光檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發(fā)明涉及具備法布里-珀羅干涉濾光片的光檢測裝置。
【背景技術】
[0002]例如在專利文獻I中記載有現(xiàn)有的光檢測裝置。在該光檢測裝置中，受光元件被配置于支撐基板上。另外，在該光檢測裝置中，法布里-珀羅干涉濾光片通過粘結層被粘結于受光元件之上。在像這樣的光檢測元件中，為了電連接受光元件的鍵合焊墊(bonding pad)被配置于受光元件的上表面。法布里-珀羅干涉濾光片從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向來看在受光元件的上面是從以上所述的鍵合焊墊分開來被配置的。
[0003]現(xiàn)有技術文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本專利申請公開2012-173347號公報

【發(fā)明內容】

[0006]發(fā)明所要解決的技術問題
[0007]然而，在以上所述那樣的光檢測元件中，從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向看有必要將鍵合焊墊配置于法布里-珀羅干涉濾光片的外側。因此，恐怕會妨礙光檢測裝置的小型化。
[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠小型化的光檢測裝置。
[0009]解決技術問題的手段
[0010]本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置的特征在于:具備:配線基板，具有主面；光檢測器，被配置于配線基板的主面上并且與配線基板相電連接;支撐構件，在配線基板的主面上被配置于光檢測器的周圍；法布里-珀羅干涉濾光片，具有光透過區(qū)域并且經(jīng)由支撐構件被配置于配線基板的主面上;支撐構件在光透過區(qū)域的周圍區(qū)域支撐法布里-珀羅干涉濾光片，支撐構件在從光透過區(qū)域中的光的透過方向來看的情況下具有連通周圍區(qū)域的內側和周圍區(qū)域的外側的開口部。
[0011]在該光檢測裝置中，開口部被設置于支撐構件。為此，即使是將被電連接于光檢測器的鍵合焊墊配置于光透過區(qū)域的周圍區(qū)域的情況，能夠以經(jīng)由支撐構件的開口部的形式設置用于電連接該鍵合焊墊和其他元件的配線。由此，就能夠確保對于光檢測器的電連接。因此，在從法布里-珀羅干涉濾光片中的光的透過方向看的情況下，沒有必要將鍵合焊墊配置于法布里-珀羅干涉濾光片的外側。因此，就能夠將光檢測裝置的大小做到與法布里-珀羅干涉濾光片的大小基本相同等。因此，就能夠對光檢測裝置實行小型化。
[0012]在此，本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置進一步具備連接相對于光檢測器或者法布里-珀羅干涉濾光片被電連接的引線(wire)的一端并且相對于光檢測器或者法布里-珀羅干涉濾光片輸入或者輸出電信號的引線連接部，引線連接部的上表面也可以被配置于低于法布里-珀羅干涉濾光片的上表面的位置。根據(jù)該結構，會變得容易進行從法布里-珀羅干涉濾光片或者光檢測器到引線銷針的引線連接。
[0013]另外，引線連接部的上表面也可以被配置于低于支撐構件的上表面的位置。根據(jù)該結構，則會變得容易實行從法布里-珀羅干涉濾光片或者光檢測器到引線銷針的引線連接。
[0014]另外，也可以是，引線連接部包含被電連接于光檢測器的第I引線連接部、被電連接于法布里-珀羅干涉濾光片的第2引線連接部，第I引線連接部與法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第I方向，相對于第2引線連接部與法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第2方向進行交叉。根據(jù)該結構，則能夠防止引線的配置發(fā)生復雜化，并且能夠提高引線鍵合的操作性。
[0015]在此，在本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置中，被電連接于光檢測器的鍵合焊墊的至少一部分也可以被配置于周圍區(qū)域內。根據(jù)該結構，能夠以經(jīng)由支撐構件的開口部的形式設置用于電連接鍵合焊墊和其他元件的配線。由此，就能夠確保對于光檢測器的電連接。因此，與將鍵合焊墊配置于由支撐構件圍起來的區(qū)域之外的情況相比較，為了配置鍵合焊墊的空間將變得不再需要。因此，就能夠對光檢測裝置實行小型化。
