具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，特別是涉及拉晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]晶粒是制造半導(dǎo)體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。
[0004]制造晶棒時(shí)，對其里面的分子進(jìn)行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進(jìn)行的，原料放置在拉晶管中，拉晶時(shí)拉晶管處于均衡的環(huán)境中有利于拉晶的效果。
[0005]拉晶爐具有爐腔，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件，拉晶時(shí)卡件卡著拉晶管；現(xiàn)有技術(shù)中，爐腔內(nèi)的卡件是固定在爐腔內(nèi)、不會轉(zhuǎn)動的，這樣，在拉晶的過程中，拉晶管在爐腔內(nèi)的位置是不動的，具有拉晶效果差的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn)，提供一種拉晶效果好的拉晶爐一一具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐。
[0007]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐，包括爐體，爐體安裝在架子上，爐體內(nèi)部具有爐腔，在爐腔內(nèi)設(shè)置加熱裝置和多組卡著拉晶管的卡件，加熱裝置可以對拉晶管進(jìn)行加熱，其特征是:
[0008]所述的爐體兩端具有多組對應(yīng)卡件的軸孔，卡件后面安裝第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸穿過軸孔，在第一轉(zhuǎn)軸外面有小齒輪；
[0009]在爐體的端部外側(cè)具有轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪經(jīng)過轉(zhuǎn)軸安裝在架子上，轉(zhuǎn)輪連接第一動力裝置，轉(zhuǎn)輪內(nèi)側(cè)有大齒圈，齒圈和小齒輪嚙合。
[0010]進(jìn)一步地講，所述的爐體是由兩端的爐擋板和中間的爐圈組成的，爐擋板是圓形的，爐圈是筒形的，爐擋板和爐圈具有配合的滑輪和滑道，所述的爐圈可以在爐擋板上轉(zhuǎn)動結(jié)合，所述的加熱裝置安裝在爐擋板上并在爐圈內(nèi)，所述的加熱裝置在爐圈內(nèi)，所述的爐圈連接有第二動力裝置。
[0011]較好的，所述的內(nèi)齒圈的齒數(shù)不是小齒輪齒數(shù)的倍數(shù)。
[0012]進(jìn)一步地講，所述的加熱裝置包括爐圈內(nèi)底部的電加熱絲和上面的紅外線加熱管。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0014]1、這樣的拉晶爐具有不用翻轉(zhuǎn)就可以使拉晶管各處受熱均勻、拉晶效果好的優(yōu)占.V，
[0015]2、所述的爐體是由兩端的爐擋板和中間的爐圈組成的，爐擋板是圓形的，爐圈是筒形的，爐擋板和爐圈具有配合的滑輪和滑道，所述的爐圈可以在爐擋板上轉(zhuǎn)動結(jié)合，所述的加熱裝置安裝在爐擋板上并在爐圈內(nèi)，所述的爐圈連接有第二動力裝置，具有拉晶效果更好、短時(shí)間內(nèi)完成拉晶、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn)；
[0016]3、所述的內(nèi)齒圈的齒數(shù)不是小齒輪齒數(shù)的倍數(shù)，所述的加熱裝置包括爐圈內(nèi)底部的電加熱絲和上面的紅外線加熱管，具有拉晶效果更好的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0017]圖1是實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]其中:1、爐體2、架子3、爐腔4、加熱裝置5、卡件6、軸孔7、第一轉(zhuǎn)軸8、小齒輪9、轉(zhuǎn)輪10、轉(zhuǎn)軸11、第一動力裝置12、爐擋板13、爐圈14、第二動力裝置15、電加熱絲16、紅外線加熱管。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0020]如圖1所示，具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐，包括爐體1，爐體安裝在架子2上，爐體I內(nèi)部具有爐腔3，在爐腔內(nèi)設(shè)置加熱裝置4和多組卡著拉晶管的卡件5，加熱裝置可以對拉晶管進(jìn)行加熱，其特征是:
[0021]所述的爐體兩端具有多組對應(yīng)卡件的軸孔6，卡件后面安裝第一轉(zhuǎn)軸7，第一轉(zhuǎn)軸穿過軸孔，在第一轉(zhuǎn)軸外面有小齒輪8 ；
[0022]在爐體的端部外側(cè)具有轉(zhuǎn)輪9，轉(zhuǎn)輪9經(jīng)過轉(zhuǎn)軸10安裝在架子上，轉(zhuǎn)輪連接第一動力裝置11，轉(zhuǎn)輪內(nèi)側(cè)有大齒圈，齒圈和小齒輪嚙合。
