關(guān)裝置的數(shù)量不限于此。例如，既可以與裝置的控制模塊的數(shù)量對(duì)應(yīng)地增加從開(kāi)關(guān)裝置的數(shù)量，也可以進(jìn)一步細(xì)分各功能，與已細(xì)分的功能對(duì)應(yīng)地增加從開(kāi)關(guān)裝置。
下面，作為本發(fā)明的實(shí)施例，說(shuō)明具有與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置的基板處理裝置。該基板處理裝置以使用反應(yīng)性活性氣體對(duì)基板施加規(guī)定處理的方式進(jìn)行構(gòu)成。
圖5是表示作為具有與本實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置的基板處理裝置的等離子體處理裝置的概略構(gòu)成的剖面圖。該等離子體處理裝置，以對(duì)作為基板的半導(dǎo)體晶片W施加RIE(Reactive Ion Etching(活性離子蝕刻)處理，此外，可以實(shí)施WLDC處理的方式進(jìn)行構(gòu)成。
在圖5中，等離子體處理裝置10具有圓筒形狀的真空容器11(減壓容器)，該真空容器11在內(nèi)部具有處理空間S。此外，在真空容器11內(nèi)，例如，配置有作為載置直徑為300mm的半導(dǎo)體晶片W(以下，稱為“晶片W”)的載置臺(tái)的圓柱狀的支持器12。真空容器11的內(nèi)壁面由側(cè)壁部件45所覆蓋。該側(cè)壁部件45由鋁構(gòu)成，與該處理空間S對(duì)置的面涂敷有氧化釔(Y2O3)等的陶瓷。此外，真空容器11電接地，經(jīng)過(guò)絕緣性部件29將支持器12設(shè)置在真空容器11的底部。
在等離子體出來(lái)裝置10中，通過(guò)真空容器11的內(nèi)側(cè)壁和支持器12的側(cè)面，形成作為將支持器12上方的氣體分子排出到真空容器11外的流路起作用的排氣路徑13。在該排氣路徑13的中途配置有防止等離子體泄漏的環(huán)狀隔板14。此外，下游空間從排氣路徑13中的隔板14回到支持器12下方，與作為可變式閥的自動(dòng)壓力控制閥(AdaptivePressure Control Valve)(以下，稱為“APC閥”)15連通。APC閥15經(jīng)過(guò)隔離器(Isolator)16與作為抽真空用的排氣泵的渦輪分子泵(TurboMolecular Pump)(以下，稱為“TMP”)17連接，TMP17經(jīng)過(guò)閥V1與作為排氣泵的干燥泵(以下，稱為“DP”)18連接。由APC閥15、隔離器16、TMP17、閥V1和DP18構(gòu)成的排氣流路(以下，稱為“主排氣管線”)通過(guò)APC閥15控制真空容器11內(nèi)的壓力，進(jìn)一步通過(guò)TMP17和DP18使真空容器11內(nèi)減壓到大致成為真空狀態(tài)為止。
此外，配管19從隔離器16和APC泵15之間經(jīng)過(guò)閥V2與DP18連接。配管19和閥V2(以下，稱為“旁通管線”)形成隔離器16和TMP17的旁通管線，由DP18對(duì)真空容器11內(nèi)進(jìn)行粗排氣。
如圖5所示，在DP18上連接著氣體無(wú)毒化裝置50，氣體無(wú)毒化裝置50使從真空容器11排出的氣體無(wú)毒化。
在支持器12上經(jīng)過(guò)饋電棒21和匹配器(Matcher)22連接著下部電極用的高頻電源20，該下部電極用的高頻電源20將規(guī)定的高頻功率供給支持器12。因此，支持器12作為下部電極起作用。此外，匹配器22減少來(lái)自支持器12的高頻功率的反射，使高頻功率到支持器12的供給效率最大。
在支持器12的內(nèi)部上方，配置著由導(dǎo)電膜構(gòu)成的圓板狀的ESC電極板23。使直流電源24與ESC電極板23電連接。利用由從直流電源24施加在ESC電極板23上的直流電壓產(chǎn)生的庫(kù)倫力或約翰遜-拉別克(Johnson-Rahbek)力將晶片W吸附保持在支持器12的上面。此外，在支持器12的上方，以包圍吸附保持在支持器12上面的晶片W四周的方式配設(shè)著圓環(huán)狀的聚焦環(huán)25。該聚焦環(huán)25，露出在處理空間S中，在該處理空間S中使等離子體向晶片W的表面會(huì)聚，提高了RIE處理的效率。
此外，在支持器12的內(nèi)部，例如，設(shè)置著沿圓周方向延伸的環(huán)狀制冷劑室26。從冷卻裝置(圖中未畫(huà)出)經(jīng)過(guò)制冷劑用配管27將規(guī)定溫度的制冷劑，例如，冷卻水和Galden(注冊(cè)商標(biāo))液循環(huán)供給該制冷劑室26，由該制冷劑的溫度控制吸附保持在支持器12上面的晶片W的處理溫度。
而且，支持器12上面的吸附保持晶片W的部分(以下，稱為“吸附面”)中，開(kāi)通有多個(gè)傳熱氣體供給孔28。這些多個(gè)周邊傳熱氣體供給孔28，經(jīng)過(guò)配置在支持器12內(nèi)部的傳熱氣體供給管線30而與傳熱氣體供給孔單元32連接，該傳熱氣體供給單元32，經(jīng)過(guò)傳熱氣體供給孔28將作為傳熱氣體的氦氣供給吸附面與晶片W背面的間隙。
此外，在支持器12的吸附面上，配置有作為從支持器12的上面自由突出的升降支桿的多個(gè)推進(jìn)支桿33。這些推進(jìn)支桿33經(jīng)過(guò)滾珠絲杠(圖中未畫(huà)出)而與馬達(dá)(圖中未畫(huà)出)連接，通過(guò)滾珠絲杠將馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換成直線運(yùn)動(dòng)，使這些推進(jìn)支桿33自由地從吸附面突出。當(dāng)為了對(duì)晶片W實(shí)施RIE處理而將晶片W吸附保持在吸附面上時(shí)，將推進(jìn)支桿33收容在支持器12中，當(dāng)從真空容器11搬出已施加RIE處理的晶片W時(shí)，推進(jìn)支桿33從支持器12的上面突出，使晶片W離開(kāi)支持器12而提升到上方。
在真空容器11的頂部，以與支持器12對(duì)置的方式配置有氣體導(dǎo)入噴頭34。在氣體導(dǎo)入噴頭34上經(jīng)過(guò)匹配器35連接著上部電極用的高頻電源36，因?yàn)樯喜侩姌O用的高頻電源36將規(guī)定的高頻功率供給氣體導(dǎo)入噴頭34，所以氣體導(dǎo)入噴頭34作為上部電極起作用。此外，匹配器35的功能與上述匹配器22的功能相同。
氣體導(dǎo)入噴頭34包括具有多個(gè)氣體孔37的頂部電極板38和可以裝上卸下地支持該頂部電極板38的電極支持體39。此外，在該電極支持體39的內(nèi)部設(shè)置有緩沖室40，從處理氣體供給裝置47延伸的處理氣體導(dǎo)入管41與該緩沖室40連接。在該處理氣體導(dǎo)入管41的中途配置著配管隔離器42。該配管隔離器42由絕緣體構(gòu)成，防止供給氣體導(dǎo)入噴頭34的高頻功率通過(guò)處理氣體導(dǎo)入管41而泄漏到處理氣體供給裝置47。氣體導(dǎo)入噴頭34將經(jīng)過(guò)處理氣體導(dǎo)入管41從氣體供給裝置47供給緩沖室40的處理氣體，例如，作為反應(yīng)性活性氣體的CxFy氣和氬(Ar)氣體的混合氣體，經(jīng)過(guò)氣體孔37而供給真空容器11內(nèi)部(處理空間S)。用容器蓋31蓋住氣體導(dǎo)入噴頭34。此外，在氣體供給裝置47上安裝著檢測(cè)供給的處理氣體泄漏的氣體泄漏傳感器48。
此外，在真空容器11的側(cè)壁中，在與由推進(jìn)支桿33從支持器12提升到上方的晶片W的高度對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)置有晶片W的搬出搬入口43，在搬出搬入口43中安裝有開(kāi)閉該搬出搬入口43的門閥44。真空容器11，經(jīng)過(guò)門閥44與圖中未畫(huà)出的負(fù)載鎖定單元連接。負(fù)載鎖定單元作為可以調(diào)整其內(nèi)部壓力的真空預(yù)備搬運(yùn)室起作用。在門閥44中安裝有用于檢測(cè)門閥44的開(kāi)閉的腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49。此外，在真空容器11中，安裝有用于檢測(cè)處理空間S內(nèi)的壓力的腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51。
此外，等離子體處理裝置10具有將空氣、冷卻水和N2氣體供給等離子體處理裝置10內(nèi)的utility供給裝置(輔助供給裝置)52。utility供給裝置(輔助供給裝置)52供給用于驅(qū)動(dòng)門閥44等的空氣，此外，從冷卻裝置供給冷卻水，而且，從N2氣瓶將N2氣體供給上述圖中未畫(huà)出的負(fù)載鎖定單元，控制等離子體處理裝置10內(nèi)的種種狀態(tài)。utility供給裝置(輔助供給裝置)52具有檢測(cè)供給的空氣壓力的空氣供給壓監(jiān)視傳感器53。
在該等離子體處理裝置10的真空容器11內(nèi)，如上所述，通過(guò)將高頻功率供給支持器12和氣體導(dǎo)入噴頭34，在支持器12和氣體導(dǎo)入噴頭34之間的處理空間S中加上高頻功率，在該處理空間S中使從氣體導(dǎo)入噴頭34供給的混合氣體等離子體化，產(chǎn)生離子，由離子等對(duì)晶片W施加RIE處理。
具有上述構(gòu)成的等離子體處理裝置10，由后述的圖6中的系統(tǒng)控制器60控制它的各構(gòu)成要素實(shí)施各種處理。
圖6是模式地表示系統(tǒng)控制器60的概略構(gòu)成的方框圖。
系統(tǒng)控制器60對(duì)每個(gè)功能具有控制用于實(shí)現(xiàn)等離子體處理裝置10的各功能的設(shè)備組的多個(gè)控制模塊。在等離子體處理裝置10具有的功能中，例如，具有晶片搬運(yùn)功能和處理氣體流量控制功能、功率控制功能等。如圖6所示，系統(tǒng)控制器60具有控制用于實(shí)現(xiàn)等離子體處理裝置10的各功能的設(shè)備組的控制模塊61、62、和表示等離子體處理裝置10的工作狀態(tài)，并且接受用戶對(duì)等離子體處理裝置10的操作的操作控制器63。在系統(tǒng)控制器60中各控制模塊，經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)盤64與EC(Equipment Controller(設(shè)備控制器))65連接。系統(tǒng)控制器60從EC65經(jīng)過(guò)LAN(Local Area Network(局域網(wǎng)))71，與作為管理設(shè)置著等離子體處理裝置10的整個(gè)工廠的制造步驟的MES(ManufacturingExecution System(制造執(zhí)行系統(tǒng)))的PC70連接。MES與系統(tǒng)控制器聯(lián)合將關(guān)于工廠中的制造步驟的實(shí)時(shí)信息反饋到基干業(yè)務(wù)系統(tǒng)(圖中未畫(huà)出)，并且考慮到整個(gè)工廠的負(fù)荷等進(jìn)行關(guān)于制造步驟的判斷。
EC65是統(tǒng)括各控制模塊而控制整個(gè)等離子體處理裝置10的工作的主控制部。此外，EC65具有CPU、RAM、HDD等，在操作控制器63中由用戶等指定的晶片W的處理方法，即，與方案對(duì)應(yīng)的程序相應(yīng)地CPU通過(guò)將控制信號(hào)發(fā)送到各控制模塊，控制等離子體處理裝置10的各設(shè)備的工作。
開(kāi)關(guān)盤64，與來(lái)自EC65的控制信號(hào)相應(yīng)地切換作為EC65的連接目標(biāo)的控制模塊。
控制模塊61、62是控制等離子體處理裝置10的各設(shè)備的工作的副控制部(從控制部)，經(jīng)過(guò)圖中未畫(huà)出的網(wǎng)絡(luò)分別與每個(gè)功能的設(shè)備組連接?？刂颇K61是處理腔室模塊，在等離子體處理裝置10的真空容器11中，控制實(shí)施RIE處理的設(shè)備組。此外，控制模塊62是系統(tǒng)模塊，控制用于實(shí)施為了系統(tǒng)地連續(xù)實(shí)施上述RIE所需的晶片搬運(yùn)等的設(shè)備組。
在等離子體處理裝置10中，當(dāng)對(duì)晶片W施加各種處理時(shí)，與各處理的方案對(duì)應(yīng)的程序相應(yīng)地、EC65的CPU切換開(kāi)關(guān)盤64而將控制信號(hào)發(fā)送到控制模塊，控制模塊根據(jù)接收的控制信號(hào)控制各設(shè)備。
此外，系統(tǒng)控制器60，如圖6所示，具有在控制模塊之間實(shí)施聯(lián)鎖控制的聯(lián)鎖控制裝置66。
在圖6中，為了使說(shuō)明容易理解起見(jiàn)，系統(tǒng)控制器60只具有兩個(gè)控制模塊，但是系統(tǒng)控制器60具有的控制模塊不限于上述控制模塊。例如，系統(tǒng)控制器60也可以通過(guò)更細(xì)分等離子體處理裝置10的功能，具有與這些功能對(duì)應(yīng)的更多的控制模塊。
