專利名稱：電子零件安裝機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及例如在基板或晶片等工件上安裝電子零件的電子零件安裝機。
背景技術(shù)：
電子零件在吸附于吸嘴的狀態(tài)下，安裝在基板的規(guī)定的坐標(biāo)上。在使電子零件相對于基板以傾斜的狀態(tài)下降時，首先電子零件的一部分與基板單側(cè)接觸，接下來使電子零件的其余部分向基板落下。因此，有時電子零件的實際安裝位置會偏離規(guī)定的坐標(biāo)。即，安裝精度下降。因此，優(yōu)選基板與即將安裝之前的電子零件相互平行。即，優(yōu)選基板與電子零件的平行度高。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I日本特開2009-147027號公報在專利文獻I中公開有一種與基板的下表面的凹凸無關(guān)而能夠穩(wěn)定地支承基板的構(gòu)件支承裝置。該文獻的構(gòu)件支承裝置具備多個支承銷。多個支承銷對基板的下表面進行支承。多個支承銷分別能夠沿上下方向移動。多個支承銷分別穿過軸保持體的保持孔。在保持孔的內(nèi)周面配置有ER凝膠。根據(jù)該文獻的構(gòu)件支承裝置，通過向ER凝膠施加電壓，來調(diào)整支承銷與保持孔之間的摩擦力。即，通過增大摩擦力，而將支承銷固定在規(guī)定的高度。而且，通過減小摩擦力，而使支承銷沿著上下方向移動。如此，根據(jù)該文獻的構(gòu)件支承裝置，能夠?qū)⒅С袖N固定在規(guī)定的高度。因此，通過仿照基板的下表面的凹凸，并將多個支承銷的高度固定，能夠穩(wěn)定地支承基板。然而，在該文獻中沒有有關(guān)基板與電子零件的平行度的記載。而且，假設(shè)使用該文獻的構(gòu)件支承裝置而提高基板與電子零件的平行度時，需要對于全部的支承銷設(shè)置ER凝膠、針對ER凝膠的電壓施加機構(gòu)等。因此，構(gòu)件支承裝置以及電子零件安裝機的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。

實用新型內(nèi)容本實用新型的電子零件安裝機鑒于上述課題而完成。本實用新型目的在于提供一種能夠提高基板等工件與電子零件的平行度的電子零件安裝機。(I)為了解決上述課題，本實用新型的電子零件安裝機的特征在于，具備支撐部，從下側(cè)支承工件中安裝電子零件的安裝區(qū)域；吸嘴，配置在所述安裝區(qū)域的上方，并將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域；及傾動部，使所述支撐部及所述吸嘴中的至少一方傾動，以在將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域時使所述安裝區(qū)域的上表面與所述電子零件的下表面大致平行地一致(對齊)。本實用新型的電子零件安裝機的傾動部能夠使支撐部及吸嘴中的至少一方傾動。因此，在電子零件安裝時能夠使安裝區(qū)域的上表面與電子零件的下表面大致平行地一致。因此，能夠提高工件的安裝區(qū)域與電子零件的平行度。由此，相對于工件的規(guī)定的坐標(biāo)，電子零件的實際安裝位置不易偏移。即，能夠提高安裝精度。(2)優(yōu)選的是，在上述(I)的結(jié)構(gòu)中，還具備替代構(gòu)件，所述替代構(gòu)件具有替代所述安裝區(qū)域的所述上表面及所述電子零件的所述下表面中的至少一個面的替代面，所述傾動部經(jīng)由所述替代面而模擬性地使所述上表面與所述下表面抵接，由此使所述支撐部及所述吸嘴中的至少一方傾動，以在將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域時使所述上表面與所述下表面大致平行地一致。在此，“模擬性地使上表面與下表面抵接”，例如在具有兩個替代構(gòu)件的情況下，是指通過使上表面的替代面與下表面的替代面抵接，而設(shè)定與使上表面和下表面抵接時同樣的狀況。而且，例如在具有一個替代構(gòu)件的情況下，是指通過使上表面的替代面與下表面抵接，或者通過使上表面與下表面的替代面抵接，而設(shè)定與使上表面和下表面抵接時同樣的 狀況。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，工件的安裝區(qū)域的上表面與安裝在所述安裝區(qū)域上的電子零件的下表面經(jīng)由替代構(gòu)件的替代面而模擬性地抵接。傾動部能夠使支撐部及吸嘴中的至少一方傾動。因此，在使上表面和下表面經(jīng)由替代面模擬性地抵接時，支撐部及吸嘴中的至少一方傾動以在電子零件安裝時使上表面與下表面大致平行地一致。因此，能夠使上表面與下表面大致平行地一致。(3)優(yōu)選的是，在上述(2)的結(jié)構(gòu)中，所述替代面與所述安裝區(qū)域的所述上表面及所述電子零件的所述下表面中的至少一個面即所述替代面所替代的面大致平行。例如，在具有兩個替代構(gòu)件的情況下，通過使與上表面大致平行的替代面和與下表面大致平行的替代面抵接，能夠使上表面與下表面大致平行地一致。而且，例如在具有一個替代構(gòu)件的情況下，通過使與上表面大致平行的替代面和下表面抵接，或者通過使上表面和與下表面大致平行的替代面抵接，而能夠使上表面與下表面大致平行地一致。(4)優(yōu)選的是，在上述(2)或(3)的結(jié)構(gòu)中，所述支撐部具有局部球面狀的被引導(dǎo)部，所述傾動部具有將所述被引導(dǎo)部以能夠傾動的方式進行收容的局部內(nèi)球面狀的引導(dǎo)部。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過傾動部，能夠使支撐部傾動。因此，能夠提高工件的安裝區(qū)域與電子零件的平行度。(5)優(yōu)選的是，在上述(4)的結(jié)構(gòu)中，所述支撐部具有從下側(cè)支承所述安裝區(qū)域并與所述安裝區(qū)域的所述上表面大致平行的支承面，所述吸嘴具有吸附所述電子零件并與所述電子零件的所述下表面大致平行的吸附面，所述支撐部及所述吸嘴是所述替代構(gòu)件，所述支承面及所述吸附面是所述替代面，在向所述安裝區(qū)域安裝所述電子零件之前，使所述支承面與所述吸附面抵接，由此使所述支承面仿照所述吸附面地進行傾動。S卩，本結(jié)構(gòu)使工件的安裝區(qū)域的上表面與電子零件的下表面經(jīng)由支撐部的支承面及吸嘴的吸附面而大致平行地一致。支撐部與替代構(gòu)件被共用。而且，吸嘴與替代構(gòu)件被共用。工件的安裝區(qū)域的上表面與支撐部的支承面大致平行。而且，電子零件的下表面與吸嘴的吸附面大致平行。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在向安裝區(qū)域安裝電子零件之前，使支承面與吸附面抵接。S卩，使支承面傾動以仿照吸附面。如此，當(dāng)使支承面與吸附面抵接時，能夠使支承面與吸附面大致平行地一致。