一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光學(xué)器件領(lǐng)域，特別涉及一種用于通信領(lǐng)域的濾光片結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]光通信是指以光作為信息載體而實現(xiàn)的通信方式，按傳輸介質(zhì)的不同可分為大氣激光通信和光纖通信兩種。光通信具有通信容量大、傳輸距離長、抗電磁干擾、傳輸質(zhì)量佳、信號串?dāng)_小、保密性好等優(yōu)點，是未來傳輸網(wǎng)絡(luò)發(fā)展的最終目標(biāo)，具有非常廣闊的市場前景。在光通信產(chǎn)品的雙向收發(fā)器模塊中，通過選定波長的雷射訊號，而反射不需要的波段通常采用濾光片(edge filters)實現(xiàn)，可以說濾光片在光通信產(chǎn)品中起著致關(guān)重要的作用。隨著空間技術(shù)和光學(xué)器件的迅速發(fā)展，紅外光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用越來越受到重視，光信號信號必須經(jīng)過濾光片、防護窗口等進行時間和空間的濾波，這就要求光在通過濾光片時其輻射量須盡可能的以最大值傳輸，這樣就需要根據(jù)不同的要求在光學(xué)元件上鍍制滿足要求的薄膜。
[0003]在光通信領(lǐng)域中，O度入射時，常用的是1310nm、1390nm和1550nm這三個波長，因為光在這個波長處的吸收較小，因此他在光纖中的傳輸距離最遠(yuǎn)。在現(xiàn)有技術(shù)中，幾乎所有的濾光片往往只能允許一個波長的光通過，而另外兩個波長的光不能通過。如中國實用新型專利(專利號:201220457637.X)就公開了一種SWPF光通信濾光片元件，包括基板和層疊于基板上的多個Ta205膜層和多個低折射率膜層，多個Ta205膜層和多個Si02膜層依次交替設(shè)置；Ta205膜層為21層，Si02膜層為21層。該SWPF光通信濾光片具有高透光率，且只讓波長為1310nm的光通過，選擇性強。然而在濾光片的實際使用過程中，有時需要多光源共用一個窗口的措施，來減小光通信系統(tǒng)的體積，因此有必要設(shè)計一種新的濾光片，使其能同時通過兩種或兩種以上的不同波長的光。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的實施例提供了一種能使1310nm、1390nm和1550三種波長的光同時通過的濾光片。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案:一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，包括一玻璃基板，所述玻璃基板上設(shè)有第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層，所述第一膜系層與所述玻璃基板接觸，所述第一膜系層的結(jié)構(gòu)為LHLH，所述第二膜系層的結(jié)構(gòu)為LHL,所述第三膜系層的結(jié)構(gòu)為HLHL，其中H表示Ti02層、L層為Si02層所述第一膜層與第二膜層之間還設(shè)有第一增透膜層，所述第一增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層S1 2膜層，所述S1J莫層位于兩層MgF J莫層之間，所述第二膜層與第三膜層之間設(shè)有第二增透膜層，所述第二增透膜層包括兩層MgF2膜層和一層S1 2膜層，所述S1 2膜層位于兩層MgF 2膜層之間。
[0006]優(yōu)選地，所述第一增透膜層的第一層MgF2膜層厚度為32nm，Si02膜層厚度為73nm，第二層MgF2膜層厚度為79nm。
[0007]優(yōu)選地，所述第二增透膜層的第一層MgF2膜層厚度為43nm，Si02膜層厚度為65nm，第二層MgF2膜層厚度為54nm。
[0008]優(yōu)選地，第一膜系層中各層厚度依次為45nm、87nm、22nm、127nm。
[0009]優(yōu)選地，所述第二膜系層中各層厚度依次為92nm、43nm、32nm。
[0010]優(yōu)選地，所述第三膜系層中各層厚度依次為83nm、55nm、48nm、65nm。
[0011]優(yōu)選地，所述玻璃基板的厚度為0.145mm或0.21mm。
[0012]本實用新型實施例提供的三波段濾光片結(jié)構(gòu)具有如下有益效果:該三波段濾光片結(jié)構(gòu)在第一膜系層和第二膜系層之間增加了第一增透膜層，在第二增透層和第三增透層之間增加了第二增透膜層，通過增加增透膜層可使反射光與透射光的能量重新分配，同時光經(jīng)過第一膜系層、第二膜系層和第三膜系層時就會有選擇性的使合適波長的光通過，而其余波長的光則會全部反射，采用這種結(jié)構(gòu)的濾光片能夠使三種波長的光同時通過，因此可多光源共用一個窗口，可有效減小光通信系統(tǒng)的體積，節(jié)約成本。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為本實用新型實施例透光率特性圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型實施例進行詳細(xì)描述。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0017]術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
[0018]如圖1所示，本專利技術(shù)方案公開了一種三波段濾光片結(jié)構(gòu)，該濾光片結(jié)構(gòu)包括一玻璃基板1，玻璃基板I可選用0.145mm或0.21_厚度的玻璃基板。在玻璃基板I上由下向上依次設(shè)有第一膜系層2、第一增透膜層3、第二膜系層4、第二增透膜層5及第三膜系層6，第一膜系層2、第一增透膜層3、第二膜系層4、第二增透膜層5及第