薄膜電子零件的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種通過薄膜制造過程在支撐基板上形成導體層或絕緣體層而構成規(guī)定的功能零件的薄膜電子零件。
【背景技術】
[0002]作為這種薄膜電子零件，已知有以下薄膜電容器，即具備:硅基板等支撐基板；電容部，由通過濺鍍等薄膜制造過程所形成且包含金屬氧化物的介電層、以及Pt等金屬薄膜電極所構成；保護絕緣層，被覆包含電容部的硅基板整體且由有機樹脂膜所構成；阻障層，形成在電容部與保護絕緣層之間且包含非導電性無機質材料；以及引出電極，貫通保護絕緣層及阻障層而形成，且電連接在電容部的金屬薄膜電極(例如參照專利文獻1)。
[0003]這種薄膜電子零件在構造方面的目標在于，利用由有機樹脂膜所構成的保護絕緣層吸收來自引出電極的機械應力，并且利用包含無機質材料的阻障層阻止從有機樹脂膜釋放的水分到達介電層，由此確保薄膜電子零件的耐沖擊性及耐濕性。
[0004][【背景技術】文獻]
[0005][專利文獻]
[0006][專利文獻1]日本專利特開2004-214589號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007][發(fā)明要解決的問題]
[0008]然而，在以往的薄膜電子零件的構造中，存在以下情況:因其具體的各部分的形狀、材料、安裝環(huán)境等而無法充分確保所述耐沖擊性或耐濕性，在規(guī)定的電特性、薄膜電容器的情況下，尤其是電容特性劣化。以下，以薄膜電容器為例對這種問題進行詳細敘述。
[0009]在以往的薄膜電容器的構造中，最外層被有機樹脂膜所覆蓋，且這些有機樹脂膜暴露在周邊環(huán)境中。因此，如果有機樹脂膜吸收周邊環(huán)境的水分而膨脹，便有產(chǎn)生應力的擔憂。而且，在將熱膨脹系數(shù)原本就不同的材料積層所得的薄膜電子零件中，有產(chǎn)生構造上較大的應力而產(chǎn)生裂痕或剝離等構造缺陷的情況。進而，有如下?lián)鷳n:因該應力而在阻障層或保護絕緣層產(chǎn)生裂痕，由此導致引出電極的剝離，結果水分從阻障層或保護絕緣層與引出電極的界面滲入，從而使薄膜電容器的特性劣化。
[0010]作為有機樹脂膜，一般來說，使用聚酰亞胺樹脂的情況居多。聚酰亞胺樹脂的前驅物是以300°C到400°C的溫度進行硬化而成為聚酰亞胺樹脂，但在作為保護絕緣層的聚酰亞胺前驅物硬化時，酸酐與二胺進行脫水縮聚反應，釋放H20分子而硬化。該&0因構成電容器的薄膜電極的Pt的催化劑作用而分解為氫離子，該氫離子到達介電材料而將介電材料還原。結果，氫離子因擴散現(xiàn)象等而到達薄膜電極與介電體的界面，其本身成為活動離子或者產(chǎn)生介電部的氧空位，由此使電容器部的電容特性劣化。
[0011]另一方面，在形成所述引出電極的步驟中，利用蝕刻處理在有機樹脂膜形成貫通孔，但該貫通孔的開口區(qū)域在顯影步驟中顯影及水洗不充分的情況下，有時有機物會殘留在開口區(qū)域。而且，還存在因固化時從殘留有機物所釋放的h20而導致電容部的電容相對于設計值降低的問題。
[0012]本發(fā)明是鑒于所述情況而完成，其目的在于提供一種耐沖擊性及耐濕性優(yōu)異的薄膜電子零件。
[0013][解決問題的技術手段]
[0014]為了達成所述目的，申請人著眼于形成在有機絕緣體層的引出電極形成用貫通孔的平面構造。
[0015]本申請的發(fā)明是一種薄膜電子零件，具備:薄膜電極層；無機絕緣體層，形成在薄膜電極層上；以及有機絕緣體層，形成在無機絕緣體層上；在無機絕緣體層，以露出薄膜電極層的一部分的方式形成有第一貫通孔，在有機絕緣體層，以露出無機絕緣體層的第一貫通孔的方式形成有第二貫通孔，且在第一貫通孔及第二貫通孔形成有與薄膜導體層電連接的引出電極，所述薄膜電子零件的特征在于:有機絕緣體層中的與第二貫通孔的交界線為包含一個以上的直線部的連續(xù)線。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，有機絕緣體層中的與第二貫通孔的交界線中不存在不連續(xù)點，所以能夠防止物理應力的集中。由此，耐沖擊性及耐濕性提高。