下面，說(shuō)明等離子體處理裝置10具有的聯(lián)鎖控制裝置66。
圖7A～G是表示等離子體處理裝置10具有的聯(lián)鎖控制裝置66的概略構(gòu)成的方框圖，圖7A是表示聯(lián)鎖控制裝置66全體的概略構(gòu)成的方框圖。圖7B～G是表示聯(lián)鎖控制裝置66的概略構(gòu)成的部分放大圖。在下面的說(shuō)明中，為了使說(shuō)明容易理解起見(jiàn)，聯(lián)鎖控制裝置66進(jìn)行的在處理腔室模塊61和系統(tǒng)模塊62之間的聯(lián)鎖控制是對(duì)處理腔室模塊61控制的真空設(shè)備和氣體供給裝置47，以及系統(tǒng)模塊62控制的utility裝置(輔助供給裝置)52進(jìn)行的。
聯(lián)鎖控制裝置66，如圖7A所示，具有作為設(shè)置在處理腔室模塊61中的從開(kāi)關(guān)裝置的從開(kāi)關(guān)電路600、作為設(shè)置在系統(tǒng)模塊62中的從開(kāi)關(guān)裝置的從開(kāi)關(guān)電路700、和作為連接從開(kāi)關(guān)電路600和從開(kāi)關(guān)電路700的主開(kāi)關(guān)裝置的主開(kāi)關(guān)電路800。
從開(kāi)關(guān)電路600，如圖7B、C所示，具有作為信號(hào)變換裝置的A/D變換電路601、602、603、多路化裝置610、作為存儲(chǔ)器的雙通道存儲(chǔ)電路620、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路620的寫(xiě)入地址控制裝置的寫(xiě)入地址電路621、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路620的讀出地址控制裝置的讀出地址電路624、作為分離裝置的多路分用器630、作為解碼裝置的解碼電路641、642、作為傳送裝置的驅(qū)動(dòng)電路643、作為安全化裝置的安全化電路651、655、670、和作為聯(lián)鎖控制部的聯(lián)鎖電路661、662。
多路化裝置610具有幀脈沖信號(hào)生成電路611、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成電路612、和作為多路化部的多路復(fù)用器613。
寫(xiě)入地址電路621具有寫(xiě)入地址控制電路622和寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器623，讀出地址電路624具有讀出地址控制電路625和讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器626。
安全化電路651、655、670分別具有錯(cuò)誤監(jiān)視電路652、656、671、信號(hào)生成電路653、657、672和選擇電路654、658、673。
此外，從開(kāi)關(guān)電路600具有作為數(shù)據(jù)積蓄部的數(shù)據(jù)積蓄電路681、I/F電路682、作為存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部的存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制電路683、和作為時(shí)鐘信號(hào)生成裝置的時(shí)鐘信號(hào)生成電路684。而且，從開(kāi)關(guān)電路600具有接收電路691。
在從開(kāi)關(guān)電路600中，A/D變換電路601、602、603分別與腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49、氣體泄漏傳感器48、腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51連接。
腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49輸出表示等離子體處理裝置10的門閥44的開(kāi)閉狀態(tài)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A。腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49，當(dāng)門閥44處于開(kāi)狀態(tài)時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)A輸出ON信號(hào)，當(dāng)門閥44處于閉狀態(tài)時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)A輸出OFF信號(hào)。
氣體泄漏傳感器48輸出表示在氣體供給裝置47中是否發(fā)生處理氣體泄漏的聯(lián)鎖要因信號(hào)B。氣體泄漏傳感器48，當(dāng)在氣體供給裝置47中發(fā)生處理氣體泄漏時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)B輸出ON信號(hào)，當(dāng)在氣體供給裝置47中不發(fā)生處理氣體泄漏時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)B輸出OFF信號(hào)。
腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51輸出表示真空容器11的處理空間S是否處于大氣壓狀態(tài)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C。腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51，當(dāng)真空容器11的處理空間S處于大氣壓狀態(tài)時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)C輸出ON信號(hào)，當(dāng)真空容器11的處理空間S不處于大氣壓狀態(tài)時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)C輸出OFF信號(hào)。
聯(lián)鎖電路661，與等離子體處理裝置10的氣體供給裝置47連接，與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C的值相應(yīng)地對(duì)氣體供給裝置47進(jìn)行聯(lián)鎖控制。具體地說(shuō)，對(duì)于聯(lián)鎖控制電路661，當(dāng)與在聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值為ON，門閥44處于開(kāi)狀態(tài)時(shí)，聯(lián)鎖要因信號(hào)B的值為ON，在氣體供給裝置47中發(fā)生氣體泄漏時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)C處于ON狀態(tài)，真空容器11的處理空間S處于大氣壓狀態(tài)時(shí)的任一個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，發(fā)出指示停止并中止對(duì)氣體供給裝置47供給處理氣體的聯(lián)鎖指令A(yù)。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令A(yù)時(shí)氣體供給裝置47停止并中止供給處理氣體。另一方面，聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值、聯(lián)鎖要因信號(hào)B的值、和聯(lián)鎖要因信號(hào)C的值中的任一個(gè)都不處于ON時(shí)，聯(lián)鎖電路661不發(fā)出聯(lián)鎖指令A(yù)。
此外，聯(lián)鎖電路662，與等離子體處理裝置10的真空設(shè)備連接，與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的值相應(yīng)地對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行聯(lián)鎖控制。真空設(shè)備是APC閥15、TMP17和DP18等的設(shè)備。此外，聯(lián)鎖要因信號(hào)D是空氣供給壓監(jiān)視傳感器53輸出的信號(hào)，當(dāng)從utility供給裝置(輔助供給裝置)52供給的空氣壓力比用于驅(qū)動(dòng)等離子體處理裝置10的門閥44等的系統(tǒng)所需的規(guī)定壓力低時(shí)，它的值成為ON。聯(lián)鎖要因信號(hào)E是表示氣體無(wú)毒化裝置50的狀態(tài)的信號(hào)，當(dāng)氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)，它的值成為ON。
聯(lián)鎖電路662，具體地說(shuō)，當(dāng)與在聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值為ON，門閥44處于開(kāi)狀態(tài)時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)B處于ON狀態(tài)，在氣體供給裝置47中發(fā)生氣體泄漏時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)C處于ON狀態(tài)，真空容器11的處理空間S處于大氣壓狀態(tài)時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)D處于ON狀態(tài)，從utility供給裝置(輔助供給裝置)52供給的空氣壓力比上述規(guī)定壓力低時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)E處于ON狀態(tài)，氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)中的某一個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，向真空設(shè)備發(fā)出指示停止并中止真空容器11內(nèi)的抽真空的聯(lián)鎖指令B。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令B時(shí)，真空設(shè)備停止并中止真空容器11內(nèi)的抽真空。另一方面，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的值中的任何一個(gè)都不為ON時(shí)，聯(lián)鎖電路662不發(fā)出聯(lián)鎖指令B。
從開(kāi)關(guān)電路700，如圖7D、E所示，具有作為信號(hào)變換裝置的A/D變換電路701、702、多路化裝置710、作為存儲(chǔ)器的雙通道存儲(chǔ)電路720、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路720的寫(xiě)入地址控制裝置的寫(xiě)入地址電路721、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路720的讀出地址控制裝置的讀出地址電路724、作為分離裝置的多路分用器730、作為解碼裝置的解碼電路741、作為傳送裝置的驅(qū)動(dòng)電路742、作為安全化裝置的安全化電路751、770、和作為聯(lián)鎖控制部的聯(lián)鎖電路761。
多路化裝置710具有幀脈沖信號(hào)生成電路711、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成電路712、和作為多路化部的多路復(fù)用器713。
寫(xiě)入地址電路721具有寫(xiě)入地址控制電路722和寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器723，讀出地址電路724具有讀出地址控制電路725和讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器726。
安全化電路751、770分別具有錯(cuò)誤監(jiān)視電路752、771、信號(hào)生成電路753、772和選擇電路754、773。
此外，從開(kāi)關(guān)電路700具有作為數(shù)據(jù)積蓄部的數(shù)據(jù)積蓄電路781、I/F電路782、作為存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部的存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制電路783、和作為時(shí)鐘信號(hào)生成裝置的時(shí)鐘信號(hào)生成電路784。而且，從開(kāi)關(guān)電路700具有接收電路791。