[0023]第一動力裝置運(yùn)行，帶動轉(zhuǎn)輪運(yùn)行，轉(zhuǎn)輪內(nèi)的大齒圈帶動小齒輪運(yùn)行，由于軸孔6的限位作用，可以實(shí)現(xiàn)第一轉(zhuǎn)軸7在同軸芯處的轉(zhuǎn)動，這樣避免了拉晶管朝著一個(gè)方向放置，例如避免了拉晶管朝向的部位總是朝著一個(gè)方向，減少了出現(xiàn)拉晶不均勻的現(xiàn)象，具有本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。
[0024]進(jìn)一步地講，所述的爐體是由兩端的爐擋板12和中間的爐圈13組成的，爐擋板是圓形的，爐圈是筒形的，爐擋板和爐圈具有配合的滑輪和滑道，所述的爐圈可以在爐擋板上轉(zhuǎn)動結(jié)合，所述的加熱裝置安裝在爐擋板上并在爐圈內(nèi)，所述的爐圈連接有第二動力裝置14。由于加熱裝置安裝在爐圈上，這樣爐圈轉(zhuǎn)動，加熱更均勻。經(jīng)過試驗(yàn)，這樣拉晶時(shí)間縮短I / 4，具有相同時(shí)間拉晶效果更好、相同質(zhì)量拉晶時(shí)間短、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn)；
[0025]較好的，所述的內(nèi)齒圈的齒數(shù)不是小齒輪齒數(shù)的倍數(shù)，這樣拉晶管的位置就會在截面的朝向上不斷的變換，使用效果更好，例如內(nèi)齒圈的齒數(shù)是41、42、43、44齒，小齒輪的齒數(shù)是10齒，這樣效果更好；如果內(nèi)齒圈的齒數(shù)是40齒，小齒輪的齒數(shù)是10齒，這樣效果較差。
[0026]進(jìn)一步地講，所述的加熱裝置包括爐圈內(nèi)底部的電加熱絲15和上面的紅外線加熱管16。發(fā)明人經(jīng)過試驗(yàn)，這樣的拉晶效果更好。
[0027]以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐，包括爐體，爐體安裝在架子上，爐體內(nèi)部具有爐腔，在爐腔內(nèi)設(shè)置加熱裝置和多組卡著拉晶管的卡件，加熱裝置可以對拉晶管進(jìn)行加熱，其特征是: 所述的爐體兩端具有多組對應(yīng)卡件的軸孔，卡件后面安裝第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸穿過軸孔，在第一轉(zhuǎn)軸外面有小齒輪； 在爐體的端部外側(cè)具有轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪經(jīng)過轉(zhuǎn)軸安裝在架子上，轉(zhuǎn)輪連接第一動力裝置，轉(zhuǎn)輪內(nèi)側(cè)有大齒圈，齒圈和小齒輪嚙合。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征是:所述的爐體是由兩端的爐擋板和中間的爐圈組成的，爐擋板是圓形的，爐圈是筒形的，爐擋板和爐圈具有配合的滑輪和滑道，所述的爐圈可以在爐擋板上轉(zhuǎn)動結(jié)合，所述的加熱裝置安裝在爐擋板上并在爐圈內(nèi)，所述的加熱裝置在爐圈內(nèi)，所述的爐圈連接有第二動力裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的拉晶爐，其特征是:所述的內(nèi)齒圈的齒數(shù)不是小齒輪齒數(shù)的倍數(shù)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的拉晶爐，其特征是:所述的加熱裝置包括爐圈內(nèi)底部的電加熱絲和上面的紅外線加熱管。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拉晶爐，其特征是:所述的加熱裝置包括爐圈內(nèi)底部的電加熱絲和上面的紅外線加熱管。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，名稱是具有翻轉(zhuǎn)裝置的拉晶爐，包括爐體，爐體安裝在架子上，爐體內(nèi)部具有爐腔，在爐腔內(nèi)設(shè)置加熱裝置和多組卡著拉晶管的卡件，加熱裝置可以對拉晶管進(jìn)行加熱，所述的爐體兩端具有多組對應(yīng)卡件的軸孔，卡件后面安裝第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸穿過軸孔，在第一轉(zhuǎn)軸外面有小齒輪；在爐體的端部外側(cè)具有轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪經(jīng)過轉(zhuǎn)軸安裝在架子上，轉(zhuǎn)輪連接第一動力裝置，轉(zhuǎn)輪內(nèi)側(cè)有大齒圈，齒圈和小齒輪嚙合，具有不用翻轉(zhuǎn)就可以使拉晶管各處受熱均勻、拉晶效果好的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C30B15/00, C30B29/46
【公開號】CN204825118
【申請?zhí)枴緾N201520582206
【發(fā)明人】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會超, 陳永平, 王東勝, 惠小青, 辛世明, 田紅麗
【申請人】河南鴻昌電子有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月6日