專利名稱：：圖案形成材料以及圖案形成裝置及圖案形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種曝光感度、析像度出色的適合于干膜抗蝕劑(dry*film'resist)(DFR)等的圖案形成材料以及具備該圖案形成材料的圖案形成裝置及使用所述圖案形成材料的圖案形成方法。
背景技術(shù)：
：一直以來(lái)，在形成布線圖案等圖案時(shí)，使用的是通過(guò)在支撐體上涂布、干燥感光性樹(shù)脂組合物形成感光層的圖案形成材料。作為所述永久圖案的制造方法，例如在形成所述圖案的鍍銅疊層板等基體上，層疊所述圖案形成材料形成層疊體，對(duì)該層疊體中的所述感光層進(jìn)行曝光，在該曝光后，顯影所述感光層，根據(jù)需要之后通過(guò)進(jìn)行蝕刻處理等形成所述圖案。為了提高貯存穩(wěn)定性或提高析像度，提出了所述圖案形成材料在所述感光性樹(shù)脂組合物中添加酚性羥基、芳香族、雜環(huán)或具有亞氨基等的化合物的阻聚劑(參照專利文獻(xiàn)14)。但是，這種情況下，對(duì)于可以通過(guò)在所述感光性樹(shù)脂組合物(所述感光層)中添加增感劑來(lái)抑制感度的降低，或者高感度的干抗蝕劑膜，均未公開(kāi)。在所述圖案形成材料中的所述感光層中通常含有粘合劑，但著眼于該粘合劑的I/0值(有機(jī)概念圖的無(wú)機(jī)性/有機(jī)性比)，該i/o值在一定的數(shù)值范圍內(nèi)的情況下，對(duì)于析像度及遮蓋性出色而且顯影性也出色方面，沒(méi)有進(jìn)行公開(kāi)。另外，還沒(méi)有著眼于單體的i/o值的提議，對(duì)于通過(guò)該單體I/O值與所述粘合劑I/O的調(diào)節(jié)以及這些比例的調(diào)節(jié)等而使顯影性、析像度出色方面，也沒(méi)有進(jìn)行公開(kāi)。另外，為了使所述圖案形成材料成為高感度，提出了使在圖案形成材料中添加的光聚合引發(fā)劑為高濃度或者添加增感劑等。但是，這種情況下，利用曝光形成的固化膜中的單體聚合度變低，耐顯影液性不充分，顯影時(shí)發(fā)生線寬的收縮，有時(shí)顯影性、析像度降低。特別是與鄰接的線圖案的間隔較寬地孤立的線圖案由于容易受到顯影液的影響，而發(fā)生收縮的趨勢(shì)顯著，難以實(shí)現(xiàn)高析像度。因而，目前尚未提供高感度且顯影性出色的可以得到高析像度的圖案的圖案形成材料以及具備該圖案形成材料的圖案形成裝置及使用所述圖案形成材料的圖案形成方法，期望進(jìn)一步進(jìn)行改良開(kāi)發(fā)。專利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2002—268211號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開(kāi)2003—29399號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特開(kāi)2004—4527號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:特開(kāi)2004—4528號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于這種現(xiàn)狀而提出的，將解決過(guò)去的所述各問(wèn)題而實(shí)現(xiàn)以下目的為課題。即，本發(fā)明的目的在于提供一種高感度而且顯影性出色的、可以得到高析像度和高精細(xì)的圖案的圖案形成材料以及具備該圖案形成材料的圖案形成裝置及使用該圖案形成材料的圖案形成方法。作為解決所述課題的方法，如下所述。艮h<1>一種圖案形成材料，其特征在于，具有支撐體、在該支撐體上至少具有的感光層，該感光層至少含有粘合劑、聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑，該感光層的感度在20mJ/cm2以下，在曝光之后顯影該感光層時(shí)的顯影時(shí)間為1550秒鐘。在該<1>中記載的圖案形成材料中，所述感光層含有所述粘合劑、所述聚合性化合物及所述光聚合引發(fā)劑，該感光層的感度在20mJ/cn^以下，在曝光之后顯影該感光層時(shí)的顯影時(shí)間為1550秒鐘，所以可以提供析像度出色、可以得到高精細(xì)的圖案的圖案形成材料。<2>根據(jù)所述<1>中記載的圖案形成材料，其中，以線寬1040pm、線/空間(L/S)二1/1以及L/S二1/100，對(duì)感光層進(jìn)行曝光、顯影得到的圖案中，所述利用L/S=l/1的曝光形成的線圖案與利用L/S=1/100的曝光形成的線圖案之間的線寬的差為5pm以下。在該<1>中記載的圖案形成材料中，由于以線寬1040(am、線/空間(L/S)二1/1以及L/S二1/100，對(duì)感光層進(jìn)行曝光、顯影得到的圖案中，所述利用L/S=l/1的曝光形成的線圖案與利用L/S=1/100的曝光形成的線圖案之間的線寬的差為5pm以下，所以可以提供高感度且顯影性出色、特別是即使為線間的間隔較寬地孤立的線圖案也難以發(fā)生收縮、可以得到析像度出色且高精細(xì)的圖案的圖案形成材料。<3〉根據(jù)所述<1>或<2>中記載的圖案形成材料，其中，粘合劑的I/O值為0.50.8。<4>根據(jù)所述<1><3>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物的I/0值為0.51.5。<5>根據(jù)所述<1><4>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比(粘合劑/聚合性化合物)為12。<6>根據(jù)所述<1〉<5>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，顯影時(shí)，顯影溫度為254(TC，使用從碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、有機(jī)胺以及碳酸氫鈉的任意一種中選擇的堿濃度為0.110質(zhì)量％的堿顯影液進(jìn)行。<7>根據(jù)所述<1><6>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑含有共聚物，該共聚物具有來(lái)源于苯乙烯及苯乙烯衍生物的至少任意一種的結(jié)構(gòu)單元。<8>根據(jù)所述<1><7〉中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為8(TC以上。<9>根據(jù)所述<1><8>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑具有酸性基。<10>根據(jù)所述<1><9>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑含有乙烯系共聚物。<11>根據(jù)所述<1><10>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，粘合劑的酸值為70250mgKOH/g。<12>根據(jù)所述<1><11>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物至少含有在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物。<13>根據(jù)所述<1><12〉中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物進(jìn)一步含有在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物。<14>根據(jù)所述<13>中記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物含有在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物的1種以上、和在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物的2種以上。<15>根據(jù)所述<1〉<14>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物進(jìn)一步含有在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的化合物。<16>根據(jù)所述<15>中記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物含有在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物的1種以上、在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物的2種以上和在分子中具有3個(gè)聚合性基的化合物的1種以上。<17>根據(jù)所述<1><16>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，在分子中至少具有1個(gè)聚合性基的化合物具有聚亞烷基氧化物基。<18〉根據(jù)所述<1><17>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，聚合性化合物含有具有尿烷基及芳基的至少任意一種的單體。<19>根據(jù)所述<1><18>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，光聚合引發(fā)劑含有從鹵代烴衍生物、氧化膦、六芳基聯(lián)二咪唑、肟衍生物、有機(jī)過(guò)氧化物、硫代化合物、酮化合物、?；趸⒒衔?、芳香族鑰鹽、及酮肟醚中選擇的至少一種<20>根據(jù)所述<1><19>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，感光層的厚度為l100|im。<21>根據(jù)所述<1><20>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，支撐體含有合成樹(shù)脂且為透明。<22>根據(jù)所述<1><21>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，支撐體為長(zhǎng)尺狀。<23>根據(jù)所述<1><22>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，圖案形成材料為長(zhǎng)尺狀，且被巻成輥狀而成。<24>根據(jù)所述<1><23>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，在圖案形成材料中的感光層上具有保護(hù)薄膜。<25>根據(jù)所述<1><24>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，感光層是利用如下所述的光進(jìn)行曝光的，即利用具有n個(gè)接受并射出來(lái)自光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的光調(diào)制機(jī)構(gòu)、對(duì)來(lái)自所述光照射機(jī)構(gòu)的光進(jìn)行調(diào)制之后、從具有可修正所述描繪部的射出面的變形引起的像差的非球面的排列有微透鏡的微透鏡陣列通過(guò)的光。在該<25>中記載的圖案形成材料中，感光層是利用如下所述的光進(jìn)行曝光的，即利用具有n個(gè)接受并射出來(lái)自光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)、對(duì)來(lái)自該光照射機(jī)構(gòu)的光進(jìn)行調(diào)制之后、從具有可修正該描繪部的射出面的變形引起的像差的所述非球面的排列有所述微透鏡的所述微透鏡陣列通過(guò)的光，由此利用可以修正所述描繪部中的射出面的變形引起的像差并抑制所述圖案形成材料上成的像發(fā)生變形的光來(lái)進(jìn)行曝光。結(jié)果，可以高精細(xì)地進(jìn)行對(duì)所述圖案形成材料的曝光，所以然后通過(guò)對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，可以形成高精細(xì)的圖案。<26>根據(jù)所述<1><25>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，其中，感光層是利用如下所述的光進(jìn)行曝光的，即利用具有n個(gè)接受并射出來(lái)自光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的光調(diào)制機(jī)構(gòu)、對(duì)來(lái)自所述光照射機(jī)構(gòu)的光進(jìn)行調(diào)制之后、從具有不使來(lái)自所述描繪部的周邊部的光入射的透鏡開(kāi)口形狀的排列有微透鏡的微透鏡陣列通過(guò)的光。在該<26〉中記載的圖案形成材料中，感光層是利用如下所述的光進(jìn)行曝光的，即利用具有n個(gè)接受并射出來(lái)自所述光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)、對(duì)來(lái)自該光照射機(jī)構(gòu)的光進(jìn)行調(diào)制之后、利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制的光從具有不使來(lái)自描繪部的周邊部的光入射的透鏡幵口形狀的微透鏡通過(guò)，由此在變形較大的描繪部的周邊部、特別是四角部反射的光變得不被會(huì)聚，可以抑制所述感光層上成的像發(fā)生變形。結(jié)果，可以高精細(xì)地進(jìn)行對(duì)所述感光層的曝光。然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成高精細(xì)的圖案。<27>—種圖案形成裝置，其中，具備所述<1〉<26>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料，至少具有可以照射光的光照射機(jī)構(gòu)；和調(diào)制來(lái)自該光照射機(jī)構(gòu)的光并對(duì)所述圖案形成材料中的感光層進(jìn)行曝光的光調(diào)制機(jī)構(gòu)。在該<27>中記載的圖案形成裝置中，所述光照射機(jī)構(gòu)向所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)照射光。所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制從所述光照射機(jī)構(gòu)接受的光。利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制的光相對(duì)所述感光層使其曝光。例如，之后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成高精細(xì)的圖案。<28>根據(jù)所述<27>中記載的圖案形成裝置，其中，光調(diào)制機(jī)構(gòu)進(jìn)一步具有基于形成的圖案信息產(chǎn)生控制信號(hào)的圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)而成，對(duì)應(yīng)該圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的控制信號(hào)，對(duì)從光照射機(jī)構(gòu)照射的光進(jìn)行調(diào)制。在該<28>中記載的圖案形成裝置中，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)通過(guò)具有所述圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)，對(duì)應(yīng)該圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的控制信號(hào)，對(duì)從所述光照射機(jī)構(gòu)照射的光進(jìn)行調(diào)制。<29>根據(jù)所述<27>或<28〉記載的圖案形成裝置，其中，光調(diào)制機(jī)構(gòu)具有n個(gè)描繪部而成，可以對(duì)應(yīng)將要形成的圖案信息，對(duì)從該n個(gè)描繪部中連續(xù)地配置的任意的不到n個(gè)所述描繪部進(jìn)行控制。在該<29>中記載的圖案形成裝置中，通過(guò)對(duì)應(yīng)圖案信息，對(duì)從所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)中的n個(gè)描繪部中連續(xù)地配置的任意的不到n個(gè)描繪部進(jìn)行控制，從而來(lái)自所述光照射機(jī)構(gòu)的光被高速地調(diào)制。<30>根據(jù)所述<27><29>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成裝置，其中，光調(diào)制機(jī)構(gòu)為空間光調(diào)制元件。<31>根據(jù)所述<30>記載的圖案形成裝置，其中，空間光調(diào)制元件是數(shù)字微鏡器件(digitalmicromirrordevice)(DMD)。<32>根據(jù)所述<29><31>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成裝置，其中，描繪部為微鏡。