專利名稱：驅(qū)動裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種驅(qū)動裝置，尤其涉及一種具備產(chǎn)生驅(qū)動的驅(qū)動產(chǎn)生部的驅(qū)動裝置。
背景技術：
在現(xiàn)有技術中，作為產(chǎn)生振動的振動促動器，例如有專利文獻1及3那樣的裝置 將電極設置在壓電元件的四個部位，并向位于對角的兩對電極施加相位分別不同的交流電壓，使壓電元件調(diào)和地產(chǎn)生縱振動和彎曲振動，從而得到驅(qū)動力。另外，已知有使用了這種振動促動器的驅(qū)動裝置。通常，為了獲得驅(qū)動力需要對振動件進行適當?shù)募訅?。如圖20所示，在專利文獻 1中，在支承臺201設有兩根導軌201a，在第一移動體202設置的槽部202b配置在這些導軌201a上。并且，在設置于第一移動體202的兩根導軌20 上配置有第二移動體203，該第二移動體203形成有槽部203a。具有突起20 的振動促動器204固定在支承臺201上， 利用固定在支承臺201的施力構件204b對第一移動體202進行加壓。當對振動促動器204 賦予驅(qū)動電壓時，振動促動器204進行彎曲振動從而第一移動體202沿導軌201a移動。另外，具有突起20 的振動促動器205固定于第一移動體202，通過固定于第一移動體202的施力構件20 進行對第二移動體203的加壓。當對振動促動器205賦予驅(qū)動電壓時，振動促動器205彎曲振動從而第二移動體203沿導軌20 移動。另一方面，伴隨近年來數(shù)碼相機的高圖像質(zhì)量化和小型薄型化，已知有為了消除攝影的影像的像振(像$ Λ )，具備對補償透鏡進行驅(qū)動的驅(qū)動裝置(像振補償裝置)的數(shù)碼相機(例如，參照專利文獻2)。結合圖21對該像振補償裝置進行說明。用于攝影時補償像振的像振補償用透鏡組L3固定在俯仰移動框332，該俯仰移動框332可在作為第一方向(Y方向)的俯仰方向和作為第二方向(X方向)的偏轉方向移動。 該俯仰移動框332在X方向負側具有軸承33 、在X方向正側具有制動部332b。在該軸承 332a插入與Y方向平行的俯仰軸333a、在制動部332b嵌入后述的與Y方向平行的俯仰軸 333b,由此，俯仰移動框332可在第一方向(Y方向)滑動。相對于俯仰移動框332，在Z方向負側安裝有偏轉移動框334，該偏轉移動框334 使像振補償用透鏡組L3在第二方向(X方向)移動。在偏轉移動框334設置有固定部33 和俯仰軸33北，該固定部33 固定用于使之前敘述的俯仰移動框332在俯仰方向(Y方向) 滑動的俯仰軸333a的兩端，該俯仰軸33 在X方向正側嵌入制動部33 中。另外，偏轉移動框334在Y方向正側具有軸承334b、在Y方向負側具有將偏轉軸33 及其兩端壓入固定的固定部33如。在該軸承334b插入與X方向平行的偏轉軸33 ，并將與X方向平行的偏轉軸33 嵌入三組框308的制動部308d，由此，偏轉移動框334可在第二方向(X方向)滑動。在相對于偏轉移動框334設置在Z方向負側的三組框308設置有固定部308c和制動部308d，該固定部308c固定用于使之前敘述的偏轉移動框334在偏轉方向(X方向) 滑動的偏轉軸33 的兩端，該制動部308d嵌入偏轉軸33恥。矩形的電基板336安裝在俯仰移動框332的Z方向負側的面。在電基板336設置有將像振補償用透鏡組L3向俯仰方向驅(qū)動的第一線圈337y及向偏轉方向驅(qū)動的第二線圈 337x、和檢測像振補償用透鏡組L3的俯仰方向的位置的霍爾元件338y及檢測偏轉方向的位置的霍爾元件338x。此外，該線圈337y、337x作為層疊線圈一體構成在電基板336上。磁體339y、33^c在單側被兩極磁化。該磁體339y、339x分別固定在截面大致U字形狀的磁軛340y、340x。磁軛340y從Y方向壓入三組框308的嵌合部308y。相同地，第二磁軛340x從X方向壓入三組框308的嵌合部308x。第一電磁促動器341y由第一線圈337y、第一磁體339y和第一磁軛340y構成。相同地，第二電磁促動器341x由第二線圈337x、第二磁體33 和第二磁軛340x構成。第一電磁促動器341y將俯仰移動框332向作為第一方向的俯仰方向(Y方向)驅(qū)動，第二電磁促動器341x將俯仰移動框332向作為第二方向的偏轉方向(X方向)驅(qū)動。根據(jù)以上結構，當電流通入電基板336的第一線圈337y時，通過第一磁體339y和磁軛340y產(chǎn)生沿作為第一方向的俯仰方向(Y方向)的電磁力。與此相同，當電流通入電基板336的第二線圈337x時，通過第二磁體33 和第二磁軛340x產(chǎn)生沿作為第二方向的偏轉方向(X方向)的電磁力。如上所述，通過兩個電磁促動器341y、341x，對像振補償用透鏡組L3向與Z方向的光軸大致垂直的X、Y兩個方向進行驅(qū)動。接著，對檢測像振補償用透鏡組L3的位置的位置檢測部342y、34h進行說明。將磁通變換為電信號的霍爾元件338y、338x定位固定在電基板336。之前說明的電磁促動器 341y、341x的磁體339y、33^c兼用作檢測用磁體。從而，通過霍爾元件338y、338x和磁體 339y、33^c構成位置檢測部342y、342x。這里，使用圖22對磁體339y、33^c的磁通狀態(tài)進行說明。圖中橫軸表示以光軸作為中心的俯仰方向(Y方向)或偏轉方向(χ方向)的位置， 縱軸表示磁通密度。另外，橫軸的中央是磁體339y、339x的兩極磁化的分界部分，這時磁通密度為零。該位置與像振補償用透鏡組L3的光軸中心大致一致。霍爾元件338y、338x相對于磁體339y、33^c移動，由此，在以變位量為零的位置作為中心的用虛線表示的范圍內(nèi)， 磁通密度相對于變位量的變化呈大致直線地變化。從而，通過檢測從霍爾元件338y、338x 輸出的電信號，可檢測出像振補償用透鏡組L3的俯仰方向(Y方向)及偏轉方向(X方向) 的位置。柔性印刷電纜343安裝于電基板336，并進行線圈337x和337y、霍爾元件338x和 338y以及未圖示的相機主體的電路之間的信號傳遞。利用以上結構要素332 343，構成像振補償裝置331。另外，如圖23的(a)所示，在專利文獻3公開的結構中，加壓機構具備產(chǎn)生施壓力的施力構件403 ；以轉動軸404為中心轉動，并將通過施力構件403產(chǎn)生的施壓力傳遞給振動促動器401的傳遞構件402。傳遞構件402將由施力構件403產(chǎn)生的施壓力的方向A 變換為方向P。另外，如圖23的(b)所示，在專利文獻4公開的結構中，由安裝有錐形銷506的板簧507構成的支承構件508與具備彈性體502及壓電體503、504的振動促動器501對置配置。相對運動構件509與振動促動器501加壓接觸而在與振動促動器501之間進行相對運動。支承構件508固定在固定部505及振動促動器501，并在針對相對運動方向?qū)φ駝哟賱悠?01進行位置限制的同時，在與相對運動構件509的加壓方向大致平行的方向自由變位地支承振動促動器501。專利文獻1日本特開平11-271480號公報；專利文獻2日本特開2004-U6028號公報；專利文獻3日本特開2000-32785號公報；專利文獻4日本特開平9485153號公報。在以上進行說明的驅(qū)動裝置中，進一步謀求裝置小型化。具體而言，在圖20所示的驅(qū)動裝置中，由于振動促動器204、205及施力構件204b、 20 分別固定在支承臺201及第一移動體202上，所以容易大型化。另外，由于使用施力構件204b、2(^b對第一移動體202和第二移動體203進行加壓，所以相對于導軌201a、202a 和槽部202b、203a容易產(chǎn)生摩擦負載，需要提高剛性，因此，存在裝置整體的厚度方向或與厚度方向正交的方向大型化的問題。另夕卜，在圖21所示的驅(qū)動裝置中，為了提高電磁力，需要增加線圈337x、337y的卷數(shù)，或加大磁體33^c、339y。另外，位置檢測傳感器使用霍爾元件338x、338y。因此，需要確保針對位置的磁通密度變化的直線性，所以存在磁鐵大型化的問題。其結果，存在驅(qū)動裝置整體的厚度方向或與厚度方向正交的方向大型化的問題。在圖23的(a)所示的技術中，產(chǎn)生施壓力的施力構件403由彈簧構成，并且，配置有變換施壓力方向的傳遞構件402。因此，產(chǎn)生施壓力的機構會大型化。另外，當為了產(chǎn)生大的驅(qū)動力而提高由施力構件403產(chǎn)生的施壓力時，振動促動器401所作用的構件翹曲，難以得到適當?shù)尿?qū)動效率。另外，在如23的(b)所示的技術中，由與振動促動器501對置配置的板簧507產(chǎn)生施壓力。因此，為了產(chǎn)生大的驅(qū)動力，需要提高板簧507的剛性。但是，當提高板簧507 的剛性時，板簧不能吸收相對于滑動方向正交的方向的搖晃，使得驅(qū)動效率降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種實現(xiàn)厚度方向或與厚度方向正交的方向的小型化的驅(qū)動裝置。本發(fā)明的又一課題在于提供一種實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率的驅(qū)動裝置。第一發(fā)明的驅(qū)動裝置具備第一框體、第二框體、第三框體、第一驅(qū)動機構、第二驅(qū)動機構。第二框體被支承為能夠相對于第一框體在第一方向移動。第三框體被支承為能夠相對于第二框體在與第一方向交叉的第二方向移動。第一驅(qū)動機構設于第一框體和第二框體之間，使第一框體和第二框體相對移動。第二驅(qū)動機構設于第二框體和第三框體之間，使第二框體與第三框體相對移動。第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構分別具有驅(qū)動產(chǎn)生部和驅(qū)動承受部，所述驅(qū)動產(chǎn)生部通過壓電元件產(chǎn)生驅(qū)動，所述驅(qū)動承受部相對于驅(qū)動產(chǎn)生部被按壓，并承受由驅(qū)動產(chǎn)生部產(chǎn)生的驅(qū)動。在第一驅(qū)動機構中驅(qū)動產(chǎn)生部對驅(qū)動承受部作用的方向是與在第二驅(qū)動機構中驅(qū)動產(chǎn)生部對驅(qū)動承受部作用的方向平行且反向的方向。
