技術(shù)編號：6282223
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多個(gè)控制模塊的聯(lián)鎖控制裝置，特別是，涉及在蝕刻裝置等的半導(dǎo)體制造裝置中分別驅(qū)動(dòng)控制至少1個(gè)設(shè)備的多個(gè)控制模塊之間實(shí)施聯(lián)鎖控制的聯(lián)鎖控制裝置。背景技術(shù) 在已有的蝕刻裝置等的半導(dǎo)體制造裝置中，具有聯(lián)鎖控制功能。在具有這種現(xiàn)有的聯(lián)鎖控制功能的半導(dǎo)體制造裝置中，在每個(gè)為了控制用于實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造裝置的各功能的多個(gè)設(shè)備的控制模塊中設(shè)置聯(lián)鎖電路，在各個(gè)控制模塊的每一個(gè)中進(jìn)行聯(lián)鎖控制。此外，也存在著在各控制模塊之間聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行聯(lián)鎖控制的情形，在該情形中，在控制模塊...
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