專利名稱：基板輸送裝置和方法以及具有該裝置的基板制造設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于基板處理的裝置，更具有地說，涉及用于輸送平板 顯示器的裝置以及具有該裝置的基板制造設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來，信息處理設(shè)備正向多功能和具有更高的信息處理速度的方向快 速發(fā)展。這種信息處理裝置具有用于顯示處理后的信息的顯示器。目前，作
為顯示器備受關(guān)注的是平板顯示器，如液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、等離 子體顯示器。
為了制造這種平板顯示器(FPD)，要進(jìn)行各種工序，基本上是將平板 玻璃作為基板來使用。在基板的表面上形成絕緣層、彩色層、偏光層等多種 薄膜層，并將基板裝載在輸送裝置上，邊移動邊通過涂布藥液工序、清洗工 序、干燥工序等各種處理工序來制造。因此，基板是給平板顯示器的品質(zhì)帶 來最大影響的零部件之一。
由于這一系列的基板處理工序通常與基板輸送裝置傳送基板同時(shí)進(jìn)行， 所以在基板輸送裝置中，最重要的是使基板保持一定的傳送速度或能夠進(jìn)行 精密的位置控制。
特別是隨著平板顯示器的大型化(橫向/縱向的寬度尺寸為1870 2200mm的第7代、2160 2460mm以上的第8、 IO代)，基板也不斷大型化， 所以在基板的保管，特別是傳送的過程中，需要格外的注意。
在支撐和傳送基板的基板輸送裝置中，輸送用的軸的長度伴隨著基 板的大型化也變長。如果軸的長度變長，則由于軸的自重、大型化后的 基板的負(fù)荷以及在工序進(jìn)行中向基板上提供的處理液的噴射壓力和流量 等，使軸產(chǎn)生下垂變形，有可能導(dǎo)致基板破損或變形。而且，如果因軸 的下垂變形造成直線前進(jìn)性下降，則有可能因軸自身轉(zhuǎn)動時(shí)的振動等使 軸承等關(guān)聯(lián)零部件受到損傷。由此，工序的精密度顯著下降，基板的不合格率增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種適合于輸送大型基板的基板輸送裝置和 方法以及具有該裝置的基板處理設(shè)備。
本發(fā)明的目的還在于提供一種可以防止軸下垂變形的基板輸送裝置 和方法以及具有該裝置的基板處理設(shè)備。
本發(fā)明的目的還在于提供一種可以防止一組軸的直線前進(jìn)性和同心 度降低的、適合于輸送大型基板的基板輸送裝置和方法。
本發(fā)明要解決的課題不限于此，本領(lǐng)域技術(shù)人員從以下的敘述中可 以清楚地了解沒有談到的其他課題。
本發(fā)明提供輸送大型基板的基板輸送裝置。按照本發(fā)明的一種實(shí)施 方式，基板輸送裝置包括 一組軸；以及驅(qū)動部，用于使所述一組軸轉(zhuǎn) 動，所述一組軸包括具有第一長度的至少一個(gè)第一軸；第二軸，與所 述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第二長度；以及第 三軸，與所述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第三長 度，其中，所述第二軸位于比所述第一軸的另一端更靠近所述第一軸的 一端的位置，所述第三軸位于比所述第一軸的一端更靠近所述第一軸的 另一端的位置。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述驅(qū)動部包括第一動力傳遞部，連接 所述第一軸和所述第二軸，在所述第一軸和所述第二軸之間傳遞轉(zhuǎn)動力； 第二動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第三軸，在所述第一軸和所述 第三軸之間傳遞轉(zhuǎn)動力；以及動力源，向所述第一動力傳遞部提供轉(zhuǎn)動 力。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第一軸的兩端在離開基板的輸送路徑 的位置上，由軸承支撐，所述第二軸和所述第三軸的一端在離開基板的 輸送路徑的位置上，由軸承支撐，另一端在相當(dāng)于基板的輸送路徑的位 置上，由軸承支撐。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第二軸和所述第三軸配置在同一直線上。此外，所述第二軸和所述第三軸交替配置，所述第二軸和所述第三 軸間隔開配置。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第一長度比基板的寬度長，所述第二 長度和所述第三長度相等。
