Ela激光晶化裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種ELA激光晶化裝置，所述ELA激光晶化裝置包括：轉(zhuǎn)盤裝置及激光管；其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片；通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置，能夠使得所述轉(zhuǎn)盤裝置上不同的鏡片位于所述激光管的端口，由此，當需要換下臟污的鏡片時，只要轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置即可，從而便可方便、快速的實現(xiàn)臟污鏡片的更換；此外，由于替換上的干凈的鏡片均已事先固定好，從而也可避免或者降低出錯的問題。
【專利說明】
ELA激光晶化裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及顯示器制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種ELA激光晶化裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，人們對顯示畫質(zhì)的需求日益增長，高畫質(zhì)、高分辨率的平板顯示裝置的需求越來越普遍，也越來越得到顯示面板廠家的重視。
[0003]薄膜晶體管(Thin Film Transistor，簡稱TFT)是平板顯示面板的主要驅(qū)動器件，直接關(guān)系到高性能平板顯示裝置的發(fā)展方向。薄膜晶體管具有多種結(jié)構(gòu)，制備相應(yīng)結(jié)構(gòu)的薄膜晶體管的材料也具有多種，例如:非晶硅和多晶硅都是目前常用的薄膜晶體管制備材料。然而，非晶硅本身存在很多無法避免的缺點，比如:低迀移率、低穩(wěn)定性等;與此相比，低溫多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，簡稱LTPS)具有較高的迀移率及穩(wěn)定性，其迀移率可達非晶硅的幾十甚至幾百倍。因此，采用低溫多晶硅材料形成薄膜晶體管的技術(shù)得到了迅速發(fā)展，由LTPS衍生的新一代液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display，簡稱LCD)或有機電致發(fā)光顯示裝置(Organic Light-Emitting D1de，簡稱0LED)成為重要的顯示技術(shù)，尤其是OLED顯示裝置，由于OLED具有超薄、低功耗、同時自身發(fā)光等特點，備受用戶的青睞。
[0004]目前，主要使用ELA(ExcimerLaser Annealing，準分子激光熱處理法)激光晶化裝置實現(xiàn)低溫多晶硅的制造。所述ELA激光晶化裝置主要包括激光管，所述激光管兩端通過鏡片密封。如圖1所示，其中，所述鏡片12固定于鏡片底座11上，所述鏡片底座11固定于抽拉裝置10上。
[0005]在ELA激光晶化裝置的使用過程中，需要進行定期保養(yǎng)，其中一個項目就是用干凈的鏡片換上臟污的鏡片。目前主要有兩種方式實現(xiàn)臟污鏡片的替換，一種方式是用新的(干凈的)鏡片替換下臟污的鏡片；另一種方式是將臟污的鏡片取下，擦拭干凈后再次換上。兩種方式都需要將抽拉裝置拉出來，然后將鏡片底座上的臟污鏡片取下，接著將干凈的鏡片固定到鏡片底座上，再將抽拉裝置推進去，使得鏡片位于激光管的兩端。這一保養(yǎng)過程需時比較長，且這一操作是由人工完成的，容易出錯。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型的目的在于提供一種ELA激光晶化裝置，以解決現(xiàn)有的ELA激光晶化裝置保養(yǎng)過程需時比較長且容易出錯的問題。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種ELA激光晶化裝置，所述ELA激光晶化裝置包括:轉(zhuǎn)盤裝置及激光管;其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片;通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置，能夠使得所述轉(zhuǎn)盤裝置上不同的鏡片位于所述激光管的端口。
[0008]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，多個鏡片底座均勻的分布于所述轉(zhuǎn)盤裝置上。
[0009]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述轉(zhuǎn)盤裝置的數(shù)量為兩個，每個轉(zhuǎn)盤裝置上均固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片。
[0010]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，兩個所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定的鏡片底座的數(shù)量相同。
[0011 ]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述ELA激光晶化裝置還包括兩個驅(qū)動裝置，每個驅(qū)動裝置分別與一個轉(zhuǎn)盤裝置連接，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤裝置轉(zhuǎn)動。
[0012]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述ELA激光晶化裝置還包括控制器，所述控制器控制所述驅(qū)動裝置工作。
[0013]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述控制器同時控制兩個驅(qū)動裝置工作。
[0014]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述控制器分開控制兩個驅(qū)動裝置工作。
[0015]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述控制器定時控制所述驅(qū)動裝置工作。
[0016]可選的，在所述的ELA激光晶化裝置中，所述控制器上設(shè)置有開關(guān)按鈕，通過按壓所述開關(guān)按鈕，所述控制器控制所述驅(qū)動裝置工作。
