一種紫外帶通濾光片的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種紫外帶通濾光片，包括基板和膜層，膜層包括依次交替沉積于基板上的高折射率膜層和低折射率膜層，膜層的頂端為高折射率膜層；高折射率膜層的層數(shù)X為16≤X≤20，低折射率膜層的層數(shù)比高折射率膜層少一層；高折射率膜層為TiO2層或Ta2O5層，低折射率膜層為SiO2層。膜層中設(shè)有化學(xué)試劑濾層，化學(xué)試劑濾層設(shè)置在高折射率膜層和在該高折射率膜層上方的低折射率膜層之間。基板為玻璃，基板另一側(cè)設(shè)有薄銀膜層。采用這樣的結(jié)構(gòu)后，紫外帶通濾光片厚度小，占用空間小，光的透過率高，透過率可達(dá)到94%以上，且其環(huán)境穩(wěn)定性好。
【專利說明】
一種紫外帶通濾光片
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光學(xué)薄膜領(lǐng)域，尤其涉及一種紫外帶通濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來紫外光學(xué)發(fā)展迅速，隨著高靈敏度紫外探測器件研制取得的突破，對紫外波段的研究日益廣泛，紫外探測技術(shù)已朝著多波段、全方位的方向發(fā)展，可應(yīng)用于軍事、醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測、空間天文、工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域。在光學(xué)薄膜領(lǐng)域，紫外帶通濾光片是紫外光學(xué)儀器的一種重要的光學(xué)元件，而其中的窄帶濾光片的主要作用是對光進(jìn)行光譜選擇，使需要的光通過，不需要的波長的光則被截止。目前，這種濾光片已經(jīng)應(yīng)用于科研、生產(chǎn)、軍事、國防等各個(gè)領(lǐng)域中。
[0003]但是由于紫外材料的本征吸收，實(shí)現(xiàn)高的透過率對于紫外通帶濾光片來說具有相當(dāng)高的難度。目前，為了提高該濾光片的透過率，使得其工作波長足夠準(zhǔn)確，大多都是在現(xiàn)有濾光片的基礎(chǔ)上增加膜層厚度，其中，高折射率膜層及低折射率膜層疊加后的層數(shù)甚至達(dá)到180?250層，這樣的設(shè)計(jì)不僅占用的空間大，而且其透過率仍未能達(dá)到所期盼的效果，除此之外，該濾光片的環(huán)境穩(wěn)定性差，在一定程度上限制了該濾光片的使用或推廣。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是設(shè)計(jì)一種厚度小、占用空間小、透過率高且環(huán)境穩(wěn)定性好的紫外帶通濾光片，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的占用空間大、透過率低等技術(shù)問題。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的紫外帶通濾光片包括基板和膜層，所述膜層包括依次交替沉積于所述基板上的高折射率膜層和低折射率膜層，所述膜層的頂端為高折射率膜層;高折射率膜層和低折射率膜層依次交替的設(shè)計(jì)不僅大大減小了所述紫外帶通濾光片占用的空間，而且還實(shí)現(xiàn)了不同波長的光的選擇性通過。所述高折射率膜層的層數(shù)X為16彡X < 20，高折射率膜層2的層數(shù)X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜層3的層數(shù)比高折射率膜層2少一層，低折射率膜層3的層數(shù)為15、16、17、18或19;所述高折射率膜層為T i02層或Ta205層，所述低折射率膜層為Si02層。
[0006]進(jìn)一步的，所述膜層中設(shè)有化學(xué)試劑濾層，所述化學(xué)試劑濾層設(shè)置在高折射率膜層和在該高折射率膜層上方的低折射率膜層之間?；瘜W(xué)試劑濾層大大增加了紫外帶通濾光片的截止深度，保證了其工作波長足夠準(zhǔn)確，從而提高了紫外帶通濾光片的透過率，也改善了紫外帶通濾光片的環(huán)境穩(wěn)定性。