因此，能夠使與支承面大致平行的安裝區(qū)域的上表面和與吸附面大致平行的電子零件的下表面大致平行地一致。在該狀態(tài)下將電子零件向安裝區(qū)域安裝時，電子零件不與安裝區(qū)域單側(cè)接觸，而是下降。因此，能夠提高安裝精度。(6)優(yōu)選的是，在上述(4)的結(jié)構(gòu)中，所述吸嘴包括壓接構(gòu)件，具有與所述電子零件的所述下表面大致平行且配置得比所述下表面靠下的壓接面；及施力構(gòu)件，向下方對所述壓接構(gòu)件施力，所述壓接構(gòu)件是所述替代構(gòu)件，所述壓接面是所述替代面，在向所述安裝區(qū)域安裝所述電子零件時，先于所述電子零件的所述下表面而使所述壓接面與所述安裝區(qū)域的所述上表面抵接，由此使所述上表面仿照所述壓接面地進行傾動。S卩，本結(jié)構(gòu)使工件的安裝區(qū)域的上表面與電子零件的下表面經(jīng)由壓接構(gòu)件的壓接面而大致平行地一致。壓接構(gòu)件與替代構(gòu)件被共用。電子零件的下表面與壓接構(gòu)件的壓接面大致平行。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在向安裝區(qū)域安裝電子零件時，使安裝區(qū)域的上表面與壓接面抵接。 即，使安裝區(qū)域的上表面傾動以仿照壓接面。如此，當(dāng)使安裝區(qū)域的上表面與壓接面抵接時，能夠使安裝區(qū)域的上表面與壓接面大致平行地一致。因此，能夠使安裝區(qū)域的上表面和與壓接面大致平行的電子零件的下表面大致平行地一致。在該狀態(tài)下將電子零件向安裝區(qū)域安裝時，電子零件不與安裝區(qū)域單側(cè)接觸，而是下降。因此，能夠提高安裝精度。(7)優(yōu)選的是，在上述(I)至(6)中的任一結(jié)構(gòu)中，具備照明裝置，向所述電子零件與所述安裝區(qū)域在上下方向上重復(fù)地配置的拍攝區(qū)域照射能夠透射所述電子零件及所述安裝區(qū)域的透射光；及拍攝裝置，拍攝被照射所述透射光的所述拍攝區(qū)域，取得能夠識別出所述電子零件的定位用特征部及所述工件的定位用特征部的透射圖像。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，根據(jù)透射圖像，能夠識別電子零件的定位用特征部與工件的定位用特征部在水平方向上的位置關(guān)系。因此，在校正了電子零件與安裝區(qū)域的位置偏差之后，能夠?qū)㈦娮恿慵惭b于安裝區(qū)域。因此，能夠提高安裝精度。需要說明的是，本結(jié)構(gòu)能夠與上述(I)至(6)中的任一結(jié)構(gòu)無關(guān)地實施。實用新型效果根據(jù)本實用新型，能夠提供一種可提高工件與電子零件的平行度的電子零件安裝機。

圖I是第一實施方式的電子零件安裝機的立體圖。圖2是該電子零件安裝機的右側(cè)視圖。圖3是該電子零件安裝機的安裝頭的放大立體圖。圖4是圖2的框IV內(nèi)的放大剖視圖。圖5是該電子零件安裝機的框圖。圖6是該電子零件安裝機的第一基板升降部附近的、平行校正作業(yè)的傾動工序的右側(cè)劑視圖。圖7是該第一基板升降部附近的、平行校正作業(yè)的固定工序的右側(cè)剖視圖。圖8是該第一基板升降部附近的、電子零件的安裝作業(yè)的右側(cè)剖視圖。圖9是第二實施方式的電子零件安裝機的第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)前段的右側(cè)剖視圖。圖10是該第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)中段的右側(cè)剖視圖。[0038]圖11是該第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)后段的右側(cè)剖視圖。圖12是第三實施方式的電子零件安裝機的右側(cè)視圖。圖13是圖12的框XIII內(nèi)的放大剖視圖。圖14是圖12的框XIII內(nèi)的拍攝工序的放大剖視圖。圖15是透射圖像的示意圖。圖16是圖12的框XIII內(nèi)的安裝工序的放大剖視圖。圖17 (a)是其他的實施方式的透射圖像的示意圖(其I)。(b)是其他的實施方式的透射圖像的示意圖(其2)。標(biāo)號說明·I :電子零件安裝機，2 :基體，3 :模塊，4 :零件供給裝置，7 :控制裝置，8 :圖像處理
>J-U ρ α裝直。31 :ΧΥ機械手，32 :安裝頭，35 :基板升降裝置，36 :基板搬運裝置，37 :吸嘴，39 :搬運寬度變更裝置，40 :盒式供料器，70 :計算機。310 :Υ方向滑動件，311 :Χ方向滑動件，312 :Υ方向?qū)к墸?13 :Χ方向?qū)к墸?19a:X軸電動機，319b :Y軸電動機，320 :滾珠絲杠部，320a :軸，320b :螺母，320c :夾持片，321 Z軸電動機，322 :升降桿，322a :被夾持片，325 Θ軸電動機，326 :照明裝置，350f :第一基板升降部，350r :第二基板升降部，351f :第一支撐部(支撐部)，351fa :球部，351fb :支承部，351fc :被引導(dǎo)部，351fd :支承面，351fe :吸附孔，351fg :拍攝孔，351fh :支承部主體，351fk :透明罩部，352f :第一傾動部(傾動部)，352fa :引導(dǎo)部，353f :第一滾珠絲杠部，354f :泵，355f :真空泵，356f :真空泵，357f :拍攝裝置，358f :拍攝孔，359f :升降電動機，360f :第一基板搬運部，360r :第二基板搬運部，369f :搬運電動機，369r :搬運電動機，370 吸附面，371 :嘴主體，372 :頭部，373 :凸緣部，374 :壓接構(gòu)件，374a :壓接面，375 :螺旋彈簧(施力構(gòu)件)，390f :第一壁部，390m:第二壁部，390r :第三壁部，391 :基部，392L :導(dǎo)軌，392R :導(dǎo)軌，393f :壁部移動電動機，393m :壁部移動電動機，393r :壁部移動電動機，400 帶，700 :輸入輸出接口，701 :計算部，702 :存儲部。A :安裝區(qū)域，Bf :基板(工件)，Br :基板(工件)，G :透射圖像，Lf :第一通道，Lr :第二通道，MA :標(biāo)記(電子零件的定位用特征部)，MP :標(biāo)記(工件的定位用特征部)，P :電子零件。
具體實施方式
