驅(qū)動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本說(shuō)明書中公開(kāi)的技術(shù)涉及通過(guò)單軸或多軸驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)裝置。在本說(shuō)明書中公開(kāi)的技術(shù)尤其涉及設(shè)置于基板作業(yè)機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置。在此所述的基板作業(yè)機(jī)對(duì)基板進(jìn)行預(yù)定作業(yè)，例如包括對(duì)電路基板印刷焊膏的焊料印刷機(jī)、將電子元件安裝于電路基板的安裝機(jī)(也稱為表面安裝機(jī)或貼片機(jī))、對(duì)安裝有電子元件的電路基板進(jìn)行檢查的基板檢查機(jī)等。
【背景技術(shù)】
[0002]在基板作業(yè)機(jī)上設(shè)有通過(guò)單軸或者多軸驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)裝置。例如，作為基板作業(yè)機(jī)的一例的安裝機(jī)具備在X-Y平面內(nèi)驅(qū)動(dòng)搭載有吸嘴及標(biāo)記相機(jī)等功能裝置的可動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)裝置。在這種驅(qū)動(dòng)裝置中，大多利用供電線纜及通信線纜對(duì)可動(dòng)部進(jìn)行供電和信號(hào)通信。但是，這些能夠變形的線纜存在斷線及空間增大的問(wèn)題。因此，開(kāi)發(fā)了一種將通信線纜無(wú)線化的技術(shù)，日本特開(kāi)平6-164192號(hào)公報(bào)及日本特開(kāi)平10-261996號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了其一例。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]在上述公報(bào)中，雖然可動(dòng)部的通信實(shí)現(xiàn)了無(wú)線化，但是供電依然利用供電線纜。因此，依然存在斷線及空間增大的問(wèn)題。本說(shuō)明書中公開(kāi)的技術(shù)的目的在于解決斷線及體積增大的問(wèn)題。
[0004]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置的一個(gè)實(shí)施方式具備:固定部；第一通信器，設(shè)置于固定部；第一可動(dòng)部，構(gòu)成為能夠相對(duì)于固定部沿著第一方向移動(dòng)；第二通信器，設(shè)置于第一可動(dòng)部，并且構(gòu)成為能夠與第一通信器進(jìn)行無(wú)線通信；及非接觸供電裝置，以非接觸方式從設(shè)置于固定部的輸電部向設(shè)置于第一可動(dòng)部的受電部供給電力。
[0005]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，固定部和第一可動(dòng)部之間的供電和信號(hào)通信雙方均實(shí)現(xiàn)無(wú)線化。因此，在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，不會(huì)產(chǎn)生線纜斷線的問(wèn)題，還能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省空間。
【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1表示安裝機(jī)的立體圖。
[0007]圖2表示設(shè)置于安裝機(jī)的元件移載裝置的立體圖。
[0008]圖3表示Y軸可動(dòng)部的主要部分的立體圖。
[0009]圖4表示從斜下方觀察Y軸可動(dòng)部的主要部分的立體圖。
[0010]圖5表示從Y軸方向觀察設(shè)置于安裝機(jī)的元件移載裝置的側(cè)視圖。
[0011]圖6表示非接觸供電裝置的電路圖。
[0012]圖7表示多路復(fù)用通信的數(shù)據(jù)種類的內(nèi)容。
[0013]圖8表示發(fā)送側(cè)的錯(cuò)誤設(shè)定裝置的框圖。
[0014]圖9表示接收側(cè)的錯(cuò)誤確認(rèn)裝置的框圖。
[0015]圖10表示多路復(fù)用數(shù)據(jù)列的一例。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下，對(duì)本說(shuō)明書中公開(kāi)的技術(shù)特征進(jìn)行整理。另外，以下所述的事項(xiàng)分別單獨(dú)地具有技術(shù)有用性。