本發(fā)明提供用于制造平板顯示器的設(shè)備。所述制造設(shè)備包括處理 室，提供輸送基板的空間；第一、二支撐框架，與輸送基板的方向平行 地設(shè)置在所述處理室的輸送空間兩側(cè)；第三、四支撐框架，設(shè)置在所述 第一支撐框架和所述第二支撐框架之間；至少一個(gè)第一軸，能夠轉(zhuǎn)動地 設(shè)置在所述第一支撐框架和所述第二支撐框架上；第二軸，能夠轉(zhuǎn)動地 設(shè)置在所述第一支撐框架和所述第三支撐框架上；第三軸，能夠轉(zhuǎn)動地 設(shè)置在所述第二支撐框架和所述第四支撐框架上；以及驅(qū)動部，設(shè)置在 所述第一、二支撐框架的外側(cè)，具有用于使所述第一軸、所述第二軸以 及所述第三軸轉(zhuǎn)動的一個(gè)動力源。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述驅(qū)動部包括第一動力傳遞部，連接 所述第一軸和所述第二軸，把所述動力源的轉(zhuǎn)動力傳遞給所述第一軸和 所述第二軸；以及第二動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第三軸，把 所述第一軸的轉(zhuǎn)動力傳遞給所述第三軸。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第一軸和所述第二軸以及所述第三軸 在同一平面上。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第二軸和所述第三軸或配置在同一直 線上、或交替配置。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第二軸和所述第三軸間隔開配置。
按照本發(fā)明的實(shí)施方式，所述第一支撐框架和所述第三支撐框架的 間隔與所述第二支撐框架和所述第四支撐框架的間隔相等。
本發(fā)明提供采用所述基板輸送裝置的基板輸送方法。在所述基板輸 送方法中，通過從所述動力源提供轉(zhuǎn)動力驅(qū)動所述第一軸和所述第二軸， 并利用所述第一軸提供的轉(zhuǎn)動力驅(qū)動所述第三軸，來輸送基板。
本發(fā)明適合于輸送大型基板。
7此外，本發(fā)明可以使軸的下垂變形最小化。
此外，本發(fā)明可以防止軸的直線前進(jìn)性和同心度降低。


圖1是表示本發(fā)明基板處理設(shè)備的俯視圖。
圖2是圖l所示的基板處理設(shè)備的側(cè)剖視圖。
圖3是圖1所示的基板處理設(shè)備的立體圖。
圖4是表示交替配置的第二軸和第三軸的圖。
圖5A是表示第一、二、三軸的各種配置結(jié)構(gòu)的圖。
圖5B是表示第一、二、三軸的各種配置結(jié)構(gòu)的圖。
圖6是表示第一、二動力傳遞部是由同步帶和皮帶輪方式構(gòu)成的驅(qū) 動部的圖。
圖7是用于說明以非接觸方式傳遞轉(zhuǎn)動力的磁性方式的驅(qū)動部的圖。
附圖標(biāo)記說明 100處理室 200基板輸送裝置 212第一軸 214第二軸 216第三軸 220驅(qū)動部
具體實(shí)施例方式
下面參照圖1至圖7對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的 實(shí)施方式可以變換成各種形式，所以本發(fā)明的范圍不能解釋成限定于下 述的實(shí)施方式。本實(shí)施方式只是為了向具有本領(lǐng)域普通技術(shù)知識的人更 充分地說明本發(fā)明。因此，為了強(qiáng)調(diào)以便更清楚的說明，有一部分圖中 要素的形狀被夸大。在本實(shí)施方式中，基板用于制造平板顯示器(以下稱為"FPD") 元件，F(xiàn)PD可能是LCD (液晶顯示器)、PDP (等離子體顯示器)、VFD (真空熒光顯示器)、FED(場致發(fā)射顯示器)、ELD(有機(jī)EL顯示器)。
