半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法及裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備控制領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常半導(dǎo)體設(shè)備控制軟件系統(tǒng)由下位機(jī)實(shí)時(shí)控制程序和上位機(jī)Windows界面控制程序組成。下位機(jī)程序通過(guò)RS232/485、Socket和DeviceNet等10方式與硬件進(jìn)行通信，是設(shè)備控制的實(shí)現(xiàn)者和直接實(shí)施者。上位機(jī)程序一方面通過(guò)界面接收用戶的指令并發(fā)送給下位機(jī)程序從而完成對(duì)硬件設(shè)備的控制；另一方面獲取下位機(jī)中的數(shù)據(jù)，并通過(guò)模擬動(dòng)畫或圖形控件等方式直觀的顯示在界面上，以方便用戶查看設(shè)備運(yùn)行情況。
[0003]在半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)行的某一時(shí)刻，用戶需要通過(guò)上位機(jī)界面查看設(shè)備的某個(gè)模塊中的物料情況。這個(gè)模塊可以是工藝腔室、裝卸載腔室或傳輸腔室等，這些腔室的槽位數(shù)目各不相同，有的腔室槽位比較多，這時(shí)需要考慮如何在有限的界面上將所有的槽位都表示出來(lái)，還要方便用戶觀察各槽位情況。
[0004]且在編輯JOB (工藝加工)過(guò)程中，需要為不同槽位處的物料(晶圓)設(shè)置相應(yīng)的路徑。就需要通過(guò)界面進(jìn)行槽位的選擇。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，需要分別采用不同控件表示槽位物料狀態(tài)和在JOB編輯過(guò)程中進(jìn)行物料的選擇，對(duì)于槽位數(shù)比較多的情況，會(huì)占用很大的界面空間。而半導(dǎo)體設(shè)備控件軟件界面的大小是一定的，需要界面顯示的內(nèi)容往往很多，采用不同控件會(huì)使得用于進(jìn)行其他信息顯示的界面空間減少。
[0006]綜上所述，如何提供一種便于查看半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)，且能夠進(jìn)行晶圓選擇的軟件控制方法是一個(gè)亟待解決的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]基于此，有必要提供一種能夠有效提高生產(chǎn)效率，方便進(jìn)行腔室狀態(tài)查看及工藝加工過(guò)程晶圓選擇的半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法及裝置。
[0008]為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法，包括以下步驟:
[0009]在上位機(jī)界面上顯示用于顯示腔室狀態(tài)的矩形框，其中，所述矩形框中包括多個(gè)表示槽位的矩形條；
[0010]接收半導(dǎo)體設(shè)備腔室中晶圓的狀態(tài)信息，并根據(jù)所述狀態(tài)信息設(shè)置表示相應(yīng)槽位的矩形條的顯示狀態(tài)；
[0011]接收所述表示槽位的矩形條的矩形條選中信息，并根據(jù)所述矩形條選中信息確定進(jìn)行工藝加工過(guò)程的晶圓。
[0012]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法的一種可實(shí)施方式，所述根據(jù)所述狀態(tài)信息設(shè)置表示相應(yīng)槽位的矩形條的顯示狀態(tài)，包括以下步驟:
[0013]根據(jù)所述狀態(tài)信息，判斷半導(dǎo)體設(shè)備腔室的槽位中是否存在晶圓，并得到第一判斷結(jié)果；
[0014]根據(jù)所述第一判斷結(jié)果，對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備腔室中沒(méi)有晶圓的槽位，在對(duì)應(yīng)矩形條的左右兩側(cè)分別設(shè)置一條橫線，其中，左側(cè)和右側(cè)的橫線在同一直線且上不相連；
[0015]根據(jù)所述第一判斷結(jié)果，對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備腔室中有晶圓的槽位，在對(duì)應(yīng)矩形條設(shè)置一條連接左側(cè)和右側(cè)的橫線。
[0016]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法的一種可實(shí)施方式，所述矩形條的數(shù)量與所顯示的半導(dǎo)體設(shè)備腔室中槽位的數(shù)量相同；
[0017]所述多個(gè)表示槽位的矩形條在所述矩形框中排列為一列；
[0018]所述多個(gè)表示槽位的矩形條自下而上與半導(dǎo)體設(shè)備腔室中的槽位順序相對(duì)應(yīng)，且在所述矩形條的左側(cè)標(biāo)注序號(hào)。