以下，說明本實用新型的電子零件安裝機的實施方式?！础吹谝粚嵤┓绞健?lt;電子零件安裝機的機械結(jié)構(gòu)>首先，說明本實施方式的電子零件安裝機的機械結(jié)構(gòu)。在以后的圖中，左側(cè)相當(dāng)于基板的傳送方向上游側(cè)。右側(cè)相當(dāng)于基板的傳送方向下游側(cè)。圖I表示本實施方式的電子零件安裝機的立體圖。圖2表示該電子零件安裝機的右側(cè)視圖。在圖I中，透過模塊3的殼體、基板Bf、Br進行表示。需要說明的是，基板Bf、Br包含在本實用新型的“工件”的概念中。如圖I、圖2所示，電子零件安裝機I具備基體2、模塊3、零件供給裝置4。[0055][基體2、零件供給裝置4]如圖2所示，基體2呈長方體箱狀?；w2配置在工場的地板上。零件供給裝置4配置在基體2的前部上方。零件供給裝置4供給向基板Bf、Br安裝的電子零件P。零件供給裝置4具備多個盒式供料器40。在盒式供料器40中卷裝有封入了多個電子零件P的帶400。在盒式供料器40的后端部分，通過后述的吸嘴37，從帶400取出電子零件P。[模塊3]如圖2所示，模塊3以可更換的方式配置于基體2。模塊3具備XY機械手31、安裝頭32、基板升降裝置35、基板搬運裝置36、吸嘴37、搬運寬度變更裝置39、控制裝置(未圖示)、圖像處理裝置(未圖示)。(搬運寬度變更裝置39)如圖I、圖2所示，搬運寬度變更裝置39具備第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r、基部391、左右一對導(dǎo)軌392L、392R?；?91呈長方形板狀?；?91配置在基體2的上表面。左右一對導(dǎo)軌392L、392R分別沿前后方向延伸。左右一對導(dǎo)軌392L、392R分離地配置在基部391的上表面的左緣及右緣。第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r分別呈向下方開口的C字板狀。第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r的C字兩端分別以能夠沿前后方向滑動的方式安裝在左右一對導(dǎo)軌392L、392R上。第二壁部390m并列配置在第一壁部390f的后方。第三壁部390r并列配置在第二壁部390m的后方。第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r分別能夠通過壁部移動電動機(未圖示)沿前后方向移動。因此，如圖2所示，第一壁部390f與第二壁部390m之間的第一通道Lf的搬運寬度、第二壁部390m與第三壁部390r之間的第二通道Lr的搬運寬度分別能夠根據(jù)基板Bf、Br的前后方向?qū)挾榷兏?。而且，第一通道Lf、第二通道Lr的位置也能夠沿前后方向變更。(基板搬運裝置36)基板搬運裝置36搬運基板Bf、Br?；灏徇\裝置36具備第一基板搬運部360f和第二基板搬運部360r。如圖2所示，第一基板搬運部360f配置在第一通道Lf，第二基板搬運部360r配置在第二通道Lr。第一基板搬運部360f、第二基板搬運部360r分別具備前后一對傳送帶。第一基板搬運部360f的前方的傳送帶配置在第一壁部390f的后表面，后方的傳送帶配置在第二壁部390m的前表面。在前后一對傳送帶之間架設(shè)有基板Bf。第二基板搬運部360r的前方的傳送帶配置在第二壁部390m的后表面，后方的傳送帶配置在第三壁部390r的前表面。在前后一對傳送帶之間架設(shè)有基板Br。第一基板搬運部360f的一對傳送帶、第二基板搬運部360r的一對傳送帶分別能夠被搬運電動機(未圖示)沿左右方向驅(qū)動。(XY 機械手 31)X方向?qū)?yīng)于左右方向，Y方向?qū)?yīng)于前后方向，Z方向?qū)?yīng)于上下方向。XY機械手31具備Y方向滑動件310、X方向滑動件311、左右一對Y方向?qū)к?12、上下一對X方向?qū)к?13。左右一對Y方向?qū)к?12配置在模塊3的殼體內(nèi)部空間的上表面。Y方向滑動件310呈沿左右方向較長的塊狀。Y方向滑動件310以能夠沿著前后方向滑動的方式安裝在左右一對Y方向?qū)к?12上。上下一對X方向?qū)к?13配置在Y方向滑動件310的前表面。X方向滑動件311呈長方形板狀。X方向滑動件311以能夠沿著左右方向滑動的方式安裝在上下一對X方向?qū)к?13上。(安裝頭32、吸嘴37)安裝頭32安裝在X方向滑動件311上。因此，安裝頭32能夠通過XY機械手31沿著前后左右方向移動。圖3表示本實施方式的電子零件安裝機的安裝頭的放大立體圖。需要說明的是，滾珠絲杠部320、Z軸電動機321、升降桿322由細線表示。如圖3所示，安裝頭32具備滾珠絲杠部320、Z軸電動機321、升降桿322。滾珠絲杠部320具備軸320a和螺母320b。軸320a沿著上下方向延伸。軸320a與Z軸電動機321的旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)。螺母320b與軸320a螺合。螺母320b具備上下一對夾持片320c。升降桿322沿著上下方向延伸。在升降桿322的上端配置有被夾持片322a。被夾持片322a被一對夾持片320c從上下方向夾持?！ぎ?dāng)Z軸電動機321的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，軸320a繞軸旋轉(zhuǎn)，螺母320b沿著上下方向移動。被夾持片322a被一對夾持片320c從上下方向夾持。因此，升降桿322與螺母320b —起沿著上下方向移動。而且，升降桿322能夠通過Θ軸電動機(未圖示)繞軸旋轉(zhuǎn)。吸嘴37安裝在升降桿322的下端。如圖2所示，在吸嘴37的下端配置有吸附面370。吸附面370呈平面狀。經(jīng)由配管(未圖示)將負壓和大氣壓以可切換的方式向吸附面370供給。因此，吸附面370能夠吸附、釋放電子零件P。(基板升降裝置35)如圖2所示，基板升降裝置35具備第一基板升降部350f和第二基板升降部350r。第一基板升降部350f配置在第一壁部390f與第二壁部390m之間。第二基板升降部350r配置在第二壁部390m與第三壁部390r之間。第一基板升降部350f與第二基板升降部350r的結(jié)構(gòu)相同。以下，以第一基板升降部350f和第二基板升降部350r為代表，說明第一基板升降部350f的結(jié)構(gòu)。圖4表示圖2的框IV內(nèi)的放大剖視圖。如圖4所示，第一基板升降部350f具備第一支撐部351f、第一傾動部352f、第一滾珠絲杠部353f、泵354f、真空泵355f、真空泵356f。第一支撐部351f包含在本實用新型的“支撐部”的概念中。第一傾動部352f包含在本實用新型的“傾動部”的概念中。第一傾動部352f呈長方體塊狀。第一傾動部352f能夠通過第一滾珠絲杠部353f沿上下方向移動。在第一傾動部352f的上表面凹陷設(shè)置有引導(dǎo)部352fa。引導(dǎo)部352fa呈局部內(nèi)球面狀(球體的局部的內(nèi)面的形狀)。第一支撐部351f配置在第一傾動部352f的上方。第一支撐部351f具備球部351fa和支承部351fb。球部351fa呈半球狀。在球部351fa的下表面配置有被引導(dǎo)部351fc。被引導(dǎo)部351fc收容在第一傾動部352f的引導(dǎo)部352fa。因此，球部351fa即第一支撐部351f能夠相對于第一傾動部352f以多軸方式傾動。而且，第一支撐部351f能夠與第一傾動部352f —起通過第一滾珠絲杠部353f沿上下方向移動。支承部351fb呈短軸圓柱狀。支承部351fb從球部351fa的上表面朝向上方突出設(shè)置。