專利名稱：化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械研磨制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、金屬材 料等化學(xué)機(jī)械研磨制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)拋光頭壓力環(huán)安裝裝置。
背景技術(shù)：
化學(xué)機(jī)械研磨(CMP )使用的單面研磨機(jī)是采用壓力環(huán)來控制研磨物件受壓均勻從而保 證加工材料的平坦度。目前普遍采用的方法是在一塊圓形^托盤上刻畫出一道道的同心圓環(huán) 線，把壓力環(huán)對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)環(huán)大小的刻線，讓其基本對(duì)準(zhǔn)拋光頭，并用拋光頭施壓壓緊壓力環(huán)， 使壓力環(huán)貼于拋光頭上。這種方法有兩種不足之處1、在對(duì)準(zhǔn)拋光頭之前壓力環(huán)會(huì)在圓形托 盤上造成滑動(dòng)，致使拋光頭壓緊之后壓力環(huán)偏離中心位置；2、由于采用的是目視的方法，容 易出現(xiàn)壓力環(huán)對(duì)準(zhǔn)偏差。上述方法具有的兩種不足之處易導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量差，產(chǎn)品合格率較低。
因此，需要提供一種化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其能夠使壓力環(huán)安裝時(shí)精確 定位，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量，提高產(chǎn)品合格率。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力 環(huán)安裝裝置，該化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置設(shè)計(jì)巧妙，能精確定位安裝壓力環(huán)，同 時(shí)具有方便快捷、易于實(shí)施的特點(diǎn)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置具有如下構(gòu)成
該化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，包括圓形托盤，其特點(diǎn)是，所述化學(xué)機(jī)械研磨 拋光頭壓力環(huán)安裝裝置還包括至少三滑塊和至少三定位組件，所述圓形托盤上徑向設(shè)置有至 少三刻度，所述圓形托盤上沿所述刻度開有滑槽，所述滑塊可移動(dòng)限位在對(duì)應(yīng)的所述滑槽中， 所述滑塊中至少設(shè)置一所述定位組件，所述定位組件部分凸出所述圓形托盤。
較佳地，所述定位組件包括定位件和彈性件，所述定位件可伸縮限位在所述滑塊中且部 分凸出所述圓形托盤，所述彈性件位于所述滑塊中并分別抵靠所述滑塊和所述定位件。
更佳地，所述定位件是定位栓，所述彈性件是彈簧。
3較佳地，所述刻度均勻分布在所述圓形托盤上。
更佳地，所述刻度的數(shù)目為3，所述刻度兩兩之間的夾角為120° 。
較佳地，所述化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置還包括至少三定位直尺，所述定位直 尺徑向設(shè)置在所述圓形托盤上，所述刻度設(shè)置在所述定位直尺上通過所述定位直尺間接設(shè)置 在所述圓形托盤上，所述滑槽沿所述定位直尺設(shè)置。
更佳地，所述定位直尺均勻分布在所述圓形托盤上。
更進(jìn)一步地，所述定位直尺的數(shù)目是3，所述定位直尺兩兩之間的夾角為120° 。
較佳地，所述圓形托盤上設(shè)置有至少 一 同心圓環(huán)線。
更佳地，所述圓形托盤上設(shè)置有16圏同心圓環(huán)線。 本實(shí)用新型的有益效果在于
1、 本實(shí)用新型徑向設(shè)置有若干刻度，沿刻度設(shè)置有滑槽，滑槽內(nèi)具有滑塊，滑塊上具有 定位組件，設(shè)計(jì)巧妙，能精確定位安裝壓力環(huán)，不產(chǎn)生偏差；
2、 本實(shí)用新型通過滑塊的定位栓使得壓力環(huán)多個(gè)方位離圓形托盤圓心等距，使得壓力環(huán) 處于同心圓上，然后可以對(duì)準(zhǔn)拋光頭，使用拋光頭壓緊壓力環(huán)，這樣壓力環(huán)就完全同 心的安裝在拋光頭上了，方便快捷、易于實(shí)施。


圖1是本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例的俯視示意圖。
圖2是圖1所示的具體實(shí)施例的定位組件的工作示意圖。
具體實(shí)施方式
為了能夠更清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說明。
請(qǐng)參閱圖1-2所示，本發(fā)明的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置包括圓形托盤1、至少 三滑塊2和至少三定位組件3，所述圓形托盤1上徑向設(shè)置有至少三刻度4，所述圓形托盤l 上沿所述刻度4開有滑槽5,所述滑塊2可移動(dòng)限位在所述滑槽5中，所述滑塊2中至少設(shè) 置一所述定位組件3,所述定位組件3部分凸出所述圓形托盤1 。
較佳地，所述定位組件3包括定位件31和彈性件32,所述定位件31可伸縮限位在所述 滑塊2中且部分凸出所述圓形托盤1,所述彈性件32位于所述滑塊2中并分別抵靠所述滑塊 2和所述定位件31。在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施中，所述定位件31是定位栓，所述彈性件 32是彈簧?？梢允苟ㄎ凰軌嚎s進(jìn)滑塊2內(nèi)，壓力環(huán)IO卡住在定位栓外側(cè)，以固定位置。
較佳地，所述刻度4均勻分布在所述圓形托盤1上。更佳地，所述刻度4的數(shù)目為3,所述刻度4兩兩之間的夾角為120° 。