在從開(kāi)關(guān)電路700中，A/D變換電路701、702分別與空氣供給壓監(jiān)視傳感器53、和經(jīng)過(guò)氣體無(wú)毒化裝置I/F50a與氣體無(wú)毒化裝置50連接。
空氣供給壓監(jiān)視傳感器53，如上所述，輸出表示從utility供給裝置52供給的空氣壓力狀態(tài)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D。空氣供給壓監(jiān)視傳感器53，當(dāng)從utility供給裝置52供給的空氣壓力比用于驅(qū)動(dòng)等離子體處理裝置10的門閥44等的系統(tǒng)所需的上述規(guī)定壓力低時(shí)，作為聯(lián)鎖要因信號(hào)D輸出ON信號(hào)，當(dāng)從utility供給裝置(輔助供給裝置)52供給的空氣壓力在上述規(guī)定壓力以上時(shí)，作為聯(lián)鎖要因信號(hào)D輸出OFF信號(hào)。
氣體無(wú)毒化裝置50經(jīng)過(guò)氣體無(wú)毒化裝置I/F50a輸出表示氣體無(wú)毒化裝置50的狀態(tài)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E。氣體無(wú)毒化裝置50可以判別在氣體無(wú)毒化裝置50內(nèi)是否發(fā)生故障，當(dāng)氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)E輸出ON信號(hào)，當(dāng)氣體無(wú)毒化裝置50不發(fā)生故障時(shí)作為聯(lián)鎖要因信號(hào)E輸出OFF信號(hào)。
聯(lián)鎖電路761，與等離子體處理裝置10的utility供給裝置52連接，與聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的值相應(yīng)地對(duì)utility供給裝置52進(jìn)行聯(lián)鎖控制。具體地說(shuō)，聯(lián)鎖控制電路761，當(dāng)與在聯(lián)鎖要因信號(hào)D的值為ON，從utility供給裝置52供給的空氣壓力比用于驅(qū)動(dòng)等離子體處理裝置10的門閥44等的系統(tǒng)所需的上述規(guī)定壓力低時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)E處于ON狀態(tài)信號(hào)，氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)的某個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，向utility供給裝置52發(fā)出指示停止供給空氣、水和N2氣的聯(lián)鎖指令C。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令C時(shí)utility供給裝置52停止供給空氣、水和N2氣。另一方面，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)D的值和聯(lián)鎖要因信號(hào)E的值中的任何一個(gè)都不是ON時(shí)，聯(lián)鎖電路761不發(fā)出聯(lián)鎖指令C。
主開(kāi)關(guān)電路800，如圖7F、G所示，具有分別與從開(kāi)關(guān)電路600的驅(qū)動(dòng)電路643、從開(kāi)關(guān)電路700的驅(qū)動(dòng)電路743連接的接收電路801、802、作為分別與接收電路801、802連接的安全化裝置的安全化電路810、820、多路化裝置830、作為存儲(chǔ)器的雙通道存儲(chǔ)電路840、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路840的寫(xiě)入地址控制裝置的寫(xiě)入地址電路841、作為控制雙通道存儲(chǔ)電路840的讀出地址控制裝置的讀出地址電路844、作為分離裝置的多路分用器(demultiplex)850、和作為傳送裝置的驅(qū)動(dòng)電路871、872。
多路化電路830具有幀脈沖信號(hào)生成電路831、錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成電路832、和作為多路化部的多路復(fù)用器833。
寫(xiě)入地址電路841具有寫(xiě)入地址控制電路842和寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器843，讀出地址電路844具有讀出地址控制電路845和讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器846。
安全化電路810、820分別具有錯(cuò)誤監(jiān)視電路811、821、信號(hào)生成電路812、822和選擇電路813、823。
此外，主開(kāi)關(guān)電路800具有作為數(shù)據(jù)積蓄部的數(shù)據(jù)積蓄電路861、I/F電路862、作為存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制部的存儲(chǔ)器寫(xiě)入控制電路863、和作為時(shí)鐘信號(hào)生成裝置的時(shí)鐘信號(hào)生成電路864。
從開(kāi)關(guān)電路600和主開(kāi)關(guān)電路800，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路643和接收電路801，通過(guò)接收電路691和驅(qū)動(dòng)電路871可以通信地連接起來(lái)。從而，驅(qū)動(dòng)電路643和接收電路801以及接收電路691和驅(qū)動(dòng)電路871與圖1的聯(lián)鎖控制裝置1的傳送裝置和電纜配線對(duì)應(yīng)。同樣，從開(kāi)關(guān)電路700和主開(kāi)關(guān)電路800，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路742和接收電路802，通過(guò)接收電路791和驅(qū)動(dòng)電路872可以通信地連接起來(lái)。從而，驅(qū)動(dòng)電路742和接收電路802以及接收電路791和驅(qū)動(dòng)電路872與圖1的聯(lián)鎖控制裝置1的傳送裝置和電纜配線對(duì)應(yīng)。
因?yàn)閺拈_(kāi)關(guān)電路600、700和主開(kāi)關(guān)電路800的構(gòu)成與圖1的聯(lián)鎖控制裝置1中的從開(kāi)關(guān)裝置和主開(kāi)關(guān)裝置相同，所以省略對(duì)它們的詳細(xì)說(shuō)明。
下面，參照?qǐng)D8A、B和圖9A、B說(shuō)明聯(lián)鎖控制電路66的工作。圖8A、B是用于說(shuō)明從開(kāi)關(guān)電路600的工作的圖，圖8A、B(A)～(E)是表示在圖7B、C的從開(kāi)關(guān)電路的600的A、B、C1、C2、C3點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。圖9A、B是用于說(shuō)明從開(kāi)關(guān)電路700的工作的圖，圖9A、B(A)～(D)是表示在圖7D、E的從開(kāi)關(guān)電路700的A、B、C1、C2點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。圖10是用于說(shuō)明主開(kāi)關(guān)電路800的工作的圖，圖10(A)～(C)是表示在圖7F、G的主開(kāi)關(guān)電路800的A、B、C點(diǎn)上傳送的傳送數(shù)據(jù)的圖。
首先，說(shuō)明從開(kāi)關(guān)電路600的工作。
A/D變換電路601、602、603，對(duì)分別從腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49、氣體泄漏傳感器48和腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C進(jìn)行A/D變換，將聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C變換成數(shù)字信號(hào)。分別從腔室開(kāi)閉檢測(cè)傳感器49、氣體泄漏傳感器48和腔室內(nèi)壓力監(jiān)視傳感器51輸出的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C是圖2A(A)所示的High電平的ON信號(hào)或Low電平的OFF信號(hào)。分別在A/D變換電路601、602、603中經(jīng)過(guò)A/D變換的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C成為如圖2A(B)所示的ON/OFF的數(shù)字信號(hào)。
下面，多路復(fù)用器613，對(duì)在錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成電路612中生成的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)、經(jīng)過(guò)A/D變換的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、和如后述那樣從主開(kāi)關(guān)電路800傳送的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E進(jìn)行多路化生成多路化信號(hào)。錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)是2類的規(guī)定數(shù)據(jù)，例如，是圖3中所示的數(shù)據(jù)。
多路復(fù)用器613，以字母順序?qū)υ阱e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中下一個(gè)接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化生成多路化信號(hào)。此外，多路復(fù)用器613，以生成的1幀的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度成為與來(lái)自幀脈沖信號(hào)生成部612的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的方式生成多路化信號(hào)(參照?qǐng)D8A(A))。當(dāng)對(duì)錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化得到的多路化信號(hào)比由該幀脈沖信號(hào)規(guī)定的幀長(zhǎng)度短時(shí)，多路復(fù)用器613對(duì)規(guī)定數(shù)量的空白信號(hào)進(jìn)行多路化，使生成的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度等于它的幀長(zhǎng)度。在多路復(fù)用器613中生成的多路化信號(hào)，如圖8A(A)所示，成為以錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)、聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E和規(guī)定數(shù)量的空白信號(hào)的順序，對(duì)它們進(jìn)行多路化得到的信號(hào)。
幀脈沖信號(hào)是預(yù)先設(shè)定脈沖寬度的脈沖信號(hào)，幀脈沖信號(hào)生成部612根據(jù)來(lái)自時(shí)鐘發(fā)生電路611的時(shí)鐘信號(hào)生成幀脈沖信號(hào)。幀脈沖信號(hào)生成部612具有可以變換生成的幀脈沖信號(hào)的脈沖寬度的構(gòu)成。
下面，多路化裝置610將時(shí)鐘信號(hào)、在幀脈沖信號(hào)生成部612中生成的幀脈沖信號(hào)、和在多路復(fù)用器613中生成的多路化信號(hào)作為1個(gè)傳送數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出(參照?qǐng)D8A(A))。