本發(fā)明一種實(shí)施方式的基板處理設(shè)備1能夠適宜地用于進(jìn)行對玻璃 基板這種平板狀基板10的處理工序，例如，用于進(jìn)行蝕刻、清洗、剝膜、 顯影、水洗等工序。
參照圖1至圖3，基板處理設(shè)備1包括處理室100，進(jìn)行對基板 IO的處理工序；以及基板輸送裝置200,用于傳送基板IO。
基板處理工序可以在處理室100或處理槽內(nèi)進(jìn)行。圖示的處理室100 是個(gè)例子，可以把與其類似的處理室配置成一列。例如，在基板10經(jīng)由 處理室100傳送的期間，可以依次進(jìn)行蝕刻、清洗、剝膜、顯影等處理 工序以及對處理后的基板IO的清洗工序、水洗工序、干燥工序等。處理 室100由四個(gè)側(cè)壁112a-112d構(gòu)成，提供進(jìn)行基板處理和基板輸送的空 間。在處理室100的側(cè)壁112a、 112c上，各自設(shè)置有基板10出入的入 口 114a和出口 114b。處理室100包括第一支撐框架112、第二支撐框 架114，它們與輸送基板IO的方向平行，設(shè)置在輸送空間的兩側(cè)；以及 第三支撐框架116、第四支撐框架118，它們設(shè)置在第一支撐框架112和 第二支撐框架114之間。所述第一支撐框架112、第二支撐框架114、第 三支撐框架116、第四支撐框架118是支撐基板輸送裝置200 —組軸的結(jié) 構(gòu)件。
基板輸送裝置200設(shè)置在處理室100內(nèi)?；遢斔脱b置200可以包 括一組軸、安裝在軸上的多個(gè)輥輪204以及用于使一組軸轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部 220。
一組軸包括第一軸212、第二軸214以及第三軸216。 一組軸沿一個(gè) 方向、例如沿基板IO的傳送方向平行排列，在各個(gè)軸212、 214、 216上 安裝多個(gè)輥輪204。輥輪204的安裝數(shù)量能夠根據(jù)需要處理或傳送的基板 IO的大小而改變。輥輪204固定在軸212、 214、 216上，利用軸212、 214、 216的轉(zhuǎn)動，輥輪204也一同轉(zhuǎn)動。因此，在輥輪204上的基板10 利用輥輪204的轉(zhuǎn)動向一個(gè)方向被傳送。第一軸212、第二軸214、第三軸216由配置在處理室100內(nèi)的第一 支撐框架112、第二支撐框架114、第三支撐框架116、第四支撐框架118， 支撐為水平或多少有些傾斜。為了第一軸212、第二軸214、第三軸216 順利轉(zhuǎn)動，第一支撐框架112、第二支撐框架114、第三支撐框架116、 第四支撐框架118可以包含各種方式的軸承120。
如果更具體地說明，則是第一軸212通過軸承120，能夠轉(zhuǎn)動地設(shè) 置在第一支撐框架112和第二支撐框架114上。第二軸214與第一軸212 位于同一平面上，且長度比第一軸212短。第二軸214通過軸承120，能 夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在第一支撐框架112和第三支撐框架116上。第三軸216 與第一軸212位于同一平面上，比第一軸212短，長度與第二軸214相 同。第三軸216通過軸承120，能夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在第四支撐框架118和第 二支撐框架114上。第二軸214位于比第一軸212的另一端更靠近一端 的位置，第三軸216位于比第一軸212的一端更靠近另一端的位置。而 且，第二軸214和第三軸216位于同一直線上。但是，如圖4所示，也 可以交替配置第二軸214和第三軸216。雖然第二軸214和第三軸216 以離開輥輪204的安裝間隔兩倍左右的距離來配置，但也可以利用第三 支撐框架116和第四支撐框架118的安裝間隔，使第二軸214和第三軸 216之間的間隔更近或更遠(yuǎn)。
如圖3所示，與處理室100的基板的入口 114a—側(cè)相鄰來配置第一 軸212，第二軸214、第三軸216配置在第一軸212的后方。但可以對第 一軸212、第二軸214、第三軸216的配置進(jìn)行各種改變。圖5A和圖5B 是表示第一軸212、第二軸214、第三軸216各種配置結(jié)構(gòu)的圖。如圖5A 所示，可以在配置于中央的第二軸214、第三軸216的前方和后方，分別 配置第一軸212?；蛘?，如圖5B所示，也可以在與處理室100的基板的 入口 114a和基板的出口 114b—側(cè)相鄰配置第二軸214、第三軸216，且 在第二軸214、第三軸216之間配置第一軸212。由此，能以多種形式配 置第一軸212、第二軸214、第三軸216。