[0017]在本實用新型提供的ELA激光晶化裝置中，所述ELA激光晶化裝置包括:轉(zhuǎn)盤裝置及激光管；其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片;通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置，能夠使得所述轉(zhuǎn)盤裝置上不同的鏡片位于所述激光管的端口，由此，當需要換下臟污的鏡片時，只要轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置即可，從而便可方便、快速的實現(xiàn)臟污鏡片的更換;此外，由于替換上的干凈的鏡片均已事先固定好，從而也可避免或者降低出錯的問題。
【附圖說明】
[0018]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的ELA激光晶化裝置中的抽拉裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實用新型實施例的ELA激光晶化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本實用新型實施例的轉(zhuǎn)盤裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的ELA激光晶化裝置作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0022]首先，請參考圖2和圖3，其中，圖2為本實用新型實施例的ELA激光晶化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為本實用新型實施例的轉(zhuǎn)盤裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2和圖3所示，在本申請實施例中，所述ELA激光晶化裝置2包括:轉(zhuǎn)盤裝置20及激光管23;其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置20上固定有多個鏡片底座21，每個鏡片底座21上均固定有一片鏡片22(圖3中僅示意性的畫出了一片鏡片22)。
[0023]由此，當需要換下臟污的鏡片22時，只要轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置20即可，從而便可方便、快速的實現(xiàn)臟污鏡片22的更換，即將所述轉(zhuǎn)盤裝置20上的干凈鏡片22替換臟污鏡片22;此外，由于替換上的干凈的鏡片22均已事先固定好，從而也可避免或者降低出錯的問題。
[0024]在本申請實施例中，可以待所述轉(zhuǎn)盤裝置20上的多個鏡片22均臟污后，再將所述轉(zhuǎn)盤裝置20上所有的臟污鏡片22—起卸下來進行更換。易知的，相對于每隔一段時間對一個鏡片進行更換而言，由于規(guī)?；?yīng)，多個鏡片同時進行更換能夠得到更高的效率、更好的質(zhì)量。
[0025]請繼續(xù)參考圖3，在本申請實施例中，多個鏡片底座21均勻的分布于所述轉(zhuǎn)盤裝置20上，即每個鏡片底座21至所述轉(zhuǎn)盤裝置20的中心的距離相同、并且相鄰兩個鏡片底座21之間的間隔距離相同。由此，每次通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置20實現(xiàn)臟污鏡片22的更換時，所需轉(zhuǎn)動的角度相同，從而簡化了操作。
[0026]進一步的，如圖2和圖3所示，所述轉(zhuǎn)盤裝置20的數(shù)量為兩個，每個所述轉(zhuǎn)盤裝置20上均固定有多個鏡片底座21，每個鏡片底座21上均固定有一片鏡片22。其中，兩個轉(zhuǎn)盤裝置20分別位于所述激光管23的兩端，通過轉(zhuǎn)動兩個所述轉(zhuǎn)盤裝置20，能夠使得每個轉(zhuǎn)盤裝置20上不同的鏡片22分別位于所述激光管23的兩個端口，即通過兩個所述轉(zhuǎn)盤裝置20上的鏡片22實現(xiàn)對于所述激光管23兩個端口的密封。
[0027]在本申請實施例中，每個轉(zhuǎn)盤裝置20上固定的鏡片底座21的數(shù)量相同，也即每個轉(zhuǎn)盤裝置20上的鏡片22的數(shù)量相同。在本申請的其他實施例中，每個轉(zhuǎn)盤裝置20上固定的鏡片底座21的數(shù)量也可以不相同。
[0028]請繼續(xù)參考圖2或圖3，在本申請實施例中，所述ELA激光晶化裝置2還包括兩個驅(qū)動裝置24，每個驅(qū)動裝置24分別與一個轉(zhuǎn)盤裝置20連接，所述驅(qū)動裝置24驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動。即，在本申請實施例中，通過驅(qū)動裝置24的驅(qū)動來實現(xiàn)所述轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動一定角度，從而實現(xiàn)臟污鏡片22的替換。由此避免了人工轉(zhuǎn)動可能帶來的誤差，從而進一步提高臟污鏡片22更換的可靠性與效率。
[0029]進一步的，所述ELA激光晶化裝置2還可包括控制器(圖2或圖3中未示出)，所述控制器控制所述驅(qū)動裝置24工作。即，在此可通過所述控制器控制所述驅(qū)動裝置24驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動。
[0030]在本申請實施例中，所述控制器同時控制兩個驅(qū)動裝置24工作。即，在所述控制器的控制下，兩個驅(qū)動裝置24同時實現(xiàn)驅(qū)動兩個轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動(即一個驅(qū)動裝置24驅(qū)動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤裝置20的同時，另一個驅(qū)動裝置24也驅(qū)動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤裝置20)，也即兩個轉(zhuǎn)盤裝置20上的鏡片22同時通過所述轉(zhuǎn)盤裝置20的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)更換。在本申請實施例中，每個轉(zhuǎn)盤裝置20上的鏡片22數(shù)量相同，兩個轉(zhuǎn)盤裝置20又同步進行轉(zhuǎn)動，兩個轉(zhuǎn)盤裝置20上的臟污鏡片22同步進行更換，由此，兩個轉(zhuǎn)盤裝置20上的干凈鏡片22將同時被用完，從而可對兩個轉(zhuǎn)盤裝置20上的所有鏡片22同時通過卸下來進行更換。由此可進一步提高更換的效率與質(zhì)量。
