專利名稱：電子元件輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種電子元件輸送裝置。
背景技術(shù)：
電子元件在生產(chǎn)加工過程中，具有多道不同的加工エ序。目前運(yùn)送晶圓的方法是先將電子元件放在容器內(nèi)，然后人工搬運(yùn)容器。電子元件生產(chǎn)過程中需要上升、下降，還需要水平移動(dòng)。然而在實(shí)際產(chǎn)生中，是將大批電子元件放在容器內(nèi)然后再人工運(yùn)送，不僅勞動(dòng)強(qiáng)度大，效率低，并且對工人危險(xiǎn)性高。而且，人工操作還會(huì)增加損壞電子元件的風(fēng)險(xiǎn)，對于晶圓等易損電子元件更加危險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供ー種可自動(dòng)輸送電子元件的電子元件輸送裝置。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)電子元件輸送裝置，其特征在于，包括機(jī)架、用于夾持容器的夾持組件、升降組件以及移動(dòng)組件，所述升降組件和移動(dòng)組件安裝在所述機(jī)架上，所述夾持組件可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置，所述升降組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件上下運(yùn)動(dòng)，所述移動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件水平運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述升降組件包括第一驅(qū)動(dòng)件以及第ー傳動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述夾持組件通過第一傳動(dòng)件連接，所述第一驅(qū)動(dòng)件通過所述第一傳動(dòng)件驅(qū)動(dòng)夾持組件升降運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述第一驅(qū)動(dòng)件為第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述第一傳動(dòng)件連接。優(yōu)選地是，所述第一傳動(dòng)件包括絲杠，所述絲杠包括絲桿和螺母，所述絲桿與所述第一電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接，所述螺母固定在所述夾持組件上。優(yōu)選地是，所述第一傳動(dòng)件包括第一同步帶和第一帶輪，所述第一電機(jī)帶動(dòng)所述第一同步帶在所述第一帶輪上轉(zhuǎn)動(dòng)，所述夾持組件固定在所述第一同步帶上。優(yōu)選地是，所述升降組件包括第一直線電機(jī)，所述第一直線電機(jī)的輸出軸與所述夾持組件連接并驅(qū)動(dòng)所述夾持組件升降運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述升降組件通過所述移動(dòng)組件安裝于機(jī)架上；所述夾持組件安裝于所述升降組件上；所述移動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述升降組件水平運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述移動(dòng)組件包括第二驅(qū)動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件安裝在所述機(jī)架上，所述第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述升降組件水平運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述移動(dòng)組件還包括第一滑塊，所述升降組件設(shè)置在所述第一滑塊上，所述第一滑塊滑動(dòng)地設(shè)置在所述機(jī)架上，所述第一滑塊和所述第二驅(qū)動(dòng)件連接，所述第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊在所述機(jī)架上滑動(dòng)。優(yōu)選地是，所述移動(dòng)組件還包括第二傳動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件通過所述第二傳動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊移動(dòng)。優(yōu)選地是，所述第二驅(qū)動(dòng)件為第二電機(jī)，所述第二傳動(dòng)件包括主動(dòng)輪和第二同步帶，所述主動(dòng)輪安裝在所述第二電機(jī)的主動(dòng)軸上，所述第一滑塊連接在所述第二同步帶上，所述第二同步帶帶動(dòng)所述第一滑塊沿所述機(jī)架水平滑動(dòng)。優(yōu)選地是，所述第二傳動(dòng)件還包括兩個(gè)張緊輪，兩個(gè)張緊輪分別安裝于所述主動(dòng)輪兩側(cè)，所述第二同步帶繞在所述張緊輪和主動(dòng)輪上。