[0017]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置的一個(gè)實(shí)施方式具備:固定部；第一通信器，設(shè)置于固定部；第一可動(dòng)部，構(gòu)成為能夠相對(duì)于固定部沿著第一方向移動(dòng)；第二通信器，設(shè)置于第一可動(dòng)部，并且構(gòu)成為能夠與第一通信器進(jìn)行無(wú)線通信；及非接觸供電裝置，以非接觸方式從設(shè)置于固定部的輸電部向設(shè)置于第一可動(dòng)部的受電部供給電力。沿著第一方向驅(qū)動(dòng)第一可動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)并未特別限定。在一個(gè)例子中，驅(qū)動(dòng)第一可動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括使用了線性電動(dòng)機(jī)或滾珠絲杠的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。第一通信器和第二光通信器可以進(jìn)行單向通信，也可以進(jìn)行雙向通信。非接觸供電裝置所使用的電力傳送方式并未特別限定。在一個(gè)例子中，非接觸供電裝置使用電場(chǎng)結(jié)合方式、電磁共鳴方式或電磁感應(yīng)方式。
[0018]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，也可以是，非接觸供電裝置的輸電部具有:一對(duì)輸電電極；與一對(duì)輸電電極電連接的電感器；及向一對(duì)輸電電極供給交流電的交流電源。進(jìn)而，也可以是，非接觸供電裝置的受電部具有分別與一對(duì)輸電電極相向的一對(duì)受電電極。該方式的非接觸供電裝置能夠利用電場(chǎng)結(jié)合方式供給電力。
[0019]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，也可以是，第一通信器是第一光無(wú)線通信器，第二通信器是第二光無(wú)線通信器。在該情況下，第一光無(wú)線通信器和第二光無(wú)線通信器之間的光信號(hào)的光軸與第一方向平行。在該驅(qū)動(dòng)裝置中，第一可動(dòng)部沿著第一光無(wú)線通信器和第二光無(wú)線通信器之間的光信號(hào)的光軸移動(dòng)，因此第一光無(wú)線通信器和第二光無(wú)線通信器之間的通信穩(wěn)定。
[0020]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，也可以是，還具備第二可動(dòng)部、第三光無(wú)線通信器及第四光無(wú)線通信器。第二可動(dòng)部設(shè)置于第一可動(dòng)部，構(gòu)成為能夠相對(duì)于第一可動(dòng)部而沿著與第一方向不同的第二方向移動(dòng)。第三光無(wú)線通信器設(shè)置于第一可動(dòng)部，與第二光無(wú)線通信器連接。第四光無(wú)線通信器設(shè)置于第二可動(dòng)部。在該情況下，第三光無(wú)線通信器和第四光無(wú)線通信器之間的光信號(hào)的光軸與第二方向平行。在該驅(qū)動(dòng)裝置中，第二可動(dòng)部沿著第三光無(wú)線通信器和第四光無(wú)線通信器之間的光信號(hào)的光軸移動(dòng)，因此第三光無(wú)線通信器和第四光無(wú)線通信器之間的通信穩(wěn)定。另外，在第一可動(dòng)部上設(shè)有第二光無(wú)線通信器和第三光無(wú)線通信器，在第二光無(wú)線通信器和第三光無(wú)線通信器之間光信號(hào)被轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。因此，能夠向設(shè)置于第一可動(dòng)部的功能裝置供給所需要的電信號(hào)。
[0021]也可以是，在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置還具備第二可動(dòng)部、電動(dòng)機(jī)及控制部。第二可動(dòng)部設(shè)置于第一可動(dòng)部，構(gòu)成為能夠相對(duì)于第一可動(dòng)部而沿著與第一方向不同的第二方向移動(dòng)。電動(dòng)機(jī)設(shè)置于第一可動(dòng)部，驅(qū)動(dòng)第二可動(dòng)部。控制部設(shè)置于第一可動(dòng)部，控制電動(dòng)機(jī)。在該情況下，控制部基于從第一通信器發(fā)送給第二通信器的指令信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。通過(guò)利用了第一通信器和第二通信器的無(wú)線技術(shù)，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的控制部也可以設(shè)置于第一可動(dòng)部。
[0022]在本說(shuō)明書中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)裝置中，也可以是，第一通信器和第二通信器構(gòu)成為使多個(gè)數(shù)據(jù)以多路復(fù)用方式進(jìn)行通信。在可動(dòng)部設(shè)有各種功能裝置，因此，向設(shè)置于可動(dòng)部的功能裝置發(fā)送的信號(hào)及/或來(lái)自功能裝置的信號(hào)也是多種多樣的。通過(guò)使用多路復(fù)用通信技術(shù)，能夠穩(wěn)定地使這多種信號(hào)高速地通信。
[0023]實(shí)施例
[0024]以下，參照附圖，對(duì)在電路基板上形成集成電路時(shí)使用的安裝機(jī)進(jìn)行說(shuō)明。電路基板上的集成電路按照焊料印刷機(jī)、安裝機(jī)以及回流爐的順序被搬運(yùn)而形成。焊料印刷機(jī)在電路基板上的電子元件的搭載位置上印刷焊膏。安裝機(jī)在印刷有焊膏的電路基板上的搭載位置上搭載電子元件。回流爐通過(guò)對(duì)電路基板實(shí)施熱處理而將電子元件焊接到電路基板上。