支承部351fb具備支承面351fd和多個吸附孔351fe。支承面351fd配置在支承部351fb的上表面。支承面351fd呈平面狀。多個吸附孔351fe沿上下方向貫通支承部351fb。多個吸附孔351fe在支承面351fd上開口。泵354f及真空泵355f分別經(jīng)由配管而連接于被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙。泵354f能夠向該間隙供給正壓。真空泵355f能夠向該間隙供給負壓。在使第一支撐部35If相對于第一傾動部352f傾動時，通過泵354f，向該間隙供給正壓。在將第一支撐部351f相對于第一傾動部352f固定時，通過真空泵355f，向該間隙供給負壓。真空泵356f經(jīng)由配管而與多個吸附孔351fe連接。真空泵356f能夠向多個吸附孔351fe即支承面351fd供給負壓。通過該負壓，支承面351fd能夠吸附基板Bf。S卩，支承面35Ifd能夠?qū)⒒錌f固定。<電子零件安裝機的電結(jié)構(gòu)>·[0085]接下來，說明本實施方式的電子零件安裝機的電結(jié)構(gòu)。圖5表示本實施方式的電子零件安裝機的框圖。如圖5所示，控制裝置7具備計算機70和多個驅(qū)動電路。計算機70具備輸入輸出接口 700、計算部701、存儲部702。在輸入輸出接口 700，分別經(jīng)由驅(qū)動電路而電連接有搬運寬度變更裝置39的壁部移動電動機393f、393m、393r、基板搬運裝置36的搬運電動機369f、369r、基板升降裝置35的升降電動機359f、基板Bf固定用的真空泵356f、泵354f、第一支撐部351f固定用的真空泵355f、XY機械手31的X軸電動機319a、Y軸電動機319b、安裝頭32的Z軸電動機321、Θ軸電動機325。另外，在輸入輸出接口 700電連接有圖像處理裝置8。在圖像處理裝置8電連接有標(biāo)記相機(未圖示)、部件相機(未圖示)。如圖2所示，壁部移動電動機393f沿著前后方向驅(qū)動第一壁部390f，壁部移動電動機393m沿著前后方向驅(qū)動第二壁部390m，壁部移動電動機393r沿著前后方向驅(qū)動第三壁部390r。而且，搬運電動機369f沿著左右方向驅(qū)動第一基板搬運部360f的傳送帶，搬運電動機369r沿著左右方向驅(qū)動第二基板搬運部360r的傳送帶。另外，如圖4所示，升降電動機359f經(jīng)由第一滾珠絲杠部353f，沿著上下方向驅(qū)動第一傾動部352f。而且，真空泵356f向多個吸附孔351fe供給負壓。而且，泵354f向被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給正壓。而且，真空泵355f向被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給負壓。另外，如圖2所示，X軸電動機319a沿著左右方向驅(qū)動X方向滑動件311。Y軸電動機319b沿著前后方向驅(qū)動Y方向滑動件310。另外，如圖3所示，Z軸電動機321經(jīng)由滾珠絲杠部320，沿著上下方向驅(qū)動升降桿322即吸嘴37。而且，Θ軸電動機325對升降桿322即吸嘴37向使其繞自身的軸旋轉(zhuǎn)的方向進行驅(qū)動?！粗С忻媾c吸附面的平行校正作業(yè)〉接下來，說明基于本實施方式的電子零件安裝機進行的支承面與吸附面的平行校正作業(yè)。在基板Bf、Br的上表面與電子零件P的下表面的平行度低時，安裝精度降低。因此，為了提高平行度，在基板Bf、Br的生產(chǎn)之前，執(zhí)行平行校正作業(yè)。以下，以圖2所示的第一通道Lf、第二通道Lr為代表，說明第一通道Lf的平行校正作業(yè)。平行校正作業(yè)具有傾動工序和固定工序。圖6表示本實施方式的電子零件安裝機的第一基板升降部附近的、平行校正作業(yè)的傾動工序的右側(cè)剖視圖。圖7表示該第一基板升降部附近的、平行校正作業(yè)的固定工序的右側(cè)剖視圖。需要說明的是，圖6、圖7所示的是與圖4的框IV內(nèi)對應(yīng)的部分。[傾動工序]在本工序中，通過使支承面351fd仿照吸嘴37的吸附面370，來使吸附面370與支承面351fd平行。首先，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動X軸電動機319a、Y軸電動機319b。并且，將圖6所示的吸嘴37配置在第一支撐部351f的正上方。接下來，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動泵354f。并且，向圖6所示的被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給正壓。通過正壓的供給，被引導(dǎo)部351fc即第一支撐部351f容易相對于引導(dǎo)部352fa即第一傾動部352f以多軸方式傾動。然后，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動Z軸電動機321。并且，使吸嘴37下降。如圖7所示，當(dāng)吸嘴37的吸附面370與第一支撐部351f的支承面351fd抵接時，第一支撐部351f傾動，以使支承面351fd仿照(追隨)吸附面370。并且，吸附面370與支承面351fd進行面接觸。即，吸附面370與支承面351fd平行。如此，在本工序中，通過使支承面351fd仿照吸嘴37的吸附面370，而使吸附面370與支承面351fd平行。[固定工序]在本工序中，保持在傾動工序中設(shè)定的支承面351fd的傾動狀態(tài)。首先，通過圖5所示的控制裝置7，使泵354f停止。接著，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動真空泵355f。并且，向圖6所示的被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給負壓。通過供給負壓，被引導(dǎo)部351fc即第一支撐部351f由引導(dǎo)部352fa即第一傾動部352f吸附。因此，在與吸附面370平行的狀態(tài)下，將支承面351fd固定。如此，在本工序中，保持在傾動工序中設(shè)定的支承面35 Ifd的傾動狀態(tài)。〈電子零件的安裝作業(yè)〉接下來，說明基于本實施方式的電子零件安裝機進行的電子零件的安裝作業(yè)。圖8表示本實施方式的電子零件安裝機的第一基板升降部附近的、電子零件的安裝作業(yè)的右側(cè)剖視圖。需要說明的是，圖8所示的是與圖4的框IV內(nèi)對應(yīng)的部分。首先，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動壁部移動電動機393f、393m、搬運電動機369f。并且，如圖4所示，將在基板Bf上安裝電子零件P的安裝區(qū)域A配置在第一支撐部351f的正上方。接下來,通過圖5所示的控制裝置7,驅(qū)動真空泵356f。