優(yōu)選地是，所述第二傳動(dòng)件還包括兩同步帶壓緊元件，所述同步帶壓緊元件安裝在所述機(jī)架上且位于所述第一滑塊兩側(cè)，所述第二同步帶穿過所述同步帶壓緊元件且被所述同步帶壓緊元件壓緊。優(yōu)選地是，所述同步帶壓緊元件包括兩塊壓板，兩塊壓板之間具有供所述第二同步帶穿過的間隙。優(yōu)選地是，所述第二傳動(dòng)件包括主動(dòng)輪和齒條，所述主動(dòng)輪安裝在所述第二驅(qū)動(dòng)件的輸出軸上，所述第一滑塊連接在所述齒條上，所述齒條帶動(dòng)所述第一滑塊沿所述機(jī)架·滑動(dòng)。優(yōu)選地是，所述第二驅(qū)動(dòng)件包括第二直線電機(jī)，所述第二直線電機(jī)的輸出軸連接在所述第一滑塊上。優(yōu)選地是，所述夾持組件包括安裝架和第三驅(qū)動(dòng)件以及兩個(gè)抓持件，所述安裝架安裝在所述升降組件上，所述第三驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述安裝架上，至少ー個(gè)所述抓持件可往復(fù)運(yùn)動(dòng)地設(shè)置；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述抓持件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述抓持件為兩塊相對設(shè)置的L形板；至少ー個(gè)所述L形板可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)至少ー個(gè)L形板運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動(dòng)件還包括第二彈簧，所述第三驅(qū)動(dòng)件為單作用氣缸，所述單作用氣缸安裝在所述安裝架上且與所述抓持件連接，所述第二彈簧一端安裝在所述安裝架上、另一端連接在所述抓持件上；所述單作用氣缸驅(qū)動(dòng)所述抓持件運(yùn)動(dòng)而使所述第二彈簧產(chǎn)生彈性變形，產(chǎn)生彈性變形的第二彈簧使所述抓持件復(fù)位。優(yōu)選地是，所述單作用氣缸為兩個(gè)，每個(gè)單作用氣缸驅(qū)動(dòng)ー個(gè)抓持件運(yùn)動(dòng)；所述第ニ彈簧為拉伸彈簧，每個(gè)拉伸彈簧與ー個(gè)抓持件連接。優(yōu)選地是，所述夾持組件還包括第二滑塊，安裝架上設(shè)置有導(dǎo)軌；所述第二滑塊滑動(dòng)地設(shè)于所述導(dǎo)軌上；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第二滑塊移動(dòng)；所述抓持件安裝于所述第
ニ滑塊上。優(yōu)選地是，所述夾持組件還包括連接桿，所述連接桿一端連接在所述第二滑塊上，另一端連接在所述抓持件上。優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動(dòng)件為雙作用氣缸，所述雙作用氣缸的兩個(gè)活塞桿分別連接一個(gè)所述抓持件；兩個(gè)抓持件分別位于雙作用氣缸兩側(cè)。優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動(dòng)件為第三直線電機(jī)，所述第三直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述抓持件運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地是，還包括定位傳感組件，所述定位傳感組件安裝在機(jī)架上用于檢測升降組件的位置或者安裝在升降組件上用于檢測抓持組件的位置。本發(fā)明電子元件輸送裝置，既可以橫向自由移動(dòng)盛放電子元件的容器，又可以豎向自由移動(dòng)容器，取代了傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)，節(jié)省人力，提高搬運(yùn)效率；本發(fā)明電子元件輸送裝置可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抓持或松開容器，抓持牢固，可以防止容易在運(yùn)輸過程中摔落而損壞電子元件。


圖1為本發(fā)明電子元件輸送裝置的實(shí)施例1的主視圖。圖2為圖1所示電子元件輸送裝置的夾持組件的立體圖。圖3為圖2中A處的局部放大圖。圖4為圖2所示電子元件輸送裝置的夾持組件與容器配合的ー種工作狀態(tài)示意圖。圖5為圖2所示電子元件輸送裝置的夾持組件與容器配合的另ー種工作狀態(tài)示意圖。圖6為圖1所示電子元件輸送裝置的部分組裝立體圖。圖7為圖6中B處的局部放大圖。圖8為圖6所示電子元件輸送裝置的俯視圖。圖9為圖1所示電子元件輸送裝置中第二電機(jī)和第二傳動(dòng)件配合的立體圖。圖10為圖9所示的第二電機(jī)和第二傳動(dòng)件配合的主視圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1 :下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述如圖1至圖10所示電子元件輸送裝置，包括機(jī)架1、用于夾持容器的夾持組件2、升降組件3以及移動(dòng)組件4。升降組件3和移動(dòng)組件4安裝在機(jī)架I上。夾持組件2運(yùn)動(dòng)地設(shè)置。夾持組件2連接在升降組件3的下端。