第二發(fā)明的驅(qū)動裝置具備第一框體、第二框體、第三框體、第一驅(qū)動機構、第二驅(qū)動機構。第二框體被支承為能夠相對于第一框體在第一方向移動。第三框體被支承為能夠相對于第二框體在與第一方向交叉的第二方向移動。第一驅(qū)動機構設于第一框體和第二框體之間，使第一框體和第二框體相對移動。第二驅(qū)動機構設于第二框體和第三框體之間，使第二框體與第三框體相對移動。第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構分別具有驅(qū)動產(chǎn)生部和驅(qū)動承受部，所述驅(qū)動產(chǎn)生部通過壓電元件產(chǎn)生驅(qū)動，所述驅(qū)動承受部相對于驅(qū)動產(chǎn)生部被按壓，并承受由驅(qū)動產(chǎn)生部產(chǎn)生的驅(qū)動。第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構分別具有的驅(qū)動產(chǎn)生部和驅(qū)動承受部配置在與第一方向及第二方向平行的同一平面上，在第一驅(qū)動機構中驅(qū)動產(chǎn)生部對驅(qū)動承受部作用的方向與在第二驅(qū)動機構中驅(qū)動產(chǎn)生部對驅(qū)動承受部作用的方向在同一平面上交叉。第三發(fā)明的驅(qū)動裝置是第一或第二發(fā)明的裝置，驅(qū)動產(chǎn)生部利用縱振動和彎曲振動的合成來使壓電元件產(chǎn)生駐波，從而相對地驅(qū)動驅(qū)動承受部。第四發(fā)明的驅(qū)動裝置是第一 第三發(fā)明中任一個的裝置，在第一框體設有沿第一方向延伸的第一主軸。在第二框體設有第一副軸，其配置在設有第一主軸的一側的第二方向的相反側并沿第一方向延伸；第二主軸，其沿第二方向延伸；第二副軸，其配置在設有第二主軸的一側的第一方向的相反側并沿第二方向延伸。第一主軸構成第一驅(qū)動機構的驅(qū)動承受部。第二主軸構成第二驅(qū)動機構的驅(qū)動承受部。第五發(fā)明的驅(qū)動裝置是第一 第四發(fā)明中任一個的裝置，在第三框體配置有光學部件。第六發(fā)明的驅(qū)動裝置包括驅(qū)動產(chǎn)生部、相對驅(qū)動部、限制部、施力部。驅(qū)動產(chǎn)生部通過壓電元件產(chǎn)生驅(qū)動。相對驅(qū)動部承受由驅(qū)動產(chǎn)生部產(chǎn)生的驅(qū)動，并被驅(qū)動產(chǎn)生部驅(qū)動。 限制部隔著相對驅(qū)動部與驅(qū)動產(chǎn)生部對置配置，限制在相對驅(qū)動部中驅(qū)動產(chǎn)生部所作用的部位向驅(qū)動產(chǎn)生部側的相反側變位。施力部在使驅(qū)動產(chǎn)生部和限制部相互接近的方向上對驅(qū)動產(chǎn)生部和限制部施力。在該驅(qū)動裝置中，在隔著相對驅(qū)動部與驅(qū)動產(chǎn)生部對置的位置設有限制部。因此， 在驅(qū)動產(chǎn)生部對相對驅(qū)動部作用時，即使作用使相對驅(qū)動部變形的驅(qū)動力，也由限制部對相對驅(qū)動部的變形加以限制。特別是，由于由施力部對驅(qū)動部和限制部向相互接近的方向施力，因此，更加可靠地限制相對驅(qū)動部的變形。由此，可防止由相對驅(qū)動部的變形引起的驅(qū)動效率的降低，從而可以實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率。第七發(fā)明的驅(qū)動裝置是第六發(fā)明的裝置，限制部具有滾動體、保護器、引導部。滾動體與相對驅(qū)動部滾動接觸。保持器大致保持滾動體的位置。引導部以從與相對驅(qū)動部側相反側覆蓋滾動體及保持器的方式形成，并對滾動體及保持器進行引導。這里，滾動體例如是球狀的構件(球)或柱狀的構件(滾柱)等。在該驅(qū)動裝置中，限制部利用滾動體而與相對驅(qū)動部滾動接觸。因此，能夠防止由限制部與相對驅(qū)動部的抵接引起的驅(qū)動效率的降低，從而實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率。第八發(fā)明的驅(qū)動裝置是第七發(fā)明的裝置，在引導部中，與驅(qū)動產(chǎn)生部和相對驅(qū)動部的相對驅(qū)動方向正交的截面形成為大致U字形狀。滾動體配置在U字形狀的兩個部位的角部，并由U字形狀的對置的兩邊支承。在該驅(qū)動裝置中，由于滾動體的移動被引導部限制，因此，可以可靠地與相對驅(qū)動部抵接。由此，防止由限制部與相對驅(qū)動部的抵接引起的驅(qū)動效率的降低，從而實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率。第九發(fā)明的驅(qū)動裝置是第七或第八發(fā)明的裝置，還包括主體部，其支承驅(qū)動產(chǎn)生部，并被相對驅(qū)動部驅(qū)動。在引導部中形成有限制引導部圍繞相對驅(qū)動部旋轉的限制部。該驅(qū)動裝置中，限制引導部圍繞相對驅(qū)動部旋轉。因此，由引導部引導的限制部可靠地與相對驅(qū)動部抵接。另外，引導部的安裝變得容易。第十發(fā)明的驅(qū)動裝置是第七 第九發(fā)明中任一個的裝置，在保持器的相對驅(qū)動部側或引導部側的至少一側形成有與對置的構件進行滑動的滑動突起。在該驅(qū)動裝置中形成有滑動突起，可以使在對置的構件之間滑動的面積小。由此， 可以防止驅(qū)動效率的降低，從而實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率。第十一發(fā)明的驅(qū)動裝置是第十發(fā)明的裝置，保持器的相對驅(qū)動部側的滑動突起沿與相對驅(qū)動部被相對驅(qū)動的方向交叉的方向延伸。第十二發(fā)明的驅(qū)動裝置是第十或第十一發(fā)明的裝置，保持器的引導部側的滑動突起沿相對驅(qū)動部被相對驅(qū)動的方向延伸。第十三發(fā)明的驅(qū)動裝置是第七 第十二發(fā)明中任一個的裝置，在相對驅(qū)動部的驅(qū)動產(chǎn)生部所作用的部位配置有陶瓷材料。在該驅(qū)動裝置中，在相對驅(qū)動部的驅(qū)動產(chǎn)生部所作用的部位配置陶瓷材料，可防止由構件的磨損引起的驅(qū)動效率的降低。第十四發(fā)明的驅(qū)動裝置是第七 第十三發(fā)明中任一個的裝置，還具備移動限制部，其限制驅(qū)動產(chǎn)生部向與驅(qū)動產(chǎn)生部對相對驅(qū)動部作用的方向正交的方向移動。在該驅(qū)動裝置中，由于包括移動限制部，因此驅(qū)動產(chǎn)生部更加可靠地與相對驅(qū)動部抵接。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率。