[0007]進(jìn)一步的，所述化學(xué)試劑濾層設(shè)置在所述膜層的第m個(gè)高折射率膜層和在該高折射率膜層上方的低折射率膜層之間，所述m為的取值可以是6、7、8或9，以進(jìn)一步增強(qiáng)紫外帶通濾光片的截止深度。
[0008]進(jìn)一步的，所述基板為玻璃。
[0009]進(jìn)一步的，所述基板的厚度為0.12?0.24mm。
[0010]進(jìn)一步的，所述基板另一側(cè)設(shè)有薄銀膜層，置薄銀膜層可以將波長低于250nm的紫外光濾掉，允許波長為255?1265nm的光線通過，大大增強(qiáng)了紫外帶通濾光片的濾光效果和透過率。
[0011]進(jìn)一步的，所述薄銀膜層的厚度為70nm或者llOnm，可大大增強(qiáng)紫外帶通濾光片的濾光效果。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果:采用這樣的結(jié)構(gòu)后，紫外帶通濾光片厚度小，占用空間小，光的透過率高，透過率可達(dá)到94%以上，且其環(huán)境穩(wěn)定性好。
【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做進(jìn)一步闡明。
[0014]圖1為本實(shí)用新型的紫外帶通濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]實(shí)施例1
[0016]結(jié)合圖1，本實(shí)施例的紫外帶通濾光片包括基板I和膜層，所述膜層包括依次交替沉積于所述基板I上的高折射率膜層2和低折射率膜層3，所述膜層的頂端為高折射率膜層2;高折射率膜層2和低折射率膜層3依次交替的設(shè)計(jì)不僅大大減小了所述紫外帶通濾光片占用的空間，而且還實(shí)現(xiàn)了不同波長的光的選擇性通過。所述高折射率膜層2的層數(shù)X為16<X<20，高折射率膜層2的層數(shù)X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜層3的層數(shù)比高折射率膜層2少一層，低折射率膜層3的層數(shù)為15、16、17、18或19;所述高折射率膜層2為T12層或Ta2O5層，所述低折射率膜層3為S12層。
[0017]進(jìn)一步的，所述膜層中設(shè)有化學(xué)試劑濾層4，所述化學(xué)試劑濾層4設(shè)置在高折射率膜層2和在該高折射率膜層2上方的低折射率膜層3之間?；瘜W(xué)試劑濾層4大大增加了紫外帶通濾光片的截止深度，保證了其工作波長足夠準(zhǔn)確，從而提高了紫外帶通濾光片的透過率，也改善了紫外帶通濾光片的環(huán)境穩(wěn)定性。
[0018]進(jìn)一步的，所述化學(xué)試劑濾層4設(shè)置在所述膜層的第m個(gè)高折射率膜層2和在該高折射率膜層2上方的低折射率膜層3之間，所述m為的取值可以是6、7、8或9，以進(jìn)一步增強(qiáng)紫外帶通濾光片的截止深度。
[0019]進(jìn)一步的，所述基板I為玻璃。
[0020]進(jìn)一步的，所述基板I的厚度為0.12?0.24mm。本實(shí)施例優(yōu)選的，基板I的厚度為0.16mm0
[0021]進(jìn)一步的，所述基板I另一側(cè)設(shè)有薄銀膜層5，置薄銀膜層5可以將波長低于250nm的紫外光濾掉，允許波長為255?1265nm的光線通過，大大增強(qiáng)了紫外帶通濾光片的濾光效果和透過率。
[0022]進(jìn)一步的，所述薄銀膜層5的厚度為llOnm，可大大增強(qiáng)紫外帶通濾光片的濾光效果O
[0023]本實(shí)施例的紫外帶通濾光片厚度小，占用空間小，光的透過率高，透過率可達(dá)到94%以上，且其環(huán)境穩(wěn)定性好。
[0024]實(shí)施例2
[0025]結(jié)合圖1，本實(shí)施例的紫外帶通濾光片包括基板I和膜層，所述膜層包括依次交替沉積于所述基板I上的高折射率膜層2和低折射率膜層3，所述膜層的頂端為高折射率膜層2;高折射率膜層2和低折射率膜層3依次交替的設(shè)計(jì)不僅大大減小了所述紫外帶通濾光片占用的空間，而且還實(shí)現(xiàn)了不同波長的光的選擇性通過。所述高折射率膜層2的層數(shù)X為16<X<20，高折射率膜層2的層數(shù)X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜層3的層數(shù)比高折射率膜層2少一層，低折射率膜層3的層數(shù)為15、16、17、18或19;所述高折射率膜層2為T12層或Ta2O5層，所述低折射率膜層3為S12層。