并且，向圖4所示的多個吸附孔351fe供給負壓。然后,通過圖5所示的控制裝置7,驅(qū)動升降電動機359f。并且,如圖2所示,通過第一支撐部351f的支承面351fd，將基板Bf從第一基板搬運部360f的一對傳送帶抬起到零件安裝高度。即，將基板Bf從圖2的基板Br的高度抬起到基板Bf的高度。在此，向多個吸附孔351fe供給負壓。因此，基板Bf的安裝區(qū)域A整個面由支承面351fd吸附。因此，安裝區(qū)域A的上表面仿照支承面351fd。即，安裝區(qū)域A的上表面與支承面351fd平行。接下來，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動X軸電動機319a、Y軸電動機319b、Z軸電動機321、Θ軸電動機325。并且，如圖2所示，通過吸嘴37，從零件供給裝置4取出電子零件P。如圖4所示，向吸附面370供給負壓。因此，電子零件P的下表面仿照吸附面370。即，電子零件P的下表面與吸附面370平行。然后，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動X軸電動機319a、Y軸電動機319b、Z軸電動機321、Θ軸電動機325。并且，如圖8所示，通過吸嘴37，將電子零件P安裝在基板Bf的安裝區(qū)域A。在此，通過所述平行校正作業(yè)，將吸附面370與支承面351fd設(shè)定成平行。而且，支承面351fd與基板Bf的安裝區(qū)域A的上表面平行。而且，吸附面370與電子零件P的下表面平行。因此，安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面平行。如此，安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面的平行度高。因此，如圖8所示，不發(fā)生單側(cè)接觸，將電子零件P安裝在安裝區(qū)域A的上表面。通過反復(fù)進行上述安裝作業(yè)，進行基板Bf的生產(chǎn)。需要說明的是，基板Br的生產(chǎn)也同樣地進行。〈作用效果〉接下來，說明本實施方式的電子零件安裝機的作用效果。如圖6 圖8所示，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機I，通過使支承面35 Ifd與吸附面370抵接，而使基板Bf的安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面模擬性地抵接。因此，能夠提高安裝區(qū)域A與電子零件P的平行度。因此，電子零件P的實際的安裝位置不易偏離基板Bf的規(guī)定的坐標(biāo)。由此，能夠提高安裝精度。另外，如圖6 圖8所示，通過第一傾動部352f，能夠使第一支撐部351f傾動。因此，能夠使支承面351fd仿照吸附面370。即，能夠使基板Bf的安裝區(qū)域A的上表面仿照電子零件P的下表面。另外，如圖6 圖8所示，在安裝區(qū)域A安裝電子零件P之前，使支承面351fd與吸附面370面接觸。即，使支承面351fd傾動以仿照吸附面370。如此，若使支承面351fd與吸附面370面接觸，則能夠使支承面351fd和吸附面370平行地一致(對齊)。因此，能夠使與支承面351fd大致平行的安裝區(qū)域A的上表面和與吸附面370大致平行的電子零件P的下表面平行地對齊。在該狀態(tài)下將電子零件P安裝于安裝區(qū)域A時，電子零件P不與安裝區(qū)域A單側(cè)接觸，而是下降。因此，能夠提高安裝精度?！础吹诙嵤┓绞健繁緦嵤┓绞降碾娮恿慵惭b機與第一實施方式的電子零件安裝機的不同點是在吸嘴配置有壓接構(gòu)件這一點。而且，是在安裝區(qū)域安裝電子零件時進行平行校正作業(yè)這一點。在此，對不同點進行說明。需要說明的是，關(guān)于說明，援引第一實施方式的圖5?！次斓慕Y(jié)構(gòu)〉首先，說明本實施方式的電子零件安裝機的吸嘴的結(jié)構(gòu)。圖9表示本實施方式的電子零件安裝機的第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)前段的右側(cè)剖視圖。圖10表示該第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)中段的右側(cè)剖視圖。圖11表示該第一基板升降部附近的、零件安裝作業(yè)后段的右側(cè)剖視圖。需要說明的是，圖 Γ圖11所示的是與圖4的框IV內(nèi)對應(yīng)的部分。而且，關(guān)于與圖8對應(yīng)的部位,利用相同標(biāo)號表不。如圖9所示，吸嘴37具備嘴主體371、頭部372、凸緣部373、壓接構(gòu)件374、螺旋彈簧375。螺旋彈簧375包含在本實用新型的“施力構(gòu)件”的概念中。嘴主體371呈沿著上下方向延伸的圓筒狀。頭部372呈圓板狀。頭部372固定在嘴主體371的下端。在頭部372的圓形的下表面配置有吸附面370。吸附面370呈平面狀。凸緣部373呈圓環(huán)狀。凸緣部373固定在嘴主體371的外周面。壓接構(gòu)件374呈向下方開口的有底圓筒狀(杯狀)。在壓接構(gòu)件374的圓環(huán)狀的下端面配置有壓接面374a。壓接面374a呈平面狀。而且，壓接面374a與吸附面370平行。壓接構(gòu)件374以能夠沿著上下方向移動的方式環(huán)裝在嘴主體371的外周面。壓接構(gòu)件374夾裝在凸緣部373與頭部372之間。螺旋彈簧375夾裝在凸緣部373與壓接構(gòu)件374之間。螺旋彈簧375通過自身具有的彈性力，對壓接構(gòu)件374向下方施力。因此，如圖9所示，在吸嘴37未與基板Br抵接的狀態(tài)下，壓接面374a比吸附面370靠下方配置?！措娮恿慵陌惭b作業(yè)〉 接下來，說明基于本實施方式的電子零件安裝機進行的電子零件的安裝作業(yè)。安裝作業(yè)中包含基板的安裝區(qū)域的上表面與壓接面的平行校正作業(yè)。安裝作業(yè)包括傾動工序、固定工序、安裝工序。[傾動工序]在本工序中，通過使安裝區(qū)域A的上表面仿照吸嘴37的壓接面374a，而使壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面平行。首先，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動壁部移動電動機393f、393m、搬運電動機369f。并且，如圖9所示，將基板Bf的安裝區(qū)域A配置在第一支撐部351f的正上方。接下來，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動升降電動機359f。并且，通過第一支撐部351f的支承面351fd將基板Bf抬起到零件安裝高度。接下來，通過圖5所示的控制裝置7，適當(dāng)驅(qū)動X軸電動機319a、Y軸電動機319b、Z軸電動機321、Θ軸電動機325。并且，通過吸嘴37，將電子零件P從零件供給裝置搬運到安裝區(qū)域A的正上方。如圖9所示，向吸附面370供給負壓。