圖1是表示驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖2是表示驅(qū)動裝置背面?zhèn)冉Y構的分解立體圖(第一實施方式)。圖3是表示第二驅(qū)動機構結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖4是表示驅(qū)動產(chǎn)生部結構的立體圖(第一實施方式)。圖5是表示軸承部結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖6是表示軸承部結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖7是表示作為變形例的驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖8是表示作為變形例的驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖9是表示作為變形例的驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(第一實施方式)。圖10是表示驅(qū)動裝置結構的立體圖(第二實施方式)。圖11是表示作為變形例的驅(qū)動裝置結構的立體圖(第二實施方式)。圖12是表示驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(第三實施方式)。圖13是表示驅(qū)動產(chǎn)生部結構的立體圖(第三實施方式)。圖14是表示軸承部結構的分解立體圖(第三實施方式)。圖15是表示軸承部結構的分解立體圖(第三實施方式)。
圖16是表示軸承部與施力部安裝的立體圖(第三實施方式)。圖17是表示軸承部與施力部安裝的立體圖(第三實施方式)。圖18是表示驅(qū)動裝置的其他結構的分解立體圖(第三實施方式)。圖19是表示驅(qū)動裝置的其他結構的分解立體圖(第三實施方式)。圖20是表示作為現(xiàn)有技術的驅(qū)動裝置結構的立體圖(現(xiàn)有技術)。圖21是表示作為現(xiàn)有技術的驅(qū)動裝置結構的分解立體圖(現(xiàn)有技術)。圖22是表示磁通密度相對于傳感器的磁鐵位置的狀態(tài)的說明圖(現(xiàn)有技術)。圖23是說明作為現(xiàn)有技術的驅(qū)動裝置結構的說明圖(現(xiàn)有技術)。圖中1-振動促動器，21-驅(qū)動產(chǎn)生部，22-驅(qū)動承受部，50-驅(qū)動裝置，51-第一框體，52-第二框體，53-第三框體，54-第一驅(qū)動機構，55-第二驅(qū)動機構，120-驅(qū)動裝置， 121-驅(qū)動產(chǎn)生部，122-滑動構件，123-軸承部，124-施力部，125-主體部，A-第一方向， B-第二方向，C-第三方向，Cl-作用方向，C2-作用方向。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。(第一實施方式)對本發(fā)明第一實施方式的驅(qū)動裝置進行說明。圖1是驅(qū)動裝置50的分解立體圖，圖2是驅(qū)動裝置50的背面?zhèn)鹊姆纸饬Ⅲw圖。<驅(qū)動裝置50>驅(qū)動裝置50是搭載于數(shù)碼照相機、數(shù)碼攝影機等光學設備的裝置，并是將(XD、 CMOS等攝像元件和稱作透鏡的光學部件向與光軸正交的兩方向驅(qū)動，用于進行光學圖像的像振補償?shù)难b置。特別是圖1所示的驅(qū)動裝置50是在上表面?zhèn)却钶d攝像元件等進行驅(qū)動的裝置。如圖1所示，驅(qū)動裝置50具備第一框體51、第二框體52、第三框體53、第一驅(qū)動機構M和第二驅(qū)動機構55。第二框體52被支承為能夠相對于第一框體51在第一方向A 移動。第三框體53被支承為能夠相對于第二框體52在與第一方向A正交的第二方向B移動。第一驅(qū)動機構M設置在第一框體51和第二框體52之間，使第一框體51和第二框體52相對移動。具體而言，第一驅(qū)動機構M將第二框體52相對于第一框體51及固定有第一框體51的光學設備(未圖示)沿第一方向A進行驅(qū)動。第二驅(qū)動機構55設置在第二框體52和第三框體53之間，使第二框體52和第三框體53相對移動。具體而言，第二驅(qū)動機構55將第三框體53相對于第二框體52沿第二方向B驅(qū)動。第二驅(qū)動機構55相對于第一驅(qū)動機構M配置在圍繞與第一方向A及第二方向B正交的第三方向C旋轉90度的位置。第一驅(qū)動機構M和第二驅(qū)動機構55分別包括驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22、軸承部23和施力部對。驅(qū)動產(chǎn)生部21通過壓電元件Ia產(chǎn)生驅(qū)動。驅(qū)動承受部22被相對于驅(qū)動產(chǎn)生部21相對地按壓，并接受由驅(qū)動產(chǎn)生部21產(chǎn)生的驅(qū)動。軸承部23隔著驅(qū)動承受部22與驅(qū)動產(chǎn)生部21對置配置，并限制在驅(qū)動承受部22中驅(qū)動承受部22向驅(qū)動產(chǎn)生部 21所作用的部位的與驅(qū)動產(chǎn)生部21側相反側變位。施力部M對驅(qū)動產(chǎn)生部21和軸承部23向相互接近的方向施力。在第一框體51固定有第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動承受部22，并設有支承驅(qū)動承受部 22的軸承部23及施力部24。在第二框體52彈性固定有第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動產(chǎn)生部 21，并設有第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動承受部22及支承驅(qū)動承受部22的軸承部23及施力部 24。在第三框體53彈性固定有第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動產(chǎn)生部21。第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55如上所述配置在第一框體51 第三框體53， 在第一驅(qū)動機構M中驅(qū)動產(chǎn)生部21對驅(qū)動承受部22作用的作用方向Cl是與在第二驅(qū)動機構55中驅(qū)動產(chǎn)生部21對驅(qū)動承受部22作用的作用方向C2平行且反向的方向。具體而言，第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動產(chǎn)生部21和驅(qū)動承受部22的位置關系與第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動產(chǎn)生部21和驅(qū)動承受部22的位置關系相反。即，在第一驅(qū)動機構M中，驅(qū)動產(chǎn)生部 21和驅(qū)動承受部22在第三方向C對置配置，并且，驅(qū)動產(chǎn)生部21配置在驅(qū)動承受部22的第三方向C的上側。另一方面，在第二驅(qū)動機構55中，驅(qū)動產(chǎn)生部21和驅(qū)動承受部22在第三方向C對置配置，并且，驅(qū)動產(chǎn)生部21配置在驅(qū)動承受部22的第三方向C的下側。如上所述，在第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55中，通過將驅(qū)動產(chǎn)生部21對驅(qū)動承受部22作用的方向設定為沿第三方向C的方向，可使從第三方向C觀察的驅(qū)動裝置50 的大小(投影面積)減小。進而，通過將第一驅(qū)動機構M的作用方向Cl和第二驅(qū)動機構 55的作用方向C2設定為沿第三方向C的方向且反向，可使驅(qū)動裝置50向第三方向C的厚度減小。<制動部機構>如圖2所示，在第一框體51中沿第一方向A固定第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動承受部 22的軸5(后述)的兩端。并且，在第二框體52中沿第二方向B固定第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動承受部22的軸5 (后述)的兩端。在第一框體51和第二框體52之間且在設有第一驅(qū)動機構M的位置的第二方向 B的相反側設置有第一制動部機構57。第一制動部機構57是用于防止第一框體51和第二框體52圍繞第一驅(qū)動機構M的軸5進行相對旋轉的機構。第一制動部機構57由大致U 字形狀的制動部4f和軸15構成，該制動部4f形成于第一框體51，該軸15通過壓入或粘接而固定在第二框體52的軸保持部Ma，并嵌入制動部4f。第一制動部機構57的軸15沿第一方向A延伸。在第二框體52和第三框體53之間且在設有第二驅(qū)動機構55的位置的第一方向 A的相反側設置有第二制動部機構58。第二制動部機構58是用于防止第二框體52和第三框體53圍繞第二驅(qū)動機構55的軸5進行相對旋轉的機構。第二制動部機構58由大致U 字形狀的制動部4f和軸15構成，該制動部4f形成于第三框體53，該軸15通過壓入或粘接而固定在第二框體52的軸保持部Ma，并嵌入制動部4f。第二制動部機構58的軸15沿第二方向B延伸。如上所述，將第二框體52沿第一方向A進行驅(qū)動的第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動產(chǎn)生部21在驅(qū)動裝置50的沿第一方向A設置的兩根軸5、15中，對第一驅(qū)動機構M的軸5作用。即，來自驅(qū)動產(chǎn)生部21的驅(qū)動相對于將第二框體52向第一方向A的運動更加可靠地限制的作為主軸的第一驅(qū)動機構M的驅(qū)動承受部22作用。因此，可抑制力矩的產(chǎn)生，可將第二框體52更加正確地(直線地)沿第一方向A進行驅(qū)動。