驅(qū)動部220包括動力源222，產(chǎn)生轉(zhuǎn)動力；以及第一動力傳遞部 230、第二動力傳遞部240，將動力源222的轉(zhuǎn)動力傳遞給第一軸212、 第二軸214、第三軸216。動力源222是產(chǎn)生轉(zhuǎn)動力(動力)的部分，可
10以采用利用電動力動作的電動機(jī)或?qū)⒒瘜W(xué)能轉(zhuǎn)換為機(jī)械運(yùn)動的發(fā)動機(jī)。
第一動力傳遞部230、第二動力傳遞部240為了將動力源222產(chǎn)生 的轉(zhuǎn)動力傳遞給第一軸212、第二軸214、第三軸216，可以具有多種結(jié) 構(gòu)。例如，第一動力傳遞部230、第二動力傳遞部240可以通過齒輪的組 合、同步帶和多個(gè)皮帶輪或者使用磁鐵的非接觸方式等來具體實(shí)現(xiàn)。
第一動力傳遞部230包括與動力源222連接的第一驅(qū)動軸232; 在第一驅(qū)動軸232上設(shè)置的第一齒輪234;以及第二齒輪236，以與第一 齒輪234嚙合的方式，設(shè)置在第一軸212和第二軸214的一端。
第二動力傳遞部240包括第三齒輪242，設(shè)置在第一軸212的另 一端和第三軸216的另一端；以及第二驅(qū)動軸246，設(shè)置有與第一軸212 和第三軸216的第三齒輪242嚙合的第四齒輪244。作為用于第一動力傳 遞部230、第二動力傳遞部240的齒輪，可以使用磁性方式的齒輪。通常 所說的齒輪指利用齒的嚙合來向其他的軸傳遞動力的結(jié)構(gòu)，但是在使用 磁性方式的齒輪的情況下，齒輪的齒不直接接觸就可以傳遞動力。
如果對具有由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的驅(qū)動部的基板輸送裝置的動作進(jìn)行說 明，則是利用動力源222使第一驅(qū)動軸232轉(zhuǎn)動，在第一驅(qū)動軸232上 設(shè)置的第一齒輪234轉(zhuǎn)動，從而使與第一齒輪234嚙合的第二齒輪236 一起轉(zhuǎn)動。第二齒輪236的轉(zhuǎn)動使第一軸212和第二軸214同時(shí)轉(zhuǎn)動。 另一方面，第一軸212的轉(zhuǎn)動通過與第一軸212的第三齒輪242嚙合的 第四齒輪244，使第二驅(qū)動軸246轉(zhuǎn)動，與此同時(shí)，通過與第四齒輪244 嚙合的第三軸216的第三齒輪242使第三軸216轉(zhuǎn)動。
艮P，動力源222的轉(zhuǎn)動力通過第一動力傳遞部230使第一軸212、 第二軸214轉(zhuǎn)動，第一軸212的轉(zhuǎn)動力通過第二動力傳遞部240使第三 軸216轉(zhuǎn)動。
圖6是表示第一、二動力傳遞部是由同步帶和皮帶輪方式構(gòu)成的驅(qū) 動部的圖。
如圖6所示，第一動力傳遞部230a包括與第一軸212的一端結(jié)合 的第一皮帶輪233;與第二軸214的一端結(jié)合的第二皮帶輪235;以及帶 237，連接相鄰的皮帶輪來傳遞轉(zhuǎn)動力。動力源222的轉(zhuǎn)動軸與結(jié)合在第一軸212 —端的第一皮帶輪233連接來提供轉(zhuǎn)動力。
第二動力傳遞部240a由與第一動力傳遞部230a大體上類似的結(jié)構(gòu) 構(gòu)成，其包括與第一軸212的另一端結(jié)合的第三皮帶輪243;與第三軸 216的一端結(jié)合第四皮帶輪245;以及帶247，連接相鄰的皮帶輪來傳遞 轉(zhuǎn)動力。
圖7是用于說明以非接觸方式傳遞轉(zhuǎn)動力的磁性方式的驅(qū)動部的圖。
參照圖7，第一動力傳遞部260包括多個(gè)驅(qū)動軸262,用于向第一軸 212和第二軸214傳遞轉(zhuǎn)動力。驅(qū)動軸262的端部與第一軸212和第二軸 214的一端隔著處理室100的間隔板119相對配置，在端部上安裝用于以 非接觸方式傳遞轉(zhuǎn)動力的磁性動力傳遞構(gòu)件264。相對于各磁性動力傳遞 構(gòu)件264的中心，內(nèi)置有呈放射狀配置的多個(gè)永久磁鐵，永久磁鐵在磁 性動力傳遞構(gòu)件264的圓周方向上，以極性變化的方式進(jìn)行配置。如上 所述，通過齒輪265的組合(或同步帶和皮帶輪)和驅(qū)動軸262以及磁 性動力傳遞構(gòu)件264，轉(zhuǎn)動力從動力源222傳遞給第一軸212和第二軸 214。
