一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體集成電路制造技術(shù)領域，尤其涉及一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前爐管Indyplus/Formula機型的測量(Gauge)觸發(fā)點只是在安裝機臺的時候檢測一次，之后就沒有檢測機制來監(jiān)控和有效管理Gauge觸發(fā)點。鑒于Gauge觸發(fā)點在實際生產(chǎn)過程中作用非常關鍵，爐管測量觸發(fā)點的警報設定非常重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于上述問題，本發(fā)明提供一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，利用互鎖單元對爐管進行控制及監(jiān)控，實現(xiàn)自動報警監(jiān)控Gauge觸發(fā)點偏移的問題。這樣就實現(xiàn)自動監(jiān)控，提前預防報廢風險，方便管理，安全生產(chǎn)的效果。
[0004]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:
[0005]—種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，包括:
[0006]利用一互鎖單元對所述爐管進行互鎖控制；
[0007]當所述爐管的測量觸發(fā)點達到臨界值時，發(fā)出警報，以監(jiān)控測量觸發(fā)點偏移。
[0008]優(yōu)選地，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述爐管為Indyplu機型的爐管。
[0009]優(yōu)選地，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述爐管為Formula機型的爐管。
[0010]優(yōu)選地，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述臨界值為爐管正常工作的臨界值。
[0011]優(yōu)選地，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述互鎖單元由一控制單元形成。
[0012]優(yōu)選地，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述控制單元包括一software interlock編譯裝置，通過所述software interlock編譯裝置實現(xiàn)互鎖。
[0013]上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果:本發(fā)明提供的一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，利用software interlock編譯裝置，通過所述software interlock編譯裝置實現(xiàn)互鎖，實現(xiàn)自動報警監(jiān)控Gauge觸發(fā)點偏移的問題。這樣就實現(xiàn)自動監(jiān)控，提前預防報廢風險，方便管理，安全生產(chǎn)的效果。
【附圖說明】
[0014]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發(fā)明及其特征、夕卜形和優(yōu)點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點在于示出本發(fā)明的主旨。
[0015]圖1是本發(fā)明的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法作詳細說明。
[0017]如圖1所示，本發(fā)明的一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，主要包括:利用互鎖單元對爐管進行監(jiān)控，，利用software interlock編譯裝置，通過所述software interlock編譯裝置實現(xiàn)互鎖，實現(xiàn)自動報警監(jiān)控Gauge觸發(fā)點偏移的問題。這樣就實現(xiàn)自動監(jiān)控，提前預防報廢風險，方便管理，安全生產(chǎn)的效果。
[0018]作為進一步優(yōu)選實施方案，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述爐管為Indyplu機型的爐管。
[0019]作為進一步優(yōu)選實施方案，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述爐管為Formula機型的爐管。通常Indyplu機型的爐管或Formula機型的爐管均可以設置有互鎖單元，即Indyplu機型的爐管或Formula機型的爐管即可以獨立于互鎖單元存在，也可以內(nèi)部直接設置有互鎖單元。
[0020]作為進一步優(yōu)選實施方案，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述臨界值為爐管正常工作的臨界值。臨界值可以根據(jù)不同的場合設定不同的臨界值，此處不做具體限制。
[0021]作為進一步優(yōu)選實施方案，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述互鎖單元由一控制單元形成。作為進一步優(yōu)選實施方案，上述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其中，所述控制單元包括一 software interlock編譯裝置，通過所述software interlock編譯裝置實現(xiàn)互鎖。
[0022]綜上所述，本發(fā)明提供了一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，利用Indyplus/Formula機型內(nèi)部的software interlock語句，編寫software interlock語句，實現(xiàn)自動報警監(jiān)控Gauge觸發(fā)點偏移的問題。這樣就實現(xiàn)自動監(jiān)控，提前預防報廢風險，方便管理，安全生產(chǎn)的效果。
[0023]本領域技術(shù)人員應該理解，本領域技術(shù)人員在結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本發(fā)明的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。
[0024]以上對本發(fā)明的較佳實施例進行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實施方式，其中未盡詳細描述的設備和結(jié)構(gòu)應該理解為用本領域中的普通方式予以實施；任何熟悉本領域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例，這并不影響本發(fā)明的實質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，包括: 利用一互鎖單元對所述爐管進行互鎖控制； 當所述爐管的測量觸發(fā)點達到臨界值時，發(fā)出警報，以監(jiān)控測量觸發(fā)點偏移。2.如權(quán)利要求1所述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，所述爐管為Indyplu機型的爐管。3.如權(quán)利要求1所述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，所述爐管為Formula機型的爐管。4.如權(quán)利要求1所述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，所述臨界值為爐管正常工作的臨界值。5.如權(quán)利要求1所述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，所述互鎖單元由一控制單元形成。6.如權(quán)利要求5所述的爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，其特征在于，所述控制單元包括一 software interlock編譯裝置，通過所述software interlock編譯裝置實現(xiàn)互鎖。
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導體集成電路制造技術(shù)領域，尤其涉及一種爐管測量觸發(fā)點警報設定方法，利用Indyplus/Formula機型內(nèi)部的software？interlock語句，編寫software？interlock語句，實現(xiàn)自動報警監(jiān)控測量觸發(fā)點偏移的問題，以實現(xiàn)自動監(jiān)控，提前預防報廢風險，方便管理，安全生產(chǎn)的效果。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN105336647
【申請?zhí)枴緾N201510663045
【發(fā)明人】魏巍, 俞瑋, 裴雷洪
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年10月14日