另外，將第三框體53沿第二方向B進行驅(qū)動的第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動產(chǎn)生部21 在驅(qū)動裝置50的沿第二方向B設置的兩根軸5、15中，對第二驅(qū)動機構55的軸5作用。艮口， 來自驅(qū)動產(chǎn)生部21的驅(qū)動相對于將第三框體53向第二方向B的運動更加可靠地限制的作為主軸的第二驅(qū)動機構55的驅(qū)動承受部22作用。因此，可抑制力矩的產(chǎn)生，將第三框體53 更加正確地(直線地)沿第二方向B進行驅(qū)動，從而提高驅(qū)動性能。<驅(qū)動機構>這里，參照附圖對第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55進行說明。此外，由于構成各自的驅(qū)動機構的驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22、軸承部23和施力部M的結構大致相同， 所以以下對第二驅(qū)動機構陽進行詳細說明，針對第一驅(qū)動機構54，省略其說明。圖3是本發(fā)明第二驅(qū)動機構55的分解立體圖。如上所述，第二驅(qū)動機構55包括驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22、軸承部23和施力部24。驅(qū)動產(chǎn)生部21例如利用壓電元件等電氣機械變換元件產(chǎn)生驅(qū)動。驅(qū)動承受部22 接受由驅(qū)動產(chǎn)生部21產(chǎn)生的驅(qū)動，相對于驅(qū)動產(chǎn)生部21相對地被驅(qū)動。軸承部23隔著驅(qū)動承受部22與驅(qū)動產(chǎn)生部21對置配置，并限制在驅(qū)動承受部22中驅(qū)動承受部22向驅(qū)動產(chǎn)生部21所作用的部位的與驅(qū)動產(chǎn)生部21側相反側變位。施力部M對驅(qū)動產(chǎn)生部21和軸承部23向相互接近的方向施力。上述的驅(qū)動產(chǎn)生部21由第三框體53支承，第三框體53利用驅(qū)動產(chǎn)生部21產(chǎn)生的驅(qū)動，相對于驅(qū)動承受部22被相對地驅(qū)動。以下，針對上述各結構進行更加詳細的說明。〈驅(qū)動產(chǎn)生部21>圖4是第二驅(qū)動機構55所具備的驅(qū)動產(chǎn)生部21的立體圖。驅(qū)動產(chǎn)生部21主要由振動促動器1、彈性體加 2c和促動器殼體3構成。振動促動器1主要包括長方體形狀的壓電元件Ia ；配置于壓電元件Ia的具有最大面積的一面(以下，稱主面)的長邊側的側面，并相對于驅(qū)動承受部22摩擦接觸的兩個驅(qū)動件lb、lc ；形成于主面的四個電極Id lg。壓電元件Ia是主要由陶瓷等材料構成的構件。壓電元件Ia對位于對角位置的兩對電極ld、lg及電極le、lf分別施加相位不同的交流電壓，從而調(diào)和地產(chǎn)生縱振動和彎曲振動，產(chǎn)生驅(qū)動力。此外，使用與電極Id Ig連接的柔性印刷基板(未圖示)來進行電壓施加。驅(qū)動件lb、lc是與驅(qū)動承受部22接觸的頭部形成為半球狀的、例如由陶瓷材料構成的構件。驅(qū)動件lb、lc固定于壓電元件la，并將在壓電元件Ia產(chǎn)生的驅(qū)動力傳遞給驅(qū)動承受部22。此外，驅(qū)動件lb、lc的頭部形狀并不限于圖示的半球狀，也可以形成為其他曲面狀，只要是提高驅(qū)動效率的形狀，則任何形狀均可。彈性體2a、2b從兩側彈性支承壓電元件Ia的主面的短邊側側面。彈性體2c在驅(qū)動承受部22側彈性支承壓電元件Ia的主面的長邊側側面。彈性體加 2c由橡膠或毛氈等構成，通過彈性變形而產(chǎn)生施壓力。彈性體加 2c維持振動促動器1相對于驅(qū)動承受部22的姿勢，起到提高振動促動器1對驅(qū)動承受部22進行驅(qū)動時的驅(qū)動效率的作用。此外，彈性體2c與后述的加壓彈簧11 一起構成對驅(qū)動產(chǎn)生部21和軸承部23向相互接近的方向施力的施力部參照圖3)。
促動器殼體3將振動促動器1及彈性體加 2c —體保持。具體而言，振動促動器1通過彈性體加 2c固定在促動器殼體3的內(nèi)部。在促動器殼體3中，在與壓電元件 Ia的主面相反側的面對置的面形成有沿厚度方向貫通的貫通孔3a(參照圖3)。促動器殼體3通過將在后述的第三框體53的平面部如形成的突起4d嵌合在貫通孔3a，而與平面部 4c對置配置。由此，固定于促動器殼體3內(nèi)部的振動促動器1及彈性體加 2c相對于第三框體53及配置于第三框體53的構件定位。具體而言，振動促動器1的驅(qū)動件lb、lc以相對于后述的驅(qū)動承受部22的軸5、大致U字形狀的基體6及陶瓷板7接觸的方式配置。 這時，由于彈性體2c有某些程度的收縮，因此，振動促動器1的驅(qū)動件lb、lc按壓并接觸陶瓷板7。此外，也可以不在促動器殼體3形成貫通孔3a，而相對于沒有設置突起4d的平面部4c粘接固定?！打?qū)動承受部22>驅(qū)動承受部22 (參照圖3)主要通過由不銹鋼構成的軸5、固定于軸5的基體6、貼付在基體6的與驅(qū)動產(chǎn)生部21對置的面的陶瓷板7構成。軸5相對于后述的第三框體53 的穿過孔如、仙穿過，從而相對于第三框體53，在軸5的軸向(符號A所示的方向)相對地驅(qū)動?；w6在從穿過孔^、4b穿過的軸5的穿過孔如和穿過孔4b的中間位置通過粘接劑粘接固定、或利用彼此不同材料的化學接合而固定。驅(qū)動件lb、lc的頭部分別形成為半球狀。因此，為了有效對驅(qū)動承受部22進行驅(qū)動，比起使驅(qū)動件lb、lc直接抵接圓柱狀的軸5，優(yōu)選使驅(qū)動件lb、lc直接抵接在軸5固定的平面狀的陶瓷板7。另外，經(jīng)由平面狀的陶瓷板7使驅(qū)動件lb、lc與驅(qū)動承受部22抵接， 使組裝變得容易。此外，在驅(qū)動件lb、lc為在滑動方向(軸5的軸向)具有曲率的形狀的情況下，即使驅(qū)動件lb、lc與圓柱狀的軸5的圓弧部分抵接，驅(qū)動效率也不會降低很多。但是，驅(qū)動產(chǎn)生部21產(chǎn)生高頻驅(qū)動，并且，驅(qū)動從驅(qū)動產(chǎn)生部21向驅(qū)動承受部22的傳遞是由摩擦進行的傳遞，所以當由陶瓷材料形成的驅(qū)動件lb、lc和由金屬材料形成的軸5直接接觸時，接觸部的磨損變得劇烈。這里，在驅(qū)動裝置50搭載于可允許由軸5磨損引起的粉塵和驅(qū)動效率降低等的裝置的情況下，可以采用使驅(qū)動件lb、Ic和圓柱狀的軸5直接抵接，或?qū)S5實施順銑(D力7卜)使其平面部與振動件lb、lc直接抵接等結構。但是，在驅(qū)動裝置50搭載于不能夠允許由軸5磨損引起的粉塵和驅(qū)動效率降低等的裝置的情況下，由不易磨損接觸部的材料構成。另一方面，即使由陶瓷材料構成軸5，也難以將作為高硬度材料的陶瓷材料高精度研磨為圓柱形，成為高成本的原因。因此，在第二驅(qū)動機構55中，采用由可容易進行高精度研磨且沒有成本等問題的金屬材料構成軸5，并相對于軸5而固定陶瓷板7的結構。此外，在由陶瓷材料構成基體6的情況下，可以不設置陶瓷板7。另外，基體6可以并不是正確地形成U字形狀，也可以符合軸5而具有圓弧狀(C 字形狀)的截面?！摧S承部23>軸承部23 (參照圖幻是隔著軸5與驅(qū)動產(chǎn)生部21對置配置，且限制由驅(qū)動產(chǎn)生部21的驅(qū)動引起軸5翹曲的構件。軸承部23包括與軸5抵接，且起到使軸承部23相對于軸5的滑動阻力降低的作用的球狀的四個滾動體8 ；保持各個滾動體8的滾動體保持器 9 ；對滾動體8及滾動體保持器9進行引導的導軌10。
