技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種監(jiān)控襯底涂布位置的方法。該方法通過在柔性襯底上的無機(jī)層上形成光阻層，并圖案化所述光阻層得到數(shù)個(gè)帶刻度線的位置監(jiān)控標(biāo)記，之后拍攝所述位置監(jiān)控標(biāo)記以及柔性襯底的畫面，進(jìn)而通過位置監(jiān)控標(biāo)記上的刻度線識(shí)別出柔性襯底的邊緣到玻璃基板的邊緣的距離的實(shí)際值，再將該柔性襯底的邊緣到玻璃基板的邊緣的距離的實(shí)際值與柔性襯底的邊緣到玻璃基板的邊緣的距離的設(shè)計(jì)值進(jìn)行比較，即可得出柔性襯底的位置是否存在偏移，相比于現(xiàn)有的人工測量的方法，能夠自動(dòng)監(jiān)控襯底涂布位置，提升襯底涂布位置的監(jiān)控效率，減少因襯底涂布位置不佳帶來的工藝問題。

技術(shù)研發(fā)人員：龔成波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.12
技術(shù)公布日：2017.08.11