一種一次性完成的拉晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，特別是涉及拉晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]晶粒是制造半導(dǎo)體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。
[0004]制造晶棒時，對其里面的分子進行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進行的。
[0005]拉晶爐具有爐腔，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件，還有個加熱體，加熱體上下移動可以對拉晶管進行加熱，現(xiàn)有技術(shù)中，加熱體只有一個加熱部位，隨著對拉晶技術(shù)的提高，發(fā)現(xiàn)對原材料進行多次拉晶，在拉晶的過程中進行冷卻，可以取得更好的拉晶效果，使用現(xiàn)有技術(shù)的拉晶爐就要多次拉晶，具有使用不便的缺點。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的拉晶爐一種一次性完成的拉晶爐。
[0007]本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件，還有加熱體，加熱體可移動可以對拉晶管進行加熱，其特征是:所述的加熱體是空芯圓柱形的結(jié)構(gòu)，加熱體包括多個加熱件，相鄰的加熱件中間是冷卻圈，所述的冷卻圈中間是中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)外面連通循環(huán)冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料隔斷。
[0008]進一步地講，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的。
[0009]較好的，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5 — 7°C。
[0010]較好的，第一個加熱體溫度達到200— 220°C之間，所述的冷卻圈溫度控制在70—90°C之間。
[0011]本實用新型的有益效果是:
[0012]1、這樣的拉晶爐具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的優(yōu)點；
[0013]2、所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的，第一個加熱體溫度達到200— 220 °C之間，所述的冷卻圈溫度控制在70— 90 V之間具有拉晶效果更好的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]其中:1、爐體 2、爐腔 3、卡件4、加熱體 5、加熱件 6、冷卻圈 7、第一個加熱體間8、隔熱材料 9、晶棒。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0017]如圖1所示，一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體1，爐體具有爐腔2，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件3，還有加熱體4，加熱體移動可以對拉晶管進行加熱，其特征是:所述的加熱體是空芯圓柱形的結(jié)構(gòu)，加熱體包括多個加熱件5，相鄰的加熱件中間是冷卻圈6，所述的冷卻圈中間是中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)外面連通循環(huán)冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料8隔斷，如圖，卡件卡著晶棒9，加熱體可左右移動安裝在爐體內(nèi)，冷卻圈6可以對加熱的晶棒進行冷卻，冷卻圈6里面的冷卻液起著降溫的作用，這樣晶棒一次經(jīng)過加熱體就可以完成加熱一一冷卻一一加熱等多個步驟，具有本實用新型的優(yōu)點。
[0018]進一步地講，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的，發(fā)明人經(jīng)過試驗，這樣可以達到更好的效果，所述的從前至后是依據(jù)拉晶過程中經(jīng)過晶棒的順序。
[0019]較好的，第一個加熱件7溫度達到200— 220°C之間，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5 — 7°C。發(fā)明人經(jīng)過試驗，這樣可以取得晶棒里面的分子排列更整齊的效果。
[0020]進一步地講，所述的冷卻圈溫度控制在70— 90°C之間。
[0021]以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件，還有加熱體，加熱體移動可以對拉晶管進行加熱，其特征是:所述的加熱體是空芯圓柱形的結(jié)構(gòu)，加熱體包括多個加熱件，相鄰的加熱件中間是冷卻圈，所述的冷卻圈中間是中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)外面連通循環(huán)冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料隔斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征是:所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉晶爐，其特征是:所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5— 7°C。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的拉晶爐，其特征是:第一個加熱體溫度達到200—.220 °C之間，所述的冷卻圈溫度控制在70— 90 0C之間。
【專利摘要】本實用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，名稱是一種一次性完成的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)有放置拉晶管的卡件，還有加熱體，加熱體移動可以對拉晶管進行加熱，所述的加熱體是空芯圓柱形的結(jié)構(gòu)，加熱體包括多個加熱件，相鄰的加熱件中間是冷卻圈，所述的冷卻圈中間是中空結(jié)構(gòu)，中空結(jié)構(gòu)外面連通循環(huán)冷卻液，所述的冷卻圈和加熱體之間有隔熱材料隔斷，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度是依次升高的，所述的多個加熱體從前至后的加熱溫度依次升高5—7℃，具有拉晶效果好、使用方便、一次就可以完成的優(yōu)點。
【IPC分類】C30B15-00
【公開號】CN204589370
【申請?zhí)枴緾N201520274633
【發(fā)明人】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會超, 陳永平, 王東勝, 惠小青, 辛世明, 田紅麗
【申請人】河南鴻昌電子有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年5月2日