<33〉根據(jù)所述<27><32〉中任意一項(xiàng)記載的圖案形成裝置，其中，光照射機(jī)構(gòu)可以復(fù)合兩種以上的光進(jìn)行照射。在該<33>中記載的圖案形成裝置中，通過(guò)所述光照射機(jī)構(gòu)可以復(fù)合兩種以上的光進(jìn)行照射，可以利用焦點(diǎn)深度較深的曝光光進(jìn)行曝光。結(jié)果，可以極高精細(xì)地對(duì)所述圖案形成材料進(jìn)行曝光。例如，如果在之后對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成極高精細(xì)的圖案。<34>根據(jù)所述<28><33>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成裝置，其中，光照射機(jī)構(gòu)具有多個(gè)激光器、多模光纖、和將從該多個(gè)激光器分別照射的激光進(jìn)行聚光從而結(jié)合于所述多模光纖的聚光光學(xué)體系。在該<34>中記載的圖案形成裝置中，所述光照射機(jī)構(gòu)通過(guò)利用所述聚光光學(xué)體系可以將從該多個(gè)激光器分別照射的激光進(jìn)行會(huì)聚從而結(jié)合在所述多模光纖，可以用焦點(diǎn)深度較深的曝光光進(jìn)行曝光。結(jié)果，可以極高精細(xì)地對(duì)所述圖案形成材料進(jìn)行曝光。例如，如果在之后對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成極高精細(xì)的圖案。<35>—種圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)所述<1><26>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成材料中的該感光層進(jìn)行曝光、以顯影時(shí)間1550秒進(jìn)行顯影的步驟。在該<35>中記載的圖案形成方法中，對(duì)所述圖案形成材料進(jìn)行曝光。然后，如果以顯影時(shí)間1550秒對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成高精細(xì)的圖案。<36>根據(jù)所述<35>中記載的圖案形成方法，其中，在基材上層疊圖案形成材料并進(jìn)行曝光。<37>根據(jù)所述<36>中記載的圖案形成方法，其中，基材為印刷電路布線板形成用基板。<38>根據(jù)所述<35><37>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，在基材上，對(duì)圖案形成材料進(jìn)行加熱及加壓的至少任意一種，同時(shí)進(jìn)行層疊。<39>根據(jù)所述<35><38>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，顯影時(shí)，顯影溫度為254(TC，使用從碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、有機(jī)胺以及碳酸氫鈉的任意一種中選擇的堿濃度為0.110質(zhì)量％的堿顯影液進(jìn)行。<40>根據(jù)所述<35><39>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，基于將要形成的圖案信息按照像模樣進(jìn)行曝光。<41>根據(jù)所述<35><40>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，曝光是使用基于將要形成的圖案信息產(chǎn)生控制信號(hào)并根據(jù)該控制信號(hào)調(diào)制的光進(jìn)行的。在該<41〉中記載的圖案形成方法中，基于將要形成的圖案形成信息產(chǎn)生控制信號(hào)并根據(jù)該控制信號(hào)來(lái)調(diào)制光。<42>根據(jù)所述<35><41>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，曝光是利用照射光的光照射機(jī)構(gòu)，和基于將要形成的圖案信息、對(duì)從所述光照射機(jī)構(gòu)照射的光進(jìn)行調(diào)制的光調(diào)制機(jī)構(gòu)進(jìn)行的。<43>根據(jù)所述<42>中記載的圖案形成方法，其中，曝光是在利用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制光之后，從排列有具有可修正所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)中的描繪部的射出面的變形引起的像差的非球面的微透鏡的微透鏡陣列通過(guò)來(lái)進(jìn)行的。在該<43>中記載的圖案形成方法中，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制的光通過(guò)所述微透鏡陣列中的所述非球面，由此可以修正所述描繪部中的射出面的變形引起的像差。結(jié)果，可以抑制在圖案形成材料上所成的像發(fā)生變形，可以極高精細(xì)地進(jìn)行對(duì)該圖案形成材料的曝光。例如，然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，可以形成極高精細(xì)的圖案。<44>根據(jù)所述<42>中記載的圖案形成方法，其中，曝光是在利用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制光之后，從排列有具有不使來(lái)自所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)中的描繪部的周邊部的光入射的透鏡開(kāi)口形狀的微透鏡來(lái)進(jìn)行的。在該<44>中記載的圖案形成方法中，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制的光從具有不使來(lái)自描繪部的周邊部的光入射的透鏡開(kāi)口形狀的微透鏡通過(guò)，由此在變形較大的描繪部的周邊部、特別是四角部反射的光變得不被會(huì)聚，可以抑制所述感光層上成的像發(fā)生變形。結(jié)果，可以高精細(xì)地迸行對(duì)所述感光層的曝光，然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成高精細(xì)的圖案。<45>根據(jù)所述<44>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，微透鏡具有可修正描繪部中的射出面的變形引起的像差的非球面。在該<45>中記載的圖案形成方法中，利用所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制的光通過(guò)所述微透鏡陣列中的所述非球面，可以修正所述描繪部中的射出面的變形引起的像差，可以抑制在所述圖案形成材料上成的像的變形。結(jié)果，可以高精細(xì)地進(jìn)行對(duì)所述圖案形成材料的曝光。例如，然后通過(guò)對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，則可以形成高精細(xì)的圖案。<46>根據(jù)所述<43><45>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，非球面為復(fù)曲面。在該<46>中記載的圖案形成方法中，通過(guò)使所述非球面為復(fù)曲面，可以有效地修正所述描繪部中發(fā)射面的變形引起的像差，可以有效地抑制在圖案形成材料上成的像發(fā)生變形。結(jié)果，可以極高精細(xì)地進(jìn)行對(duì)所述圖案形成材料的曝光。例如，然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，可以形成極高精細(xì)的圖案。<47>根據(jù)所述<44><46>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，微透鏡陣列具有圓形的透鏡開(kāi)口形狀。<48>根據(jù)所述<44><47>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，透鏡開(kāi)口形狀通過(guò)在其透鏡面設(shè)置遮光部而被規(guī)定。<49>根據(jù)所述<35><48>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，曝光是通過(guò)孔徑陣列進(jìn)行的。在該<49>中記載的圖案形成方法中，通過(guò)通過(guò)所述孔徑陣列進(jìn)行曝光，可以提高消光比。結(jié)果，可以極高精細(xì)地進(jìn)行曝光。例如，然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，可以形成極高精細(xì)的圖案。<50>根據(jù)所述<35><49>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，曝光是在使曝光光與感光層相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行的。在該<50>中記載的圖案形成方法中，通過(guò)在使己進(jìn)行所述調(diào)制的光與所述感光層相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行曝光，可以高速地進(jìn)行曝光。例如，然后如果對(duì)所述感光層進(jìn)行顯影，可以形成高精細(xì)的圖案。<51>根據(jù)所述<35><50>中任意一項(xiàng)記載的圖案形成方法，其中，曝光是相對(duì)感光層的一部分區(qū)域進(jìn)行的。<52>根據(jù)所述<51>中記載的圖案形成方法，其中，在進(jìn)行顯影之后，進(jìn)行永久圖案的形成。如果利用本發(fā)明，可以解決以往的問(wèn)題，可以提供一種高感度而且顯影性出色的、可以得到高析像度和高精細(xì)的圖案的圖案形成材料以及具備該圖案形成材料的圖案形成裝置及使用該圖案形成材料的圖案形成方法。具體實(shí)施例方式(圖案形成材料)本發(fā)明的圖案形成材料具有支撐體、至少在該支撐體上的感光層，也可以具有保護(hù)薄膜、適當(dāng)選擇的其他層。<感光層>所述感光層只要含有粘合劑、聚合性化合物以及光聚合引發(fā)劑即可，沒(méi)有特別限制，也可以含有根據(jù)需要適當(dāng)選擇的其他成分。另外，所述感光層的層疊數(shù)可以為l層或2層以上。所述感光層的感度為20mJ/cr^以下，在曝光之后顯影該感光層時(shí)的顯影時(shí)間為1550秒。因而，無(wú)論粘合劑、聚合性化合物等的種類如何，均可以提供顯影性出色、可以得到高析像度和高精細(xì)的圖案的圖案形成材料。另外，作為圖案形成材料，優(yōu)選以線寬1040pm、線/空間(L/S)=1/1以及L/S-1/100，對(duì)感光層進(jìn)行曝光、顯影得到的圖案中，所述利用L/S=l/1的曝光形成的線圖案與利用L/S=l/100的曝光形成的線圖案之間的線寬的差為5pm以下，更優(yōu)選為3pm以下，特別優(yōu)選為2pm以下。在此，所述L/S=l/1和L/S二l/100的線圖案使用本發(fā)明的圖案形成裝置，以線寬1040,、線/空間(L/S)=1/1以及L/S二1/100進(jìn)行曝光、顯影，分別形成長(zhǎng)20cm的10根線圖案。接著，對(duì)各線圖案，從端部開(kāi)始，在lcm、lOcm、19cm的位置，測(cè)定厚度方向的上端、中央以及下端3點(diǎn)的線寬，測(cè)定共計(jì)90點(diǎn)的線寬。算出這樣測(cè)定的L/S=l/1的線圖案的線寬的90點(diǎn)的平均值與L/S=l/100的線圖案的線寬的90點(diǎn)的平均值的差。另外，作為感度的測(cè)定方法，使用本發(fā)明的圖案形成裝置，照射從0.1mJ/cm2、以21/2倍間隔、至lj100mJ/cm2的光能量不同的光，進(jìn)行曝光，使所述感光層的一部分區(qū)域固化，顯影，溶解除去未固化區(qū)域，然后測(cè)定殘留的固化區(qū)域的厚度。接著，將光的照射量與固化層的厚度之間的關(guān)系繪成圖，得到感度曲線。從這樣得到的感度曲線，將固化區(qū)域的厚度成為與曝光前的所述感光層的厚度的差成為0.5pm時(shí)的光能量作為用于使感光層固化所必需的最小光能量即感光層的感度。作為所述粘合劑，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇。另外，所述粘合劑的I/O值優(yōu)選為0.50.8，更優(yōu)選為0.50.65，特別優(yōu)選為0.50.6。另外，所述粘合劑含有共聚物，該共聚物優(yōu)選具有來(lái)源于苯乙烯及苯乙烯衍生物的至少任意一種的結(jié)構(gòu)單元。所述I/O值是從有機(jī)概念角度對(duì)待也被稱為(無(wú)機(jī)性值)/(有機(jī)性值)的各種有機(jī)化合物的極性的值，是在各官能團(tuán)中設(shè)定參數(shù)的官能團(tuán)寄予法之一。作為所述I/0值，具體而言，在有機(jī)概念圖(甲田善生著，三共出版(1984));KUMAMOTOPHARMACEUTICALBULLETIN,第1號(hào)第116項(xiàng)(1954年)；化學(xué)的領(lǐng)域第11巻第10號(hào)719725項(xiàng)(1957年)；香氣雜志(7k,，y7-亇一于/P)第34號(hào)第971U項(xiàng)(1979年)；香氣雜志(7k夕、'歹y7"亇一于少)第50號(hào)第7982項(xiàng)(1981年)等文獻(xiàn)中被詳細(xì)說(shuō)明。所述i/o值的概念將化合物的性質(zhì)分為表示共價(jià)性的有機(jī)性基團(tuán)和表示離子鍵性的無(wú)機(jī)性基團(tuán)，將所有的有機(jī)化合物位置確定于取名為有機(jī)軸和無(wú)機(jī)軸的正交座標(biāo)上的每1點(diǎn)上。所述無(wú)機(jī)性值是指以羥基為標(biāo)準(zhǔn)，將有機(jī)化合物具有的各種取代基或鍵等對(duì)沸點(diǎn)的影響力的大小數(shù)值化的值。具體而言，如果取碳原子數(shù)5左右的、直鏈醇的沸點(diǎn)曲線與直鏈?zhǔn)灥姆悬c(diǎn)曲線之間的距離，則為約100°C，所以用數(shù)值將1個(gè)羥基的影響力定為100，基于該數(shù)值，將各種取代基或各種鍵等對(duì)沸點(diǎn)的影響力進(jìn)行數(shù)值化的值為有機(jī)化合物具有的取代基的無(wú)機(jī)性值。例如，一COOH基的無(wú)機(jī)性值為150，雙鍵的無(wú)機(jī)性值為2。因而，某種有機(jī)化合物的無(wú)機(jī)性值是指該化合物具有的各種取代基或鍵等的無(wú)機(jī)性值的總合。所述有機(jī)性值是指，以分子內(nèi)的亞甲基為單位，將代表該亞甲基的碳原子對(duì)沸點(diǎn)的影響力作為標(biāo)準(zhǔn)確定的值。即，直鏈飽和烴化合物在碳原子數(shù)510左右每加1個(gè)碳而沸點(diǎn)上升的平均值為20'C，所以以其為標(biāo)準(zhǔn)，將1個(gè)碳原子數(shù)的有機(jī)性值定為20，以其為標(biāo)準(zhǔn)，將各種取代基或鍵等對(duì)沸點(diǎn)的影響力數(shù)值化的值為有機(jī)性值。例如，硝基(一N02)的有機(jī)性值為70。所述I/O值越接近0，越表明是非極性(疏水性、有機(jī)性大的)的有機(jī)化合物，越大，越表明是極性(親水性、無(wú)機(jī)性大的)有機(jī)化合物。以下說(shuō)明所述I/O值的計(jì)算方法的一例。甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成(摩爾比)2/5/3)的I/O值是通過(guò)用以下的方法計(jì)算該共聚物的無(wú)機(jī)性值及有機(jī)性值后計(jì)算下式(所述共聚物的無(wú)機(jī)性值)/(所述共聚物的有機(jī)性值)來(lái)求得。所述共聚物的無(wú)機(jī)性值通過(guò)求得(所述甲基丙烯酸的無(wú)機(jī)性值)X(所述甲基丙烯酸的摩爾比)、(所述甲基丙烯酸甲酯的無(wú)機(jī)性值)x(所述甲基丙烯酸甲酯的摩爾比)和(所述苯乙烯的無(wú)機(jī)性值)x(所述苯乙烯的摩爾比)的總合來(lái)計(jì)算。所述甲基丙烯酸具有1個(gè)羧基，所述甲基丙烯酸甲酯具有1個(gè)酯基，所述苯乙烯具有1個(gè)芳香環(huán)，所以所述甲基丙烯酸的無(wú)機(jī)性值150(羧基的無(wú)機(jī)性值)XI(羧基的個(gè)數(shù))=150,所述甲基丙烯酸甲酯的無(wú)機(jī)性值60(酯基的無(wú)機(jī)性值)XI(酯基的個(gè)數(shù))二60，所述苯乙烯的無(wú)機(jī)性值15(芳香環(huán)的無(wú)機(jī)性值)XI(芳香環(huán)的個(gè)數(shù))二15，因而，所述共聚物的無(wú)機(jī)性值計(jì)算下式150X2(甲基丙烯酸的摩爾比)+60X5(甲基丙烯酸甲酯的摩爾比)+15X3(苯乙烯的摩爾比)而被計(jì)算為645。所述共聚物的有機(jī)性值通過(guò)求得(所述甲基丙烯酸的有機(jī)性值)X(所述甲基丙烯酸的摩爾比)、(所述甲基丙烯酸甲酯的有機(jī)性值)X(所述甲基丙烯酸甲酯的摩爾比)和(所述苯乙烯的有機(jī)性值)X(所述苯乙烯的摩爾比)的總合來(lái)計(jì)算。