結合圖5和圖6對軸承部23的結構進行詳細說明。圖5是軸承部23的放大圖， 表示將導軌10從軸承部23拆下的狀態(tài)。圖6是從下側(驅(qū)動產(chǎn)生部21側)看軸承部23 的立體圖。滾動體8由鋼球構成，在軸承部23配置四個。此外，若從軸承部23的穩(wěn)定性考慮， 則滾動體8配置四個即可，但是，也可以配置更多個。此外，滾動體8可以并不由鋼球構成， 只要能保證穩(wěn)定性、降低滑動負載，也可以由上述以外的材料構成。滾動體保持器9是大致長方體狀的構件，由滑動性高的樹脂例如聚縮醛(POM)或聚苯硫醚(PPQ構成。滾動體保持器9在其四角具有保持滾動體8的圓形開口部。開口部在滾動體保持器9的厚度方向貫通，并在長邊側的側面開放。滾動體8配置在各開口部內(nèi)側，向與滾動體保持器9的厚度方向正交的方向的移動被限制。另外，滾動體8的一部分從滾動體保持器9的長邊側的側面突出。滾動體保持器9在將滾動體8保持在各貫通孔的狀態(tài)下，與軸5對置配置。這時， 滾動體保持器9以使在短邊方向排列的滾動體8相對于軸5的軸心以大致呈90度的打開角度配置的方式來保持滾動體8。導軌10是從與軸5相反側將保持滾動體8的狀態(tài)的滾動體保持器9覆蓋而配置的大致U字形狀的構件。導軌10具有頂面IOa及從頂面IOa的對置的兩邊與頂面IOa大致正交而延伸的兩個側面10b、10c。由滾動體保持器9保持的各滾動體8與導軌10的頂面IOa及側面10b、或頂面IOa 及側面IOc接觸并滾動。因此，來自軸5的反作用力通過滾動體8均等地傳遞到頂面10a、 側面IOb和10c，明顯減少滑動負載。在滾動體保持器9的軸5側的面和導軌10側的面形成有用于減少軸5或?qū)к?0 的滑動阻力的突起9a、9b。突起9a(參照圖5)是在滾動體保持器9的導軌10側的面上沿軸5的軸向延伸的突起。另外，多個例如兩個突起9a排列形成在與軸5的軸向正交的方向。 突起9a(參照圖6)形成在滾動體保持器9的軸5側的面上。具體而言，突起9b是在沿軸 5的軸向排列的開口部的中間位置，沿與軸5的軸向正交的方向延伸的突起。另外，多個例如兩個突起9b排列形成在軸5的軸向。突起9a形成在與滾動體保持器9和導軌10滑動時的滑動方向平行的方向，因此， 可減少接觸面積，降低滑動阻力。另外，突起％形成在與滾動體保持器9和軸5滑動時的滑動方向正交的方向，因此，可減少接觸面積，降低滑動阻力。由此，提高軸承部23的綜合滑動特性。如圖5所示，在滑動導軌10的頂面IOa的四角形成有向側面IObUOc側突出并延伸的四個突出部10d。如圖3所示，各自的突出部IOd嵌入后述的第三框體53的支承部4h， 維持導軌10的姿勢。具體而言，導軌10中，形成于四角的突出部IOd由支承部4h支承，從而限制圍繞軸5的旋轉。由此，可以限制與導軌10抵接的滾動體8及滾動體保持器9圍繞軸5旋轉?！词┝Σ繉?gt;施力部24(參照圖幻包括加壓彈簧11和彈性體2c。由于已經(jīng)針對彈性體2c進行了說明，因此省略詳細說明。如圖3所示，加壓彈簧11主要由矩形狀的主面lie和四個延伸部lla、llb、llc、Ild構成，所述主面lie與導軌10的頂面IOa對置，并向軸5側按壓導軌10，所述四個延伸部11a、lib、11c、Ild從主面lie的兩個長邊的兩端向軸5側延伸。進而，如圖3所示，加壓彈簧11通過使形成于延伸部Ila Ild前端的爪嵌入后述的第三框體53的突起部4g而固定于第三框體53。此外，這里，記載了加壓彈簧11將導軌10向軸5側按壓，但加壓彈簧11至少限制導軌10向與軸5側相反側移動即可。另外，對加壓彈簧11以直接按壓導軌10的方式進行安裝的情況作了說明，但是，也可以將彈性構件(未圖示)夾入加壓彈簧11和導軌10之間。這里，再次參照圖3，對導軌10及加壓彈簧11的安裝進行說明。如上所述，在導軌10設置四個突出部10d。在將導軌10向第三框體53安裝時，將各突出部IOd配置在作為承受部的各支承部4h。在導軌10的各突出部IOd與第三框體53 的支承部4h之間有間隙的情況下，在安裝加壓彈簧11時導軌10稍微傾斜，但是，即使在這種情況下，由于各突出部IOd與各支承部4h接觸，所以也能夠防止導軌10較大旋轉。艮口， 由于相對于軸5隔著滾動體8對置配置，因此，相對于容易圍繞軸5的軸旋轉的導軌10而設置各突出部10d，從而，導軌10的安裝變得容易。進而，將加壓彈簧11以覆蓋導軌10的方式配置，并且，僅將延伸部1 Ia 1 Id前端的爪嵌入第三框體53的突起部4g，即能夠?qū)⒓訅簭椈?1安裝在第三框體53，因此，組裝變得容易。施力部24(參照圖幻包括將軸承部23向軸5側按壓的加壓彈簧11和將驅(qū)動產(chǎn)生部21向軸5側按壓的彈性體2c，對驅(qū)動產(chǎn)生部21和軸承部23向相互接近的方向施力。彈性體2c例如由硅橡膠構成，由收縮產(chǎn)生彈性力，對驅(qū)動產(chǎn)生部21向軸5側施力。由此，軸5接受從振動促動器1向與軸正交的方向的施壓力。軸5從穿過孔如、仙穿過。因此，如果不從與驅(qū)動產(chǎn)生部21相反側支承軸5，則會在穿過孔4a、4b產(chǎn)生支承軸5的支承力，使軸5翹曲。但是，在軸5的與驅(qū)動產(chǎn)生部21相反側配置有由加壓彈簧11施力的軸承部23。 因此，從與驅(qū)動產(chǎn)生部21相反側支承軸5，在穿過孔4a、4b相對于軸5施加的支承力減輕或相抵。由此，抑制軸5的變形，減輕穿過孔^、4b與軸5的滑動阻力，從而提高驅(qū)動效率?！吹谌蝮w53>第三框體53 (參照圖3)主要包括框體4 ；設于框體4的側面，支承軸5并固定軸承部23的支承部4i ；固定驅(qū)動產(chǎn)生部21的固定部4j?？蝮w4是在中心部固定攝像元件等光學部件的板狀構件。在支承部4i形成有穿過孔如及4b，以在與板狀框體4的面平行的一方向(沿一邊的方向)使軸5穿過而支承。另外，在支承部4i形成有支承部4h同時形成有突起部4g， 所述支承部4h支承在導軌10的外周形成的突出部10d，所述突出部4g卡止加壓彈簧11的延伸部Ila Ild前端的爪。固定部4j主要包括平面部如，其與促動器殼體3對置配置；承受部如，其形成在平面部如的一端，并將促動器殼體3支承在軸5側。并且，第三框體53在隔著框體4與支承部4i對置的位置形成有制動部4f。制動部4f支承實質(zhì)地固定在將軸5固定的構件等的軸15，限制第三框體53圍繞軸5旋轉。另外，在上述示例中，對沿與框體4的面平行的一方向驅(qū)動第三框體53的情況進行了說明。即，對沿與射入在框體4的中心部配置的攝像元件的光的光軸方向正交的方向驅(qū)動第三框體53的情況進行了說明。這時，驅(qū)動裝置50可用作驅(qū)動攝像元件而進行像振補償?shù)难b置。〈其他〉<1>在框體4配置的光學部件并不限于攝像元件，也可以是透鏡等其他光學部件。對此，結合圖7進行說明。圖7是采用與圖1所示的驅(qū)動裝置50相同的結構，并在設于第三框體53的開口配置有光學透鏡16的驅(qū)動裝置50。驅(qū)動裝置50相對于沿第三方向C射入的光的光軸40， 在第一方向A及第二方向B驅(qū)動光學透鏡16，補償在后段配置的攝像元件的受像振動。由該驅(qū)動裝置50、在其后段配置的攝像元件、檢測光學透鏡16的位置的位置傳感器及利用位置傳感器的輸出而對驅(qū)動裝置50進行驅(qū)動的控制部等，構成像振補償裝置。在驅(qū)動裝置50中，在第一框體51、第二框體52及第三框體53設有用于使從光學透鏡16射入的光軸40通過的在厚度方向貫通的開口。此外，光學透鏡16并不限于一個透鏡，也可以為由多個透鏡構成的透鏡組。在使用圖21進行說明的電磁式的圖像補償裝置的情況下，在承受例如重力影響的間距方向(圖21的Y方向)上不進行像振補償?shù)那闆r下，需要使電流通入促動器而保持正規(guī)的位置。但是，在對促動器進行摩擦驅(qū)動且驅(qū)動產(chǎn)生部21相對于驅(qū)動承受部22給與施壓力的情況下，可以不通入電流而保持光學透鏡16的位置。即，在使用了驅(qū)動裝置50的像振補償裝置中，可以不通入電流而將光學透鏡16定位保持在光軸40的中央附近。其結果，在該像振補償裝置中可以減少電力消耗。<2>在上述結構中，為了進一步提高振動促動器1的驅(qū)動效率，可以配置對振動促動器1施力的構件。對此，結合圖1、圖7 圖9進行具體說明。如圖1和圖7所示，第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55具有限制構件14，其在與振動促動器1的主面垂直的方向，限制向與促動器殼體3側相反側移動；彈性體13，其配置在振動促動器1的主面和限制構件14之間，對振動促動器1向促動器殼體3側施力，同時吸收限制構件14的尺寸偏差。第一驅(qū)動機構M的限制構件14限制振動促動器1向第二方向B的移動。第二驅(qū)動機構陽的限制構件14限制振動促動器1向第一方向A的移動。各自的振動促動器1利用彈性體2c(參照圖3)相對于驅(qū)動承受部22按壓，并在施加電壓時重復微小的振動。如果并不對振動促動器1向與促動器殼體3側相反側的移動加以限制，則由于該微小振動，振動促動器1相對于驅(qū)動承受部22的姿勢隨時間而變化。該姿勢的變化導致驅(qū)動效率的降低。另一方面，第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55具有限制構件14及彈性體13，在限制振動促動器1移動的情況下可防止驅(qū)動承受部22的驅(qū)動效率降低。另外，如圖8及圖9所示，圖1和圖7所示的第一驅(qū)動機構M及第二驅(qū)動機構55 可以具有將導軌10向軸5側按壓的按壓構件12來代替加壓彈簧11。按壓構件12是在前端具有卡止在導軌10的頂面IOa上的爪的大致“ 二 ”字狀的構件，以覆蓋各自的驅(qū)動產(chǎn)生部21整體的方式從驅(qū)動產(chǎn)生部21側安裝，并以將導軌10拉向軸5側的方式起作用。
