一種體感濾光片的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001] 本實用新型設及光學薄膜技術(shù)，特別設及一種體感濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002] 隨著光學攝影技術(shù)和各種智能終端設備的大量應用，人機互動成為人們工作和學 習的一種新的形式，就是采用一個攝像機對人體或者人體的某一特殊器官進行立體探測， 運種立體探測則需要一個截止區(qū)域在300nm-1100nm、平均透過率小于0. 1%、中屯、波長在 866nm、峰值半寬度在13nm±3nm、透過率大于95%的體感濾光片，要求十分嚴格。 【實用新型內(nèi)容】
[0003] 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種50%寬度大于13皿，90%的寬度大 于10皿，10 %的寬度小于15皿的截止區(qū)域透過率小于0. 1 %的濾光片，W滿足人機互動立 體探測要求。
[0004] 為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下： 陽〇化]一種體感濾光片，包括：
[0006] 白板玻璃材質(zhì)的基板，W交替的二氧化鐵和二氧化娃為鍛膜材料的第一鍛膜層、 及W交替的二氧化鐵和二氧化娃為鍛膜材料的第二鍛膜層，所述基板位于所述第一鍛膜層 和第二鍛膜層之間；
[0007] 所述第一鍛膜層由內(nèi)而外依次由二氧化鐵層與二氧化娃層交替沉積共66層，其 中包括33層二氧化鐵層與33層二氧化娃層，即最內(nèi)層為二氧化鐵層直接沉積在所述基板 的一側(cè)表面，最外層為二氧化娃層；所述第二鍛膜層由內(nèi)而外依次由二氧化鐵層與二氧化 娃層交替沉積共80層，其中包括40層二氧化鐵層與40層二氧化娃層，即最內(nèi)層為二氧化 鐵層并直接沉積在所述基板的另一側(cè)表面，最外層為二氧化娃層。
[0008] 其中，所述基板的材質(zhì)為白板玻璃，大小為(64. 1mm，厚度小于2mm，面形精度小于 2A，平行度小于3'，光潔度優(yōu)于60/40。
[0009] 其中，所述第一鍛膜層由內(nèi)而外交替的二氧化鐵層與二氧化娃層厚度依次為：二 氧化鐵層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鐵層90. 69nm，二氧化娃層282. 12nm，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層181. 38皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層362. 75皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧 化鏡層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧 化鏡層181. 38nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧 化鏡層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化 鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰； 層90. 69nm，二氧化娃層282. 12nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層 90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鑰:層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，共66層D
[0010] 其中，所述第二饌膜層由內(nèi)而外交替的二氧化鑰;層與二氧化娃層厚度依次為：二 氧化鏡層29. 18nm，二氧化娃層85. 5nm，二氧化鑰:層48. 45nm，二氧化娃層73. 04nm，二氧 化鑰;層42. 9nm，二氧化娃層70. 19nm，二氧化鑰:層44. 72nm，二氧化娃層72. 29nm，二氧化 鑰:層41. 26nm，二氧化娃層65. 97nm，二氧化鑰:層43. 54nm，二氧化娃層71. 74nm，二氧化 鑰:層37. 75nm，二氧化娃層65. 95nm，二氧化鑰:層46. 87nm，二氧化娃層75. 27nm，二氧化 鑰:層42. 87nm，二氧化娃層85. 31nm，二氧化鑰:層44. 33nm，二氧化娃層80. 68nm，二氧化鑰； 層48. 63nm，二氧化娃層90. 21nm，二氧化鑰:層59. 08nm，二氧化娃層92. 25nm，二氧化鑰； 層53. 67nm，二氧化娃層88. 72nm，二氧化鑰:層54. 26nm，二氧化娃層91. 93nm，二氧化鑰； 層59. 67nm，二氧化娃層91. 88nm，二氧化鑰:層55. 88nm，二氧化娃層94. 87nm，二氧化鑰； 層63. 18nm，二氧化娃層88. 63nm，二氧化鑰:層43. 97nm，二氧化娃層87. 08nm，二氧化鑰； 層60. 3nm，二氧化娃層112. 