與圖1的存儲(chǔ)器120的情形同樣，按照寫(xiě)入地址電路621的控制，將在多路化裝置610中經(jīng)過(guò)多路化的多路化信號(hào)存儲(chǔ)在雙通道存儲(chǔ)電路620中。在寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器123的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，以將多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)從前頭順序地寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路620的規(guī)定地址上的方式，設(shè)定多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)的順序和寫(xiě)入目標(biāo)地址的關(guān)系，雙通道存儲(chǔ)電路620由寫(xiě)入地址控制電路622控制，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)從前頭寫(xiě)入規(guī)定地址上。
具體地說(shuō)，雙通道存儲(chǔ)電路620，以將作為多路化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路620的規(guī)定地址，例如，號(hào)碼最新的地址上，將作為第二要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A寫(xiě)入到其下一個(gè)地址，將作為第三要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B寫(xiě)入到其下一個(gè)地址，將作為第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C寫(xiě)入到其下一個(gè)地址的順序，而將1個(gè)幀的多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)寫(xiě)入到連續(xù)的地址上。
下面，按照讀出地址電路624的控制從雙通道存儲(chǔ)電路620讀出寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路620的多路化信號(hào)。在讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器626的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，首先讀出應(yīng)該從多路分用器630輸出的分離信號(hào)(多路化信號(hào))的數(shù)目只為m(在從開(kāi)關(guān)電路600中m＝3)的錯(cuò)誤監(jiān)視信號(hào)，其次，以每次1個(gè)順序地讀出作為應(yīng)該從多路分用器630輸出的分離信號(hào)的各個(gè)要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的方式，設(shè)定讀出要素?cái)?shù)據(jù)、讀出這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和要素?cái)?shù)據(jù)的讀出地址的關(guān)系。
即，首先，3次讀出錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，其次讀出作為發(fā)送到聯(lián)鎖控制部661的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)A)(參照?qǐng)D8B(C))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，順次地讀出作為發(fā)送到聯(lián)鎖控制部662的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)B)(參照?qǐng)D8B(D))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，讀出作為發(fā)送到驅(qū)動(dòng)電路643的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)C)(參照?qǐng)D8B(E))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A，下面，順次地讀出作為分離信號(hào)A的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B、作為分離信號(hào)B的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B、作為分離信號(hào)C的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)B，作為分離信號(hào)A的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C、作為分離信號(hào)B的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C，作為分離信號(hào)C的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C，而且，因?yàn)橐呀?jīng)全部讀出分離信號(hào)A的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以讀出空白信號(hào)，順序地讀出作為分離信號(hào)B的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、因?yàn)橐呀?jīng)全部讀出分離信號(hào)C的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以順序地讀出讀出空白信號(hào)、空白信號(hào)、作為分離信號(hào)B的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E、空白信號(hào)，進(jìn)行讀出直到全部讀出各分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)為止。
在上述讀出中，與各分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的要素?cái)?shù)據(jù)的讀出次數(shù)相同，當(dāng)全部讀出分離信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)時(shí)，如上所述地讀出空白信號(hào)。即，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為相同的方式進(jìn)行讀出。而且，雙通道存儲(chǔ)電路620以讀出的順序?qū)€(gè)要素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行聚合(參照?qǐng)D8A(B))。此外，生成的聚合化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度成為從聚合化電路610輸出的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期。此外，這時(shí)的聚合化速度是多路復(fù)用器613中的聚合化速度的m倍(多路分用器630的輸出數(shù))。即，為多路復(fù)用器613中的聚合化速度的3倍速度。下面，雙通道存儲(chǔ)電路620輸出包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和讀出的聚合化信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D8A(B))。
下面，在多路分用器630中，從前頭開(kāi)始每次1個(gè)順序地將在雙通道存儲(chǔ)電路620中讀出的聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)分配給各輸出端子。具體地說(shuō)，將作為聚合化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第一輸出端子631，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第二要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第二輸出端子632，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第三要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第三輸出端子633，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第一輸出端子631，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第五要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第二輸出端子632，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第六要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A分配給第三輸出端子633，將第七聯(lián)鎖要因信號(hào)B、第八聯(lián)鎖要因信號(hào)B、第九聯(lián)鎖要因信號(hào)B、第十聯(lián)鎖要因信號(hào)C、第十一聯(lián)鎖要因信號(hào)C、第十二聯(lián)鎖要因信號(hào)C、第十三空白信號(hào)X、第十四聯(lián)鎖要因信號(hào)D、第十五、十六空白信號(hào)X、第十七聯(lián)鎖要因信號(hào)E、第十八空白信號(hào)X交互地分配給第一、第二、第三輸出端子631、632、633，并每次1個(gè)順序地將要素?cái)?shù)據(jù)分配給每個(gè)端子直到?jīng)]有聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)為止。(參照?qǐng)D8B(C)、(D)、(E))。
下面，通過(guò)使已分配的信號(hào)聚合化生成分離信號(hào)。這時(shí)，生成與第一輸出端子631對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到聯(lián)鎖電路661的分離信號(hào)A(參照?qǐng)D8B(C))。生成與第二輸出端子632對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到聯(lián)鎖電路662的分離信號(hào)B(參照?qǐng)D8B(D))。生成與第三輸出端子633對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到驅(qū)動(dòng)電路663的分離信號(hào)C(參照?qǐng)D8B(E))。此外，多路分用器630，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期的方式進(jìn)行分離和聚合化。
下面，多路分用器630，分別從第一輸出端子631將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)A的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化電路651，從第二輸出端子632將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)B的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化電路652，從第三輸出端子633將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)C的傳送數(shù)據(jù)輸出到驅(qū)動(dòng)電路643。