第二動力傳遞部270包括第一驅(qū)動軸272，將通過第一軸212提 供的轉(zhuǎn)動力傳遞給轉(zhuǎn)動軸274;第二驅(qū)動軸273，從轉(zhuǎn)動軸274向第三軸 216傳遞轉(zhuǎn)動力；以及磁性動力傳遞構(gòu)件275，設(shè)置在第一軸212的另一 端和第三軸216的另一端以及第一驅(qū)動軸272、第二驅(qū)動軸273的一端。 利用齒輪方式進(jìn)行轉(zhuǎn)動軸274和第一驅(qū)動軸272、第二驅(qū)動軸273之間的 轉(zhuǎn)動力傳遞。
由于如上所述的基板輸送裝置200不是以比基板10的寬度更寬的第 一軸212來輸送基板10，而是以比基板10的寬度更窄的第二軸214、第 三軸216為中心來輸送基板10，所以即使基板IO大型化，也可以使基板 IO的下垂最小化，特別是可以防止由于軸212、 214、 216的下垂變形而 產(chǎn)生的直線前進(jìn)性、同心度的下降。此外，由于本發(fā)明的基板輸送裝置 200利用由單一驅(qū)動源所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動力使第一軸212和第二軸214轉(zhuǎn)動， 并通過長軸的第一軸212再使第三軸216轉(zhuǎn)動，所以可以解決在使用兩個(gè)驅(qū)動源的情況下，必須精密控制驅(qū)動源使第二軸214、第三軸216以相 同的轉(zhuǎn)動力轉(zhuǎn)動的困難。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，其特征在于包括一組軸；以及驅(qū)動部，用于使所述一組軸轉(zhuǎn)動，所述一組軸包括具有第一長度的至少一個(gè)第一軸；第二軸，與所述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第二長度；以及第三軸，與所述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第三長度；其中，所述第二軸位于比所述第一軸的另一端更靠近所述第一軸的一端的位置，所述第三軸位于比所述第一軸的一端更靠近所述第一軸的另一端的位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于， 所述驅(qū)動部包括第一動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第二軸，在所述第一軸和 所述第二軸之間傳遞轉(zhuǎn)動力；第二動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第三軸，在所述第一軸和 所述第三軸之間傳遞轉(zhuǎn)動力；以及動力源，向所述第一動力傳遞部提供轉(zhuǎn)動力。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板輸送裝置，其特征在于， 所述第一軸的兩端在離開基板的輸送路徑的位置上，由軸承支撐， 所述第二軸和所述第三軸的一端在離開基板的輸送路徑的位置上，由軸承支撐，另一端在相當(dāng)于基板的輸送路徑的位置上，由軸承支撐。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述第 二軸和所述第三軸配置在同一直線上。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述第 二軸和所述第三軸交替配置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述第 二軸和所述第三軸間隔開配置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述第 一長度比基板的寬度長。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述第 二長度和所述第三長度相等。