升降組件3驅(qū)動(dòng)夾持組件2上下運(yùn)動(dòng)。移動(dòng)組件4驅(qū)動(dòng)夾持組件2水平運(yùn)動(dòng)。夾持組件2用于夾持裝有晶圓5的容器6。夾持組件2包括機(jī)安裝架21、第三驅(qū)動(dòng)件22、用于抓持容器6的兩個(gè)抓持件23、兩塊第二滑塊24以及四根連接桿25。第三驅(qū)動(dòng)件22安裝在安裝架21上。第二滑塊24滑動(dòng)地安裝在安裝架21上。第三驅(qū)動(dòng)件22連接在第二滑塊24上。第二滑塊24通過連接桿25與抓持件23連接。抓持件3為L形板。兩塊L形板相對設(shè)置。每塊夾板下端具有向內(nèi)彎折的卡持部231。容器6兩側(cè)設(shè)有向外突出的突出部61?？ǔ植?31搭靠在突出部61上。第三驅(qū)動(dòng)件22包括兩臺(tái)單作用氣缸221以及四根第二彈簧222。單作用氣缸221以及第ニ彈簧222 —端連接在安裝架21上，另一端連接在第二滑塊24上。單作用氣缸221以及第ニ彈簧222 —端連接在安裝架21上，另一端連接在第二滑塊24上。第二滑塊24底面兩端分別設(shè)有第二導(dǎo)槽241。安裝架21上設(shè)有兩條第二導(dǎo)軌211。第二導(dǎo)槽241與第二導(dǎo)軌211配合，從而將第二滑塊24滑動(dòng)地安裝在安裝架21上。每塊第二滑塊24上連接有兩根連接桿25。每根連接桿25穿過安裝架21連接在抓持件23上。連接桿25為直線光軸。升降組件3包括第一驅(qū)動(dòng)件31和第一傳動(dòng)件32。第一驅(qū)動(dòng)件31與第一傳動(dòng)件32連接。第一傳動(dòng)件31與夾持組件2連接。第一驅(qū)動(dòng)件31包括第一電機(jī)。第一傳動(dòng)件32包括絲杠，絲杠包括絲桿321和螺母322。螺母322固定在夾持組件2上且套設(shè)在絲桿上。絲桿321連接在第一電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上，可在第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，絲桿321轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)螺母322上下運(yùn)動(dòng)，螺母322帶動(dòng)夾持組件2上下運(yùn)動(dòng)。移動(dòng)組件4包括第一滑塊41、第二驅(qū)動(dòng)件42和第二傳動(dòng)件422。第二驅(qū)動(dòng)件42安裝在機(jī)架I上。第一滑塊41和第二驅(qū)動(dòng)件42連接。第二驅(qū)動(dòng)件42驅(qū)動(dòng)第一滑塊41在機(jī)架I上滑動(dòng)。機(jī)架I具有兩條并排設(shè)置且突出于其表面的第一導(dǎo)軌11。每條第一導(dǎo)軌11兩端分別設(shè)置ー塊止擋塊12。機(jī)架I 一端固定一塊安裝板13。第一滑塊41 ー側(cè)對應(yīng)兩條第一導(dǎo)軌11開設(shè)有第一導(dǎo)槽411。通過第一導(dǎo)軌11與第一導(dǎo)槽411配合，使得第一滑塊41可在一條第一導(dǎo)軌11上的兩擋塊12之間滑動(dòng)。第二驅(qū)動(dòng)件42包括第二電機(jī)421。第二傳動(dòng)件422包括主動(dòng)輪4221、第二同步帶4222、兩個(gè)張緊輪4223和兩壓緊元件4224。第一滑塊41固定在第二同步帶4222上。主動(dòng)輪4221連接在第二電機(jī)421的輸出軸上。第二電機(jī)421、主動(dòng)輪4221和張緊輪4223均安裝在安裝板13上。安裝板13上貫穿開設(shè)兩滑槽131且兩滑槽131分別位于主動(dòng)輪4221兩側(cè)。每個(gè)張緊輪4224安裝在一個(gè)滑槽131內(nèi)且可于滑槽131內(nèi)上下滑動(dòng)。兩壓緊元件4224安裝在機(jī)架I兩端且分別位于擋塊12外側(cè)。每個(gè)壓緊元件4224包括兩塊之間具有間隙4225的壓板。第二同步帶4222可從間隙4225之間穿過且被兩塊壓板壓緊。第二同步帶4222從ー個(gè)壓緊元件4224穿過，依次繞在ー個(gè)張緊輪4223、主動(dòng)輪4221和另ー個(gè)張緊輪4223后穿過另ー個(gè)壓緊元件4224。第二電機(jī)421驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪4221轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)輪4221帶動(dòng)第二同步帶4222運(yùn)動(dòng)。第二同 步帶4222驅(qū)動(dòng)第一滑塊41在機(jī)架I上橫向滑動(dòng)。當(dāng)?shù)讠送綆?222松弛吋，張緊輪4223在自重下沿著滑槽131向下運(yùn)動(dòng)拉緊第二同步帶4222，能夠使第二同步帶4222始終保持張緊狀態(tài)。本發(fā)明電子元件輸送裝置還包括定位傳感組件，其包括至少ー個(gè)第一定位傳感器71、至少ー個(gè)第二定位傳感器72和至少ー塊檢測板73。第一定位傳感器71和第二定位傳感器72均安裝在機(jī)架I上。第一定位傳感器71安裝在升降組件3左側(cè)或右側(cè)。第一定位傳感器71相隔一定距離地豎向設(shè)置在機(jī)架上。