因此，電子零件P的下表面仿照吸附面370。即，電子零件P的下表面與吸附面370平行。如上所述，吸附面370與壓接面374a平行。因此，電子零件P的下表面與壓接面374a平行。然后，通過圖5所示的控制裝置7，來驅(qū)動泵354f。并且，向圖9所示的被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給正壓。通過正壓的供給，第一支撐部351f容易相對于第一傾動部352f以多軸方式傾動。然后，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動Z軸電動機321。并且，使吸嘴37下降。如圖10所示，當(dāng)吸嘴37的壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面抵接時，第一支撐部351f傾動，以使安裝區(qū)域A的上表面仿照壓接面374a。并且，壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面進行面接觸。即，壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面平行。如此，在本工序中，通過使安裝區(qū)域A的上表面仿照吸嘴37的壓接面374a，而使壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面平行。[固定工序]在本工序中，保持在傾動工序中設(shè)定的安裝區(qū)域A的上表面的傾動狀態(tài)。首先，通過圖5所示的控制裝置7使泵354f停止。接著，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動真空泵355f。并且，向圖10所示的被引導(dǎo)部351fc與引導(dǎo)部352fa之間的間隙供給負壓。通過供給負壓，第一支撐部351f由第一傾動部352f吸附。因此，在與壓接面374a平行的狀態(tài)下，將安裝區(qū)域A的上表面固定。如此，在本工序中，保持在傾動工序中設(shè)定的安裝區(qū)域A的上表面的傾動狀態(tài)。[安裝工序]在本工序中，在安裝區(qū)域A的上表面安裝電子零件P。首先，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動Z軸電動機321。并且，從圖10所示的狀態(tài)開始使吸嘴37進一步下降。在此，壓接構(gòu)件374已經(jīng)到達安裝區(qū)域A的上表面。因此，如圖11所示，吸嘴37中的壓接構(gòu)件374以外的部分下降。由于該下降，凸緣部373與壓接構(gòu)件374之間的間隔變窄。因此，在螺旋彈簧375蓄積作用力。因此，壓接面374a對安裝區(qū)域A的上表面的按壓力增大。在該狀態(tài)下，電子零件P安裝在安裝區(qū)域A的上表面。在此，電子零件P的下表面與壓接面374a平行。而且，壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面平行。因此，安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面平行。如此，安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面的平行度高。因此，如圖11所 示，不發(fā)生單側(cè)接觸，將電子零件P安裝在安裝區(qū)域A的上表面。通過反復(fù)進行上述安裝作業(yè)，而進行基板Bf的生產(chǎn)。需要說明的是，基板Br的生產(chǎn)也同樣地進行。本實施方式的電子零件安裝機與第一實施方式的電子零件安裝機關(guān)于結(jié)構(gòu)共通的部分具有同樣的作用效果。而且，如圖10所示，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機，通過使安裝區(qū)域A的上表面與壓接面374a抵接，而使基板Bf的安裝區(qū)域A的上表面與電子零件P的下表面模擬性地抵接。因此，能夠提高安裝區(qū)域A與電子零件P的平行度。另外，如圖11所示，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機，在安裝電子零件P時，通過壓接面374a和支承面351fd，從上下方向夾持安裝區(qū)域A。因此，如圖4所示，無需在支承面351fd配置多個吸附孔351fe。而且，無需配置吸附孔351fe用的真空泵356f。另外，如圖10所示，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機，經(jīng)由吸嘴37的壓接面374a，間接地使安裝區(qū)域A的上表面仿照電子零件P的下表面。因此，在安裝區(qū)域A上安裝電子零件P時，能夠進行平行校正作業(yè)。在對單個安裝頭32 (參照圖2)安裝多個吸嘴37時，無法如第一實施方式那樣在基板Bf的生產(chǎn)之前進行平行校正。其理由是對每個吸嘴37而言與吸附面370平行的支承面351fd的傾動角度有時不同。關(guān)于這一點，若采用本實施方式的吸嘴37作為單個安裝頭32用的多個吸嘴37，則在利用各吸嘴37安裝電子零件P時能夠進行平行校正。因此，本實施方式的吸嘴37尤其適合于對單個安裝頭32安裝多個吸嘴37的情況。〈〈第三實施方式》本實施方式的電子零件安裝機與第二實施方式的電子零件安裝機的不同點在于電子零件安裝機具備照明裝置和拍攝裝置這一點。在此，僅說明不同點。需要說明的是，在說明中，援引第一實施方式的圖5。<安裝頭、吸嘴、第一基板升降部的結(jié)構(gòu)>首先，說明本實施方式的電子零件安裝機的安裝頭、吸嘴、第一基板升降部的結(jié)構(gòu)。圖12表示本實施方式的電子零件安裝機的右側(cè)視圖。需要說明的是，對于與圖2對應(yīng)的部位，以相同標(biāo)號表示。圖13表示圖12的框XIII內(nèi)的放大剖視圖。需要說明的是，對于與圖9對應(yīng)的部位，以相同標(biāo)號表不。如圖13所示，螺旋彈簧375夾裝在凸緣部373的下表面外緣附近與壓接構(gòu)件374的上表面外緣附近之間。螺旋彈簧375從嘴主體371的外周面沿徑向分離配置。在安裝頭32的內(nèi)部配置有照明裝置326。照明裝置326由圖5所示的控制裝置7控制。照明裝置326配置在吸嘴37的正上方。照明裝置326能夠朝向正下方照射X射線。嘴主體371、凸緣部373中的比螺旋彈簧375靠徑向內(nèi)側(cè)的部分、壓接構(gòu)件374中的比螺旋彈簧375靠徑向內(nèi)側(cè)的部分、頭部372、吸嘴37的嘴升降機構(gòu)(參照圖3)、向吸嘴37供給負壓的配管等進入到照明裝置326的照射范圍內(nèi)。這些構(gòu)件全部是能夠透過X射線的樹脂制構(gòu)件。在第一傾動部352f的內(nèi)部配置有拍攝裝置357f。拍攝裝置357f由圖5所示的控制裝置7控制。而且，拍攝裝置357f將拍攝到的透射圖像向圖5所示的圖像處理裝置傳送。在拍攝裝置357f的正上方開設(shè)有拍攝孔358f。