安全化裝置651，在錯(cuò)誤監(jiān)視單元652中，監(jiān)視是否在接收的傳送數(shù)據(jù)中遺漏了時(shí)鐘信號(hào)，通過(guò)觀察接收的幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)A監(jiān)視在每個(gè)脈沖信號(hào)中是否交互地賦予在多路復(fù)用器613中賦予的2類(55/AA)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D3)，監(jiān)視分離信號(hào)的數(shù)據(jù)失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等。當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)沒(méi)有遺漏時(shí)和當(dāng)在每個(gè)幀脈沖信號(hào)中交互地賦予在多路復(fù)用器613中賦予的2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別在分離信號(hào)中沒(méi)有數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等，在分離信號(hào)中沒(méi)有錯(cuò)誤。另一方面，當(dāng)時(shí)鐘信號(hào)遺漏時(shí)和在每個(gè)幀脈沖信號(hào)中不交互地賦予在多路復(fù)用器613中賦予的2類錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)時(shí)，判別在分離信號(hào)中發(fā)生數(shù)據(jù)的失落和數(shù)據(jù)的Bit偏離等，和在分離信號(hào)中具有錯(cuò)誤，將錯(cuò)誤信號(hào)發(fā)送到信號(hào)生成部653并將切換信號(hào)發(fā)送到選擇部654。
下面，信號(hào)生成電路653，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視電路652接收錯(cuò)誤信號(hào)時(shí)，以發(fā)送該分離信號(hào)A的聯(lián)鎖控制電路661將作為聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)的氣體供給裝置47驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式，將分離信號(hào)A的聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C)的值變更到ON或OFF的預(yù)先設(shè)定的值，生成規(guī)定的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到選擇電路654。信號(hào)生成電路653，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)A是ON信號(hào)，聯(lián)鎖要因信號(hào)B是ON信號(hào)，聯(lián)鎖要因信號(hào)C是ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，因?yàn)闅怏w供給裝置47停止并中止供給氣體，所以將氣體供給裝置47驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)。
下面，選擇電路654，當(dāng)從錯(cuò)誤監(jiān)視電路652接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在分離信號(hào)A中存在錯(cuò)誤時(shí)將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)送到解碼電路641，當(dāng)沒(méi)有從錯(cuò)誤監(jiān)視電路652接收切換信號(hào)時(shí)，即當(dāng)在分離信號(hào)A中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，將分離信號(hào)A原封不動(dòng)地發(fā)送到解碼電路641。
安全化裝置656也與上述安全化裝置652同樣地進(jìn)行工作。即，當(dāng)判別在錯(cuò)誤監(jiān)視電路656接收的分離信號(hào)B中具有錯(cuò)誤時(shí)，信號(hào)生成電路657生成將真空設(shè)備驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)，選擇電路658將該安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到復(fù)合電路642。另一方面，當(dāng)判別在錯(cuò)誤監(jiān)視電路656接收的分離信號(hào)B中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，選擇電路658將接收的分離信號(hào)B原封不動(dòng)地輸出到解碼電路642。這里，信號(hào)生成電路657，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E全部是ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，因?yàn)檎婵赵O(shè)備停止并中止抽真空，所以將真空設(shè)備驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)。
從安全化電路651接收分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)的解碼電路641，對(duì)接收的分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼，分離成各要素信號(hào)，只提取聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C)輸出到聯(lián)鎖控制電路661。解碼電路642也同樣，對(duì)接收的分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼，分離成各要素信號(hào)，只提取聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E)輸出到聯(lián)鎖控制電路662。
另一方面，驅(qū)動(dòng)裝置643將從多路分用器630接收的分離信號(hào)C傳送到主開(kāi)關(guān)裝置800。
而且，從解碼裝置641接收聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C的聯(lián)鎖控制電路661，解析接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C的內(nèi)容，即，通過(guò)判別是ON信號(hào)還是OFF信號(hào)，與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C的內(nèi)容的組合相應(yīng)地如上所述地對(duì)氣體供給裝置47實(shí)施聯(lián)鎖控制。
即，聯(lián)鎖電路661，當(dāng)與在聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值為ON，門閥44處于開(kāi)狀態(tài)時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)B的值為ON，在氣體供給裝置47中發(fā)生氣體泄漏時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)C處于ON狀態(tài)，真空容器11的處理空間S處于大氣壓狀態(tài)時(shí)的某個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，向氣體供給裝置47發(fā)出指示停止并中止對(duì)供給處理氣體的聯(lián)鎖指令A(yù)。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令A(yù)時(shí)氣體供給裝置47停止并中止供給處理氣體。另一方面，聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值、聯(lián)鎖要因信號(hào)B的值、和聯(lián)鎖要因信號(hào)C的值中的任何一個(gè)都不是ON時(shí)，聯(lián)鎖電路661不發(fā)出聯(lián)鎖指令A(yù)。
同樣，聯(lián)鎖電路662，解析接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的內(nèi)容，與聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的內(nèi)容的組合相應(yīng)地如上所述地對(duì)真空設(shè)備實(shí)施聯(lián)鎖控制。
即，聯(lián)鎖電路662，當(dāng)與在聯(lián)鎖要因信號(hào)A的值為ON，門閥44處于開(kāi)狀態(tài)時(shí)，聯(lián)鎖要因信號(hào)B處于ON狀態(tài)，在氣體供給裝置47中發(fā)生氣體泄漏時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)C處于ON狀態(tài)，真空容器11的處理空間S處于大氣壓狀態(tài)時(shí)，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)D處于ON狀態(tài)，從utility供給裝置52供給的空氣壓力比上述規(guī)定壓力低時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)E處于ON狀態(tài)，氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)中的某個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，向真空設(shè)備發(fā)出指示停止并中止對(duì)真空容器11內(nèi)抽真空的聯(lián)鎖指令B。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令B時(shí)真空設(shè)備停止并中止對(duì)真空容器11內(nèi)抽真空。另一方面，聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C、D、E的值中的任何一個(gè)都不處于ON時(shí)，聯(lián)鎖電路662不發(fā)出聯(lián)鎖指令B。
下面，說(shuō)明從開(kāi)關(guān)電路700的工作。
A/D變換電路701、702對(duì)分別從空氣供給壓監(jiān)視傳感器53、和經(jīng)過(guò)氣體無(wú)毒化裝置I/F50a從氣體無(wú)毒化裝置50接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E進(jìn)行A/D變換，使聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E成為數(shù)字信號(hào)。
下面，多路復(fù)用器713，對(duì)在錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)生成電路712中生成的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D3)、和經(jīng)過(guò)A/D變換的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E進(jìn)行多路化生成多路化信號(hào)。
多路復(fù)用器713，與從開(kāi)關(guān)電路600的多路復(fù)用器613同樣，以字母順序?qū)υ阱e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中下一個(gè)接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化生成多路化信號(hào)。當(dāng)生成的1幀的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度成為與來(lái)自幀脈沖信號(hào)生成部711的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度(參照?qǐng)D9A(A))，對(duì)錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化得到的多路化信號(hào)比由該幀脈沖信號(hào)規(guī)定的幀長(zhǎng)度短時(shí)，對(duì)空白信號(hào)進(jìn)行多路化。在多路復(fù)用器713中生成的多路化信號(hào)，如圖9A(A)所示，成為以錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)、聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E和規(guī)定數(shù)量的空白信號(hào)的順序，對(duì)它們進(jìn)行多路化生成的信號(hào)。此外，因?yàn)樵诼?lián)鎖電路761中聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C不是聯(lián)鎖要因，所以不從主開(kāi)關(guān)800傳送聯(lián)鎖要因信號(hào)。