每個(gè)第二定位傳感器72相隔一定距離地設(shè)置在機(jī)架I上且設(shè)置在第一滑塊41的行進(jìn)路線上。檢測板73安裝在夾持組件2上。第一定位傳感器71和檢測板73的反饋信號控制第一電機(jī)啟動(dòng)或停止進(jìn)而對夾持組件2在豎直方向的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行定位。第二定位傳感器73和檢測板73的反饋信號控制第二電機(jī)421啟動(dòng)或停止來控制第一滑塊41的滑動(dòng)的位置進(jìn)而對夾持組件2在水平方向的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行定位。本發(fā)明電子元件輸送裝置的工作原理詳述如下工作時(shí)，首先啟動(dòng)單作用氣缸221，單作用氣缸221的活塞桿伸出并分別推抵第二滑塊24沿著直線第二滑軌211背向運(yùn)動(dòng)。第二滑塊211向外滑動(dòng)，分別帶動(dòng)四根連接桿25推抵夾板張開，松開容器6。在此過程中，第二彈簧222被拉伸而產(chǎn)生彈性回復(fù)力。然后將張開的夾板移向容器6，并使卡持部231位于突出部61下方。單作用氣缸221停止工作，第ニ滑塊211在第二彈簧222彈性回復(fù)力作用下沿著第二滑軌211向內(nèi)滑動(dòng)。第二滑塊211通過連接桿25帶動(dòng)兩塊夾板向內(nèi)運(yùn)動(dòng)，使得卡持，231卡持在突出部61上，抓緊容器6。然后，啟動(dòng)第一電機(jī)。第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲桿321轉(zhuǎn)動(dòng)。絲桿321轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)套設(shè)在其上的螺母322向上運(yùn)動(dòng)。螺母322驅(qū)動(dòng)夾持組件2向上運(yùn)動(dòng)，從而將容器6提升。夾持組件2運(yùn)動(dòng)的過程中，一旦超過設(shè)定位置，位于上方的第一定位傳感器71檢測到檢測板73上的信號，并將信號發(fā)送給第一電機(jī)，第一電機(jī)停止運(yùn)行，從而停止夾持組件2上移。接著，啟動(dòng)第二電機(jī)421。第二電機(jī)421驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪4221轉(zhuǎn)動(dòng)。主動(dòng)輪4221驅(qū)動(dòng)第二同步帶4222運(yùn)動(dòng)。第二同步帶4222帶動(dòng)第一滑塊41在機(jī)架I上橫向滑動(dòng)。當(dāng)容器6運(yùn)動(dòng)到適當(dāng)位置時(shí)，第二定位傳感器72檢測到檢測板73上的信號，第二定位傳感器72發(fā)送信號給第二電機(jī)421。第二電機(jī)421停止運(yùn)行。卸載時(shí)，啟動(dòng)第一電機(jī)并使其反轉(zhuǎn)，即與夾持組件2向上運(yùn)動(dòng)時(shí)的轉(zhuǎn)向相反。第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)絲桿321轉(zhuǎn)動(dòng)。絲桿321轉(zhuǎn)動(dòng)從而帶動(dòng)套設(shè)在其上的螺母322向下運(yùn)動(dòng)。螺母322驅(qū)動(dòng)夾持組件2向下運(yùn)動(dòng)。夾持組件2向下運(yùn)動(dòng)過程中，一旦超過設(shè)定位置，第一定位傳感器71檢測到檢測板73上的信號，并將信號發(fā)送給第一電機(jī)，第一電機(jī)停止運(yùn)行，從而停止夾持組件2下移。然后卸下容器6。實(shí)施例2 本實(shí)施例與實(shí)施例1不同的是，本實(shí)施例中的第一傳動(dòng)件32包括第一同步帶和第一帶輪。第一電機(jī)帶動(dòng)第一同步帶在第一帶輪上轉(zhuǎn)動(dòng)。夾持裝置固定在第一同步帶上并在第一同步帶的帶動(dòng)下上下運(yùn)動(dòng)。實(shí)施例3 本實(shí)施例與實(shí)施例1不同的是升降組件3用第一直線電機(jī)取代。實(shí)施例4 本實(shí)施例與實(shí)施例1不同的是，本實(shí)施例中的第二傳動(dòng)件422包括主動(dòng)輪和齒條。主動(dòng)輪安裝在第二電機(jī)的輸出軸上。第一滑塊連接在齒條上。齒條帶動(dòng)第一滑塊沿機(jī)架滑動(dòng)。實(shí)施例5:本實(shí)施例與實(shí)施例1不同的是第二驅(qū)動(dòng)件42可以用第二直線電機(jī)取代。第二直線電機(jī)的輸出軸連接在第一滑塊上。本發(fā)明中的實(shí)施例僅用于對本發(fā)明進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本發(fā)明保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.