所述甲基丙烯酸具有4個(gè)碳原子，所述甲基丙烯酸甲酯具有5個(gè)碳原子，所述苯乙烯具有8個(gè)碳原子，所以所述甲基丙烯酸的有機(jī)性值20(碳原子的有機(jī)性值)X4(碳原子數(shù))=80，所述甲基丙烯酸甲酯的有機(jī)性值20(碳原子的有機(jī)性值)X5(碳原子數(shù))=100，所述苯乙烯的有機(jī)性值20(碳原子的有機(jī)性值)X8(碳原子數(shù))二160。因而，所述共聚物的有機(jī)性值利用下式80X2(所述甲基丙烯酸的摩爾比)+100X5(所述甲基丙烯酸甲酯的摩爾比)+160X3(所述苯乙烯的摩爾比)計(jì)算而被計(jì)算為1，140。因而，所述共聚物的1/0值判斷為645(所述共聚物的無(wú)機(jī)性值)/1140(所述共聚物的有機(jī)性值)，0.566。所述粘合劑只要所述i/o值在所述數(shù)值范圍內(nèi)，則沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，也可以具有酸性基。作為所述粘合劑的酸值(酸性基的含量)，只要所述i/o值在所述數(shù)值范圍內(nèi)，則沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為100250mgKOH/g，更優(yōu)選為70250mgKOH/g，進(jìn)而優(yōu)選為120220mgKOH/g，特別優(yōu)選為150220mgKOH/g。如果所述酸值不到100m沐OH/g，則顯影性不足，或者析像度差，可能不能高精細(xì)地得到布線圖案等永久圖案，如果超過(guò)250(mgKOH/g)，則圖案的耐顯影液性及粘附性的至少任意一種會(huì)變差，析像度及遮蓋性差，不能高精細(xì)地得到布線圖案等永久圖案。為了將所述粘合劑的I/O值及酸值均調(diào)節(jié)至滿足一定數(shù)值范圍，可以通過(guò)適當(dāng)選擇構(gòu)成粘合劑中含有的共聚物的單體的種類及使該單體聚合時(shí)的聚合比(含量)的至少任意一種來(lái)調(diào)節(jié)。例如，對(duì)于構(gòu)成在所述粘合劑中含有的共聚物的單體，在將具有所述酸性基的單體的比例設(shè)為a質(zhì)量X、將構(gòu)成I/0值為0.35以下的自聚體的單體的比例設(shè)為b質(zhì)量X、將其他單體的比例設(shè)為c質(zhì)量X的情況下(在此，a+b+c二100，c也可以為0)，如果為了提高蝕刻后的固化圖案的剝離性，而增加所述a值，則所述粘合劑的I/0值存在變高的趨勢(shì)，所以優(yōu)選所述a、b及c滿足a〈(b+c)的關(guān)系。具體而言，在所述粘合劑中含有的所述共聚物優(yōu)選含有25質(zhì)量％以上構(gòu)成I/O值為0.35以下的自聚體的單體，更優(yōu)選含有30質(zhì)量％以上。作為構(gòu)成所述I/0值為0.35以下的自聚體的單體，例如可以舉出苯乙烯、甲基丙烯酸2—乙基己基酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯以及甲基丙烯酸芐基酯等。作為所述酸性基，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出羧基、磺酸基、磷酸基等，其中優(yōu)選羧基。作為具有羧基的粘合劑，例如可以舉出具有羧基的乙烯系共聚物、具有羧基的聚氨酯樹(shù)脂、具有羧基的聚酰胺酸樹(shù)脂、具有羧基的改性環(huán)氧樹(shù)脂等，其中，從對(duì)涂敷溶劑的溶解性、對(duì)堿顯影液的溶解性、合成適合性、膜物理性能的調(diào)節(jié)的容易程度等觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選具有羧基的乙烯系共聚物。所述具有羧基的乙烯系共聚物至少可以利用(1)具有羧基的乙烯基單體、及(2)可以與它們共聚合的單體的共聚合得到。作為所述具有羧基的乙烯基單體、可以與它們共聚合的單體及所述具有羧基的粘合劑，例如可以舉出特開(kāi)2005—258432號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。另外，作為所述其他可共聚合的單體，優(yōu)選使用構(gòu)成所述I/0值為0.35以下的自聚體的單體，例如可以舉出苯乙烯、苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯酸2—乙基己基酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸叔辛酯、(甲基)丙烯酸十二垸基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基酯、甲基丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯以及(甲基)丙烯酸金剛烷基酯等，其中，更優(yōu)選苯乙烯及苯乙烯衍生物。這些其他可共聚合的單體可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。作為所述乙烯系共聚物中的具有羧基的聚合性化合物的含有率，只要所述I/0值和所述酸值在所述數(shù)值范圍內(nèi)即可，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選1070質(zhì)量％，更優(yōu)選1565質(zhì)量％，特別優(yōu)選2060質(zhì)量％。如果所述含有率不到10質(zhì)量。％，則向堿水的顯影性可能不足，如果超過(guò)70質(zhì)量％，則固化部(圖像部)的顯影液耐性可能不足。作為所述具有羧基的粘合劑的分子量，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，作為質(zhì)均分子量，優(yōu)選2，000300,000，更優(yōu)選4，000150,000。如果所述質(zhì)均分子量不到2,000，則膜的強(qiáng)度容易不足，另外，有時(shí)難以穩(wěn)定地制造，如果超過(guò)300，000，則可能顯影性降低。所述具有羧基的粘合劑可以單獨(dú)使用l種，也可以并用2種以上。作為并用2種以上所述粘合劑的情況，例如可以舉出由不同的共聚合成分構(gòu)成的2種以上粘合劑、不同的質(zhì)均分子量的2種以上粘合劑、不同的分散度的2種以上粘合劑等的組合。所述具有羧基的粘合劑的羧基的一部分或全部也可以用堿性物質(zhì)中和。另外，所述粘合劑也可以進(jìn)一步并用聚酯樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、聚乙烯醇、明膠等結(jié)構(gòu)不同的樹(shù)脂。另外，也可以并用在專利第2873889號(hào)公報(bào)等中記載的可溶于堿性液的樹(shù)脂等。并用這些樹(shù)脂的情況下，作為所述粘合劑相對(duì)所述感光層中含有的粘合劑全量的含量，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為50質(zhì)量％以上，更優(yōu)選為70質(zhì)量％以上，特別優(yōu)選為90質(zhì)量％以上。作為1/0值為0.50.8的所述粘合劑，可以舉出甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/8/30/37)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸節(jié)基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/8/15/54)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)21/47/23/9)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/30/30/17)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/25/45/5)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/34/33/8)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸環(huán)己基酯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/70/5)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸環(huán)己基酯/甲基丙烯酸2一乙基己基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/70/7)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)22/58/20)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/38/37)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/60/17)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)20/76/4)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)21/79)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/71)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/64)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)23/50/27)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/60/11)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/33/31)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/25/37/13)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/15/47/9)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/18/50/3)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/15/40/20)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/5/45/14)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/64/5)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/15/60)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)23/37/30/10)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/10/44/10)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/27/36/12)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/13/38/20)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)24/10/29/37)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/29/46)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)20/53/27)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/19/52)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)30/13/57)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/5/64)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/15/49)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/31/40)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/41/34)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/5/59)及甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)24/46/30)等。其中，優(yōu)選甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/8/30/37)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/8/15/54)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/25/45/5)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/34/33/8)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸環(huán)己基酯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/70/5)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)22/58/20)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/38/37)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)23/60/17)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/71)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/64)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)23/40/27)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/60/11)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酉旨/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/25/37/13)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/15/47/9)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/18/50/3)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)..25/15/40/20)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/5/45/14)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/64/5)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/15/60)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)23/37/30/10)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/27/36/12)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/13/38/20)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)24/10/29/37)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/29/46)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/19/52)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)30/13/57)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/5/64)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/31/40)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/41/34)及甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)36/5/59)。