[0019]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法的一種可實(shí)施方式，還包括以下步驟:
[0020]當(dāng)所述上位機(jī)界面在編輯狀態(tài)下時(shí)，接收所述矩形框大小改變的命令，并根據(jù)所述命令按比例放大或者縮小所述矩形框及所述矩形條。
[0021]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法的一種可實(shí)施方式，所述接收所述表示槽位的矩形條的矩形條選中信息，并根據(jù)所述矩形條選中信息確定進(jìn)行工藝加工過(guò)程的晶圓，包括以下步驟:
[0022]接收所述表示槽位的矩形條的矩形條選中信息，并分析選中的矩形條對(duì)應(yīng)的槽位；
[0023]將選中的矩形條對(duì)應(yīng)的槽位中的晶圓確定為進(jìn)行工藝加工過(guò)程的晶圓；
[0024]將所選中的矩形條進(jìn)行高亮顯示。
[0025]基于同一發(fā)明構(gòu)思的一種半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的裝置，包括顯示控制模塊，狀態(tài)設(shè)置模塊，以及晶圓加工確定模塊，其中:
[0026]所述顯示控制模塊，用于在上位機(jī)界面上顯示用于顯示腔室狀態(tài)的矩形框，其中，所述矩形框中包括多個(gè)表示槽位的矩形條；
[0027]所述狀態(tài)設(shè)置模塊，用于接收半導(dǎo)體設(shè)備腔室中晶圓的狀態(tài)信息，并根據(jù)所述狀態(tài)信息設(shè)置表示相應(yīng)槽位的矩形條的顯示狀態(tài)；
[0028]所述晶圓加工確定模塊，用于接收所述表示槽位的矩形條的矩形條選中信息，并根據(jù)所述矩形條選中信息確定進(jìn)行工藝加工過(guò)程的晶圓。
[0029]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的裝置的一種可實(shí)施方式，所述狀態(tài)設(shè)置模塊包括判斷子模塊，第一處理子模塊，以及第二處理子模塊，其中:
[0030]所述判斷子模塊，用于根據(jù)所述狀態(tài)信息，判斷半導(dǎo)體設(shè)備腔室的槽位中是否存在晶圓，并得到第一判斷結(jié)果；
[0031]所述第一處理子模塊，用于根據(jù)所述第一判斷結(jié)果，對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備腔室中沒(méi)有晶圓的槽位，在對(duì)應(yīng)矩形條的左右兩側(cè)分別設(shè)置一條橫線，其中，左側(cè)和右側(cè)的橫線在同一直線且上不相連；
[0032]所述第二處理子模塊，用于根據(jù)所述第一判斷結(jié)果，對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備腔室中有晶圓的槽位，在對(duì)應(yīng)矩形條設(shè)置一條連接左側(cè)和右側(cè)的橫線。
[0033]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的裝置的一種可實(shí)施方式，所述顯示控制模塊包括數(shù)量設(shè)置子模塊，排列顯示子模塊，以及標(biāo)注子模塊，其中:
[0034]所述數(shù)量設(shè)置子模塊，用于設(shè)置所述矩形條的數(shù)量與所顯示的半導(dǎo)體設(shè)備腔室中槽位的數(shù)量相同；
[0035]所述排列顯示子模塊，用于控制所述多個(gè)表示槽位的矩形條在所述矩形框中排列為一列；
[0036]所述標(biāo)注子模塊，用于控制所述多個(gè)表示槽位的矩形條自下而上與半導(dǎo)體設(shè)備腔室中的槽位順序相對(duì)應(yīng)，且在所述矩形條的左側(cè)標(biāo)注序號(hào)。
[0037]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的裝置的一種可實(shí)施方式，還包括調(diào)整模塊:
[0038]所述調(diào)整模塊，用于當(dāng)所述上位機(jī)界面在編輯狀態(tài)下時(shí)，接收所述矩形框大小改變的命令，并根據(jù)所述命令按比例放大或者縮小所述矩形框及所述矩形條。
[0039]作為半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的裝置的一種可實(shí)施方式，所述晶圓加工確定模塊包括分析子模塊，晶圓選擇子模塊，以及顯示控制子模塊，其中:
[0040]所述分析子模塊，用于接收所述表示槽位的矩形條的矩形條選中信息，并分析選中的矩形條對(duì)應(yīng)的槽位；
[0041]所述晶圓選擇子模塊，用于將選中的矩形條對(duì)應(yīng)的槽位中的晶圓確定為進(jìn)行工藝加工過(guò)程的晶圓；
[0042]所述顯示控制子模塊，用于將所選中的矩形條進(jìn)行高亮顯示。
[0043]本發(fā)明的有益效果包括:
[0044]本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備腔室狀態(tài)顯示控制的方法及裝置，通過(guò)一個(gè)控件在上位機(jī)顯示界面設(shè)置顯示腔室中晶圓狀態(tài)的矩形框，界面顯示簡(jiǎn)潔清楚，且在