一種單晶爐的底部保溫板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，單晶硅的生長(zhǎng)技術(shù)有兩種:區(qū)熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。直拉法制造單晶硅的大部分過(guò)程都是吸熱過(guò)程，需要外部供給熱量，因此單晶爐的熱場(chǎng)系統(tǒng)保溫性能對(duì)單晶硅制造起著至關(guān)重要的作用。
[0003]單晶爐的熱場(chǎng)中有一層保溫材料，該保溫材料可保證單晶爐內(nèi)合適的溫度梯度，降低單晶爐的運(yùn)行功耗。目前單晶爐底部保溫材料一般為傳統(tǒng)石墨軟氈。單晶爐的底部保溫板由底部鋪設(shè)的石墨軟氈和石墨反射板組成，石墨反射板分為石墨上板和石墨下板，中間夾有石墨軟氈，并用石墨螺栓連接。底部保溫板在加熱器下部起到保溫的作用，減少熱場(chǎng)內(nèi)的熱量從下部流失。
[0004]上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)是底部保溫板成本高、重量大；結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不利于安裝、清理；并缺少導(dǎo)氣結(jié)構(gòu)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種單晶爐的底部保溫板，該底部保溫板采用石墨硬氈材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝、清理方便，提高了工作效率。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于:該底部保溫板為用石墨硬氈材料制成的底座，底座上部中心處設(shè)有圓形凹槽，圓形凹槽的側(cè)面設(shè)有與禍托底部相適配的的坡面，圓形凹槽的槽底與禍托之間設(shè)有內(nèi)腔，圓形凹槽的槽底中心處有一個(gè)禍桿安裝孔，底座側(cè)面上設(shè)有2個(gè)以上的將內(nèi)腔與外部連通的導(dǎo)氣孔，底座的底部還設(shè)有加熱器安裝孔。
[0007]作為優(yōu)選，底座的外周為圓形。
[0008]作為優(yōu)選，加熱器安裝孔為2個(gè)，位于圓形凹槽同一直徑的兩端；在底座外緣上設(shè)有與圓形凹槽連通的加熱器安裝槽，加熱器安裝槽位于加熱器安裝孔的上方。
[0009]作為優(yōu)選，加熱器安裝孔為圓形，加熱器安裝孔的直徑大于加熱器上對(duì)應(yīng)孔的直徑。
[0010]作為優(yōu)選，導(dǎo)氣孔位于圓形凹槽的側(cè)面上，導(dǎo)氣孔與位于底座外緣的上表面和外側(cè)面處的凹槽相連通。
[0011]作為優(yōu)選，導(dǎo)氣孔為2個(gè)，2個(gè)導(dǎo)氣孔的中心連線與2個(gè)加熱器安裝孔的中心連線相垂直。
[0012]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型采用石墨硬氈材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝、清理方便，提高了工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1的俯視圖。
[0015]圖中:1、禍桿安裝孔；2、加熱器安裝孔；3、導(dǎo)氣孔；4、底座；5、圓形凹槽；6、坡面；7、加熱器安裝槽；8、凹槽。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0017]如圖1?2所示，一種單晶爐的底部保溫板，該底部保溫板為用石墨硬氈材料制成的底座4，底座4的外周為圓形。底座4上部中心處設(shè)有圓形凹槽5，圓形凹槽5的側(cè)面設(shè)有與禍托底部相適配的的坡面，圓形凹槽5的槽底與禍托之間設(shè)有內(nèi)腔。圓形凹槽5的槽底中心處有一個(gè)禍桿安裝孔I。
[0018]底座4的底部還設(shè)有2個(gè)圓形的加熱器安裝孔2，加熱器安裝孔2位于圓形凹槽5同一直徑的兩端。在底座4外緣上還設(shè)有與圓形凹槽5連通的加熱器安裝槽7，加熱器安裝槽7位于加熱器安裝孔2的上方。加熱器安裝孔2的直徑大于加熱器上對(duì)應(yīng)孔的直徑。
[0019]圓形凹槽5的側(cè)面上設(shè)有2個(gè)將內(nèi)腔與外部連通的導(dǎo)氣孔3，導(dǎo)氣孔3與位于底座4外緣的上表面和外側(cè)面處的凹槽8相連通。2個(gè)導(dǎo)氣孔3的中心連線與2個(gè)加熱器安裝孔2的中心連線相垂直。
[0020]本實(shí)用新型采用石墨硬氈材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝、清理方便，提高了工作效率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于:該底部保溫板為用石墨硬氈材料制成的底座(4)，所述底座(4)上部中心處設(shè)有圓形凹槽(5)，圓形凹槽(5)的側(cè)面設(shè)有與禍托底部相適配的的坡面(6)，圓形凹槽(5)的槽底與禍托之間設(shè)有內(nèi)腔，圓形凹槽(5)的槽底中心處有一個(gè)禍桿安裝孔(1)，底座(4)側(cè)面上設(shè)有2個(gè)以上的將內(nèi)腔與外部連通的導(dǎo)氣孔(3)，底座(4)的底部還設(shè)有加熱器安裝孔(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于所述底座(4)的外周為圓形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于所述加熱器安裝孔(2)為2個(gè)，位于圓形凹槽(5)同一直徑的兩端；在底座(4)外緣上設(shè)有與圓形凹槽(5)連通的加熱器安裝槽(7)，所述加熱器安裝槽(7)位于加熱器安裝孔(2)的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于所述加熱器安裝孔(2)為圓形，加熱器安裝孔(2)的直徑大于加熱器上對(duì)應(yīng)孔的直徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于所述導(dǎo)氣孔(3)位于圓形凹槽(5)的側(cè)面上，所述導(dǎo)氣孔(3)與位于底座(4)外緣的上表面和外側(cè)面處的凹槽(8)相連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種單晶爐的底部保溫板，其特征在于所述導(dǎo)氣孔(3)為2個(gè)，2個(gè)導(dǎo)氣孔(3)的中心連線與2個(gè)加熱器安裝孔(2)的中心連線相垂直。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種單晶爐的底部保溫板，屬于單晶爐技術(shù)領(lǐng)域。該底部保溫板為用石墨硬氈材料制成的底座，所述底座上部中心處設(shè)有圓形凹槽，圓形凹槽的側(cè)面設(shè)有與堝托底部相適配的坡面，圓形凹槽的槽底與堝托之間設(shè)有內(nèi)腔，圓形凹槽的槽底中心處有一個(gè)堝桿安裝孔，底座側(cè)面上設(shè)有2個(gè)以上的將內(nèi)腔與外部連通的導(dǎo)氣孔，底座的底部還設(shè)有加熱器安裝孔。本實(shí)用新型采用石墨硬氈材料制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝、清理方便，提高了工作效率。
【IPC分類】C30B29-06, C30B15-00
【公開號(hào)】CN204589368
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520263865
【發(fā)明人】張一 , 張剛
【申請(qǐng)人】英利能源（中國(guó)）有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年4月28日