[0017]作為本申請的發(fā)明的優(yōu)選形態(tài)的一個示例，可列舉具有如下特征的形態(tài):與第二貫通孔的交界線為大致矩形，且在該矩形的角部以各邊連續(xù)地連接的方式形成有曲線部。在本發(fā)明中，有機絕緣體層中的第二貫通孔的平面形狀、換言之有機絕緣體層中的引出電極的平面形狀成為對矩形的各角部進行圓弧倒角而成的形狀。進而，作為本申請的發(fā)明的優(yōu)選形態(tài)的一個示例，可列舉特征在于曲線部的曲率半徑大于有機絕緣體層的厚度的形
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[0018]而且，本申請的發(fā)明是一種薄膜電子零件，具備:薄膜電極層；無機絕緣體層，形成在薄膜電極層上；以及有機絕緣體層，形成在無機絕緣體層上；在無機絕緣體層，以露出薄膜電極層的一部分的方式形成有第一貫通孔，在有機絕緣體層，以露出無機絕緣體層的第一貫通孔的方式形成有第二貫通孔，且在第一貫通孔及第二貫通孔形成有與薄膜導體層電連接的引出電極，所述薄膜電子零件的特征在于:有機絕緣體層中的與第二貫通孔的交界線包含兩條線以規(guī)定角度連接的不連續(xù)部，且該連接角度大于90°。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，雖然有機絕緣體層中的與第二貫通孔的交界線中存在不連續(xù)點，但在該不連續(xù)點處，兩條線的連接角度大于90°，所以能夠防止物理應力的集中。由此，耐沖擊性及耐濕性提尚。
[0020]作為本申請的發(fā)明的優(yōu)選形態(tài)的一個示例，可列舉具有如下特征的形態(tài):與第二貫通孔的交界線為大致矩形，且在該矩形的角部包含兩個以上的不連續(xù)點。在本發(fā)明中，有機絕緣體層中的第二貫通孔的平面形狀、換言之有機絕緣體層中的引出電極形狀成為對矩形的各角部進行倒角而成的形狀。
[0021]作為本申請的發(fā)明的優(yōu)選形態(tài)的一個示例，可列舉具有如下特征的形態(tài):薄膜導體層包含第一薄膜導體層及第二薄膜導體層，在第一薄膜導體層與第二薄膜導體層之間形成有薄膜介電層，第一薄膜導體層形成在支撐基板上，且引出電極電連接在第一薄膜導體層或第二薄膜導體層。本發(fā)明的薄膜電子零件具有包含第一薄膜導體層、第二薄膜導體層及薄膜介電層的電容器。
[0022][發(fā)明的效果]
[0023]根據(jù)本發(fā)明，能夠防止有機絕緣體層中的引出電極的形成位置上的物理應力的集中，所以耐沖擊性及耐濕性提高。
【附圖說明】
[0024]圖1是薄膜電容器的剖視圖。
[0025]圖2是從薄膜電容器中卸除引出電極后的剖視圖。
[0026]圖3是從薄膜電容器中卸除引出電極后的俯視圖。
[0027]圖4(a)?(c)是對薄膜電容器的制造步驟進行說明的圖。
[0028]圖5(d)?(g)是對薄膜電容器的制造步驟進行說明的圖。
[0029]圖6是對形成在絕緣體層的貫通孔的角部中的應力與曲率半徑的關系進行說明的圖。
[0030]圖7是從另一個示例的薄膜電容器中卸除引出電極后的俯視圖。
[0031]圖8是從另一個示例的薄膜電容器中卸除引出電極后的俯視圖。
[0032]圖9是從另一個示例的薄膜電容器中卸除引出電極后的俯視圖。
【具體實施方式】
[0033]參照附圖對本發(fā)明的一實施方式的薄膜電子零件進行說明。在本實施方式中，對薄膜電容器進行說明。圖1是薄膜電容器的剖視圖，圖2是從薄膜電容器中卸除引出電極后的剖視圖，圖3是從薄膜電容器中卸除引出電極后的俯視圖。另外，請留意各圖是為了便于說明而示意性地表示的圖，并非以準確的縮小比例進行記載。
[0034]如圖1所示，薄膜電容器100具備:支撐基板110 ;第一電極層200，形成在支撐基板110上；介電層210，形成在第一電極層上；第二電極層220，形成在介電層210上；