進(jìn)而特別優(yōu)選甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸節(jié)基酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/8/30/37)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/25/45/5)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸甲酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯/丙烯酸乙酯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)29/61/10)、甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/71)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/60/11)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/25/37/13)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/18/50/3)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸2—乙基己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/15/40/20)、甲基丙烯酸/苯乙烯/甲基丙烯酸環(huán)己基酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/64/5)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/27/36/12)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯/甲基丙烯酸丁酯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/13/38/20)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/29/46)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)-29/19/52)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)30/13/57)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酉旨/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)31/5/64)、甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)29/31/40)及甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成比(質(zhì)量比)25/41/34)。在所述粘合劑為具有玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的物質(zhì)的情況下，作為該玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如從所述圖案形成材料的粘著性(tack)、邊緣熔合以及所述支撐體的剝離性的至少任意一種的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為8(TC以上，更優(yōu)選為100。C以上，特別優(yōu)選為115"C以上。如果所述玻璃化轉(zhuǎn)變溫度不到8CTC，則可能所述圖案形成材料的粘著性增加，或者所述支撐體的剝離性變差。作為所述粘合劑在所述感光層中的含量，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為1090質(zhì)量％，更優(yōu)選為2080質(zhì)量％，特別優(yōu)選為4080質(zhì)量％。如果所述含量不到10質(zhì)量％，則可能堿顯影性或與印刷電路板布線形成用基板(例如鍍銅疊層板)的粘附性降低，如果超過(guò)90質(zhì)量％，則可能相對(duì)顯影時(shí)間的穩(wěn)定性或固化膜(遮蓋膜)的強(qiáng)度降低。此外，所述含量也可以為根據(jù)需要與所述粘合劑并用的高分子粘合劑的總含量。作為所述聚合性化合物，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出具有尿垸基及芳基的至少任意一種的單體或寡聚物。另外，它們優(yōu)選具有2種以上聚合性基。所述聚合性化合物的I/O值優(yōu)選為0.51.5，更優(yōu)選為0.61.45，特別優(yōu)選為0.651.4。此夕卜，聚合性化合物可以單獨(dú)使用l種，也可以并用2種以上。在同時(shí)使用2種以上聚合性化合物的情況下，將其重量平均值作為所述聚合性化合物的I/0值。另外，作為所述粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比(粘合劑/聚合性化合物)，優(yōu)選為12，更優(yōu)選為1.051.65，特別優(yōu)選為1.11.5。如果該質(zhì)量比不到l，則感光層過(guò)于柔軟，在使圖案形成材料成為輥形態(tài)的情況下，邊緣熔合(從邊緣部滲出感光層)可能變差，如果質(zhì)量比超過(guò)2，則可能發(fā)生向基板的層疊不良。作為所述聚合性基，進(jìn)而例如可以舉出乙烯性不飽和鍵(例如(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰胺基、苯乙烯基、乙烯酯或乙烯醚等的乙烯基，烯丙醚或烯丙酯等的烯丙基等)、可聚合的環(huán)狀醚基(例如環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基等)等，其中，優(yōu)選乙烯性不飽和鍵。優(yōu)選具有所述在分子中至少具有1個(gè)聚合性基的化合物，至少具有1個(gè)該聚合性基的化合物優(yōu)選具有聚亞烷基氧化物基。另外，所述聚合性化合物優(yōu)選含有具有尿烷基及芳基的至少任意一種的化合物。一在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物一作為所述在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物，例如可以優(yōu)選舉出作為所述粘合劑的原料例示的化合物(其中，優(yōu)選在常壓下的沸點(diǎn)為ioo'c以上的化合物，更優(yōu)選15(TC以上的化合物)等。另外，可以舉出在特開(kāi)平6—236031號(hào)公報(bào)中記載的2元的一((甲基)丙烯酰氧基垸基酯)一(鹵羥基垸基酯)等在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物(例如Y—氯一P—羥基丙基一P，一甲基丙烯酰氧基乙基一鄰苯二甲酸酯等)，在專利第2744643號(hào)公報(bào)、國(guó)際公開(kāi)第00/52529號(hào)公報(bào)手冊(cè)、專利第2548016號(hào)公報(bào)等中記載的化合物等。另夕卜，還可以舉出(甲基)丙烯酸3—苯氧基一2—羥丙基酯、(甲基)丙烯酸異冰片基酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、N—芳基取代(甲基)丙烯酰胺(例如N—苯基(甲基)丙烯酰胺等)、N—芳垸基取代(甲基)丙烯酰胺(例如N—芐基(甲基)丙烯酰胺)、環(huán)己垸二甲醇一丙烯酸酯等。另外，作為所述在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物，例如還優(yōu)選由下述結(jié)構(gòu)式(O表示的在分子中具有1個(gè)聚合性基而且具有聚亞垸基氧化物鏈的化合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage24</formula>結(jié)構(gòu)式(i)COO-(X-0)^~~R2在所述結(jié)構(gòu)式(1)中，R,表示氫原子或甲基。X表示碳原子數(shù)26的亞垸基，與環(huán)狀結(jié)構(gòu)相比，優(yōu)選具有鏈狀結(jié)構(gòu)。鏈狀亞烷基也可以具有分支。作為該亞烷基，例如可以舉出亞乙基、亞丙基、四亞甲基、五亞甲基、六亞甲基等。n為l30的整數(shù)，n為2以上的情況下，多個(gè)(一X—O—)彼此相同或不同，在(一X—O—)彼此相同的情況下，例如可以舉出亞乙基與亞丙基的組合等。作為R2，例如可以舉出垸基、芳基、芳烷基等，這些基也可以進(jìn)而被取代基取代。作為所述烷基，作為碳原子數(shù)120的烷基，例如可以舉出甲基、乙基、丙基、己基、環(huán)己基、2—乙基己基、十二烷基、十六烷基、十八烷基等。該烷基可以具有取代基，也可以具有分支或環(huán)結(jié)構(gòu)。作為所述芳烷基，例如可以舉出節(jié)基、苯乙基等。該芳烷基也可以具有取代基。作為所述芳基，例如可以舉出苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、甲氧基苯基、丙基苯基、丁基苯基、叔丁基苯基、辛基苯基、壬基苯基、氯苯基、氰基苯基、二溴苯基、三溴苯基、聯(lián)苯基、芐基苯基、a一二甲基一芐基苯基等。該芳基也可以具有取代基。作為所述烷基、芳烷基及芳基中的取代基，例如可以舉出鹵原子、芳基、鏈烯基、烷氧基、氰基等。作為所述鹵原子，可以舉出氟原子、氯原子、溴原子等。所述芳基優(yōu)選總碳原子數(shù)為620，更優(yōu)選為614。作為該芳基，例如可以舉出苯基、萘基、蒽基、甲氧基苯基等。作為所述鏈烯基，優(yōu)選總碳原子數(shù)為210，更優(yōu)選為26。作為該鏈烯基，例如可以舉出乙炔基、丙烯基、丁?；?。作為所述烷氧基，也可以支化，優(yōu)選總碳原子數(shù)為110，更優(yōu)選為15。作為該烷氧基，例如可以舉出甲氧基、乙氧基、丙氧基、2—甲基丙氧基、丁氧基等。作為所述由結(jié)構(gòu)式(1)表示的在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物，具體而言，可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物等。其中，下述式中，R表示氫原子或甲基。n表示130的整數(shù)，m及L分別表示1以上的整數(shù)。m+L表示130的整數(shù)。Me表示甲基，Bu表示丁基。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage26</formula>所述在分子中具有1個(gè)聚合性基的化合物在所述聚合性化合物中的含量?jī)?yōu)選為140質(zhì)量％，更優(yōu)選為130質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選為125質(zhì)量％。如果所述含量不到1質(zhì)量％，則可能剝離性或顯影范圍(latitude)改良的效果變得不充分，如果超過(guò)40質(zhì)量％，則可能析像、粘附性、遮蓋性等變差。一在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物一作為所述在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物，只要在分子中具有2個(gè)聚合性基即可，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出具有尿垸基及芳基的至少任意一種而且具有2個(gè)聚合性基的化合物(單體或寡聚物)。一一具有尿烷基而且具有2個(gè)聚合性基的化合物一一作為所述具有尿烷基而且具有2個(gè)聚合性基的化合物，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出在分子中具有2個(gè)異氰酸酯基的二異氰酸酯化合物與在分子中具有羥基的乙烯基單體的加成物等。作為所述二異氰酸酯化合物，例如可以舉出六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、二甲苯二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯、亞苯基二異氰酸酯、降冰片烯二異氰酸酯、二苯基二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、3，3'—二甲基一4，4，一二苯基二異氰酸酯等二異氰酸酯；進(jìn)一步向該二異氰酸酯加成2官能醇的加聚物(這種情況下，兩個(gè)末端為異氰酸酯基)等。作為所述在分子中具有羥基的乙烯基單體，例如可以舉出(甲基)丙烯酸2—羥乙酯、(甲基)丙烯酸2—羥丙酯、(甲基)丙烯酸4一羥丁酯、二甘醇一(甲基)丙烯酸酯、三甘醇一(甲基)丙烯酸酯、四甘醇一(甲基)丙烯酸酯、八甘醇一(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇一(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、八丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇一(甲基)丙烯酸酯、二丁二醇一(甲基)丙烯酸酯、三丁二醇一(甲基)丙烯酸酯、四丁二醇一(甲基)丙烯酸酯、八丁二醇一(甲基)丙烯酸酯、聚丁二醇一(甲基)丙烯酸酯等。另外，還可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式(2)表示的亞乙基氧化物與亞丙基氧化物的共聚物(無(wú)規(guī)、嵌段等)等具有不同的亞烷基氧化物部分的二醇體的單末端(甲基)丙烯酸酯化合物等,<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage28</formula>結(jié)構(gòu)式②在所述結(jié)構(gòu)式(2)中，R'及W分別表示氫原子或甲基。X,及X2表示亞垸基氧化物基，它們可以為單獨(dú)l種，也可以并用2種以上。作為所述亞烷基氧化物基，例如可以舉出亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基、亞丁基氧化物基、亞戊基氧化物基、亞己基氧化物基、它們的組合基(可以組合成無(wú)規(guī)、嵌段的任意一種)等。其中，優(yōu)選亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基、亞丁基氧化物基或它們的組合基，特別優(yōu)選亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基。在所述結(jié)構(gòu)式(2)中，ml及m2表示130的整數(shù)，優(yōu)選220，更優(yōu)選415。在所述結(jié)構(gòu)式(2)中，Y'表示碳原子數(shù)230的2價(jià)有機(jī)基。作為該有機(jī)基，例如可以優(yōu)選舉出亞烷基、亞芳基、亞烯基、亞炔基、羰基(一CO—)、氧原子(一0—)、硫原子(一S—)、亞氨基(一NH—)、亞氨基的氫原子被1價(jià)的烴基取代而成的取代亞氨基、磺?；?一S02—)或它們的組合基等。其中，優(yōu)選亞垸基、亞芳基或它們的組合基。所述亞垸基也可以具有分支結(jié)構(gòu)或環(huán)狀結(jié)構(gòu)，例如可以優(yōu)選舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基、亞異丙基、亞丁基、亞異丁基、亞戊基、亞新戊基、亞己基、三甲基亞己基、環(huán)亞己基、亞庚基、亞辛基、2—乙基亞己基、亞壬基、亞癸基、亞十二烷基、亞十八烷基或由下述結(jié)構(gòu)式表示的任意一種基等。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage28</formula>作為所述亞芳基，也可以用烴基取代，例如可以優(yōu)選舉出亞苯基、亞<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage29</formula>芐基、二亞苯基、亞萘基或由下述結(jié)構(gòu)式表示的基等'<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage29</formula>作為所述它們的組合基，例如可以舉出亞二甲苯基等。所述亞烷基、亞芳基或它們的組合基也可以進(jìn)一步具有取代基，作為該取代基，例如可以舉出鹵原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子)、芳基、垸氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—乙氧基乙氧基)、芳氧基(例如苯氧基)、?；?例如乙?；?、丙酰基)、酰氧基例如(乙酸基、丁酰氧基)、烷氧羰基(例如甲氧羰基、乙氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基)等。作為由所述結(jié)構(gòu)式(2)表示的化合物，例如可以優(yōu)選舉出由下述結(jié)構(gòu)式(3)(9)表示的化合物等。