[0031]在本申請的其他實施例中，所述控制器也可分開控制兩個驅(qū)動裝置24工作。即其中一個驅(qū)動裝置24驅(qū)動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動時，另一個驅(qū)動裝置24可不驅(qū)動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動。如此，可以使得控制更加精細化，當其中一個轉(zhuǎn)盤裝置20上正在使用的鏡片22沒有臟污時，也可不必進行更換。
[0032]進一步的，所述控制器定時控制每個驅(qū)動裝置24工作，這一所設(shè)定的時間可以是進行定期保養(yǎng)的周期。由此可以避免人工監(jiān)控鏡片22的臟污情況，從而解放人力，降低成本。
[0033]此外，所述控制器上可以設(shè)置有開關(guān)按鈕(圖2或圖3中未示出)，通過按壓所述開關(guān)按鈕，所述控制器控制每個驅(qū)動裝置24工作。例如，所述控制器同時控制兩個驅(qū)動裝置24工作，則所述控制器上可以設(shè)置一個開關(guān)按鈕，通過按壓所述開關(guān)按鈕，兩個驅(qū)動裝置24同時實現(xiàn)驅(qū)動兩個轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動，即兩個轉(zhuǎn)盤裝置20上的鏡片22同時通過所述轉(zhuǎn)盤裝置20的轉(zhuǎn)動實現(xiàn)更換;又如，所述控制器分開控制兩個驅(qū)動裝置24工作，則所述控制器上可以設(shè)置兩個開關(guān)按鈕，兩個開關(guān)按鈕分別對應(yīng)兩個驅(qū)動裝置24，通過按壓一個開關(guān)按鈕，與其對應(yīng)的一個驅(qū)動裝置24驅(qū)動對應(yīng)的轉(zhuǎn)盤裝置20轉(zhuǎn)動。即通過人工決定鏡片22的更換時間，由此可以使得更換更加及時與準確，從而使得所述ELA激光晶化裝置2—直處于較佳的工作狀
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[0034]綜上可見，在本實用新型實施例提供的ELA激光晶化裝置中，所述ELA激光晶化裝置包括:轉(zhuǎn)盤裝置及激光管;其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片;通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置，能夠使得所述轉(zhuǎn)盤裝置上不同的鏡片位于所述激光管的端口，由此，當需要換下臟污的鏡片時，只要轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置即可，從而便可方便、快速的實現(xiàn)臟污鏡片的更換;此外，由于替換上的干凈的鏡片均已事先固定好，從而也可避免或者降低出錯的問題。
[0035]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述ELA激光晶化裝置包括:轉(zhuǎn)盤裝置及激光管；其中，所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片;通過轉(zhuǎn)動所述轉(zhuǎn)盤裝置，能夠使得所述轉(zhuǎn)盤裝置上不同的鏡片位于所述激光管的端口。2.如權(quán)利要求1所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，多個鏡片底座均勻的分布于所述轉(zhuǎn)盤裝置上。3.如權(quán)利要求1所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤裝置的數(shù)量為兩個，每個轉(zhuǎn)盤裝置上均固定有多個鏡片底座，每個鏡片底座上均固定有一片鏡片。4.如權(quán)利要求3所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，兩個所述轉(zhuǎn)盤裝置上固定的鏡片底座的數(shù)量相同。5.如權(quán)利要求4所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述ELA激光晶化裝置還包括兩個驅(qū)動裝置，每個驅(qū)動裝置分別與一個轉(zhuǎn)盤裝置連接，所述驅(qū)動裝置驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤裝置轉(zhuǎn)動。6.如權(quán)利要求5所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述ELA激光晶化裝置還包括控制器，所述控制器控制所述驅(qū)動裝置工作。7.如權(quán)利要求6所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述控制器同時控制兩個驅(qū)動裝置工作。8.如權(quán)利要求6所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述控制器分開控制兩個驅(qū)動裝置工作。9.如權(quán)利要求6所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述控制器定時控制所述驅(qū)動裝置工作。10.如權(quán)利要求6所述的ELA激光晶化裝置，其特征在于，所述控制器上設(shè)置有開關(guān)按鈕，通過按壓所述開關(guān)按鈕，所述控制器控制所述驅(qū)動裝置工作。
【文檔編號】H01L21/67GK205680663SQ201620650170
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月27日 公開號201620650170.9, CN 201620650170, CN 205680663 U, CN 205680663U, CN-U-205680663, CN201620650170, CN201620650170.9, CN205680663 U, CN205680663U
【發(fā)明人】王建磊
【申請人】昆山國顯光電有限公司