帶動吸盤53進行升降運動。第三運動組件51可采用包含動力源的導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)，直線導(dǎo)軌利用支架架起縱向固定在機臺1上，滑塊固定在第四運動組件52底部，動力源推動整個第四運動組件52沿直線導(dǎo)軌進行縱向移動。當(dāng)分離機構(gòu)4分離堆疊基板7后，第四運動組件52帶動吸盤53下行至堆疊基板7上方，吸盤53吸取單個基板后上行，第三運動組件51帶動吸盤53運動至輸送機構(gòu)6上方，并將基板放置在輸送機構(gòu)6上。
[0020]輸送機構(gòu)6可采用傳送帶結(jié)構(gòu)61。上述的第一運動組件22、第二運動組件32、第三運動組件51、第四運動組件52及輸送機構(gòu)6的結(jié)構(gòu)不作限制，實際使用中可使用其他與其功能相似的結(jié)構(gòu)代替。在本實施例中，載籃機構(gòu)2、頂升機構(gòu)3、分離機構(gòu)4、吸取機構(gòu)5及輸送機構(gòu)6的工作狀態(tài)由中央控制器集中控制，以達(dá)到整個裝置全自動運行的效果。
[0021]較優(yōu)的，為了提高工藝效率，第一運動組件22上設(shè)有兩組載籃21，兩組載籃21可在第一運動組件22上往復(fù)運動，當(dāng)滿載的一組載籃21位于頂升機構(gòu)3上方進行分離抓取時，空載的一組載籃21位于頂升機構(gòu)3 —側(cè)裝載堆疊基板7，當(dāng)滿載的該組載籃21內(nèi)基板取完后，第一運動組件22運動，自動更換載籃21，以減少換籃對生產(chǎn)效率的影響。
[0022]進一步的，每組載籃中設(shè)有至少一個載籃21。在本實施例中，每組載籃中設(shè)有兩個載籃21，頂升機構(gòu)3內(nèi)設(shè)有兩個升降桿31，兩個升降桿31的上方設(shè)有兩個分離機構(gòu)4，吸取機構(gòu)5內(nèi)設(shè)有兩個吸盤53，兩個升降桿31之間的間距與每組載籃中兩載籃21的間距相配合，兩個吸盤53之間的間距也與每組載籃中兩載籃21的間距相配合。裝置運行時，一次可對兩個載籃21內(nèi)的堆疊基板7進行分離抓取。
[0023]如圖4所示，本發(fā)明還提出了一種上述抓取分離裝置的抓取分離方法，包括以下步驟:
步驟1、向載籃機構(gòu)2的兩組載籃21內(nèi)分別放入堆疊基板7，吸取機構(gòu)5縱向移動至頂升機構(gòu)3上方；
步驟2、載籃機構(gòu)2將一組滿載的載籃21橫向移動至頂升機構(gòu)3上方； 步驟3、頂升機構(gòu)3將該組載籃21內(nèi)的堆疊基板7升至分離機構(gòu)4所在的高度，分離機構(gòu)4的分離氣口 42送出氣流將堆疊基板7分離；
步驟4、吸取機構(gòu)5下降至堆疊基板7的上方，吸取單個基板后，頂升機構(gòu)3帶動堆疊基板下降，分離機構(gòu)4停止分離基板，吸取機構(gòu)5帶動單個基板上升；
步驟5、吸取機構(gòu)5將基板縱向移動至輸送機構(gòu)6上，輸送機構(gòu)6將基板輸送至下一工序;
步驟6、判斷載籃21中的基板是否取完，若取完則進行步驟7，若未取完則進行步驟3 ;步驟7、載籃機構(gòu)2將滿載的另一組載籃21橫向移動至頂升機構(gòu)3上方，進行步驟3，向空載的一組載籃21里放入堆疊基板7。
[0024]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種堆疊基板的抓取分離裝置，包括:機臺、設(shè)于機臺上用于放置堆疊基板的載籃機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)下方可向上頂起堆疊基板的頂升機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)頂部兩側(cè)可分離堆疊基板的分離機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)上方可吸取單個基板的吸取機構(gòu)、設(shè)于吸取機構(gòu)一側(cè)可運送單個基板的輸送機構(gòu)； 所述吸取機構(gòu)可移動單個基板，并將其放置在輸送機構(gòu)上。2.如權(quán)利要求1所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述載籃機構(gòu)包括:橫向設(shè)于頂升機構(gòu)上方的第一運動組件、設(shè)于第一運動組件上的載籃，所述第一運動組件可帶動載籃在頂升機構(gòu)的上方橫向往復(fù)運動，所述載籃內(nèi)放置有堆疊基板。3.如權(quán)利要求2所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述頂升機構(gòu)包括:豎直設(shè)于載籃機構(gòu)下方的升降桿、與升降桿傳動連接的第二運動組件，所述載籃移動到升降桿上方時，所述第二運動組件帶動升降桿向上運動穿過所述第一運動組件頂起基板。