(第二實施方式)對本發(fā)明第二實施方式的驅(qū)動裝置進行說明。此外，對與第一實施方式所說明的驅(qū)動裝置相同的結構標以相同符號并省略其說明?！打?qū)動裝置60>如10所示的驅(qū)動裝置60是搭載于數(shù)碼照相機、數(shù)碼攝影機等光學設備的裝置，并是將CCD、CMOS等攝像元件和稱作透鏡的光學部件向與光軸正交的兩方向驅(qū)動，用于進行光學圖像的像振補償?shù)难b置。特別是圖10所示的驅(qū)動裝置60是在上表面?zhèn)却钶d攝像元件等進行驅(qū)動的裝置。如圖10所示，驅(qū)動裝置60具備第一框體61、第二框體62、第三框體63、第一驅(qū)動機構64和第二驅(qū)動機構65。第二框體62被支承為相對于第一框體61可在第一方向A移動。第三框體63被支承為相對于第二框體62可在與第一方向A正交的第二方向B移動。第一驅(qū)動機構64設置在第一框體61和第二框體62之間，使第一框體61和第二框體62相對移動。具體而言，第一驅(qū)動機構64將第二框體62相對于第一框體61及固定有第一框體61的光學設備(未圖示)沿第一方向A進行驅(qū)動。第二驅(qū)動機構65設置在第二框體62和第三框體63之間，使第二框體62和第三框體63相對移動。具體而言，第二驅(qū)動機構65將第三框體63相對于第二框體62沿第二方向驅(qū)動。第二驅(qū)動機構65相對于第一驅(qū)動機構64，配置在圍繞與第一方向A及第二方向 B正交的第三方向C旋轉90度的位置。第一驅(qū)動機構64和第二驅(qū)動機構65分別與在第一實施方式說明的第一驅(qū)動機構 54和第二驅(qū)動機構55相同，包括驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22、軸承部23和施力部M。在第一驅(qū)動機構64中，驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22和軸承部23沿第二方向B 配置，各自的第三方向C的位置大致相同。在第二驅(qū)動機構65中，驅(qū)動產(chǎn)生部21、驅(qū)動承受部22和軸承部23沿第一方向A 配置，各自的第三方向C的位置大致相同。并且，第一驅(qū)動機構64和第二驅(qū)動機構65各自的第三方向C的位置大致相同，配置在與各自的驅(qū)動承受部22平行的同一平面上。在第一框體61中固定有第一驅(qū)動機構64的驅(qū)動承受部22，并且，設有支承驅(qū)動承受部22的軸承部23及施力部24。在第二框體62中，彈性固定有第一驅(qū)動機構64的驅(qū)動產(chǎn)生部21，并設有第二驅(qū)動機構65的驅(qū)動承受部22及支承驅(qū)動承受部22的軸承部23及施力部24。在第三框體63中，彈性固定有第二驅(qū)動機構65的驅(qū)動產(chǎn)生部21。第一驅(qū)動機構64及第二驅(qū)動機構65如上所述配置在第一框體61 第三框體63， 在第一驅(qū)動機構64中驅(qū)動產(chǎn)生部21對驅(qū)動承受部22作用的作用方向Bl是與在第二驅(qū)動機構65中驅(qū)動產(chǎn)生部21對驅(qū)動承受部22作用的作用方向Al正交的方向。于是，通過將第一驅(qū)動機構64和第二驅(qū)動機構65配置為大致相同高度，從而可使驅(qū)動裝置60的第三方向C的厚度減小。另外，通過使構成第一驅(qū)動機構64及第二驅(qū)動機構65的構件沿與第三方向C正交的方向(第一方向A和第二方向B)配置，從而可使第三方向C的厚度減小。另外，在驅(qū)動裝置60設有與在第一實施方式說明的第一制動部機構57和第二制動部機構58相同的制動部機構(第一制動部機構67和第二制動部機構68)。
〈其他〉在第三框體63配置的光學部件并不限于攝像元件，也可以是透鏡等其他光學部件。對此，結合圖11進行說明。圖11是采用與圖10所示的驅(qū)動裝置60相同的結構，并在設于第三框體63的開口配置有光學透鏡16的驅(qū)動裝置60。驅(qū)動裝置60相對于沿第三方向C射入的光的光軸 40，在第一方向A及第二方向B驅(qū)動光學透鏡16，補償在后段配置的攝像元件的受像振動。 由該驅(qū)動裝置60、在其后段配置的攝像元件、檢測光學透鏡16的位置的位置傳感器及利用位置傳感器的輸出而對驅(qū)動裝置60進行驅(qū)動的控制部等，構成像振補償裝置。在驅(qū)動裝置60中，在第一框體61、第二框體62及第三框體63設有用于使從光學透鏡16射入的光軸40通過的在厚度方向貫通的開口。此外，光學透鏡16并不限于一個透鏡，也可以為由多個透鏡構成的透鏡組。在使用圖21進行說明的電磁式的像振補償裝置的情況下，在承受例如重力影響的間距方向(圖21的Y方向)上不進行像振補償?shù)那闆r下，需要使電流通入促動器而保持正規(guī)的位置。但是，在對促動器進行摩擦驅(qū)動且驅(qū)動產(chǎn)生部21相對于驅(qū)動承受部22給與施壓力的情況下，可以不通入電流而保持光學透鏡16的位置。即，在使用了驅(qū)動裝置60的像振補償裝置中，可以不通入電流而將光學透鏡16定位保持在光軸40的中央附近。其結果，在該像振補償裝置中可以減少電力消耗。(第三實施方式)對本發(fā)明第三實施方式的驅(qū)動裝置進行說明。圖12是本發(fā)明第三實施方式的驅(qū)動裝置120的分解立體圖。驅(qū)動裝置120包括驅(qū)動產(chǎn)生部121、滑動構件(相對驅(qū)動部)122、軸承部(限制部)123、施力部124和主體部125。驅(qū)動產(chǎn)生部121例如通過壓電元件等電氣機械變換元件產(chǎn)生驅(qū)動。滑動構件122 承受由驅(qū)動產(chǎn)生部121產(chǎn)生的驅(qū)動，并相對于驅(qū)動產(chǎn)生部121相對地驅(qū)動。軸承部123隔著滑動構件122與驅(qū)動產(chǎn)生部121對置配置，限制在滑動構件122中滑動構件122向驅(qū)動產(chǎn)生部121所作用的部位的與驅(qū)動產(chǎn)生部121側相反側變位。施力部IM對驅(qū)動產(chǎn)生部121 和軸承部123向相互接近的方向施力。主體部125支承驅(qū)動產(chǎn)生部121，并被滑動構件122 驅(qū)動。以下，對上述各結構進行更加詳細的說明?！打?qū)動產(chǎn)生部121>圖13是驅(qū)動裝置120所具備的驅(qū)動產(chǎn)生部121的立體圖。驅(qū)動產(chǎn)生部121主要由振動促動器101、彈性體10 102c和促動器殼體103構成。振動促動器101主要包括長方體形狀的壓電元件IOla ；配置于壓電元件IOla的具有最大面積的一面(以下，稱主面)的長邊側的側面，并相對于滑動構件122摩擦接觸的兩個驅(qū)動件101b、IOlc ；形成于主面的四個電極IOld 101g。壓電元件IOla是主要由陶瓷等材料構成的構件。壓電元件IOla對位于對角位置的兩對電極IlOcUllOg及電極IOleUOlf分別施加相位不同的交流電壓，從而調(diào)和地產(chǎn)生縱振動和彎曲振動，產(chǎn)生驅(qū)動力。此外，使用與電極IOld IOlg連接的柔性印刷基板(未
16圖示)來進行電壓施加。驅(qū)動件lOlbUOlc是與滑動構件122接觸的頭部形成為半球狀的、例如由陶瓷材料構成的構件。驅(qū)動件lOlbUOlc固定于壓電元件101a，并將在壓電元件 IOla產(chǎn)生的驅(qū)動力傳遞給滑動構件122。此外，驅(qū)動件101b、IOlc的頭部形狀并不限于圖示的半球狀，也可以形成為其他曲面狀，只要是提高驅(qū)動效率的形狀，則任何形狀均可。彈性體102a、102b從兩側彈性支承壓電元件IOla的主面的短邊側側面。彈性體 102c在滑動構件122側彈性支承壓電元件IOla的主面的長邊側側面。彈性體10 102c 由橡膠或毛氈等構成，通過彈性變形而產(chǎn)生施壓力。彈性體10 102c維持振動促動器 101相對于滑動構件122的姿勢，起到提高振動促動器101對驅(qū)動承受部22進行驅(qū)動時的驅(qū)動效率的作用。此外，彈性體102c與后述的加壓彈簧111 一起構成對驅(qū)動產(chǎn)生部121和軸承部123向相互接近的方向施力的施力部124(參照圖12)。促動器殼體103將振動促動器101及彈性體10 102c —體保持。具體而言， 振動促動器101通過彈性體10 102c固定在促動器殼體103的內(nèi)部。在促動器殼體 103中，在與壓電元件IOla的主面相反側的面對置的面形成有沿厚度方向貫通的貫通孔 103a (參照圖1 。促動器殼體103通過將在后述的主體部125的平面部l(Mc形成的突起 104d嵌合在貫通孔103a，而與平面部l(Mc對置配置。由此，固定于促動器殼體103內(nèi)部的振動促動器101及彈性體10 102c相對于主體部125及配置于主體部125的構件定位。 具體而言，振動促動器101的驅(qū)動件101b、IOlc以相對于后述的滑動構件122的軸105、基體106及陶瓷板107接觸的方式而配置。這時，由于彈性體102c有某些程度的收縮，因此， 振動促動器101的驅(qū)動件101b、IOlc按壓并接觸陶瓷板107。