電子元件輸送裝置，其特征在于，包括機(jī)架、用于夾持容器的夾持組件、升降組件以及移動(dòng)組件，所述升降組件和移動(dòng)組件安裝在所述機(jī)架上，所述夾持組件可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置，所述升降組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件上下運(yùn)動(dòng)，所述移動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件水平運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述升降組件包括第一驅(qū)動(dòng)件以及第ー傳動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件與所述夾持組件通過第一傳動(dòng)件連接，所述第一驅(qū)動(dòng)件通過所述第一傳動(dòng)件驅(qū)動(dòng)夾持組件升降運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)件為第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述第一傳動(dòng)件連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第一傳動(dòng)件包括絲杠，所述絲杠包括絲桿和螺母，所述絲桿與所述第一電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接，所述螺母固定在所述夾持組件上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第一傳動(dòng)件包括第一同步帶和第一帶輪，所述第一電機(jī)帶動(dòng)所述第一同步帶在所述第一帶輪上轉(zhuǎn)動(dòng)，所述夾持組件固定在所述第一同步帶上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述升降組件包括第一直線電機(jī)，所述第一直線電機(jī)的輸出軸與所述夾持組件連接并驅(qū)動(dòng)所述夾持組件升降運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述升降組件通過所述移動(dòng)組件安裝于機(jī)架上；所述夾持組件安裝于所述升降組件上；所述移動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述升降組件水平運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述移動(dòng)組件包括第二驅(qū)動(dòng)件，所述第二驅(qū)動(dòng)件安裝在所述機(jī)架上，所述第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述升降組件水平運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述移動(dòng)組件還包括第一滑塊，所述升降組件設(shè)置在所述第一滑塊上，所述第一滑塊滑動(dòng)地設(shè)置在所述機(jī)架上，所述第一滑塊和所述第二驅(qū)動(dòng)件連接，所述第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊在所述機(jī)架上滑動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述移動(dòng)組件還包括第二傳動(dòng)件，電機(jī)所述第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)件通過所述第二傳動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊移動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)件為第二電機(jī)，所述第二傳動(dòng)件包括主動(dòng)輪和第二同步帶，所述主動(dòng)輪安裝在所述電機(jī)第二電機(jī)的主動(dòng)軸上，所述第一滑塊連接在所述第二同步帶上，所述第二同步帶帶動(dòng)所述第一滑塊沿所述機(jī)架水平滑動(dòng)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)件還包括兩個(gè)張緊輪，兩個(gè)張緊輪分別安裝于所述主動(dòng)輪兩側(cè)，所述第二同步帶繞在所述張緊輪和主動(dòng)輪上。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)件還包括兩同步帶壓緊元件，所述同步帶壓緊元件安裝在所述機(jī)架上且位于所述第一滑塊兩側(cè)，所述第二同步帶穿過所述同步帶壓緊元件且被所述同步帶壓緊元件壓緊。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述同步帶壓緊元件包括兩塊壓板，兩塊壓板之間具有供所述第二同步帶穿過的間隙。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第二傳動(dòng)件包括主動(dòng)輪和齒條，所述主動(dòng)輪安裝在所述第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)件的輸出軸上，所述第一滑塊連接在所述齒條上，所述齒條帶動(dòng)所述第一滑塊沿所述機(jī)架滑動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)件包括第二直線電機(jī)，所述第二直線電機(jī)的輸出軸連接在所述第一滑塊上。