[0025]如圖1所示，安裝機(jī)10具備相鄰配置的兩個(gè)模塊，各個(gè)模塊具備共同的結(jié)構(gòu)。圖1表示取下了兩個(gè)模塊中的一個(gè)模塊的外裝板的狀態(tài)。各個(gè)模塊具備元件供給裝置110、基板搬運(yùn)裝置120、兩個(gè)元件移載裝置130、140及輸入輸出裝置180。輸入輸出裝置180構(gòu)成為能夠接受操作者的輸入，并且能夠顯示模塊的狀態(tài)信息以及對(duì)于操作者的各種指示信號(hào)。模塊通過(guò)將這些裝置組裝到機(jī)臺(tái)190而構(gòu)成。
[0026]元件供給裝置110是將搭載于電路基板的多種電子元件供給到元件吸附位置的裝置，將多個(gè)盒式的供料器111并排設(shè)置而構(gòu)成。供料器111構(gòu)成為能夠相對(duì)于機(jī)臺(tái)190進(jìn)行裝卸。供料器111將對(duì)電子元件進(jìn)行帶封的載帶每隔預(yù)定間距送出，將電子元件依次供給到元件吸附位置。
[0027]基板搬運(yùn)裝置120固定于機(jī)臺(tái)190，將電路基板沿著搬運(yùn)方向(X軸方向)搬運(yùn)，并且在預(yù)定作業(yè)位置上對(duì)電路基板進(jìn)行定位?；灏徇\(yùn)裝置120是兩個(gè)搬運(yùn)單元(圖示省略)并列設(shè)置的雙輸送機(jī)類型。
[0028]兩個(gè)元件移載裝置130、140分別具有共同的結(jié)構(gòu)，是能夠在X軸方向及Y軸方向上移動(dòng)的XY機(jī)器人類型。兩個(gè)元件移載裝置130、140分別對(duì)應(yīng)于基板搬運(yùn)裝置120的兩個(gè)搬運(yùn)單元中的各搬運(yùn)單元而設(shè)置。在下文中，對(duì)元件移載裝置130進(jìn)行說(shuō)明，省略元件移載裝置140的說(shuō)明。
[0029]如圖1所示，元件移載裝置130具備:具有Y軸可動(dòng)部3的Y軸驅(qū)動(dòng)裝置130Y及具有X軸可動(dòng)部4的X軸驅(qū)動(dòng)裝置130X。Y軸驅(qū)動(dòng)裝置130Y具有線性電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)(后述)，構(gòu)成為能夠使Y軸可動(dòng)部3相對(duì)于機(jī)臺(tái)190在Y軸方向上移動(dòng)。Y軸可動(dòng)部3對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求書所述的第一可動(dòng)部的一例。線性電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)的一部分的構(gòu)成要素由元件移載裝置130和元件移載裝置140兼用。X軸驅(qū)動(dòng)裝置130X具有滾珠絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)(后述)，構(gòu)成為能夠使X軸可動(dòng)部4相對(duì)于Y軸驅(qū)動(dòng)裝置130Y在X軸方向上移動(dòng)。X軸可動(dòng)部4對(duì)應(yīng)于權(quán)利要求書所述的第二可動(dòng)部的一例。這樣一來(lái)，元件移載裝置130構(gòu)成為能夠利用Y軸驅(qū)動(dòng)裝置130Y和X軸驅(qū)動(dòng)裝置130X使X軸可動(dòng)部4在X-Y平面內(nèi)驅(qū)動(dòng)。
[0030]Y軸可動(dòng)部3具有可動(dòng)主體部31和滑動(dòng)部件32。可動(dòng)主體部31是后述的線性電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)的一個(gè)構(gòu)成要素，構(gòu)成為能夠在Y軸方向上滑動(dòng)?；瑒?dòng)部件32是沿著X軸方向的板狀，一端32a固定于可動(dòng)主體部31，另一端32b經(jīng)由軸承抵接于固定在機(jī)臺(tái)190上的輔助軌道，構(gòu)成為能夠在Y軸方向上滑動(dòng)。
[0031]X軸可動(dòng)部4具有可動(dòng)主體部41和搭載頭部42?？蓜?dòng)主體部41是后述的滾珠絲杠進(jìn)給機(jī)構(gòu)的一個(gè)構(gòu)成要素，構(gòu)成為能夠在X軸方向上滑動(dòng)。搭載頭部42構(gòu)成為能夠相對(duì)于可動(dòng)主體部41進(jìn)行裝卸。雖然省略了圖示，但在搭載頭部42上設(shè)置有:由CCD相機(jī)構(gòu)成的標(biāo)記相機(jī)、吸嘴、用于使吸嘴升降及旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)、用于在吸嘴中產(chǎn)生負(fù)壓的氣泵、用于控制這些電動(dòng)機(jī)及氣泵的控制部及各種傳感器。標(biāo)記相機(jī)對(duì)設(shè)在元件供給裝置110、基板搬運(yùn)裝置120及電路基板的預(yù)定位置上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，進(jìn)行這些構(gòu)成要素的位置確認(rèn)。吸嘴吸附從元