下面，多路化裝置710，將時(shí)鐘信號(hào)、在幀脈沖信號(hào)生成部712中生成的幀脈沖信號(hào)和在多路復(fù)用器713中生成的多路化信號(hào)作為1個(gè)傳送數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出(參照?qǐng)D9A(A))。
按照寫(xiě)入地址控制電路721的控制，將在多路化裝置710中已多路化的多路化信號(hào)存儲(chǔ)在雙通道存儲(chǔ)電路720中。在寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器723的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，與從開(kāi)關(guān)裝置600的寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器623同樣，以多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)從前頭順序地寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路720的規(guī)定地址上的方式設(shè)定著多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)的順序和寫(xiě)入目標(biāo)地址的關(guān)系，雙通道存儲(chǔ)電路720，由寫(xiě)入地址控制電路722進(jìn)行控制，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)從前頭寫(xiě)入到規(guī)定地址上。
下面，按照讀出地址控制裝置724的控制從雙通道存儲(chǔ)電路720讀出寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路720中的多路化信號(hào)。在讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器726的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，與從開(kāi)關(guān)裝置600的讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器626同樣，首先讀出應(yīng)該從多路分用器730輸出的分離信號(hào)(多路化信號(hào))的數(shù)目只為n(在從開(kāi)關(guān)電路700中n＝2)的錯(cuò)誤監(jiān)視信號(hào)，其次，以每次1個(gè)順序地讀出作為應(yīng)該從多路分用器730輸出的分離信號(hào)的各個(gè)要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的方式，設(shè)定讀出要素?cái)?shù)據(jù)、讀出這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和要素?cái)?shù)據(jù)的讀出地址的關(guān)系。
即，首先兩次讀出錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，其次讀出作為發(fā)送到聯(lián)鎖電路761的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)D)(參照?qǐng)D9B(C))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D，讀出作為發(fā)送到驅(qū)動(dòng)電路762的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)E)(參照?qǐng)D9B(D))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D，讀出作為分離信號(hào)D的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E，讀出作為分離信號(hào)E的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E，讀出規(guī)定數(shù)量的空白信號(hào)。
而且，雙通道存儲(chǔ)電路720以讀出的順序使各要素?cái)?shù)據(jù)聚合(參照?qǐng)D9A(B))。此外，生成的聚合化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度成為從聚合化電路710輸出的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期。此外，這時(shí)的聚合化速度是多路復(fù)用器713中的聚合化速度的n倍(多路分用器730的輸出數(shù)量)。即，多路復(fù)用器713中的聚合化速度的2倍的速度。下面，雙通道存儲(chǔ)電路720輸出包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和讀出的聚合化信號(hào)的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D9A(B))。
下面，在多路分用器930中，從前頭開(kāi)始每次1個(gè)順序地將在雙通道存儲(chǔ)電路720中讀出的聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)分配給各輸出端子。具體地說(shuō)，將作為聚合化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第一輸出端子731，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第二要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第二輸出端子732，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第三要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D分配給第一輸出端子731，將作為聚合化信號(hào)內(nèi)的第四要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D分配給第二輸出端子732，將第五聯(lián)鎖要因信號(hào)E、第六聯(lián)鎖要因信號(hào)E交互地分配給第一、第二輸出端子731、732，并每次1個(gè)順序地將要素?cái)?shù)據(jù)分配給每個(gè)端子直到?jīng)]有聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)為止。(參照?qǐng)D9B(C)、(D))。
下面，通過(guò)使分配了的信號(hào)聚合化生成分離信號(hào)。這時(shí)，生成與第一輸出端子731對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到聯(lián)鎖電路761的分離信號(hào)D(參照?qǐng)D9B(C))，生成與第二輸出端子732對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到驅(qū)動(dòng)電路742的分離信號(hào)E(參照?qǐng)D9B(D))。此外，多路分用器730，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期的方式進(jìn)行分離和聚合化。
下面，多路分用器730，分別從第一輸出端子731將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)D的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化裝置751，從第二輸出端子732將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)E的傳送數(shù)據(jù)輸出到驅(qū)動(dòng)電路742。
安全化裝置751與從開(kāi)關(guān)電路600的安全化電路651同樣地進(jìn)行工作。即，當(dāng)錯(cuò)誤監(jiān)視電路752判別在接收的分離信號(hào)D中具有錯(cuò)誤時(shí)，信號(hào)生成電路753生成將utility供給裝置52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)，選擇電路754將該安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到復(fù)合電路741。另一方面，當(dāng)錯(cuò)誤監(jiān)視電路752判別在接收的分離信號(hào)E中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，選擇電路754將接收的分離信號(hào)E原封不動(dòng)地輸出到復(fù)合電路741。這里，信號(hào)生成電路753，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E全部是ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，因?yàn)閡tility供給裝置52停止并中止供給空氣、水和N2氣，所以將utility供給裝置52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)。
從安全化電路751接收分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)的解碼電路741，對(duì)接收的分離信號(hào)或安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行解碼分離成各要素信號(hào)，只提取聯(lián)鎖要因信號(hào)(聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E)輸出到聯(lián)鎖電路761。
另一方面，驅(qū)動(dòng)電路742將從多路分用器730接收的分離信號(hào)E傳送到主開(kāi)關(guān)電路800。
而且，從解碼電路741接收聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的聯(lián)鎖電路761，解析接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的內(nèi)容，即，通過(guò)判別是ON信號(hào)還是OFF信號(hào)，與聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E的內(nèi)容的組合相應(yīng)地如上所述地對(duì)utility供給裝置52實(shí)施聯(lián)鎖控制。即，聯(lián)鎖電路761，當(dāng)與當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)D的值為ON，從utility供給裝置52供給的空氣壓力比用于驅(qū)動(dòng)等離子體處理裝置10的門閥44等的系統(tǒng)所需的上述規(guī)定壓力低時(shí)，或者當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)E處于ON狀態(tài)，氣體無(wú)毒化裝置50發(fā)生故障時(shí)的某個(gè)條件相當(dāng)時(shí)，向utility供給裝置52發(fā)出指示停止供給處理空氣、水和N2氣的聯(lián)鎖指令C。當(dāng)接收該聯(lián)鎖指令C時(shí)utility供給裝置52停止供給空氣、水和N2氣。另一方面，當(dāng)聯(lián)鎖要因信號(hào)D的值和聯(lián)鎖要因信號(hào)E的值中的任何一個(gè)都不是ON時(shí)，聯(lián)鎖電路761不發(fā)出聯(lián)鎖指令C。
下面，說(shuō)明主開(kāi)關(guān)電路800的工作。
如上所述，由安全化電路810、820接收分別包含從從開(kāi)關(guān)裝置600、700的驅(qū)動(dòng)電路643、742分別傳送的分離信號(hào)C、E的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D8B(E)、圖9B(D))。