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage29</formula>結(jié)構(gòu)式(3)nR結(jié)構(gòu)式(4)結(jié)構(gòu)式(5)<table>complextableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>其中，所述結(jié)構(gòu)式(3)(9)中，R表示氫原子或甲基。m及n表示160的整數(shù)。一一具有芳基而且具有2個(gè)聚合性基的化合物一一作為所述具有芳基而且具有2個(gè)聚合性基的化合物，例如可以舉出具有芳基的2元醇化合物、具有芳基的2元胺化合物及具有芳基的氨基醇化合物的至少任意一種，與不飽和羧酸的酯或酰胺等。具體而言，可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。所述在分子中具有2個(gè)聚合性基的化合物在所述聚合性化合物中的含量?jī)?yōu)選為6099質(zhì)量％，更優(yōu)選為7099質(zhì)量％，更優(yōu)選為7599質(zhì)量％。一在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的聚合性化合物一作為所述在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的聚合性化合物，只要在分子中具有3個(gè)以上聚合性基即可，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三((甲基)丙烯酰氧基丙基)醚、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、1，2，4一丁三醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇三(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇四(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇五(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇六(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚、季戊四醇四縮水甘油醚、甘油三縮水甘油醚等含多元縮水甘油基的化合物加成a，(3—不飽和羧酸得到的化合物、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺等。另外，作為所述在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的化合物，例如還優(yōu)選由下述結(jié)構(gòu)式(10)表示的在分子中具有3個(gè)聚合性基而且具有聚亞烷基氧化物鏈的化合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage31</formula>結(jié)構(gòu)式(10)其中，在所述結(jié)構(gòu)式(10)中，R,表示氫原子及甲基的任意一種。X表示碳原子數(shù)26的可具有分支的亞垸基，該亞烷基在1個(gè)分子中可以為1種，也可以含有2種以上(例如亞乙基和亞丙基)。n表示130的整數(shù)。m表示3以上的整數(shù)。Y表示m價(jià)(3價(jià)6價(jià))的有機(jī)基，例如可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式表示的基等。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage32</formula>其中，Et表示乙基。作為由所述結(jié)構(gòu)式(10)表示的化合物，例如可以優(yōu)選舉出由下述結(jié)構(gòu)式(11)(12)表示的化合物。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage32</formula>結(jié)構(gòu)式(11)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage32</formula>結(jié)構(gòu)式(12)其中，在所述結(jié)構(gòu)式(11)及(12)中，^R3表示氫原子及甲基的任意一種。X,X3表示碳原子數(shù)26的可具有分支的亞烷基，該亞烷基在1個(gè)分子中可以為l種，也可以含有2種以上(例如亞乙基和亞丙基)。nln3表示130的整數(shù)。R表示1價(jià)的有機(jī)基，例如可以舉出甲基、乙基、丙基、丁基等垸基；苯基、萘基等芳基等。作為由所述結(jié)構(gòu)式(11)及(12)表示的化合物，具體而言，優(yōu)選由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物。其中，下述結(jié)構(gòu)式中，R表示氫原子或甲基。nl、n2及n3表示130的整數(shù)。ml、m2及m3以及L1、L2及L3分另ij表示l以上的整數(shù)，ml+Ll、m2+L2及m3+L3表示l30的整數(shù)。[化18]<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage33</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage34</formula>另外，作為所述在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的化合物，例如優(yōu)選具有尿垸基及芳基的至少任意一種而且具有3個(gè)以上聚合性基的化合物。一一具有尿烷基而且具有3個(gè)以上聚合性基的化合物一一作為所述具有尿烷基而且具有3個(gè)以上聚合性基的化合物，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出在分子中具有3個(gè)以上異氰酸酯基的聚異氰酸酯化合物與在分子中具有羥基的乙烯基單體的加成物等。作為所述在分子中具有3個(gè)以上異氰酸酯基的聚異氰酸酯化合物，例如可以舉出六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、二甲苯二異氰酸酯、甲苯二異氰酸酯、亞苯基二異氰酸酯、降冰片烯二異氰酸酯、二苯基二異氰酸酯、二苯基甲垸二異氰酸酯、3，3'一二甲基一4，4'一二苯基二異氰酸酯等二異氰酸酯與三羥甲基丙烷、季戊四醇、甘油等多官能醇或它們的亞乙基氧化物加成物等得到的與多官能醇的加成物(末端為異氰酸酯基)；該異氰酸酯的縮二脲或三聚異氰酸酯等的三聚體等。作為所述在分子中具有羥基的乙烯基單體，例如可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。另外，作為所述具有尿烷基的單體，可以舉出三((甲基)丙烯酰氧基乙基)三聚異氰酸酯、亞乙基氧化物改性三聚異氰酸的三(甲基)丙烯酸酯等具有三聚異氰酸酯環(huán)的化合物。另外，還優(yōu)選使用具有3個(gè)以上聚合性基同時(shí)還具有尿垸基的化合物、進(jìn)而具有聚亞垸基氧化物鏈的化合物。作為這樣的化合物，更具體而言，可以舉出下述結(jié)構(gòu)式(13)表示的化合物。在所述結(jié)構(gòu)式(13)中，RS分別表示氫原子或甲基。X3表示亞垸基氧化物基，可以為單獨(dú)l種，也可以并用2種以上。m3表示l30的整數(shù)，n表示3以上的整數(shù)，Y2表示2價(jià)的有機(jī)基，Z表示n價(jià)的有機(jī)基。作為所述亞烷基氧化物基，例如可以舉出亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基、亞丁基氧化物基、亞戊基氧化物基、亞己基氧化物基、它們的組合基(可以組合成無(wú)規(guī)、嵌段的任意一種)等。其中，優(yōu)選亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基、亞丁基氧化物基或它們的組合基，特別優(yōu)選亞乙基氧化物基、亞丙基氧化物基。在所述結(jié)構(gòu)式(13)中，m3表示130的整數(shù)，優(yōu)選220，更優(yōu)選415。在所述結(jié)構(gòu)式(13)中，Y2表示碳原子數(shù)230的2價(jià)有機(jī)基，例如可以優(yōu)選舉出亞烷基、亞芳基、亞烯基、亞炔基、羰基(一CO—)、氧原子(一O—)、硫原子(一S—)、亞氨基(一NH—)、亞氨基的氫原子被1價(jià)的烴基取代而成的取代亞氨基、磺?；?一S02—)或它們的組合基等，其中，優(yōu)選亞垸基、亞芳基或它們的組合基。具體而言，可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的基等。在所述結(jié)構(gòu)式(13)中，Y2表示碳原子數(shù)230的2價(jià)有機(jī)基，例如可以優(yōu)選舉出亞烷基、亞芳基、亞烯基、亞炔基、羰基(一CO—)、氧原子(一O—)、硫原子(一S—)、亞氨基(一NH—)、亞氨基的氫原子被1價(jià)的烴基取代而成的取代亞氨基、磺?；?—S02—)或它們的組合基等，其中，優(yōu)選亞垸基、亞芳基或它們的組合基。所述結(jié)構(gòu)式(13)中，n表示36的整數(shù)，從用于合成聚合性單體的原料供給性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選3、4或6。所述結(jié)構(gòu)式(13)中，Z表示n價(jià)(3價(jià)6價(jià))的連結(jié)基，例如可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式表示的任意一種基等。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage36</formula>其中，X4表示亞垸基氧化物基。m4表示l20的整數(shù)。n表示36的整數(shù)。A表示n價(jià)(3價(jià)6價(jià))的有機(jī)基。作為所述A，例如優(yōu)選n價(jià)的脂肪族基、n價(jià)的芳香族基或它們與亞垸基、亞芳基、亞烯基、亞炔基、羰基、氧原子、硫原子、亞氨基、亞氨基的氫原子被1價(jià)的烴基取代而成的取代亞氨基或磺?；M合而成的基，更優(yōu)選n價(jià)的脂肪族基、n價(jià)的芳香族基或它們與亞烷基、亞芳基、氧原子組合而成的基，特別優(yōu)選n價(jià)的脂肪族基、n價(jià)的芳香族基與亞烷基、氧原子組合而成的基。作為所述A的碳原子數(shù)，例如優(yōu)選1100的整數(shù)，更優(yōu)選150的整數(shù)，特別優(yōu)選330的整數(shù)。作為所述n價(jià)的脂肪族基，可以具有分支結(jié)構(gòu)或環(huán)狀結(jié)構(gòu)。作為所述脂肪族基的碳原子數(shù)，例如優(yōu)選為130的整數(shù)，更優(yōu)選為120的整數(shù)，特別優(yōu)選為310的整數(shù)。作為所述芳香族基的碳原子數(shù)，優(yōu)選為6100的整數(shù)，更優(yōu)選為650的整數(shù)，特別優(yōu)選為630的整數(shù)。所述n價(jià)的脂肪族基或芳香族基也可以進(jìn)一步具有取代基，作為該取代基，例如可以舉出羥基、鹵原子(例如氟原子、氯原子、溴原子、碘原子)、芳基、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基、2—乙氧基乙氧基)、芳氧基(例如苯氧基)、?；?例如乙酰基、丙?；?、酰氧基例如(乙酸基、丁酰氧基)、垸氧羰基(例如甲氧羰基、乙氧羰基)、芳氧羰基(例如苯氧羰基)等。所述亞烷基可以具有分支結(jié)構(gòu)或環(huán)狀結(jié)構(gòu)。作為所述亞烷基的碳原子數(shù)，例如優(yōu)選為118的整數(shù)，更優(yōu)選為lIO的整數(shù)。所述亞芳基也可以用烴基取代。作為所述亞芳基的碳原子數(shù)，例如優(yōu)選為618的整數(shù)，更優(yōu)選為6IO的整數(shù)。作為所述取代亞氨基的1價(jià)烴基的碳原子數(shù)，優(yōu)選為118的整數(shù)，更優(yōu)選為110的整數(shù)。以下，作為所述A的優(yōu)選例，如下述結(jié)構(gòu)式表示。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage37</formula>作為由所述結(jié)構(gòu)式(13)表示的化合物，例如可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式(14)(27)表示的化合物等。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage38</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage39</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage40</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage41</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage42</formula>結(jié)構(gòu)式(27)其中，在所述結(jié)構(gòu)式(14)(27)中，n、nl及n2表示160。1表示120。R表示氫原子或甲基。一一具有芳基而且具有3個(gè)以上聚合性基的化合物一一作為所述具有芳基而且具有3個(gè)以上聚合性基的化合物，例如可以舉出具有芳基的3價(jià)以上的醇化合物、具有芳基的3價(jià)以上的胺化合物以及具有芳基的3價(jià)以上的氨基醇化合物的至少任意一種與不飽和羧酸的酯或酰胺等。作為所述具有芳基的3價(jià)以上的醇化合物、3價(jià)以上的胺化合物以及3價(jià)以上的氨基醇化合物，例如可以舉出l，2，4一苯三酚、亞甲基一2，4，6—三羥甲基苯甲酸酯、間苯三酚、鄰苯三酚等。另外，還可以舉出其他向酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂或雙酚A二縮水甘油醚等環(huán)氧丙基化合物加成a、(3—不飽和羧酸得到的化合物、從苯偏三酸等和在分子中含有羥基的乙烯基單體得到的酯化物、苯偏三酸三烯丙基酯、環(huán)氧化合物(例如酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂等)。進(jìn)而，還可以利用陽(yáng)離子聚合性的環(huán)氧化合物(例如三羥甲基丙烷三縮水甘油醚、季戊四醇四縮水甘油醚、甘油三縮水甘油醚等)等。這些具有3個(gè)以上聚合性基的化合物可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。所述在分子中具有3個(gè)以上聚合性基的化合物在所述聚合性化合物中的含量?jī)?yōu)選為140質(zhì)量％，更優(yōu)選為130質(zhì)量％，進(jìn)而優(yōu)選為l25質(zhì)量％。一一其他聚合性化合物一一本發(fā)明的圖案形成材料也可以使用所述聚合性化合物以外的聚合性化合物。例如可以舉出不飽和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來(lái)酸等)與脂肪族多元醇化合物的酯、不飽和羧酸與多元胺化合物的酰胺等。具體而言，可以舉出特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。所述感光層中的作為聚合性化合物的含量，例如優(yōu)選590質(zhì)量％，更優(yōu)選1560質(zhì)量％，特別優(yōu)選2050質(zhì)量％。所述含量如果為5質(zhì)量％，則遮蓋膜的強(qiáng)度可能會(huì)降低，如果超過(guò)90質(zhì)量％，則保存時(shí)的邊緣熔合(從輥端部的滲出故障)可能會(huì)惡化。作為所述I/O值為0.51.5的單體，具體而言，可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物等，但不限定于這些。<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage43</formula>其中，所述式中，R表示氫原子或甲基。n表示l30的整數(shù)，m及L分別表示1以上的整數(shù)，m+L表示130的整數(shù)。Me表示甲基，Bu表示丁基。另夕卜，作為I/O值為0.51.5的單體，可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式(28)(33)表示的化合物。[化41]<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage44</formula>結(jié)構(gòu)式(32)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage44</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage45</formula>其中，所述結(jié)構(gòu)式(28)(33)中，R表示氫原子或甲基。n表示130的整數(shù)。[化47]<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage45</formula>其中，所述結(jié)構(gòu)式中，R表示H及CHb的任意一種，Xi及X2表示(CH2CH20)n及(CH(CH3)CH20)m的任意一種。