62nm，二氧化鑰:層68. 75nm，二氧化娃層68. 75nm，二氧化鑰； 層63. 41nm，二氧化娃層115. 45nm，二氧化鑰:層70. 32nm，二氧化娃層115. 63nm，二氧化 鑰:層71nm，二氧化娃層116. 5nm，二氧化鑰:層77. 97nm，二氧化娃層118. 22nm，二氧化鑰； 層74. 57nm，二氧化娃層113. 18nm，二氧化鑰:層71. 48nm，二氧化娃層113. 47nm，二氧化鑰； 層70. 86nm，二氧化娃層114. 49nm，二氧化鑰:層67. 85nm，二氧化娃層113. 36nm，二氧化鑰； 層76. 2nm，二氧化娃層104. 83nm，二氧化鑰:層86. 48nm，二氧化娃層182. 24nm，二氧化鑰； 層151. 4nm，二氧化娃層171. 84nm，二氧化鑰:層100. 51nm，二氧化娃層169. 55nm，二氧化鑰； 層104. 29nm，二氧化娃層173. 82nm，二氧化鑰:層113. 37nm，二氧化娃層180nm，二氧化鑰:層 109. 43nm，二氧化娃層172. 98nm，二氧化鑰:層106. 91nm，二氧化娃層177. 37nm，二氧化鑰:層 108. 34nm，二氧化娃層174. 28nm，二氧化鑰:層124. 08nm，二氧化娃層162. 7nm，二氧化鑰:層 98. 8nm，二氧化娃層205. 8nm，二氧化鑰:層126. 09nm，二氧化娃層54. 41nm，共80層D
[0011] 通過上述技術(shù)方案，本實用新型提供的一種體感濾光片，其制備方法為：二氧化 鑰:和Si02采用電子束蒸發(fā)和加^離子輔助的形式，溫度為小于35(TC^下，其真空度為 IO3PaW下，蒸發(fā)度知OA/SW內(nèi)，因此獲得的濾光片的中屯、波長為866皿、截止區(qū)域在 SOOnm-1100皿之間、平均透過率小于0. 1 %、峰值半寬度在13皿± 3皿并透過率大于95 %， 可廣泛應用于甜OX游戲機、人機互動游戲等。
【附圖說明】
[0012] 為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需 要使用的附圖作簡單地介紹。
[0013] 圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014] 圖2為本實用新型實施例的透過率測試圖。
【具體實施方式】
[0015] 下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行 清楚、完整地描述。
[0016] 參考圖1，本實用新型提供了一種體感濾光片，包括： 陽017]白板玻璃材質(zhì)的基板1，W交替的二氧化鐵和二氧化娃為鍛膜材料的第一鍛膜層 2、及W交替的二氧化鐵和二氧化娃為鍛膜材料的第二鍛膜層3,基板1位于第一鍛膜層2和 第二鍛膜層3之間；
[0018] 第一鍛膜層2由內(nèi)而外依次由二氧化鐵層與二氧化娃層交替沉積共66層，其中包 括33層二氧化鐵層與33層二氧化娃層，即最內(nèi)層為二氧化鐵層直接沉積在基板1的一側(cè) 表面，最外層為二氧化娃層；第二鍛膜層3由內(nèi)而外依次由二氧化鐵層與二氧化娃層交替 沉積共80層，其中包括40層二氧化鐵層與40層二氧化娃層，即最內(nèi)層為二氧化鐵層并直 接沉積在基板1的另一側(cè)表面，最外層為二氧化娃層。
[0019] 其中，基板1的材質(zhì)為白板玻璃，大小為(64. 1mm，厚度小于2mm，面形精度小于 2A，平行度小于3'，光潔度優(yōu)于60/40。
[0020] 其中，第一鍛膜層2由內(nèi)而外交替的二氧化鐵層與二氧化娃層厚度依次為：二氧 化鐵層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鐵層90. 69nm，二氧化娃層282. 12nm，二氧化 鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化 鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化 鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化 鐵層181. 38皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化 鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化 鐵層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鐵層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層362. 75皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層181. 38皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵層90. 69皿，二氧化娃層141. 06皿，二氧化鐵 層90. 69nm，二氧化娃層282. 12nm，二氧化鐵層90. 69nm，二氧化娃層141. 06nm，二氧化鐵層