拍攝孔358f在引導(dǎo)部352fa開口。支承部351fb具備支承部主體351fh和透明罩部351fk。支承部主體351fh配置在球部351fa的上方。透明罩部351fk是透明的玻璃制，配置在支承部主體351fh的上方。 在透明罩部351fk的上表面配置有支承面351fd。拍攝孔351fg貫通球部351fa及支承部主體351fh。拍攝孔351fg配置在拍攝孔358f的上方。拍攝孔351fg的上端開口由透明罩部351fk覆蓋?！措娮恿慵陌惭b作業(yè)〉接下來，說明基于本實施方式的電子零件安裝機進行的電子零件的安裝作業(yè)。安裝作業(yè)包括傾動工序、固定工序、拍攝工序、安裝工序。[傾動工序]圖14表示圖12的框XIII內(nèi)的拍攝工序的放大剖視圖。如圖13、圖14所示，在本工序中，通過圖5所示的控制裝置7來驅(qū)動泵354f，并同時使安裝區(qū)域A的上表面仿照吸嘴37的壓接面374a。并且，使壓接面374a與安裝區(qū)域A的上表面平行。[固定工序]在本工序中，保持在傾動工序中設(shè)定的安裝區(qū)域A的上表面的傾動狀態(tài)。首先，通過圖5所示的控制裝置7，使泵354f停止，驅(qū)動真空泵355f。并且，如圖14所示，在與壓接面374a平行的狀態(tài)下，將安裝區(qū)域A的上表面固定。[拍攝工序]在本工序中，在將電子零件P安裝于安裝區(qū)域A之前，檢查電子零件P與安裝區(qū)域A的水平方向的位置關(guān)系。首先，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動照明裝置326。S卩，從照明裝置326朝向正下方照射X射線。接下來，通過圖5所示的控制裝置7，驅(qū)動拍攝裝置357f。即，通過拍攝裝置357f，來拍攝透射圖像。圖15表示透射圖像的示意圖。照明裝置326與拍攝裝置357f隔著電子零件P和安裝區(qū)域A在上下方向上對置。因此，如圖15所示，在透射圖像G中顯示出電子零件P的下表面的“十”狀的標(biāo)記MP和安裝區(qū)域A的上表面的“田”狀的標(biāo)記MA。“標(biāo)記MP”包含在本實用新型的“電子零件的定位用特征部”的概念中。“標(biāo)記MA”包含在本實用新型的“工件的定位用特征部”的概念中。透射圖像G向圖5所示的圖像處理裝置8傳送。在圖像處理裝置8中，基于標(biāo)記MP與標(biāo)記MA的相對的位置關(guān)系，來判別有無電子零件P相對于安裝區(qū)域A的位置偏差。[安裝工序]圖16表示圖12的框XIII內(nèi)的安裝工序的放大剖視圖。如圖16所示，在本工序中，將電子零件P安裝在安裝區(qū)域A。即，在基于圖像處理裝置8進行的位置偏差判別的結(jié)果是電子零件P未相對于安裝區(qū)域A偏移時，直接將電子零件P安裝于安裝區(qū)域A。另一方面，在基于圖像處理裝置8進行的位置偏差判別的結(jié)果是電子零件P相對于安裝區(qū)域A偏移時，沿著水平方向驅(qū)動吸嘴37，校正了偏差后，將電子零件P安裝于安裝區(qū)域A。本實施方式的電子零件安裝機I與第二實施方式的電子零件安裝機關(guān)于結(jié)構(gòu)共通的部分具有同樣的作用效果。而且，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機1，能夠通過透射圖像G來識別標(biāo)記MP與標(biāo)記MA的相對的位置關(guān)系。因此，在校正了電子零件P與安裝區(qū)域A的位置偏差之后，能夠?qū)㈦娮恿慵安裝于安裝區(qū)域A。因此，能夠提高安裝精度。另外，根據(jù)本實施方式的電子零件安裝機1，與在安裝區(qū)域A與吸嘴37 (電子零件P)之間夾裝拍攝裝置、棱鏡來檢查安裝區(qū)域A與電子零件P的位置偏差的情況相比，能夠在安裝區(qū)域A與電子零件P近接的狀態(tài)下(即將安裝之前的狀態(tài)下)檢查安裝區(qū)域A與電子零 件P的位置偏差。因此，從檢查到安裝之間的電子零件P的移動距離縮短。因此，能夠提高安裝精度。而且，在安裝區(qū)域A與電子零件P之間無需確保拍攝用的空間。〈〈其他》以上，說明了本實用新型的電子零件安裝機的實施方式。然而，實施方式并未特別限定為上述方式。也能夠以本領(lǐng)域技術(shù)人員可進行的各種變形的方式、改良的方式來實施。如圖I、圖2所示，導(dǎo)軌392L、392R具有作為Y方向引導(dǎo)構(gòu)件的功能。第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r具有作為由Y方向引導(dǎo)構(gòu)件沿著Y方向引導(dǎo)的Y方向被引導(dǎo)構(gòu)件的功能。Y方向引導(dǎo)構(gòu)件與Y方向被引導(dǎo)構(gòu)件的凹凸關(guān)系也可以相反。第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r具有作為能夠使基板Bf、Br的搬運寬度擴大或縮小的搬運寬度變更構(gòu)件的功能。而且，第一壁部390f、第二壁部390m、第三壁部390r具有作為能夠在基板Bf、Br的Y方向位置上移動的Y方向移動構(gòu)件的功能。第一基板搬運部360f、第二基板搬運部360r的傳送帶具有作為基板Bf、Br的搬運體的功能。第一基板搬運部360f、第二基板搬運部360r具有作為能夠在基板Bf、Br的X方向位置上移動的X方向移動構(gòu)件的功能。Y方向?qū)к?12具有作為Y方向引導(dǎo)構(gòu)件的功能。Y方向滑動件310具有作為由Y方向引導(dǎo)構(gòu)件沿著Y方向引導(dǎo)的Y方向被引導(dǎo)構(gòu)件的功能。Y方向引導(dǎo)構(gòu)件與Y方向被引導(dǎo)構(gòu)件的凹凸關(guān)系也可以相反。X方向?qū)к?13具有作為X方向引導(dǎo)構(gòu)件的功能。X方向滑動件311具有作為由X方向弓丨導(dǎo)構(gòu)件沿著X方向引導(dǎo)的X方向被引導(dǎo)構(gòu)件的功能。X方向引導(dǎo)構(gòu)件與X方向被引導(dǎo)構(gòu)件的凹凸關(guān)系也可以相反。第一滾珠絲杠部353f具有作為使基板Bf沿上下方向移動的基板升降機構(gòu)的功能。如圖3所示，滾珠絲杠部320具有作為使吸嘴37沿上下方向移動的嘴升降機構(gòu)的功能。吸嘴37具有作為電子零件P的搬運體的功能。圖8所示的多個吸附孔351fe、圖11所示的壓接構(gòu)件374、第一支撐部351f具有作為在基板生產(chǎn)時將基板Bf、Br固定的基板固定具的功能。基板固定具對基板Bf、Br的固定方向自然可以是上下方向，也可以是水平方向。如圖2所示，在上述實施方式中利用第一支撐部351f來支承基板Bf的一部分，但也可以支承基板Bf的整體。如圖I、圖2所示，在上述實施方式中，在安裝電子零件P時，使基板Bf沿著水平方向移動，但也可以使第一基板升降部350f沿著水平方向移動。即，在安裝電子零件P時，只要在安裝區(qū)域A的上方配置吸嘴37，且在下方配置第一支撐部351f即可。