所述n及m表示130的整數(shù)。作為所述I/O值為0.51.5的單體，進(jìn)而可以舉出由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物。[化48]<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage45</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage45</formula>結(jié)構(gòu)式(33)<formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage45</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage46</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage46</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage46</formula><formula>complexformulaseeoriginaldocumentpage46</formula>其中，所述結(jié)構(gòu)式中，R表示氫原子或甲基。nl、112及113表示1-30的整數(shù)。ml、m2及m3以及Ll、L2及L3分別表示1以上的整數(shù)，ml+Ll、m2+L2及m3+L3表示130的整數(shù)。作為所述I/O值為0.51.5的單體，除了這些以外，還可以舉出新中村化學(xué)工業(yè)公司制BPE—200、BPE—500、BPE—1000等。[光聚合引發(fā)劑]作為所述光聚合引發(fā)劑，只要具有引發(fā)所述聚合性化合物的聚合的能力，沒(méi)有特別限制，可以從公知的光聚合引發(fā)劑中適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選對(duì)從紫外線區(qū)域到可見(jiàn)光線具有光敏感性的光聚合引發(fā)劑，可以為被光激發(fā)的與增感劑發(fā)生某種作用、產(chǎn)生活性自由基的活化劑，也可以為對(duì)應(yīng)單體的種類引發(fā)陽(yáng)離子聚合的引發(fā)劑。另外，所述光聚合引發(fā)劑優(yōu)選至少含有.l種在約300800nm(更優(yōu)選330500nm)的范圍內(nèi)至少具有約50的摩爾吸光系數(shù)的成分。作為所述光聚合引發(fā)劑，例如可以舉出鹵代烴衍生物(例如具有三嗪骨架的衍生物、具有噁二唑骨架的衍生物等)、六芳基聯(lián)二咪唑、肟衍生物、有機(jī)過(guò)氧化物、硫代化合物、酮化合物、?；趸⒒衔铩⒎枷阕彐j鹽、芳環(huán)烯金屬衍生物類等。其中，從感光層的感度、保存性及感光層與印刷電路布線板形成用基板的粘附性等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選具有三嗪骨架的鹵代烴、肟衍生物、酮化合物、六芳基聯(lián)二咪唑系化合物。具體而言，例如可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。作為感光層中的所述光聚合引發(fā)劑的含量，優(yōu)選為0.130質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.520質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.515質(zhì)量％。一其他成分一作為所述其他成分，例如可以舉出增感劑、熱阻聚劑、增塑劑、發(fā)色劑、著色劑、染料等，進(jìn)而也可以并用向基材表面的附著促進(jìn)劑及其他助劑類(例如顏料、導(dǎo)電性顆粒、填充劑、消泡劑、阻燃劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、熱交聯(lián)劑、表面張力調(diào)節(jié)劑、鏈移動(dòng)劑等)。通過(guò)適當(dāng)含有這些成分，可以調(diào)節(jié)需要的圖案形成材料的穩(wěn)定性、照相性、印像性、膜物性等性質(zhì)。作為這些具體化合物及含量，例如可以舉出特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的化合物等。一一著色劑一一另外，作為所述其他成分，也可以含有著色劑。作為所述著色劑，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出紅色、綠色、藍(lán)色、黃色、紫色、洋紅色、青色、黑色等公知的顏料或染料，具體而言，可以舉出維多利亞純藍(lán)BO(C丄42595)、(堿性)槐黃(C丄4畫(huà))、脂溶(fat)黒HB(C.I.26150)、莫諾賴特'黃GT(C.I.顏料黃12)、永久黃GR(C.I.顏料黃17)、永久黃HR(C.I.顏料黃83)、永久胭脂紅FBB(C丄顏料紅146)、廣告畫(huà)顏料紅ESB(C.I.顏料紫19)、永久紅寶石FBH(C.I.顏料紅11)、法斯特爾粉紅B蘇普拉(C.I.顏料紅81)、莫鈉斯特拉爾堅(jiān)牢藍(lán)(C.I.顏料藍(lán)15)、莫諾賴特堅(jiān)牢黒B(C.I.顏料黒1)、碳黑。另外，作為制作濾色器所優(yōu)選的所述著色劑，例如可以舉出C丄顏料紅97、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅149、C.I.顏料紅168、C丄顏料紅177、C.I.顏料紅180、C.I.顏料紅192、C.I.顏料紅215、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料藍(lán)15:1、C.I.顏料藍(lán)15:4、C丄顏料藍(lán)15:6、C丄顏料藍(lán)22、C.I.顏料藍(lán)60、C.I,顏料藍(lán)64、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃83、C.I.顏料紫23、特開(kāi)2002—162752號(hào)公報(bào)的(0138)(0141)中記載的著色劑等。作為所述著色劑的平均粒徑，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5pm以下，更優(yōu)選為lpm以下。另外，制作濾色片時(shí)，作為所述平均粒徑，優(yōu)選為0.5pm以下。作為所述感光層的厚度，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為110(Him，更優(yōu)選為250pm，特別優(yōu)選為43(Vm。<支撐體及保護(hù)薄膜>作為所述支撐體，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但優(yōu)選可以剝離所述感光層且光的透過(guò)性良好的支撐體，進(jìn)而更優(yōu)選表面的平滑性良好。另外，所述圖案形成材料也可以在所述感光層上形成保護(hù)薄膜。作為所述支撐體及保護(hù)薄膜，具體而言，例如在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載。<其他層>作為所述其他層，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出緩沖層、阻擋層、剝離層、粘接層、光吸收層、表面保護(hù)層等層。所述圖案形成材料可以單獨(dú)具有這些層中的l層，也可以具有2層以上，另外，也可以具有2層以上同種層。所述本發(fā)明的圖案形成材料中的所述感光層優(yōu)選以如下所述的光進(jìn)行曝光，g卩利用具有n個(gè)接受并射出來(lái)自光照射機(jī)構(gòu)的光的描繪部的光調(diào)制機(jī)構(gòu)、對(duì)來(lái)自所述光照射機(jī)構(gòu)的光進(jìn)行調(diào)制之后、從排列有具有可修正所述描繪部的射出面的變形引起的像差的非球面的微透鏡的微透鏡陣列通過(guò)的光，或者，從排列有具有不使來(lái)自所述描繪部的周邊部的光入射的透鏡開(kāi)口形狀的微透鏡的微透鏡陣列通過(guò)的光。所述光照射機(jī)構(gòu)、所述描繪部、所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)、所述非球面、所述微透鏡以及所述微透鏡陣列的具體情況如后述。所述曝光工序是對(duì)本發(fā)明的圖案形成材料中的感光層迸行曝光的工序。本發(fā)明的所述圖案形成材料如上所述。作為曝光的對(duì)象，只要是所述圖案形成材料中的感光層即可，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如，優(yōu)選對(duì)在基材上形成所述圖案形成材料而成的層疊體進(jìn)行。作為所述基材，沒(méi)有特別限制，可以從公知的材料中、從表面平滑性高的基材到具有有凸凹的表面的基材或者具有穿通孔或通孔等孔部的基材中適當(dāng)選擇，優(yōu)選板狀的基材(基板)，具體而言，可以舉出公知的印刷電路布線板形成用基板(例如鍍銅疊層板)、玻璃板(例如鈉鈣玻璃板等)、合成樹(shù)脂性薄膜、紙、金屬板等，其中，從向含有銅的材料的粘附性出色的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選所述鍍銅疊層板。作為該層疊體的形成方法，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選在所述基材上，進(jìn)行加熱及加壓的至少一種的同時(shí)來(lái)層疊所述圖案形成材料。作為所述加熱溫度，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選1518(TC，更優(yōu)選60140。C。作為所述加壓的壓力，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但例如優(yōu)選0.11.0MPa，更優(yōu)選0.20.8MPa。作為進(jìn)行所述加熱及加壓的至少任意一種的裝置，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出層壓機(jī)(例如大成層壓機(jī)(，S氺一夕)公司制，VP—II)、真空層壓機(jī)等。作為所述曝光，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以舉出數(shù)字曝光、模擬曝光等，其中，優(yōu)選數(shù)字曝光。作為所述數(shù)字曝光，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選基于將要形成的圖案形成信息產(chǎn)生控制信號(hào)，使用對(duì)應(yīng)該控制信號(hào)而被調(diào)制的光進(jìn)行。作為所述數(shù)字曝光的機(jī)構(gòu)，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出照射光的光照射機(jī)構(gòu)、對(duì)基于將要形成的圖案信息從該光照射機(jī)構(gòu)照射的光進(jìn)行調(diào)制的光調(diào)制機(jī)構(gòu)等。<光調(diào)制機(jī)構(gòu)>作為所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)，只要可以調(diào)制光，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選具有n個(gè)描繪部。作為具有所述n個(gè)描繪部的光調(diào)制機(jī)構(gòu)，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選空間光調(diào)制元件。作為所述空間光調(diào)制元件，例如可以舉出數(shù)字*微鏡'器件(DMD)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems))型的空間光調(diào)制元件(SLM;空間光調(diào)節(jié)器(SpecialLightModulator))、利用電光學(xué)效果調(diào)制透過(guò)光的光學(xué)元件(PLZT元件)、液晶光開(kāi)閉器(FLC)等，其中，可以優(yōu)選舉出DMD。另外，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)優(yōu)選具有基于要形成的圖案信息生成控制信號(hào)的圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)。這種情況下，所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述圖案信號(hào)生成機(jī)構(gòu)所生成的控制信號(hào)來(lái)調(diào)制光。作為所述控制信號(hào)，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出數(shù)字信號(hào)。作為所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)的具體例，可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的中記載的機(jī)構(gòu)等。<光照射機(jī)構(gòu)>作為所述光照射機(jī)構(gòu)，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出(超)高壓汞燈、氙燈、炭棒弧光燈、鹵素?zé)?、?fù)寫(xiě)機(jī)用等的熒光管、LED、半導(dǎo)體激光等公知光源或可以復(fù)合2種以上的光進(jìn)行照射的機(jī)構(gòu)，其中，優(yōu)選可以復(fù)合2種以上的光進(jìn)行照射的機(jī)構(gòu)。作為從所述光照射機(jī)構(gòu)照射的光，例如在借助支撐體進(jìn)行光照射的情況下，可以舉出透過(guò)該支撐體并活化使用的光聚合引發(fā)劑或增感劑的電磁波、從紫外到可見(jiàn)光線、電子射線、X射線、激光等，其中，優(yōu)選激光，更優(yōu)選復(fù)合2種以上的光的激光(以下有時(shí)稱為"合波激光")。另外，從剝離支撐體后進(jìn)行光照射的情況下，也可以使用同樣的光。作為所述從紫外到可見(jiàn)光線的波長(zhǎng)，例如優(yōu)選3001,500nm，更優(yōu)選320800nm，特別優(yōu)選330650nm。作為所述激光的波長(zhǎng)，例如優(yōu)選2001,500nm，更優(yōu)選300800nm，進(jìn)而優(yōu)選330500nm，特別優(yōu)選400450nm。作為可以照射所述合波激光的機(jī)構(gòu)，例如優(yōu)選具有多種激光、多模光纖和從該多種激光分別照射的激光光束進(jìn)行會(huì)聚并使其結(jié)合于所述多模光纖的聚光光學(xué)體系的機(jī)構(gòu)。作為所述可以照射合波激光的機(jī)構(gòu)(光纖陣列光源)，例如可以舉出特開(kāi)2005—316431號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)中記載的機(jī)構(gòu)等。<微透鏡陣列>所述曝光優(yōu)選使所述己被調(diào)制的光通過(guò)微透鏡陣列來(lái)進(jìn)行，進(jìn)而也可以通過(guò)孔徑陣列、成像光學(xué)體系等進(jìn)行。作為所述微透鏡陣列，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以優(yōu)選舉出具有可修正所述描繪部中的射出面的變形造成的像差的非球面的微透鏡陣列、具有不使來(lái)自所述描繪部的周邊部的光入射的透鏡開(kāi)口形狀的微透鏡陣列。作為所述非球面，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選為復(fù)曲面。另外，作為所述微透鏡陣列、所述孔徑陣列以及所述成像光學(xué)體系等，例如可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)中記載的機(jī)構(gòu)等。<其他光學(xué)體系>在本發(fā)明的圖案形成方法中，也可以與從公知的光學(xué)體系中適當(dāng)選擇的其他光學(xué)體系并用，例如可以舉出由一對(duì)組合透鏡構(gòu)成的光量分布校正光學(xué)體系等。所述光量分布校正光學(xué)體系使各射出位置的光束寬度變化，從而使周邊部的光束寬度相對(duì)靠近光軸的中心部的光束寬度之比，在射出側(cè)比入射側(cè)小，在向DMD照射來(lái)自光照射機(jī)構(gòu)的平行光束時(shí)，在被照射面的光量分布被校正成大致均一。作為所述光量分布校正光學(xué)體系，例如可以舉出在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)中記載的機(jī)構(gòu)等。[顯影工序]所述顯影工序例如可以優(yōu)選利用顯影機(jī)構(gòu)實(shí)施。作為所述顯影機(jī)構(gòu)，可以使用顯影液進(jìn)行顯影，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出噴霧所述顯影液的機(jī)構(gòu)、涂敷所述顯影液的機(jī)構(gòu)、浸漬于所述顯影液的機(jī)構(gòu)等。