安全化電路810、820，與安全化電路651同樣，在錯(cuò)誤監(jiān)視電路811、821中觀察時(shí)鐘信號(hào)的遺漏和錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，判別有無(wú)錯(cuò)誤。當(dāng)沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，原封不動(dòng)地從選擇電路813、823輸出接收的傳送數(shù)據(jù)。另一方面，當(dāng)具有錯(cuò)誤時(shí)，以將真空設(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式將在信號(hào)生成電路812、822中各個(gè)分離信號(hào)C、E的聯(lián)鎖要因信號(hào)的內(nèi)容變更到預(yù)先設(shè)定的值(ON或OFF)將安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)作為聚合化信號(hào)，與時(shí)鐘信號(hào)和幀脈沖信號(hào)一起從選擇電路813、823輸出。信號(hào)生成電路812，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)A、B、C為ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。此外，信號(hào)生成電路822，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E為ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，將真空設(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)。
下面，多路復(fù)用器833，與上述從開(kāi)關(guān)電路600的多路復(fù)用器613同樣，以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)邮盏亩嗦坊盘?hào)進(jìn)行多路化。具體地說(shuō)，多路復(fù)用器833，以字母順序?qū)υ阱e(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)中下一個(gè)接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化生成多路化信號(hào)。多路復(fù)用器833，以生成的1幀的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度成為與接收的幀脈沖信號(hào)的1個(gè)脈沖周期對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的方式生成多路化信號(hào)。當(dāng)對(duì)錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)和接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化得到的多路化信號(hào)比由該幀脈沖信號(hào)規(guī)定的幀長(zhǎng)度短時(shí)，多路復(fù)用器833對(duì)規(guī)定數(shù)量的空白信號(hào)進(jìn)行多路化，使生成的多路化信號(hào)的長(zhǎng)度等于它的幀長(zhǎng)度。
下面，多路化電路830將時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和生成的多路化信號(hào)作為1個(gè)傳送數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出(參照?qǐng)D10(A))。
按照寫(xiě)入地址電路841的控制，將在多路復(fù)用器833中進(jìn)行了多路化的多路化信號(hào)存儲(chǔ)在雙通道存儲(chǔ)電路840中。在寫(xiě)入地址設(shè)定存儲(chǔ)器843的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，與從開(kāi)關(guān)電路600的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)同樣，以從前頭開(kāi)始順序地將多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路840的規(guī)定地址上的方式，設(shè)定著多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)、這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和寫(xiě)入目標(biāo)地址的關(guān)系，雙通道存儲(chǔ)電路840，由寫(xiě)入地址控制電路842控制，按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)將多路化信號(hào)的各要素?cái)?shù)據(jù)從前頭寫(xiě)入到規(guī)定地址上。具體地說(shuō)，雙通道存儲(chǔ)電路840，以將作為多路化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路840的規(guī)定地址，例如號(hào)碼最新的地址上，將作為第二要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)A寫(xiě)入到它的下一個(gè)地址上，將作為第三、四、五要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)C、D、E寫(xiě)入到連續(xù)的地址上的順序，將1個(gè)幀的多路化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)寫(xiě)入到連續(xù)的地址上。
下面，按照讀出地址電路844的控制從雙通道存儲(chǔ)電路840讀出寫(xiě)入到雙通道存儲(chǔ)電路840中的多路化信號(hào)。在讀出地址設(shè)定存儲(chǔ)器846的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)中，與從開(kāi)關(guān)電路600的讀出存儲(chǔ)器設(shè)置數(shù)據(jù)同樣，首先讀出應(yīng)該從多路分用器850輸出的分離信號(hào)(多路化信號(hào))的數(shù)目只為p(在主開(kāi)關(guān)電路800中p＝2)的錯(cuò)誤監(jiān)視信號(hào)，其次，以每次1個(gè)順序地讀出作為應(yīng)該從多路分用器850輸出的分離信號(hào)的各個(gè)要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)的方式，設(shè)定讀出要素?cái)?shù)據(jù)、讀出這些要素?cái)?shù)據(jù)的順序和要素?cái)?shù)據(jù)的讀出地址的關(guān)系。
在主開(kāi)關(guān)電路800中，首先，1次讀出錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)，其次因?yàn)樵诒韭?lián)鎖控制中不需要將聯(lián)鎖要因信號(hào)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路700，所以讀出空白信號(hào)作為發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路700的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)G)的要素信號(hào)。下面，讀出作為發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路600的分離信號(hào)(以下，也稱為分離信號(hào)F)(參照?qǐng)D10(C))的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D，讀出空白信號(hào)X，讀出作為分離信號(hào)F的1個(gè)聯(lián)鎖要因信號(hào)的聯(lián)鎖要因信號(hào)E，讀出空白信號(hào)X，因?yàn)橐呀?jīng)全部讀出分離信號(hào)F的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以讀出規(guī)定數(shù)目的空白信號(hào)。而且，雙通道存儲(chǔ)電路840以讀出的順序使各要素?cái)?shù)據(jù)聚合生成聚合化信號(hào)，與時(shí)鐘信號(hào)和幀脈沖信號(hào)一起輸出該聚合化信號(hào)(參照?qǐng)D10(B))。此外，以生成的聚合化信號(hào)的1個(gè)幀長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的脈沖周期，成為它的長(zhǎng)度的方式，讀出空白信號(hào)X。
下面，在多路分用器850中，從前頭開(kāi)始每次1個(gè)順序地將在雙通道存儲(chǔ)電路840中讀出的聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)分配給各輸出端子。具體地說(shuō)，將作為聚合化信號(hào)的前頭的要素?cái)?shù)據(jù)的錯(cuò)誤監(jiān)視數(shù)據(jù)分配給第一輸出端子851，將作為第二要素?cái)?shù)據(jù)的空白信號(hào)X分配給第二輸出端子852，將作為第三、四、五、六要素?cái)?shù)據(jù)的聯(lián)鎖要因信號(hào)D、空白信號(hào)X、聯(lián)鎖要因信號(hào)D、空白信號(hào)X交互地分配給第一、二輸出端子851、852，并每次1個(gè)順序地將要素?cái)?shù)據(jù)分配給每個(gè)端子直到?jīng)]有聚合化信號(hào)的要素?cái)?shù)據(jù)為止。下面，通過(guò)使分配了的信號(hào)聚合化生成分離信號(hào)。這時(shí)，生成與第一輸出端子851對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路600的分離信號(hào)F(參照?qǐng)D10(C))。生成與第二輸出端子852對(duì)應(yīng)地應(yīng)該發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路700的分離信號(hào)G。分離信號(hào)G只由空白信號(hào)X構(gòu)成。此外，多路分用器850，以各分離信號(hào)的長(zhǎng)度成為接收的幀脈沖信號(hào)的脈沖周期的方式進(jìn)行分離和聚合化。
下面，多路分用器850，分別從輸出端子851將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)F的傳送數(shù)據(jù)(參照?qǐng)D10(C))輸出到驅(qū)動(dòng)電路871，從第二輸出端子852將包含時(shí)鐘信號(hào)、幀脈沖信號(hào)和分離信號(hào)G的傳送數(shù)據(jù)輸出到驅(qū)動(dòng)電路872。
驅(qū)動(dòng)電路871經(jīng)過(guò)從開(kāi)關(guān)電路600的接收電路691將傳送數(shù)據(jù)發(fā)送到安全化電路670。
在從開(kāi)關(guān)電路600中，安全化電路670與安全化電路651同樣地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。即，當(dāng)錯(cuò)誤監(jiān)視電路671判別在接收的分離信號(hào)F中具有錯(cuò)誤時(shí)，信號(hào)生成電路672生成將真空設(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)，選擇電路673將該安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到多路復(fù)用器613。另一方面，當(dāng)錯(cuò)誤監(jiān)視電路671判別在接收的分離信號(hào)F中沒(méi)有錯(cuò)誤時(shí)，選擇電路673將接收的分離信號(hào)F原封不動(dòng)地輸出到多路復(fù)用器613。這里，信號(hào)生成電路672，例如，生成聯(lián)鎖要因信號(hào)D、E全部為ON信號(hào)的安全驅(qū)動(dòng)信號(hào)。因此，將真空設(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置(輔助供給裝置)52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)。