〈滑動構件122>滑動構件122(參照圖12)主要通過由不銹鋼構成的軸105、固定于軸105的基體 106、貼付在基體106的與驅(qū)動產(chǎn)生部121對置的面的陶瓷板107構成。軸105相對于后述的主體部125的穿過孔l(Ma、104b穿過，從而相對于主體部125，在軸105的軸向(符號A 所示的方向)相對地驅(qū)動?；w106在從穿過孔l(Ma、104b穿過的軸105的穿過孔10 和穿過孔104b的中間位置通過粘接劑粘接固定、或利用彼此不同材料的化學接合而固定。驅(qū)動件lOlbUOlc的頭部分別形成為半球狀。因此，為了對滑動構件122有效驅(qū)動，比起使驅(qū)動件101b、IOlc直接抵接圓柱狀的軸105，優(yōu)選使驅(qū)動件101b、IOlc直接抵接在軸105固定的平面狀的陶瓷板107。另外，經(jīng)由平面狀的陶瓷板107使驅(qū)動件101b、IOlc 與滑動構件122抵接，使組裝變得容易。此外，在驅(qū)動件lOlbUOlc為在滑動方向(軸105的軸向)具有曲率的形狀的情況下，即使驅(qū)動件lOlbUOlc與圓柱狀的軸105的圓弧部分抵接，驅(qū)動效率也不會降低很多。 但是，驅(qū)動產(chǎn)生部121產(chǎn)生高頻驅(qū)動，并且，驅(qū)動從驅(qū)動產(chǎn)生部121向滑動構件122的傳遞是由摩擦進行的傳遞，所以當由陶瓷材料形成的驅(qū)動件lOlbUOlc和由金屬材料形成的軸 105直接接觸時，接觸部的磨損變得劇烈。這里，在驅(qū)動裝置120搭載于可允許由軸105磨損引起的粉塵和驅(qū)動效率降低等的裝置的情況下，可以采用使驅(qū)動件lOlbUOlc與圓柱狀的軸105直接抵接，或?qū)S105實施順銑使其平面部與振動件101b、IOlc直接抵接等結構。但是，在驅(qū)動裝置120搭載于不能夠允許由軸105磨損引起的粉塵和驅(qū)動效率降低等的裝置的情況下，由不易磨損接觸部的材料構成。另一方面，即使由陶瓷材料構成軸 105，也難以將作為高硬度材料的陶瓷材料高精度地研磨為圓柱形，成為高成本的原因。因此，在驅(qū)動裝置120中，采用由可容易進行高精度研磨且沒有成本等問題的金屬材料構成軸105，并相對于軸105而固定陶瓷板107的結構。此外，在由陶瓷材料構成基體106的情況下，可以不設置陶瓷板107?！摧S承部123>軸承部123(參照圖1 是隔著軸105與驅(qū)動產(chǎn)生部121對置配置，且限制由驅(qū)動產(chǎn)生部121的驅(qū)動引起軸105翹曲的構件。軸承部123包括與軸105抵接，且起到使軸承部123相對于軸105的滑動阻力降低的作用的球狀的四個滾動體108 ；保持各個滾動體108 的滾動體保持器109 ；對滾動體108及滾動體保持器109進行引導的導軌110。結合圖114和圖115對軸承部123的結構進行詳細說明。圖114是軸承部123的放大圖，表示將導軌110從軸承部123拆下的狀態(tài)。圖115是從下側(驅(qū)動產(chǎn)生部121側) 看軸承部123的立體圖。滾動體108由鋼球構成，在軸承部123配置四個。此外，若從軸承部123的穩(wěn)定性考慮，則滾動體108配置四個即可，但是，也可以配置更多個。此外，滾動體108可以并不由鋼球構成，只要能保證穩(wěn)定性、降低滑動負載，則也可以由上述以外的材料構成。滾動體保持器109是大致長方體狀的構件，由滑動性高的樹脂例如聚縮醛(POM) 或聚苯硫醚(PPQ構成。滾動體保持器109在其四角具有保持滾動體108的圓形開口部。 開口部在滾動體保持器109的厚度方向貫通，并在長邊側的側面開放。滾動體108配置在各開口部的內(nèi)側，向與滾動體保持器109厚度方向正交的方向的移動被限制。另外，滾動體 108的一部分從滾動體保持器109的長邊側的側面突出。滾動體保持器109在將滾動體108保持在各貫通孔的狀態(tài)下，與軸105對置配置。 這時，滾動體保持器109以使在短邊方向排列的滾動體108相對于軸105的軸心以大致呈 90度的打開角度配置的方式來保持滾動體108。導軌110是從與軸105相反側將保持滾動體108的狀態(tài)的滾動體保持器109覆蓋而配置的大致U字形狀的構件。導軌110具有頂面IlOa及從頂面IlOa的對置的兩邊與頂面IlOa大致正交而延伸的兩個側面110b、110c。由滾動體保持器109保持的各滾動體108與導軌110的頂面IlOa及側面110b、或頂面IlOa及側面IlOc接觸并滾動。因此，來自軸105的反作用力通過滾動體108均等地傳遞到頂面110a、側面IlOb和110c，顯著減少滑動負載。在滾動體保持器109的軸105側的面和導軌110側的面形成有用于減少軸105或?qū)к塈io的滑動阻力的突起109a、109b。突起109a(參照圖114)是在滾動體保持器109的導軌110側的面上沿軸105的軸向延伸的突起。另外，多個例如兩個突起109a排列形成在與軸105的軸向正交的方向。突起109a(參照圖11 形成在滾動體保持器109的軸105 側的面上。具體而言，突起109b是在沿軸105的軸向排列的開口部的中間位置，沿與軸105 的軸向正交的方向延伸的突起。另外，多個例如兩個突起109b排列形成在軸105的軸向。突起109a形成在與滾動體保持器109和導軌110滑動時的滑動方向平行的方向， 因此可減少接觸面積，降低滑動阻力。另外，突起109b形成在與滾動體保持器109和軸105 滑動時的滑動方向正交的方向，因此可減少接觸面積，降低滑動阻力。由此，提高軸承部123 的綜合滑動特性。如圖16所示，在滑動導軌110的頂面IlOa的四角形成有在側面IlObUlOc側突出并延伸的四個突出部110d。如圖16所示，各自的突出部IlOd嵌入后述的主體部125的支承部104h，維持導軌110的姿勢。具體而言，導軌110中，形成于四角的突出部IlOd由支承部104h支承，從而限制圍繞軸105的旋轉。由此，可以限制與導軌110抵接的滾動體 108及滾動體保持器109圍繞軸105旋轉?！词┝Σ?24>施力部124(參照圖1 包括加壓彈簧111和彈性體102c。由于已經(jīng)針對彈性體 102c進行了說明，因此省略詳細說明。如圖16所示，加壓彈簧111主要由矩形狀的主面Ille和四個延伸部11 la、11 lb、 111c、Illd構成，所述主面Ille與導軌110的頂面IlOa對置，并向軸105側按壓導軌110， 所述四個延伸部11 la、11 lb、11 lc、llId從主面Ille的兩個長邊的兩端向軸105側延伸。進而，如圖17所示，加壓彈簧111通過使形成于延伸部Illa Illd前端的爪嵌入后述的主體部125的突起部104g而固定于主體部125。此外，這里，記載了加壓彈簧111將導軌110向軸105側按壓，但加壓彈簧111至少限制導軌110向與軸105側相反側移動即可。另外，對加壓彈簧111以直接按壓導軌110 的方式進行安裝的情況作了說明，但是，也可以將彈性構件(未圖示)夾入加壓彈簧111和導軌110之間。這里，再次參照圖16，對導軌110及加壓彈簧111的安裝進行說明。如上所述，在導軌110設置四個突出部110d。在將導軌110向主體部125安裝時， 將各突出部IlOd配置在作為承受部的各支承部104h。在導軌110的各突出部IlOd與主體部125的支承部104h之間有間隙的情況下，在安裝加壓彈簧111時導軌110稍微傾斜， 但是，即使在這種情況下，由于各突出部IlOd與各支承部104h接觸，所以也能夠防止導軌 110較大旋轉。即，由于相對于軸105隔著滾動體108對置配置，因此，相對于容易圍繞軸 105的軸旋轉的導軌110而設置各突出部110d，從而，導軌110的安裝變得容易。進而，將加壓彈簧111以覆蓋導軌110的方式配置，并且，僅將延伸部Illa Illd前端的爪嵌入主體部125的突起部104g，即能夠?qū)⒓訅簭椈?11安裝在主體部125，因此組裝變得容易。施力部124(參照圖1 包括將軸承部123向軸105側按壓的加壓彈簧111和將驅(qū)動產(chǎn)生部121向軸105側按壓的彈性體102c，對驅(qū)動產(chǎn)生部121和軸承部123向相互接近的方向施力。彈性體102c例如由硅橡膠構成，由收縮產(chǎn)生彈性力，對驅(qū)動產(chǎn)生部121向軸105 側施力。由此，軸105接受從振動促動器101向與軸正交的方向的施壓力。軸105從穿過孔 104a、104b穿過。因此，如果不從與驅(qū)動產(chǎn)生部21相反側支承軸105，則會在穿過孔104a、 104b產(chǎn)生支承軸105的支承力，使軸105翹曲。但是，在軸105的與驅(qū)動產(chǎn)生部121相反側配置有由加壓彈簧111施力的軸承部 123。因此，從與驅(qū)動產(chǎn)生部121相反側支承軸105，將在穿過孔104a、104b相對于軸105施加的支承力減輕或相抵。由此，抑制軸105的變形，減輕穿過孔104a、104b與軸105的滑動阻力，從而提高驅(qū)動效率?！粗黧w部125>主體部125(參照圖12)主要包括框體104 ；設于框體104側面，支承軸105并固定軸承部123的支承部104i ；固定驅(qū)動產(chǎn)生部121的固定部104j。