它們可以單獨(dú)使用l種或并用2種以上。另外，所述顯影機(jī)構(gòu)也可以包括交換所述顯影液的顯影液交換機(jī)構(gòu)、供給所述顯影液的顯影液供給機(jī)構(gòu)等。作為顯影時(shí)的顯影時(shí)間，為1550秒，更優(yōu)選為2040秒，特別優(yōu)選為2535秒。如果所述顯影時(shí)間不到15秒，則可能不能得到均一的顯影，如果超過(guò)50秒，則生產(chǎn)率可能變差。作為所述顯影液，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出堿性液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等，其中，優(yōu)選弱堿性的水溶液。作為該弱堿性液的堿成分，例如可以舉出氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、磷酸鈉、磷酸鉀、焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、硼砂、碳酸鈉、有機(jī)胺等。其中，可以特別優(yōu)選舉出碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、有機(jī)胺、碳酸氫鈉。作為所述弱堿性的水溶液的pH，例如優(yōu)選約812，更優(yōu)選約911。作為所述弱堿性的水溶液，例如可以舉出0.15質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。作為所述顯影液的溫度，可以對(duì)應(yīng)所述感光層的顯影性適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選約25"C4(TC。另外，作為顯影液的堿濃度，優(yōu)選0.110質(zhì)量％，更優(yōu)選0.61.5質(zhì)量％。如果所述堿濃度不到0.1質(zhì)量％，則顯影時(shí)間變長(zhǎng)，生產(chǎn)率可能差，如果超過(guò)10質(zhì)量％，則顯影時(shí)間過(guò)快，可能變得不能控制。所述顯影液也可以與表面活性劑、消泡劑、有機(jī)堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基胺氫氧化物、三亞乙基三胺、三亞乙基五胺、嗎啉、三乙醇胺等)或用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等。另外，所述顯影液可以為混合水或堿水溶液與有機(jī)溶劑的水系顯影液，也可以單獨(dú)為有機(jī)溶劑。作為所述其他工序，沒(méi)有特別限制，可以從公知的圖案形成中的工序中適當(dāng)選擇，例如可以舉出蝕刻工序、鍍敷工序等。它們可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。所述顯影工序是利用所述曝光工序?qū)λ鰣D案形成材料中的感光層進(jìn)行曝光，使該感光層的己曝光的區(qū)域固化，然后除去未固化區(qū)域，由此進(jìn)行顯影，形成圖案的工序。本發(fā)明的圖案形成材料的未曝光膜破裂的防止效果出色，所以即使在為了所述顯影而從感光層剝離支撐體的情況下，也不會(huì)發(fā)生感光層的沒(méi)有發(fā)生固化的未曝光部分在孔部斷裂、剝離，可以防止感光層的微小的剝離片造成的裝置的污染、圖案的析像度的降低等。作為所述蝕刻工序，可以利用從公知的蝕刻處理方法中適當(dāng)選擇的方法進(jìn)行。作為所述蝕刻處理中使用的蝕刻液，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如由銅形成所述金屬層的情況下，可以舉出氯化銅溶液、氯化鐵溶液、堿蝕刻溶液、過(guò)氧化氫系蝕刻液等，其中，從蝕刻因素(etchingfactor)的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選三氯化鐵溶液。通過(guò)在利用所述蝕刻工序進(jìn)行蝕刻處理之后除去所述圖案，可以在所述基體的表面上形成永久圖案。作為所述永久圖案，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以舉出布線圖案等。作為所述鍍敷工序，可以利用從公知的鍍敷處理中適當(dāng)選擇的方法進(jìn)行。作為所述鍍敷處理，例如可以舉出硫酸銅鍍敷、焦磷酸銅鍍敷等銅鍍敷，高流動(dòng)性(highflow)焊錫鍍敷等焊錫鍍敷，瓦特浴(硫酸鎳一氯化鎳)鍍敷，氨基磺酸鎳等鎳鍍敷，硬(hard)金鍍敷、軟金鍍敷等金鍍敷等處理?？梢酝ㄟ^(guò)在利用所述鍍敷工序進(jìn)行鍍敷處理之后除去所述圖案，另外還進(jìn)一步根據(jù)需要通過(guò)用蝕刻處理等除去不需要部分，在所述基材的表面形成永久圖案。本發(fā)明的所述圖案形成方法可以優(yōu)選用于印刷電路布線板的制造特別是具有穿通孔或通孔等孔部的印刷電路布線板的制造及濾色片的制造。以下對(duì)利用本發(fā)明的圖案形成方法的印刷電路布線板的制造方法及濾色片的制作方法的一例進(jìn)行說(shuō)明。一印刷電路布線板的制造方法一特別是作為具有穿通孔或通孔等孔部的印刷電路布線板的制造方法，可以通過(guò)(1)在作為所述基材的具有孔部的印刷電路布線板形成用基板上，以該感光層成為所述基材側(cè)的位置關(guān)系層疊所述圖案形成材料，形成層疊體，(2)從所述層疊體的與所述基材相反側(cè)對(duì)需要的區(qū)域進(jìn)行光照射，使感光層固化，(3)從所述層疊體除去所述圖案形成材料中的支撐體、緩沖層及阻擋層，(4)以顯影時(shí)間1550秒，對(duì)所述層疊體中的感光層進(jìn)行顯影，除去該層疊體中的未固化部分，來(lái)形成圖案。然后，為了得到印刷電路布線板，只要利用使用所述己形成的圖案，蝕刻處理或鍍敷處理所述印刷電路布線板形成用基板的方法(例如公知的減(subtractive)法或加(additive)法(例如半加(semiadditive)法、全加(foiladditive)法))進(jìn)行處理即可。其中，為了用工業(yè)上有利的隆起(tenting)工序形成印刷電路布線板，優(yōu)選所述減法。剝離所述處理后印刷電路布線板形成用基板上殘存的固化樹(shù)脂，另外在所述半加法的情況下，可以通過(guò)在剝離后進(jìn)一步蝕刻銅薄膜部，制造需要的印刷電路布線板。另夕卜，多層印刷電路布線板也可以與所述印刷電路布線板的制造方法同樣地制造。接著，對(duì)使用所述圖案形成材料的具有穿通孔的印刷電路布線板的制造方法進(jìn)一步說(shuō)明。首先，準(zhǔn)備具有穿通孔、表面被金屬鍍敷層覆蓋的印刷電路布線板形成用基板。作為所述印刷電路布線板形成用基板，例如可以使用在鍍銅疊層板及玻璃一環(huán)氧等絕緣基材上形成銅鍍敷層的基板，或在這些基板上層疊層間絕緣膜形成銅鍍敷層的基板(層疊基板)。接著，在所述圖案形成材料上具有保護(hù)薄膜的情況下，剝離該保護(hù)薄膜，使用加壓輥，壓接所述圖案形成材料中的感光層，使其與所述印刷電路布線板形成用基板的表面接觸(層疊工序)。這樣，可以得到依次具有所述印刷電路布線板形成用基板和所述層疊體的層疊體。作為所述圖案形成材料的層疊溫度，沒(méi)有特別限制，例如可以舉出室溫(1530°C)或加熱下(30180°C)，其中，優(yōu)選加熱下(60140°C)。作為所述壓接輥的輥壓，沒(méi)有特別限制，例如優(yōu)選0.1lMPa。作為所述壓接的速度，沒(méi)有特別限制，優(yōu)選l3m/分鐘。另外，也可以預(yù)熱所述印刷電路布線板形成用基板，或在減壓下層疊。所述層疊體的形成也可以在所述印刷電路布線板形成用基板上層疊所述圖案形成材料，或者通過(guò)在所述印刷電路布線板形成用基板的表面上直接涂敷并干燥所述圖案形成材料制造用的感光性樹(shù)脂組合物溶液等，在所述印刷電路布線板形成用基板上層疊感光層、阻擋層、緩沖層及支撐體。接著，從所述層疊體的與基材的相反側(cè)的面，照射光使感光層固化。此外，此時(shí)，也可以根據(jù)需要(例如支撐體的光透過(guò)性不充分的情況下等)剝離所述支撐體、緩沖層及阻擋層后進(jìn)行曝光。在此刻，在尚未剝離所述支撐體、緩沖層及阻擋層的情況下，從所述層疊體剝離所述支撐體、緩沖層及阻擋層(剝離工序)。接著，用適當(dāng)?shù)娘@影液以1550秒溶解除去所述印刷電路布線板形成用基板上的感光層的未固化區(qū)域，形成布線圖案形成用的固化層和穿通孔的金屬層保護(hù)用固化層的圖案，在所述印刷電路布線板形成用基板的表面上露出金屬層(顯影工序)。另外，也可以在顯影后根據(jù)需要利用后加熱處理或后曝光處理，進(jìn)一步進(jìn)行促進(jìn)固化部的固化反應(yīng)的處理。顯影可以為如上所述的濕顯影法，也可以為干顯影法。接著，用蝕刻液溶解除去在所述印刷電路布線板形成用基板的表面上露出的金屬層(蝕刻工序)。穿通孔的開(kāi)口部由固化樹(shù)脂組合物(遮蓋膜)覆蓋，所以蝕刻液不會(huì)進(jìn)入穿通孔內(nèi)腐蝕穿通孔內(nèi)的金屬鍍層，穿通孔的金屬鍍層變?yōu)闅埓嬉?guī)定的形狀。這樣，在所述印刷電路布線板形成用基板上形成布線圖案。作為所述蝕刻液，沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如所述金屬層由銅形成的情況下，可以舉出氯化銅溶液、氯化鐵溶液、堿蝕刻溶液、過(guò)氧化氫系蝕刻液等，其中，從蝕刻因素的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選氯化鐵溶液。接著，作為用強(qiáng)堿水溶液等，將所述固化層作為剝離片，從所述印刷電路布線板形成用基板除去(固化物除去工序)。作為所述強(qiáng)堿水溶液中的堿成分，沒(méi)有特別限制，例如可以舉出氫氧化鈉、氫氧化鉀等。作為所述強(qiáng)堿水溶液的pH，例如優(yōu)選約為1214，更優(yōu)選約為1314。作為所述強(qiáng)堿水溶液，沒(méi)有特別限制，例如可以舉出110質(zhì)量％的氫氧化鈉水溶液或氫氧化鉀水溶液等。另外，印刷電路布線板也可以為多層結(jié)構(gòu)的印刷電路布線板。此外，所述圖案形成材料不僅可以在所述蝕刻過(guò)程中使用，還可以在鍍敷過(guò)程中使用。作為所述鍍敷法，例如可以舉出硫酸銅鍍敷、焦磷酸銅鍍敷等銅鍍敷，高流動(dòng)性焊錫鍍敷等焊錫鍍敷，瓦特浴(硫酸鎳一氯化鎳)鍍敷，氨基磺酸鎳等鎳鍍敷，硬金鍍敷、軟金鍍敷等金鍍敷等。一濾色片的制造方法一在玻璃基板等的基體上，貼合本發(fā)明的所述圖案形成材料中的感光層，從該圖案形成材料剝離支撐體、緩沖層及阻擋層的情況下，已帶電的所述支撐體(薄膜)與人體可能會(huì)受到不舒服的電擊(shock),或者存在在已帶電的所述支撐體上附著塵埃等問(wèn)題。所以，優(yōu)選在所述支撐體上設(shè)置導(dǎo)電層，或者向所述支撐體自身實(shí)施賦予導(dǎo)電性的處理。另外，在與緩沖層相反側(cè)的所述支撐體上設(shè)置所述導(dǎo)電層的情況下，為了提高耐損傷性而優(yōu)選設(shè)置疏水性聚合物層。接著，制作將所述感光層分別著色成紅、綠、藍(lán)、黒的具有紅色感光層的圖案形成材料、具有綠色感光層的圖案形成材料、具有藍(lán)色感光層的圖案形成材料和具有黑色感光層的圖案形成材料。使用具有紅像素用的所述紅色感光層的圖案形成材料，在所述基材表面層疊紅色感光層形成層疊體之后，將像樣本進(jìn)行曝光、顯影，形成紅的像素。形成紅的像素之后，加熱所述層疊體，使未固化部分固化。對(duì)綠、藍(lán)的像素也與其同樣地進(jìn)行，形成各像素。所述層疊體的形成可以在所述玻璃基板上層疊所述圖案形成材料，或者也可以通過(guò)在所述玻璃基板的表面上直接涂敷并干燥所述圖案形成材料制造用的感光性樹(shù)脂組合物溶液等，來(lái)在所述玻璃基板上層疊感光層、阻擋層、緩沖層及支撐體。另外，配置紅、綠、藍(lán)三種像素的情況下，也可以為如嵌鑲型、三角形型、4像素配置型等之類的配置。在形成有所述像素的面上層疊具有所述黒色感光層的圖案形成材料，從未形成像素的側(cè)進(jìn)行背面曝光，以顯影時(shí)間1550秒進(jìn)行顯影，形成黑底。可以通過(guò)加熱形成有該黑底的層疊體，使未固化部分固化，制造濾色片。本發(fā)明的所述圖案形成方法由于使用本發(fā)明的所述圖案形成材料，所以可以優(yōu)選用于各種圖案的形成，布線圖案等永久圖案的形成，濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造，全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造，特別可以優(yōu)選用于形成高精細(xì)的布線圖案。本發(fā)明的圖案形成裝置由于具備本發(fā)明的所述圖案形成材料，所以可以優(yōu)選用于各種圖案的形成，布線圖案等永久圖案的形成，濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造，全息攝影、微型電機(jī)，印樣等的制造，特別可以優(yōu)選用于高精細(xì)布線圖案的形成。實(shí)施例以下利用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的說(shuō)明，但本發(fā)明不被這些所限定。(實(shí)施例1)一圖案形成材料的制造一作為所述支撐體，向厚16pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜，涂敷由下述組成構(gòu)成的感光性樹(shù)脂組合物溶液并將其干燥，形成厚15pm的感光層，制造所述圖案形成材料。r感光性樹(shù)脂組合物溶液的組成i甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物(共聚物組成(質(zhì)量比)25/29/46],質(zhì)均分子量43，000，Tg:127°C，酸值163mgKOH/g、I/O直0.55)15質(zhì)量份.單體(東亞合成公司制，M270，1/0值:0.41)14質(zhì)量份B—CIM(保土谷化學(xué)制)2.17質(zhì)量份，2—巰基苯并咪唑0.23質(zhì)量份，孔雀綠草酸鹽0.02質(zhì)量份無(wú)色結(jié)晶紫(leucocrystalviolet)0.26質(zhì)量份甲基乙基甲酮40質(zhì)量份l一甲氧基一2—丙醇20質(zhì)量份在所述感光性組合物中，粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比為1.07。在所述圖案形成材料的感光層上層疊厚20^im的聚乙烯薄膜作為所述保護(hù)薄膜。接著，作為所述基材，配制對(duì)表面進(jìn)行了化學(xué)研磨的鍍銅疊層板(日立化成工業(yè)公司制，商品名MCL—E—67，沒(méi)有穿通孔，銅的厚度12pm)，在該鍍銅疊層板上，剝離所述圖案形成材料的保護(hù)薄膜，同時(shí)使用層壓機(jī)(MODEL8B—720—PH，大成層壓機(jī)(株)制)層疊該圖案形成材料的感光層，使其與所述鍍銅疊層板接觸，制作依次層疊了所述鍍銅疊層板、所述感光層、所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)的層疊體。此外，對(duì)所述鍍銅疊層板中的層疊有所述感光層的一面，測(cè)定JISB0601中規(guī)定的最大高度(R2)，結(jié)果該Rz為3pm。壓接條件為壓接輥溫度105°C、壓接輥壓力0.3MPa、層疊速度lm/分鐘。對(duì)所述制造的所述層疊體，如下所述地舉行，進(jìn)行最短顯影時(shí)間、感度及析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表1所示。<析像度>(1)最短顯影時(shí)間的測(cè)定方法從所述層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)，用0.15MPa的壓力向鍍銅疊層板上的所述感光層的全面噴射3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，測(cè)定從開(kāi)始噴射碳酸鈉水溶液到溶解除去鍍銅疊層板上的感光層所需要的時(shí)間，將其作為最短顯影時(shí)間。結(jié)果，所述最短顯影時(shí)間為8秒鐘，最適顯影時(shí)間為其2倍(以下的例子也相同)的16秒。(2)感度的測(cè)定對(duì)所述層疊體的圖案形成材料的感光層，從聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)偵'j，使用作為所述光照射機(jī)構(gòu)的具有405nm的激光光源的圖案形成裝置，照射以21/2倍間隔、從0.1mJ/cr^到100mJ/cm2的光能量不同的光，進(jìn)行曝光，使所述感光層的一部分區(qū)域固化。在室溫下靜置IO分鐘，然后從所述層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)，用噴射壓0.15MPa向鍍銅疊層板上的感光層的全面噴射碳酸鈉水溶液(30°C，1質(zhì)量％)，噴射時(shí)間為在所述(1)中求得的最短顯影時(shí)間的2倍，溶解除去未固化的區(qū)域，測(cè)定殘留的固化區(qū)域的厚度。接著，繪制光的照射量與固化層的厚度之間的關(guān)系的曲線圖，得到感度曲線。這樣從得到的感度曲線可知，將固化區(qū)域的厚度成為與在所述中設(shè)置的感光層的厚度(15pm)的差為0.5pm時(shí)的光能量，作為使感光層固化所必需的最小光能量。結(jié)果，為使所述感光層固化所必需的光能量為10mJ/cm2。