[0016]另外，在本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置中，也可以為，法布里-珀羅干涉濾光片具有鍵合焊墊，支撐構件在從透過方向看的情況下被配置于對應于法布里-珀羅干涉濾光片的鍵合焊墊的位置。根據(jù)該結構，在光檢測裝置制造時的引線鍵合工序中，法布里-珀羅干涉濾光片的鍵合焊墊被在對應于該鍵合焊墊的位置設置的支撐構件支撐。因此，能夠提尚引線鍵合性。
[0017]另外，在本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置中，支撐構件在從透過方向看的情況下也可以與法布里-珀羅干涉濾光片的光透過區(qū)域分開。根據(jù)該結構，因為支撐構件與光透過區(qū)域分開，所以在制造光檢測裝置的時候，即使是在被用于粘結部的樹脂等材料從粘結部溢出的情況下，也能夠抑制該樹脂等材料滲透侵入到光透過區(qū)域。
[0018]發(fā)明效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明就能夠提供一種能夠小型化的光檢測裝置。
【附圖說明】
[0020]圖1是實施方式所涉及的光檢測裝置的分解立體圖。
[0021 ]圖2是法布里-珀羅干涉濾光片的截面圖。
[0022]圖3是表示光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0023]圖4是表示延續(xù)圖3的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0024]圖5是表示延續(xù)圖4的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0025]圖6是對應于圖5(B)的側面圖。
[0026]圖7是圖5(B)中的VI1-VII線截面圖以及放大表示其一部分的示意圖。
[0027]圖8是表示延續(xù)圖5的光檢測裝置制造工序的平面圖。
[0028]圖9是表示光檢測裝置的變形例的平面圖。
[0029]圖10是表示光檢測裝置的變形例的平面。
[0030]圖11是表示第I實施方式所涉及的光檢測裝置的變形例的平面。
【具體實施方式】
[0031]以下是參照附圖并就本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式進行詳細說明。還有，在各個附圖中將相同符號標注于相同或者相當部分，并省略重復的說明。
[0032][第I實施方式]
[0033][光譜傳感器]
[0034]如圖1所示，光譜傳感器(光檢測裝置)1具備配線基板2、光檢測器3、多個墊片(支撐構件)4、法布里-珀羅干涉濾光片10。配線基板2具有主面2A。在配線基板2的主面2A上設置有安裝部2a、多個電極焊墊(鍵合焊墊bongding pad)2b以及安裝部2c。在安裝部2a安裝有光檢測器3。在安裝部2c安裝有例如熱敏電阻等溫度補償用元件。電極焊墊2b_l由配線2d而與安裝部2a相電連接。電極焊墊2b_2(不與安裝部2a相電連接的電極焊墊2b_2)由配線2d而與安裝部2c相電連接。另外，電極焊墊2b_2(不與安裝部2a相電連接的電極焊墊2b_2)將被安裝于安裝部2c的熱敏電阻等與光譜傳感器I的外部相電連接。光檢測器3例如是紅外線檢測器。對于該紅外線檢測器來說可以列舉使用了 InGaAs等的量子型傳感器、或使用了溫差電堆(thermopile)或者福射熱測量計(bo 1meter)等的熱型傳感器。還有，在檢測紫外(UV)、可見、近紅外各個區(qū)域的情況下，作為光檢測器3能夠使用硅光電二極管等。
[0035]多個墊片4被固定于配線基板2的主面2A上。法布里-珀羅干涉濾光片10被固定于多個墊片4上。就這樣多個墊片4支撐法布里-珀羅干涉濾光片10。另外，法布里-珀羅干涉濾光片10被配置于配線基板2的主面2A上。此時，為了抑制對法布里-珀羅干涉濾光片10的熱應變影響，多個墊片4以及法布里-珀羅干涉濾光片10優(yōu)選由粘結部來進行固定。粘結部是由具有可撓性的樹脂材料構成。作為構成粘結部的樹脂材料例如可以使用硅酮類、聚氨脂類、環(huán)氧類、丙烯酸類、混合樹脂等各種樹脂材料。作為樹脂材料優(yōu)選使用彈性模量(或者楊氏模量)為0.1GPa以下的材料。再有，該樹脂材料最好是選自室溫固化或者低溫固化的樹脂。
[0036]在此，作為粘結墊片4和法布里-珀羅干涉濾光片10的粘結劑的芯片鍵合樹脂5其固化后的硬度比粘結墊片4和配線基板2的粘結劑來得軟。例如，墊片4與法布里-珀羅干涉濾光片10的固定適宜用由固化后的彈性模量為小于1MPa的硅酮類樹脂材料構成的粘結劑來實行。另外，墊片4與配線基板2的固定適宜用由固化后的彈性模量為10MPa以上的環(huán)氧類的樹脂材料構成的粘結劑來實行。由此，一方面墊片4與配線基板2的固定被牢固地實行，另一方面能夠抑制來自法布里-珀羅干涉濾光片10周邊構件的熱應變通過粘結劑被傳遞到法布里-珀羅干涉濾光片10。
[0037]另外，作為多個墊片4的材料例如能夠使用硅、