[0026]進(jìn)一步的，所述膜層中設(shè)有化學(xué)試劑濾層4，所述化學(xué)試劑濾層4設(shè)置在高折射率膜層2和在該高折射率膜層2上方的低折射率膜層3之間?；瘜W(xué)試劑濾層4大大增加了紫外帶通濾光片的截止深度，保證了其工作波長足夠準(zhǔn)確，從而提高了紫外帶通濾光片的透過率，也改善了紫外帶通濾光片的環(huán)境穩(wěn)定性。
[0027]進(jìn)一步的，所述化學(xué)試劑濾層4設(shè)置在所述膜層的第m個(gè)高折射率膜層2和在該高折射率膜層2上方的低折射率膜層3之間，所述m為的取值可以是6、7、8或9，以進(jìn)一步增強(qiáng)紫外帶通濾光片的截止深度。
[0028]進(jìn)一步的，所述基板I為玻璃。
[0029]進(jìn)一步的，所述基板I的厚度為0.12?0.24mm。本實(shí)施例優(yōu)選的，基板I的厚度為0.16mm0
[0030]進(jìn)一步的，所述基板I另一側(cè)設(shè)有薄銀膜層5，置薄銀膜層5可以將波長低于250nm的紫外光濾掉，允許波長為255?1265nm的光線通過，大大增強(qiáng)了紫外帶通濾光片的濾光效果和透過率。
[0031]進(jìn)一步的，所述薄銀膜層5的厚度為70nm，可大大增強(qiáng)紫外帶通濾光片的濾光效果。本實(shí)施例與實(shí)施例1相比，70nm厚的薄銀膜層5增強(qiáng)紫外帶通濾光片的濾光效果更加明顯，透光率也更佳。
[0032]本實(shí)施例的紫外帶通濾光片厚度小，占用空間小，光的透過率高，透過率可達(dá)到96%以上，且其環(huán)境穩(wěn)定性好。
[0033]在以上的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是以上描述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本實(shí)用新型不受上面公開的具體實(shí)施的限制。同時(shí)任何熟悉本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實(shí)用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種紫外帶通濾光片，其特征在于，包括基板(I)和膜層，所述膜層包括依次交替沉積于所述基板(I)上的高折射率膜層(2)和低折射率膜層(3)，所述膜層的頂端為高折射率膜層(2);所述高折射率膜層(2)的層數(shù)X為16<X<20，所述低折射率膜層(3)的層數(shù)比高折射率膜層(2)少一層;所述高折射率膜層(2)為T12層或Ta2O5層，所述低折射率膜層(3)為S12 層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述膜層中設(shè)有化學(xué)試劑濾層(4)，所述化學(xué)試劑濾層(4)設(shè)置在高折射率膜層(2)和在該高折射率膜層(2)上方的低折射率膜層(3)之間。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述化學(xué)試劑濾層(4)設(shè)置在所述膜層的第m個(gè)高折射率膜層(2)和在該高折射率膜層(2)上方的低折射率膜層(3)之間，所述m為6<m<9。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述基板(I)為玻璃。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述基板(I)的厚度為0.12?0.24mmo6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述基板(I)另一側(cè)設(shè)有薄銀膜層(5)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的紫外帶通濾光片，其特征在于:所述薄銀膜層(5)的厚度為70nm 或I1nm0
【文檔編號】G02B5/20GK205620568SQ201620332105
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年4月20日
【發(fā)明人】施志玉
【申請人】南京順泰電氣有限公司