此外，所述圖案形成裝置具有由所述DMD構(gòu)成的光調(diào)制機(jī)構(gòu)，具備所述圖案形成材料。(3)析像度的測(cè)定(L/S二1/1和L/S-1/100的線圖案的線寬的測(cè)定)用與所述(1)的最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)方法相同的方法及條件，制作所述層疊體，在室溫下(23°C，55%RH)靜置10分鐘。從得到的層疊體的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)上，使用所述圖案形成裝置，以L/S=20/20進(jìn)行曝光，分別得到長(zhǎng)20cm的10根線圖案。另一方面，對(duì)其他層疊體，使用所述圖案形成裝置，以L/S=20/2，000進(jìn)行曝光，分別得到長(zhǎng)20cm的IO根線圖案。此時(shí)的曝光量為固化在所述(2)測(cè)定的所述圖案形成材料的感光層所必需的最小光能量。在室溫下靜置10分鐘之后，從所述層疊體剝?nèi)ゾ蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)、所述緩沖層以及所述阻擋層。用噴射壓0.15MPa向鍍銅疊層板上的感光層的全面噴射作為所述顯影液的碳酸鈉水溶液(3(TC，1質(zhì)量％)40秒鐘，進(jìn)行顯影，溶解除去未固化區(qū)域。用光學(xué)顯微鏡觀察這樣地進(jìn)行得到的帶固化樹(shù)脂圖案的鍍銅疊層板的表面，對(duì)各固化膜的長(zhǎng)20cm的10根線圖案，對(duì)每1根線圖案，從端部開(kāi)始，在lcm、10cm、19cm的位置，測(cè)定厚度方向的上端、中央以及下端3點(diǎn)的線寬，測(cè)定共計(jì)90點(diǎn)的線寬。算出這樣測(cè)定的L/S=20/20的線圖案的線寬的90點(diǎn)的平均值、與L/S=20/200的線圖案的線寬的90點(diǎn)的平均值的差。該差為5pm以下時(shí)，可以得到高析像度且高精細(xì)的圖案。(實(shí)施例2)在實(shí)施例1中，代替所述感光性樹(shù)脂組合物中的單體(東亞合成公司制，M270，1/0值:0.41)，使用UAT1/BPE500/M270=45/10/10，使單體的I/O值為0.97，使其添加量為7.89質(zhì)量份，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。實(shí)施例2的粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比為1.9。<評(píng)價(jià)>接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，以表1所示的顯影時(shí)間進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(實(shí)施例3)在實(shí)施例1中，使析像度測(cè)定時(shí)的顯影時(shí)間為50秒鐘，除此以外，使用與實(shí)施例1相同的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表1所示。(實(shí)施例4)在實(shí)施例1中，使析像度測(cè)定時(shí)的顯影時(shí)間為15秒鐘，除此以外，使用與實(shí)施例1相同的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表1所示。(實(shí)施例5)在實(shí)施例1中，使所述感光性樹(shù)脂組合物中的粘合劑的組成比為甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物=25/45/30，使粘合劑的I/O值為0.71，使其添加量為15質(zhì)量份，作為單體使用UAT1/BPE500/M270二45/10/10，使單體的I/0值為0.97，使其添加量為11.54質(zhì)量份，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。實(shí)施例2的粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比為1.3。<評(píng)價(jià)>接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(實(shí)施例6)在實(shí)施例1中，使用3(TC的0.5質(zhì)量％碳酸鈉作為顯影液，使析像度測(cè)定時(shí)的顯影時(shí)間為50秒鐘，除此以外，使用與實(shí)施例1相同的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(實(shí)施例7)使用實(shí)施例1的圖案形成材料，將所述圖案形成裝置代替成在特開(kāi)2005—258431號(hào)公報(bào)的段落編號(hào)中記載的圖案形成裝置，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表1所示。(比較例1)在實(shí)施例1中，使所述感光性樹(shù)脂組合物中的粘合劑的組成比為甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物=29/0/71，使粘合劑的I/O值為0.42，作為單體使用M270(新中村化學(xué)工業(yè)公司制單體)，使單體的I/O值為0.41，除此以外，與實(shí)施例l同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。比較例1的粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比為1.07。<評(píng)價(jià)>接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，以表1所示的顯影時(shí)間進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。此外，比較例l的感光層過(guò)硬，不能進(jìn)行顯影，不能進(jìn)行感度、最短顯影時(shí)間以及析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(比較例2)在實(shí)施例1中，使粘合劑的添加量為15質(zhì)量份，使單體的添加量為6質(zhì)量份，粘合劑與單體的質(zhì)量比為2.5，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。<評(píng)價(jià)>接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，以表1所示的顯影時(shí)間進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。此外，比較例2的感光層過(guò)硬，不能進(jìn)行顯影，不能進(jìn)行感度、最短顯影時(shí)間以及析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(比較例3)在實(shí)施例l中，沒(méi)有在所述感光性樹(shù)脂組合物中添加2—巰基苯并咪唑，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。<評(píng)價(jià)〉接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地迸行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，以表1所示的顯影時(shí)間進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。(比較例4)在實(shí)施例1中，使所述感光性樹(shù)脂組合物中的粘合劑的組成比為甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物=40/35/25，使粘合劑的I/O值為0.85，除此以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，制造圖案形成材料。<評(píng)價(jià)>接著，使用得到的圖案形成材料，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行，測(cè)定感度、最短顯影時(shí)間(最適顯影時(shí)間)，以表1所示的顯影時(shí)間進(jìn)行析像度的評(píng)價(jià)。結(jié)果如表l所示。<table>complextableseeoriginaldocumentpage64</column></row><table>從表1可知，實(shí)施例17的圖案形成材料的該感光層的感度為20mJ/ciT^以下，顯影時(shí)間為1550秒鐘，利用L/S二1/1的曝光形成的線圖案與利用L/S=l/100的曝光形成的線圖案的線寬之差為5,以下，判斷為顯影時(shí)間短，顯影性出色，可以得到高析像度且高精細(xì)的圖案。與此相對(duì)，比較例1及2的得到的感光層過(guò)硬，不能測(cè)定感度、顯影性、析像度。另外，在比較例3中，析像度或顯影時(shí)間良好，但感度明顯差。另外，在比較例4中，感度良好，但不能測(cè)定顯影性、析像度。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的圖案形成材料為高感度，且顯影性出色，可以得到高析像度且高精細(xì)的圖案。所以可以優(yōu)選用于各種圖案的形成，布線圖案等永久圖案的形成，濾色片、柱材、肋材、間隔件、隔壁等液晶結(jié)構(gòu)構(gòu)件的制造，全息照相，微型電機(jī)，印樣的制造等，特別是可以優(yōu)選用于高精細(xì)的布線圖案的形成。權(quán)利要求1.一種圖案形成材料，其特征在于，包含支撐體、在該支撐體上至少具有的感光層，該感光層至少含有粘合劑、聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑，該感光層的感度在20mJ/cm2以下，在曝光之后顯影該感光層時(shí)的顯影時(shí)間為15～50秒鐘。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的圖案形成材料，其中，在以線寬1040,、線/空間(L/S)二1/1以及L/S=1/100的條件對(duì)感光層進(jìn)行曝光、顯影得到的圖案中，所述通過(guò)L/S二1/1的曝光形成的線圖案與通過(guò)L/S=l/100的曝光形成的線圖案的線寬之差為5pm以下。3.根據(jù)權(quán)利要求12中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，粘合劑的I/0值為0.50.8。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，聚合性化合物的I/O值為0.51.5。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，粘合劑與聚合性化合物的質(zhì)量比(粘合劑/聚合性化合物)為12。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，粘合劑含有共聚物，該共聚物具有來(lái)源于苯乙烯及苯乙烯衍生物的至少任意一種的結(jié)構(gòu)單元。7.根據(jù)權(quán)利要求16中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，粘合劑的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為8(TC以上。8.根據(jù)權(quán)利要求17中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，粘合劑的酸值為70250mgKOH/g。9.根據(jù)權(quán)利要求18中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，聚合性化合物含有具有尿垸基及芳基的至少任意一種的單體。10.根據(jù)權(quán)利要求19中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，其中，光聚合引發(fā)劑含有從鹵代烴衍生物、氧化膦、六芳基聯(lián)二咪唑、肟衍生物、有機(jī)過(guò)氧化物、硫代化合物、酮化合物、?；趸⒒衔?、芳香族鑰鹽、及酮肟醚中選擇的至少一種。11.一種圖案形成裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求110中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料，至少具有可以照射光的光照射機(jī)構(gòu)；和調(diào)制來(lái)自該光照射機(jī)構(gòu)的光并對(duì)所述圖案形成材料中的感光層進(jìn)行曝光的光調(diào)制機(jī)構(gòu)。12.—種圖案形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)權(quán)利要求110中任意一項(xiàng)所述的圖案形成材料中的該感光層進(jìn)行曝光、以1550秒的顯影時(shí)間進(jìn)行顯影的步驟。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖案形成方法，其中，在顯影溫度2540℃下，使用從碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、有機(jī)胺以及碳酸氫鈉的任意一種中選擇的堿濃度為0.110質(zhì)量％的堿顯影液進(jìn)行顯影。14.根據(jù)權(quán)利要求1213中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，基于形成的圖案信息而生成控制信號(hào)，使用根據(jù)該控制信號(hào)進(jìn)行調(diào)制的光進(jìn)行曝光。15.根據(jù)權(quán)利要求1214中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，在利用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制光之后，使光通過(guò)排列有微透鏡的微透鏡陣列來(lái)進(jìn)行曝光，其中，所述微透鏡陣列具有可修正所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)中的描繪部的射出面的變形引起的像差的非球面。16.根據(jù)權(quán)利要求1214中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，在利用光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制光之后，使光通過(guò)排列有微透鏡的微透鏡陣列來(lái)進(jìn)行曝光，所述微透鏡陣列具有不使來(lái)自所述光調(diào)制機(jī)構(gòu)中的描繪部的周邊部的光入射的開(kāi)口形狀。17.根據(jù)權(quán)利要求1516中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，陣列微透鏡具有可修正描繪部中的射出面的變形引起的像差的非球面。18.根據(jù)權(quán)利要求1517中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，非球面為復(fù)曲面。19.根據(jù)權(quán)利要求1618中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，陣列微透鏡具有圓形的透鏡幵口形狀。20.根據(jù)權(quán)利要求1619中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，透鏡開(kāi)口形狀通過(guò)在其透鏡面設(shè)置遮光部而被規(guī)定。21.根據(jù)權(quán)利要求1220中任意一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，在進(jìn)行顯影之后，進(jìn)行永久圖案的形成。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供一種圖案形成材料，其是一種高感度而且顯影性出色的、可以得到高析像度和高精細(xì)的圖案的圖案形成材料，本發(fā)明的目的還在于提供具備該圖案形成材料的圖案形成裝置及使用該圖案形成材料的圖案形成方法。所以，本發(fā)明提供的圖案形成材料的特征在于，具有支撐體和在該支撐體上至少具有的感光層，該感光層至少含有粘合劑、聚合性化合物及光聚合引發(fā)劑，該感光層的感度在20mJ/cm²以下，在曝光之后顯影該感光層時(shí)的最短顯影時(shí)間為15～50秒。另外，本發(fā)明還提供使用所述圖案形成材料的圖案形成裝置及圖案形成方法。文檔編號(hào)G03F7/028GK101346666SQ20068004886公開(kāi)日2009年1月14日申請(qǐng)日期2006年11月20日優(yōu)先權(quán)日2005年12月22日發(fā)明者佐藤守正申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社