9. 一種用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特征在于包括 處理室，提供輸送基板的空間；第一、二支撐框架，與輸送基板的方向平行地設(shè)置在所述處理室的 輸送空間兩側(cè)；第三、四支撐框架，設(shè)置在所述第一支撐框架和所述第二支撐框架 之間；至少一個(gè)第一軸，能夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述第一支撐框架和所述第二 支撐框架上；第二軸，能夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述第一支撐框架和所述第三支撐框架上；第三軸，能夠轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述第二支撐框架和所述第四支撐框架 上；以及驅(qū)動部，設(shè)置在所述第一、二支撐框架的外側(cè)，具有用于使所述第 一軸、所述第二軸以及所述第三軸轉(zhuǎn)動的一個(gè)動力源。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動部包括第一動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第二軸，把所述動力源的轉(zhuǎn)動力傳遞給所述第一軸和所述第二軸；以及第二動力傳遞部，連接所述第一軸和所述第三軸，把所述第一軸的 轉(zhuǎn)動力傳遞給所述第三軸。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9或IO所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特 征在于，所述第一軸和所述第二軸以及所述第三軸在同一平面上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9或IO所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特 征在于，所述第二軸和所述第三軸配置在同一直線上。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9或IO所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特 征在于，所述第二軸和所述第三軸交替配置。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9或IO所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特 征在于，所述第二軸和所述第三軸間隔開配置。
15. 根據(jù)權(quán)利要求9或IO所述的用于制造平板顯示器的設(shè)備，其特 征在于，所述第一支撐框架和所述第三支撐框架的間隔與所述第二支撐 框架和所述第四支撐框架的間隔相等。
16. —種基板輸送方法，其特征在于， 用于在權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置中輸送基板， 通過從所述動力源提供的轉(zhuǎn)動力驅(qū)動所述第一軸和所述第二軸，并利用所述第一軸提供的轉(zhuǎn)動力驅(qū)動所述第三軸，來輸送基板。
全文摘要
本發(fā)明提供基板輸送裝置和方法以及具有該裝置的基板制造設(shè)備。所述基板輸送裝置包括一組軸；以及驅(qū)動部，用于使所述一組軸轉(zhuǎn)動，所述一組軸包括具有第一長度的至少一個(gè)第一軸；第二軸，與所述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第二長度；以及第三軸，與所述第一軸位于同一平面上，具有比所述第一長度短的第三長度；其中，所述第二軸位于比所述第一軸的另一端更靠近所述第一軸的一端的位置，所述第三軸位于比所述第一軸的一端更靠近所述第一軸的另一端的位置。
文檔編號H01L21/00GK101604650SQ20091020366
公開日2009年12月16日 申請日期2009年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月12日
發(fā)明者咸勝元, 金相吉 申請人:細(xì)美事有限公司