另一方面，驅(qū)動(dòng)電路872將傳送數(shù)據(jù)發(fā)送到從開(kāi)關(guān)電路700的接收電路791。如上所述，在從開(kāi)關(guān)電路700中，因?yàn)樵趯?duì)utility供給裝置(輔助供給裝置)52的聯(lián)鎖控制中不需要來(lái)自從開(kāi)關(guān)電路600的聯(lián)鎖要因信號(hào)，所以接收電路791不將從主開(kāi)關(guān)電路800接收的傳送數(shù)據(jù)輸出到安全化電路770。此外，主開(kāi)關(guān)電路800的驅(qū)動(dòng)電路872也可以不將傳送數(shù)據(jù)(空白信號(hào))輸出到從開(kāi)關(guān)電路700的接收電路791。
如上所述，如果根據(jù)與本發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置66，則當(dāng)實(shí)施多個(gè)控制模塊間的聯(lián)鎖控制時(shí)，因?yàn)閷?duì)在各控制模塊間(各從開(kāi)關(guān)電路間)發(fā)送接收的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化，進(jìn)行發(fā)送接收，所以能夠減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)，能夠減少用于連接控制模塊之間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)單化，從而能夠使等離子體處理裝置10的系統(tǒng)控制器60的構(gòu)成簡(jiǎn)單化。
此外，如果根據(jù)聯(lián)鎖控制裝置66，則因?yàn)橥ㄟ^(guò)主開(kāi)關(guān)電路連接各控制模塊間(各從開(kāi)關(guān)電路間)，在主開(kāi)關(guān)電路中分別對(duì)在各控制模塊的聯(lián)鎖控制中需要的聯(lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化，發(fā)送到各個(gè)控制模塊，所以能夠更加減少在控制模塊之間發(fā)送接收的信號(hào)，能夠更加減少用于連接控制模塊間的配線。從而，能夠使聯(lián)鎖控制裝置的構(gòu)成更加簡(jiǎn)單化。
如果根據(jù)聯(lián)鎖控制裝置66，則根據(jù)在各從開(kāi)關(guān)電路和主開(kāi)關(guān)電路中的多路復(fù)用器613、713、833的多路化條件、寫(xiě)入地址設(shè)定電路621、721、841中的寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)、讀出地址設(shè)定電路624、724、844中的讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)、在多路分用器630、730、850中的分離條件和幀脈沖信號(hào)的脈沖周期等的預(yù)先設(shè)定的可以變更的條件進(jìn)行設(shè)定。因此，即便在各控制模塊中追加和變更功能，或者追加新的控制模塊，通過(guò)變更上述預(yù)先設(shè)定的條件也能夠進(jìn)行控制模塊之間的所要的聯(lián)鎖控制。這樣，聯(lián)鎖控制裝置66能夠容易地與在等離子體處理裝置10中追加和變更各控制模塊的功能，追加新的控制模塊對(duì)應(yīng)。
聯(lián)鎖控制裝置66具有安全化電路，安全化電路，當(dāng)在控制模塊之間傳送的傳送數(shù)據(jù)中具有錯(cuò)誤時(shí)，生成將真空設(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置(輔助供給裝置)52驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的信號(hào)。從而，當(dāng)在控制模塊間傳送的傳送數(shù)據(jù)中發(fā)生錯(cuò)誤時(shí)，因?yàn)橐詫⒄婵赵O(shè)備、氣體供給裝置47和utility供給裝置(輔助供給裝置)52等的各設(shè)備驅(qū)動(dòng)到安全側(cè)的方式進(jìn)行控制，所以能夠提高聯(lián)鎖控制裝置的安全性，能夠提高等離子體處理裝置的安全性。
聯(lián)鎖控制裝置66，因?yàn)楦鲝拈_(kāi)關(guān)電路和主開(kāi)關(guān)電路具有數(shù)據(jù)積蓄電路，數(shù)據(jù)積蓄電路經(jīng)過(guò)I/F可以與監(jiān)視器終端連接，所以操作者能夠容易地觀察多路傳送的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，即聯(lián)鎖要因信號(hào)。從而，從該聯(lián)鎖要因信號(hào)能夠容易地監(jiān)察等離子體處理裝置10的狀態(tài)，當(dāng)發(fā)生障礙時(shí)能夠容易地進(jìn)行原因解析等。
與發(fā)明的實(shí)施方式有關(guān)的聯(lián)鎖控制裝置66，在等離子體處理裝置10具有的控制模塊內(nèi)的2個(gè)控制模塊之間，實(shí)施聯(lián)鎖控制，但是聯(lián)鎖控制裝置66通過(guò)增加從開(kāi)關(guān)電路能夠在多個(gè)控制模塊之間實(shí)施聯(lián)鎖控制。這時(shí)也能夠產(chǎn)生與上述同樣的效果。
此外，在聯(lián)鎖控制裝置66中，不將在控制模塊61中檢測(cè)到的聯(lián)鎖要因信號(hào)使用于在從開(kāi)關(guān)電路700中作為與控制模塊62對(duì)應(yīng)的聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)的utility供給裝置(輔助供給裝置)52的聯(lián)鎖控制，但是從開(kāi)關(guān)電路700，與從開(kāi)關(guān)電路600同樣，也能夠?qū)钠渌鼜拈_(kāi)關(guān)電路600發(fā)送的聯(lián)鎖要因信號(hào)使用于對(duì)聯(lián)鎖實(shí)施目標(biāo)的的聯(lián)鎖控制。
權(quán)利要求
1.一種聯(lián)鎖控制裝置，該聯(lián)鎖控制裝置具有分別驅(qū)動(dòng)控制至少1個(gè)設(shè)備的多個(gè)控制模塊，其特征在于具有與所述多個(gè)控制模塊中的各個(gè)對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置；所述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置包括對(duì)表示所述對(duì)應(yīng)的控制模塊所驅(qū)動(dòng)控制的所述設(shè)備的多個(gè)狀態(tài)的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)的多路化裝置、存儲(chǔ)所述多路化信號(hào)的存儲(chǔ)裝置、讀出所述存儲(chǔ)的多路化信號(hào)的讀出裝置、分離所述讀出的多路化信號(hào)而生成多個(gè)分離信號(hào)的分離裝置、將所述多個(gè)分離信號(hào)內(nèi)規(guī)定的分離信號(hào)傳送到所述對(duì)應(yīng)的控制模塊以外的控制模塊的傳送裝置、和根據(jù)所述分離信號(hào)驅(qū)動(dòng)控制所述對(duì)應(yīng)設(shè)備的至少1個(gè)控制裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于所述多路化裝置以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)λ鰻顟B(tài)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行多路化，所述讀出裝置根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件從所述存儲(chǔ)的多路化信號(hào)讀出所述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，以該讀出的順序?qū)λ鲎x出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于具有分離信號(hào)監(jiān)視裝置，判別所述分離信號(hào)是否正常，當(dāng)所述分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的設(shè)備的控制信號(hào)，并輸出到與所述分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的控制裝置。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于所述從開(kāi)關(guān)裝置具有能夠顯示所述多路化信號(hào)的監(jiān)視器接口。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于具有連接所述傳送裝置、并且連接有所述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置的主開(kāi)關(guān)裝置；所述主開(kāi)關(guān)裝置包括對(duì)所述各個(gè)傳送裝置傳送的所述規(guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)的主多路化裝置、存儲(chǔ)所述主多路化信號(hào)的主存儲(chǔ)裝置、讀出所述存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)的主讀出裝置、分離所述讀出的主多路化信號(hào)而生成多個(gè)主分離信號(hào)的主分離裝置、和將所述主分離信號(hào)輸出到所述從開(kāi)關(guān)裝置的輸出裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于所述主多路化裝置以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)λ鰝魉偷囊?guī)定的分離信號(hào)進(jìn)行多路化，所述主讀出裝置根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件從所述存儲(chǔ)的主多路化信號(hào)讀出所述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)，以該讀出的順序?qū)λ鲎x出的狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)再次進(jìn)行多路化而生成主多路化信號(hào)。
7.如權(quán)利要求5或6所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于所述多路化裝置對(duì)所述狀態(tài)檢測(cè)信號(hào)以及所述主分離信號(hào)進(jìn)行多路化。
8.如權(quán)利要求5到7中任一項(xiàng)所述的聯(lián)鎖控制裝置，其特征在于所述各個(gè)從開(kāi)關(guān)裝置具有主分離信號(hào)監(jiān)視裝置，判別所述主分離信號(hào)是否正常，當(dāng)所述主分離信號(hào)不正常時(shí)生成安全地驅(qū)動(dòng)與該主分離信號(hào)對(duì)應(yīng)的所述控制模塊控制的所述設(shè)備的控制信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠使構(gòu)造單純化的聯(lián)鎖控制裝置。聯(lián)鎖控制裝置(1)具有與控制模塊對(duì)應(yīng)的從開(kāi)關(guān)裝置(100、200、300)和與它們連接的主開(kāi)關(guān)裝置(400)。在主開(kāi)關(guān)裝置(400)中多路化裝置(110)通過(guò)以預(yù)先設(shè)定的順序?qū)β?lián)鎖要因信號(hào)進(jìn)行多路化而生成多路化信號(hào)。存儲(chǔ)器(120)按照寫(xiě)入地址設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)多路化信號(hào)，此外，按照讀出地址設(shè)定數(shù)據(jù)讀出多路化信號(hào)。分離裝置(130)，通過(guò)分離由存儲(chǔ)器(120)讀出的多路化信號(hào)而分配給各輸出目標(biāo)以對(duì)分配的信號(hào)進(jìn)行多路化，生成與每個(gè)輸出目標(biāo)對(duì)應(yīng)的分離信號(hào)。
文檔編號(hào)G05B19/04GK101025613SQ20071007912
公開(kāi)日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2007年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月24日
發(fā)明者櫻井敏雄 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社