4.如權(quán)利要求3所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述分離機構(gòu)包括:對稱設(shè)于頂升機構(gòu)上方的兩支撐板、開口相對設(shè)于兩支撐板頂端的兩分離氣口、與所述分離氣口連接的供氣裝置；所述載籃運動至頂升機構(gòu)上方時，兩支撐板恰好位于所述載籃縱向方向的兩側(cè)。5.如權(quán)利要求4所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述吸取機構(gòu)包括:縱向設(shè)于載籃機構(gòu)上方的第三運動組件、設(shè)于第三運動組件上的第四運動組件、與第四運動組件傳動連接的吸盤、與所述吸盤連接的供氣裝置，所述第三運動組件可帶動吸盤縱向移動，所述第四運動組件可帶動吸盤升降運動。6.如權(quán)利要求5所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述第一運動組件上橫向并排設(shè)置有兩組載籃。7.如權(quán)利要求6所述的抓取分離裝置，其特征在于，每組載籃中設(shè)有至少一個載籃，所述頂升機構(gòu)內(nèi)設(shè)有與每組載籃中載籃數(shù)量相對應(yīng)的升降桿，升降桿之間的間距與每組載籃中載籃的間距相配合，每個升降桿上方均設(shè)有分離機構(gòu)，所述吸取機構(gòu)內(nèi)設(shè)有與每組載籃中載籃數(shù)量相對應(yīng)的吸盤，吸盤之間的間距也與每組載籃中載籃之間的間距相配合。8.如權(quán)利要求5所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述第一運動組件、第三運動組件可采用包含動力源的導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)，第二運動組件可采用電動執(zhí)行件、第四運動組件可采用氣動執(zhí)行件，輸送機構(gòu)可采用傳送帶結(jié)構(gòu)。9.一種上述任一項權(quán)利要求所述抓取分離裝置的抓取分離方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟1、載籃機構(gòu)的兩組載籃內(nèi)均放有堆疊基板，吸取機構(gòu)縱向移動至頂升機構(gòu)上方； 步驟2、載籃機構(gòu)將一組滿載的載籃橫向移動至頂升機構(gòu)上方； 步驟3、頂升機構(gòu)將該組載籃內(nèi)的堆疊基板升至分離機構(gòu)所在的高度，分離機構(gòu)的分離氣口送出氣流將堆疊基板分離； 步驟4、吸取機構(gòu)5下降至堆疊基板7的上方，吸取單個基板后，頂升機構(gòu)3帶動堆疊基板下降，分離機構(gòu)4停止分離基板，吸取機構(gòu)5帶動單個基板上升； 步驟5、吸取機構(gòu)將基板縱向移動至輸送機構(gòu)上，輸送機構(gòu)將基板輸送至下一工序； 步驟6、判斷載籃中的基板是否取完，若取完則進行步驟7，若未取完則進行步驟3 ; 步驟7、載籃機構(gòu)將滿載的另一組載籃橫向移動至頂升機構(gòu)上方，進行步驟3，向空載的一組載籃里放入堆疊基板。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種堆疊基板的抓取分離裝置，包括：機臺、設(shè)于機臺上用于放置基板的載籃機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)下方可向上頂起基板的頂升機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)頂部兩側(cè)可分離堆疊基板的分離機構(gòu)、設(shè)于載籃機構(gòu)上方可吸取單個基板的吸取機構(gòu)、設(shè)于吸取機構(gòu)一側(cè)可運送單個基板的輸送機構(gòu)，吸取機構(gòu)可移動單個基板，并將其放置在輸送機構(gòu)上，載籃結(jié)構(gòu)可橫向移動實現(xiàn)載籃自動更換。本發(fā)明還公開了一種上述抓取分離裝置的抓取分離方法。本發(fā)明可實現(xiàn)堆疊基板的自動分離抓取，降低基板的破損率，提高基板的生產(chǎn)質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21/677, H01L21/67, H01L21/673, H01L21/683
【公開號】CN105336648
【申請?zhí)枴緾N201510838153
【發(fā)明人】劉大鵬, 廖慶林, 蔣開發(fā), 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年11月26日