三膜系層6均是通過濺鍍交替沉積的方式附著在玻璃基板I上的，其中第一膜系層2與玻璃基板I接觸，第一增透膜層3位于第一膜系層2和第二膜系層4之間，第二增透膜層5位于第二膜系層4和第三膜系層6之間。第一膜系層2的結(jié)構(gòu)為LHLH，第二膜系層4的結(jié)構(gòu)為LHL，第三膜系層6的結(jié)構(gòu)為HLHL，其中H表示Ti02層、L層為Si02層，第一增透膜層3包括兩層MgF2膜層31和一層S1J莫層32，S1 J莫層32位于兩層MgF 2膜層31之間，第二增透膜層5包括兩層MgF2膜層51和一層S1 2膜層52，S1 2膜層52位于兩層MgF 2膜層51之間。
[0019]作為一種【具體實施方式】，該濾光片的第一膜系層2中，第I層Si02層21的厚度為45nm，第I層Ti02層22的厚度為87nm，第2層Si02層21的厚度為22nm，第2層Ti02層22的厚度為127nm(按圖中由下向上方向)。在第二膜系層4中，第I層Si02層42的厚度為92nm，第I層Ti02層41的厚度為43nm，第2層Si02層42的厚度為32nm(按圖中由下向上方向)。在第三膜系層6中，第I層Ti02層61的厚度為83nm，第I層Si02層62的厚度為55nm，第2層Ti02層61的厚度為48nm，第2層Si02層62的厚度為65nm (按圖中由下向上方向)。第一增透膜層3的第I層MgF2膜層厚度為32nm，Si02膜層厚度為73nm，第2層MgFJ莫層厚度為79nm(按圖中由下向上方向)。第二增透膜層3的第I層MgF2膜層厚度為43nm，Si02膜層厚度為65nm，第2層MgF2膜層厚度為54nm(按圖中由下向上方向)
[0020]采用該實施例濾光片在使用過程中，第三膜系層6會對1300-1560nm波長的光高透射，而對其與波長的光高反射，當1300-1400nm波長的光經(jīng)過第二增透膜層5時，可使反射光與透射光的能量重新分配，使反射光的能量進步一步減小，透射光的能量進一步增大，當光經(jīng)過第二膜系層4可使波長低于1320nm光及波長高于1380nm的光高透射而其余波長的光高反射，當光經(jīng)過第一增透膜層3時，可使反射光與透射光的能量重新分配，使反射光的能量進步一步減小，當光經(jīng)過第一膜系層2時，第一膜系層2可使波長低于1400nm和高于1540nm的光高透射而使其他波長的光高反射，這樣光經(jīng)過該濾光片就可對波長為1310nm、1390nm、1550nm的光形成高透光率(如圖2所示)。
[0021]該三波段濾光片結(jié)構(gòu)在第一膜系層和第二膜系層之間增加了第一增透膜層，在第二增透層和第三增透層之間增加了第二增透膜層，通過增加增透膜層可使反射光與透射光的能量重新分配，同時光經(jīng)過第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層時就會有選擇性的使合適波長的光通過，而其余波長的光則會全部反射，采用這種結(jié)構(gòu)的濾光片能夠使三種波長的光同時通過，因此可多光源共用一個窗口，可有效減小光通信系統(tǒng)的體積，節(jié)約成本。
[0022]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，在本說明書的描述中，具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。因此本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)，本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
【主權(quán)項】
1.一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，包括一玻璃基板，其特征在于:所述玻璃基板上設(shè)有第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層，所述第一膜系層與所述玻璃基板接觸，所述第一膜系層的結(jié)構(gòu)為LHLH，所述第二膜系層的結(jié)構(gòu)為LHL，所述第三膜系層的結(jié)構(gòu)為HLHL，其中H表示T1Jl、L層為S1 2層，所述第一膜層與第二膜層之間還設(shè)有第一增透膜層，所述第一增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層S1 2膜層，所述S1 2膜層位于兩層MgF 2膜層之間，所述第二膜層與第三膜層之間設(shè)有第二增透膜層，所述第二增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層S1 2膜層，所述S12膜層位于兩層MgF 2膜層之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第一增透膜層的第一層MgF2膜層厚度為32nm，S1 2膜層厚度為73nm，第二層MgF 2膜層厚度為79nm?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第二增透膜層的第一層MgF2膜層厚度為43nm，S12膜層厚度為65nm，第二層MgF 2膜層厚度為54nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:第一膜系層中各層厚度依次為 45nm、87nm、22nm、127nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第二膜系層中各層厚度依次為92nm、43nm、32nm0
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第三膜系層中各層厚度依次為 83nm、55nm、48nm、65nm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任意一項權(quán)利要求所述的一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述玻璃基板的厚度為0.145mm或0.21mm。
【專利摘要】本實用新型公開了一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，包括一玻璃基板，玻璃基板上設(shè)有第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層，第一膜系層與所述玻璃基板接觸，第一膜層與第二膜層之間還設(shè)有第一增透膜層，第二膜層與第三膜層之間設(shè)有第二增透膜層。該三波段濾光片結(jié)構(gòu)在第一膜系層和第二膜系層之間增加了第一增透膜層，在第二增透層和第三增透層之間增加了第二增透膜層，通過增加增透膜層可使反射光與透射光的能量重新分配，同時光經(jīng)過第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層時就會有選擇性的使合適波長的光通過，而其余波長的光則會全部反射，采用這種結(jié)構(gòu)的濾光片能夠使三種波長的光同時通過，因此可多光源共用一個窗口，可有效減小光通信系統(tǒng)的體積，節(jié)約成本。
【IPC分類】G02B5-26
【公開號】CN204462437
【申請?zhí)枴緾N201520149836
【發(fā)明人】王喜昌
【申請人】蘇州鼎旺科技有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年3月17日