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述夾持組件包括安裝架和第三驅(qū)動(dòng)件以及兩個(gè)抓持件，所述安裝架安裝在所述升降組件上，所述第三驅(qū)動(dòng)件設(shè)于所述安裝架上，至少ー個(gè)所述抓持件可往復(fù)運(yùn)動(dòng)地設(shè)置；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述抓持件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述抓持件為兩塊相對設(shè)置的L形板；至少ー個(gè)所述L形板可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)至少ー個(gè)L形板運(yùn)動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第三驅(qū)動(dòng)件還包括第二彈簧，所述第三驅(qū)動(dòng)件為單作用氣缸，所述單作用氣缸安裝在所述安裝架上且與所述抓持件連接，所述第二彈簧一端安裝在所述安裝架上、另一端連接在所述抓持件上；所述單作用氣缸驅(qū)動(dòng)所述抓持件運(yùn)動(dòng)而使所述第二彈簧產(chǎn)生彈性變形，產(chǎn)生彈性變形的第二彈簧使所述抓持件復(fù)位。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述單作用氣缸為兩個(gè)，每個(gè)單作用氣缸驅(qū)動(dòng)ー個(gè)抓持件運(yùn)動(dòng)；所述第二彈簧為拉伸彈簧，每個(gè)拉伸彈簧與ー個(gè)抓持件連接。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述夾持組件還包括第ニ滑塊，安裝架上設(shè)置有導(dǎo)軌；所述第二滑塊滑動(dòng)地設(shè)于所述導(dǎo)軌上；所述第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)所述第二滑塊移動(dòng)；所述抓持件安裝于所述第二滑塊上。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述夾持組件還包括連接桿，所述連接桿一端連接在所述第二滑塊上，另一端連接在所述抓持件上。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第三驅(qū)動(dòng)件為雙作用氣缸，所述雙作用氣缸的兩個(gè)活塞桿分別連接ー個(gè)所述抓持件；兩個(gè)抓持件分別位于雙作用氣缸兩側(cè)。
24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，所述第三驅(qū)動(dòng)件為第三直線電機(jī)，所述第三直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述抓持件運(yùn)動(dòng)。
25.根據(jù)權(quán)利要求1-24任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的電子元件輸送裝置，其特征在于，還包括定位傳感組件，所述定位傳感組件安裝在機(jī)架上用于檢測升降組件的位置或者安裝在升降組件上用于檢測抓持組件的位置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電子元件輸送裝置，其特征在于，電子元件輸送裝置，包括機(jī)架、用于夾持容器的夾持組件、升降組件以及移動(dòng)組件，所述升降組件和移動(dòng)組件安裝在所述機(jī)架上，所述夾持組件運(yùn)動(dòng)地設(shè)置，所述升降組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件上下運(yùn)動(dòng)，所述移動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述夾持組件水平運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明電子元件輸送裝置，既可以橫向自由移動(dòng)盛放晶圓的容器，又可以豎向自由移動(dòng)容器，取代了傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)晶圓，節(jié)省人力，提高晶圓的搬運(yùn)效率；本發(fā)明電子元件輸送裝置可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抓持或松開容器，抓持牢固，可以防止容易在運(yùn)輸過程中摔落而損壞晶圓。
文檔編號B65G47/90GK103057953SQ20121059433
公開日2013年4月24日 申請日期2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月31日
發(fā)明者王振榮, 劉紅兵, 張路 申請人:上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司