如圖2所示，在上述實施方式中，使用了所謂帶式供料器作為零件供給裝置4，但也可以使用料盤、碗形供料器等。如圖4所示，在上述實施方式中，將引導(dǎo)部352fa形成為局部內(nèi)球面狀，并將被引導(dǎo)部351fc形成為局部球面狀， 但該凹凸關(guān)系也可以相反。在第三實施方式中，使用了 X射線作為透射光，但也可以使用紅外光等。而且，也可以將照明裝置326配置在基板Bf及電子零件P的下方。另外，也可以將拍攝裝置357f配置在基板Bf及電子零件P的上方。圖17表示其他的實施方式的透射圖像的示意圖。需要說明的是，關(guān)于與圖15對應(yīng)的部位，以相同標(biāo)號表示。如圖17 (a)所示，也可以通過正方形狀的兩個標(biāo)記MP和凸?fàn)畹臉?biāo)記MA來判別電子零件與安裝區(qū)域的位置偏差。如圖17 (b)所示，也可以通過圓形的標(biāo)記MP和圓環(huán)狀的標(biāo)記MA，來判別電子零件P與安裝區(qū)域A的位置偏差。如此，電子零件P的定位用特征部、基板Bf的定位用特征部并未特別限定。可以使用文字、圖形、記號、電子零件P的特征形狀(角部等)、基板Bf的上表面的圖案等所有的形狀作為特征部。需要說明的是，標(biāo)記MP也可以配置在電子零件P的上表面。而且，標(biāo)記MA也可以配置在安裝區(qū)域A的下表面。另外，在上述實施方式中，通過第一傾動部352f使基板Bf的安裝區(qū)域A的上表面傾動，不過也可以使電子零件P的下表面即吸嘴37的吸附面370傾動。這種情況下，例如也可以在圖4所示的吸嘴37的上下方向中間部夾裝球面滑動軸承、球窩接頭、萬向接頭等作為傾動部。而且，也可以在支撐部35If及吸嘴37這雙方配置傾動部。而且，在上述實施方式中，使用了基板Bf、Br作為本實用新型的“工件”，但也可以使用切割前的晶片等。另外，如圖9所示，在第二實施方式中，作為施力構(gòu)件，使用了螺旋彈簧375，但也可以使用板簧、盤簧等其他的彈簧。而且，還可以使用橡膠、發(fā)泡材料等彈性構(gòu)件。另外，吸附面370也可以與電子零件P的下表面不平行。同樣地，替代面351fd也可以與安裝區(qū)域A的上表面不平行。如圖7所示，只要通過在替代面370與替代面351fd進行了面接觸的狀態(tài)下將兩面的相對的傾斜角度固定，而如圖8所示使電子零件P的下表面與安裝區(qū)域A的上表面進行面接觸即可。另外，上述第三實施方式也可以與第一實施方式、第二實施方式無關(guān)地實施。SP，在不具有基板Bf上表面與電子零件P下表面的平行校正功能的電子零件安裝機I中也可以裝入第三實施方式的照明裝置326、拍攝裝置357f。作為拍攝裝置357f，可以使用例如X射線相機、紅外線相機等能夠取得透射圖像的相機，所述透射圖像能夠識別電子零件P的定位用特征部、工件的定位用特征部。
權(quán)利要求1.一種電子零件安裝機，具備 支撐部，從下側(cè)支承工件中安裝電子零件的安裝區(qū)域； 吸嘴，配置在所述安裝區(qū)域的上方，并將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域；及傾動部，使所述支撐部及所述吸嘴中的至少一方傾動，以在將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域時使所述安裝區(qū)域的上表面與所述電子零件的下表面大致平行地一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子零件安裝機，其中， 還具備替代構(gòu)件，所述替代構(gòu)件具有替代所述安裝區(qū)域的所述上表面及所述電子零件的所述下表面中的至少一個面的替代面， 所述傾動部經(jīng)由所述替代面而模擬性地使所述上表面與所述下表面抵接，由此使所述支撐部及所述吸嘴中的至少一方傾動，以在將所述電子零件安裝于所述安裝區(qū)域時使所述上表面與所述下表面大致平行地一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子零件安裝機，其中， 所述替代面與所述安裝區(qū)域的所述上表面及所述電子零件的所述下表面中的至少一個面即所述替代面所替代的面大致平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的電子零件安裝機，其中， 所述支撐部具有局部球面狀的被引導(dǎo)部， 所述傾動部具有將所述被引導(dǎo)部以能夠傾動的方式進行收容的局部內(nèi)球面狀的引導(dǎo)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子零件安裝機，其中， 所述支撐部具有從下側(cè)支承所述安裝區(qū)域并與所述安裝區(qū)域的所述上表面大致平行的支承面， 所述吸嘴具有吸附所述電子零件并與所述電子零件的所述下表面大致平行的吸附面， 所述支撐部及所述吸嘴是所述替代構(gòu)件， 所述支承面及所述吸附面是所述替代面， 在向所述安裝區(qū)域安裝所述電子零件之前，使所述支承面與所述吸附面抵接，由此使所述支承面仿照所述吸附面地進行傾動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子零件安裝機，其中， 所述吸嘴包括壓接構(gòu)件，具有與所述電子零件的所述下表面大致平行且配置得比所述下表面靠下的壓接面；及施力構(gòu)件，向下方對所述壓接構(gòu)件施力， 所述壓接構(gòu)件是所述替代構(gòu)件， 所述壓接面是所述替代面， 在向所述安裝區(qū)域安裝所述電子零件時，先于所述電子零件的所述下表面而使所述壓接面與所述安裝區(qū)域的所述上表面抵接，由此使所述上表面仿照所述壓接面地進行傾動。
7.根據(jù)權(quán)利要求Γ6中任一項所述的電子零件安裝機，其中， 具備 照明裝置，向所述電子零件與所述安裝區(qū)域在上下方向上重復(fù)地配置的拍攝區(qū)域照射能夠透射所述電子零件及所述安裝區(qū)域的透射光；及 拍攝裝置，拍攝被照射所述透射光的所述拍攝區(qū)域，取得能夠識別出所述電子零件的定位用特征部及所述工件的定位用特征部的透射圖像。
專利摘要本實用新型課題在于提供一種能夠提高工件與電子零件的平行度的電子零件安裝機。電子零件安裝機(1)具備支撐部(351f)，從下側(cè)支承工件(Bf、Br)中的安裝電子零件(P)的安裝區(qū)域(A)；吸嘴(37)，配置在安裝區(qū)域(A)的上方，并將電子零件(P)向安裝區(qū)域(A)安裝；傾動部(352f)，使支撐部(351f)及吸嘴(37)中的至少一方傾動，以在將電子零件(P)向安裝區(qū)域(A)安裝時使安裝區(qū)域(A)的上表面與電子零件(P)的下表面大致平行地一致。
文檔編號H05K13/04GK202713892SQ20122021587
公開日2013年1月30日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
發(fā)明者巖城范明, 濱根剛 申請人:富士機械制造株式會社