較佳地，所述化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置還包括至少三定位直尺6,所述定位 直尺6徑向設(shè)置在所述圓形托盤1上，所述刻度4設(shè)置在所述定位直尺6上通過所述定位直 尺6間接設(shè)置在所述圓形托盤1上，所述滑槽5沿所述定位直尺6設(shè)置。
更佳地，所述定位直尺6均勻分布在所述圓形托盤1上。在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施中， 所述定位直尺6的數(shù)目是3,所述定位直尺6兩兩之間的夾角為120° 。
較佳地，所述圓形托盤1上設(shè)置有至少一同心圓環(huán)線。在本實(shí)用新型的一具體實(shí)施中， 所述圓形托盤1上設(shè)置有16圈同心圓環(huán)線。
使用本實(shí)用新型安裝壓力環(huán)10時(shí)，當(dāng)壓力環(huán)10尺寸確定時(shí)，將壓力環(huán)10放置在圓形托 盤1相應(yīng)的同心圓刻線位置，并移動(dòng)滑塊2，使定位栓卡住壓力環(huán)10內(nèi)側(cè)，滑塊2的位置可 以由定位直尺6讀出，保證各定位直尺6上讀數(shù)一致來保證壓力環(huán)10安裝時(shí)嚴(yán)格同心，再把 固定好壓力環(huán)10的安裝裝置對(duì)準(zhǔn)拋光頭，使用拋光頭壓緊壓力環(huán)10,這樣壓力環(huán)IO就完全 同心的安裝在拋光頭上了。
綜上，本實(shí)用新型的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置設(shè)計(jì)巧妙，能精確定位安裝壓 力環(huán)，同時(shí)具有方便快捷、易于實(shí)施的特點(diǎn)。
在此說明書中，本實(shí)用新型已參照其特定的實(shí)施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出 各種修改和變換而不背離本實(shí)用新型的精神和范圍。因此，說明書和附圖應(yīng)被認(rèn)為是說明性 的而非限制性的。
權(quán)利要求1.一種化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，包括圓形托盤，其特征在于，所述化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置還包括至少三滑塊和至少三定位組件，所述圓形托盤上徑向設(shè)置有至少三刻度，所述圓形托盤上沿所述刻度開有滑槽，所述滑塊可移動(dòng)限位在對(duì)應(yīng)的所述滑槽中，所述滑塊中至少設(shè)置一所述定位組件，所述定位組件部分凸出所述圓形托盤。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述定位組件 包括定位件和彈性件，所述定位件可伸縮限位在所述滑塊中且部分凸出所述圓形托盤，所 述彈性件位于所述滑塊中并分別抵靠所述滑塊和所述定位件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述定位件是 定位栓，所述彈性件是彈簧。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述刻度均勻 分布在所述圓形托盤上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述刻度的數(shù) 目為3,所述刻度兩兩之間的夾角為120。。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述化學(xué)機(jī)械 研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置還包括至少三定位直尺，所述定位直尺徑向設(shè)置在所述圓形托 盤上，所述刻度設(shè)置在所述定位直尺上通過所述定位直尺間接設(shè)置在所述圓形托盤上，所 述滑槽沿所述定位直尺設(shè)置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述定位直尺 均勻分布在所述圓形托盤上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述定位直尺 的數(shù)目是3，所述定位直尺兩兩之間的夾角為120。。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述圓形托盤 上設(shè)置有至少 一 同心圓環(huán)線。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，其特征在于，所述圓形托盤 上設(shè)置有16圈同心圓環(huán)線。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨拋光頭壓力環(huán)安裝裝置，包括圓形托盤、至少三滑塊和至少三定位彈性組件，圓形托盤上徑向設(shè)置有至少三刻度，圓形托盤上沿刻度開有滑槽，滑塊可移動(dòng)限位在滑槽中，滑塊中至少設(shè)置一定位組件，定位組件部分凸出圓形托盤，較佳地，定位組件包括定位件和彈性件，定位件可伸縮限位在滑塊中且部分凸出圓形托盤，彈性件位于滑塊中并分別抵靠滑塊和定位件，刻度均勻分布在圓形托盤上，安裝裝置還包括至少三定位直尺，定位直尺徑向設(shè)置在圓形托盤上，刻度設(shè)置在定位直尺上，滑槽沿定位直尺設(shè)置，圓形托盤上設(shè)置有至少一同心圓環(huán)線，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)巧妙，能精確定位安裝壓力環(huán)，同時(shí)具有方便快捷、易于實(shí)施的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)B24B37/04GK201405260SQ200920073078
公開日2010年2月17日 申請(qǐng)日期2009年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月27日
發(fā)明者任紅州, 余圖斌, 飛 冒, 周哲人, 夏明龍 申請(qǐng)人:上海申和熱磁電子有限公司