框體104是在中心部固定透鏡等光學部件的板狀構件。在支承部104i形成有穿過孔10 及104b，以在與板狀框體104的面平行的一方向(沿一邊的方向)使軸105穿過并支承。另外，在支承部104i形成有支承部104h同時形成有突起部104g，所述支承部104h支承在導軌110的外周形成的突出部110d，所述突出部104g卡止加壓彈簧111的延伸部Illa Illd前端的爪。固定部104j主要包括平面部l(Mc，其與促動器殼體103對置配置；承受部l(Me， 其形成在平面部10 的一端，并將促動器殼體103支承在軸105側。并且，主體部125在隔著框體104與支承部104i對置的位置形成有制動部104f。 制動部104f支承實質(zhì)地固定在將軸105固定的構件等的軸115，限制主體部125圍繞軸105旋轉。此外，在上述示例中，對主體部125沿軸105移動的情況進行了說明，但是，如果固定框體104，則能夠進行作為滑動構件122的軸105、基體106、陶瓷板107的驅(qū)動。另外，在上述示例中，對沿與框體104的面平行的一方向驅(qū)動主體部125的情況進行了說明。即，對沿與在框體104的中心部配置的透鏡的光軸方向正交的方向驅(qū)動主體部 125的情況進行了說明。這時，驅(qū)動裝置120可用作驅(qū)動透鏡而進行像振補償?shù)难b置。但是，如果是支承部104i沿透鏡的光軸方向(與框體104的面正交的方向)支承軸105的構造，則驅(qū)動裝置120可用作沿光軸方向驅(qū)動光學部件的裝置、例如焦點調(diào)整裝置等。進而，配置在框體104的光學部件并不限于透鏡，也可以為(XD、C0MS等攝像元件?！雌渌翟谏鲜鼋Y構中，為了進一步提高振動促動器101的驅(qū)動效率，可以配置對振動促動器101施力的構件。對此，結合圖18進行具體說明。如圖18所示，驅(qū)動裝置120具有限制構件114，其在與振動促動器101的主面垂直的方向，限制向與促動器殼體103側相反側的移動；彈性體113，其配置在振動促動器101 的主面和限制構件114之間，對振動促動器101向促動器殼體103側施力，同時吸收限制構件114的尺寸偏差。限制構件114限制振動促動器101向相對于振動促動器101的驅(qū)動件101b、IOlc 和滑動構件122進行接觸的方向呈直角的方向移動。振動促動器101利用彈性體102c (參照圖12)相對于滑動構件122按壓，并在施加電壓時重復微小的振動。如果并不對振動促動器101向與促動器殼體103側相反側的移動加以限制，則由于該微小振動，振動促動器101 相對于滑動構件122的姿勢隨時間而變化。該姿勢的變化導致驅(qū)動效率的降低。另一方面，驅(qū)動裝置120具有限制構件114及彈性體113，在限制振動促動器101 移動的情況下可防止滑動構件122的驅(qū)動效率降低。另外，在圖18中代替加壓彈簧111而具有對導軌110向軸105側按壓的按壓構件 112。按壓構件112是在前端具有卡止在導軌110的頂面IlOa上的爪的大致“ 二 ”字狀的構件，以覆蓋驅(qū)動產(chǎn)生部121整體的方式從驅(qū)動產(chǎn)生部121側安裝，并以將導軌110拉向軸 105側的方式而起作用。此外，當然驅(qū)動裝置中也可以代替按壓構件112而具有加壓彈簧 111。另外，如圖19所示，在驅(qū)動裝置120具有按壓構件112的情況下，也可以不在主體部125形成在軸105側支承驅(qū)動器殼體103的承受部104e(參照圖1 。這時，按壓構件112的“ 二 ”字狀的底部在軸105側支承促動器殼體103。另外，按壓構件112的一個側部插入在主體部125設置的開口部104k，并且，另一個側部以覆蓋振動促動器101的主面的方式配置。進而，形成在側部前端的爪卡止在導軌110的頂面IlOa上。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，可提供一種在厚度方向或與厚度方向正交的方向小型化的驅(qū)動裝置。因此，本發(fā)明作為實現(xiàn)在厚度方向或與厚度方向正交的方向小型化的驅(qū)動裝置是有用的，可適用為光學部件的驅(qū)動裝置及使用其的像振補償裝置等。根據(jù)本發(fā)明，可提供一種實現(xiàn)優(yōu)選的驅(qū)動效率的驅(qū)動裝置。因此，本發(fā)明可在獲得優(yōu)選的驅(qū)動效率的領域中用作驅(qū)動裝置。
權利要求
1.一種驅(qū)動裝置，其具備驅(qū)動產(chǎn)生部，其通過壓電元件產(chǎn)生驅(qū)動；相對驅(qū)動部，其承受由所述驅(qū)動產(chǎn)生部產(chǎn)生的所述驅(qū)動，并被所述驅(qū)動產(chǎn)生部驅(qū)動； 限制部，其隔著所述相對驅(qū)動部與所述驅(qū)動產(chǎn)生部對置配置，限制在所述相對驅(qū)動部中所述驅(qū)動產(chǎn)生部所作用的部位向所述驅(qū)動產(chǎn)生部側的相反側變位； 施力部，其對所述驅(qū)動產(chǎn)生部和所述限制部向相互接近的方向施力。
2.根據(jù)權利要求1所述的驅(qū)動裝置，其中， 所述限制部具有滾動體，其與所述相對驅(qū)動部滾動接觸； 保持器，其大致保持所述滾動體的位置；引導部，其以從與所述相對驅(qū)動部側相反側覆蓋所述滾動體及所述保持器的方式形成，并對所述滾動體及所述保持器進行引導。
3.根據(jù)權利要求2所述的驅(qū)動裝置，其中，在所述引導部中，與所述驅(qū)動產(chǎn)生部和所述相對驅(qū)動部的相對驅(qū)動方向正交的截面形成為大致U字形狀，所述滾動體配置在所述U字形狀的兩個部位的角部，并由所述U字形狀的對置的兩邊支承。
4.根據(jù)權利要求3所述的驅(qū)動裝置，其中，還具備主體部，所述主體部支承所述驅(qū)動產(chǎn)生部，并被所述相對驅(qū)動部驅(qū)動， 在所述引導部中形成有限制所述引導部圍繞所述相對驅(qū)動部旋轉的限制部。
5.根據(jù)權利要求4所述的驅(qū)動裝置，其中，在所述保持器的所述相對驅(qū)動部側或所述引導部側的至少一側形成有與對置的構件進行滑動的滑動突起。
6.根據(jù)權利要求5所述的驅(qū)動裝置，其中，所述保持器的所述相對驅(qū)動部側的所述滑動突起沿與所述相對驅(qū)動部被相對驅(qū)動的方向交叉的方向延伸。
7.根據(jù)權利要求6所述的驅(qū)動裝置，其中，所述保持器的所述引導部側的所述滑動突起沿所述相對驅(qū)動部被相對驅(qū)動的方向延伸。
8.根據(jù)權利要求7所述的驅(qū)動裝置，其中，在所述相對驅(qū)動部的所述驅(qū)動產(chǎn)生部所作用的部位配置有陶瓷材料。
9.根據(jù)權利要求8所述的驅(qū)動裝置，其中，還具備移動限制部，所述移動限制部限制所述驅(qū)動產(chǎn)生部向與所述驅(qū)動產(chǎn)生部對所述相對驅(qū)動部作用的方向正交的方向移動。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種實現(xiàn)厚度方向或與厚度方向正交的方向的小型化的驅(qū)動裝置。驅(qū)動裝置(50)具備第一框體(51)、第二框體(52)、第三框體(53)、第一驅(qū)動機構(54)和第二驅(qū)動機構(55)。第二框體(52)被支承為能夠相對于第一框體(51)在第一方向(A)移動。第三框體(53)被支承為能夠相對于第二框體(52)在與第一方向(A)正交的第二方向(B)移動。第一驅(qū)動機構(54)設置在第一框體(51)和第二框體(52)之間，使第一框體(51)和第二框體(52)相對移動。第二驅(qū)動機構(55)設置在第二框體(52)和第三框體(53)之間，使第二框體(52)和第三框體(53)相對移動。第一驅(qū)動機構(54)和第二驅(qū)動機構(55)分別具有驅(qū)動產(chǎn)生部(21)和驅(qū)動承受部(22)，所述驅(qū)動產(chǎn)生部(21)通過壓電元件(1a)產(chǎn)生驅(qū)動，所述驅(qū)動承受部(22)相對于驅(qū)動產(chǎn)生部(21)被相對地按壓，并承受由驅(qū)動產(chǎn)生部(21)產(chǎn)生的驅(qū)動。在第一驅(qū)動機構(54)中驅(qū)動產(chǎn)生部(21)對驅(qū)動承受部(22)作用的作用方向(C1)是與在第二驅(qū)動機構(55)中驅(qū)動產(chǎn)生部(21)對驅(qū)動承受部(22)作用的作用方向(C2)平行且反向的方向。
文檔編號H02N2/00GK102176644SQ20111007026
公開日2011年9月7日 申請日期2007年8月27日 優(yōu)先權日2006年8月28日
發(fā)明者向江秀明 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社