技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種雷達用傳感器芯片的制造工藝，所述硅片的清洗分為六步，可以去除硅片表面的有機物、氧化物及各種微粒，所述清洗后進行烘干，可以避免在波導制備過程中由于硅片原因?qū)е碌腜MMA?吸濕、與硅基底粘附性差、膜厚不均勻、表面平整度不夠、光潔度差等影響波導傳輸特性的不良后果，所述曝光使用的工具為雙面光刻機，可以提高圖像的分辨率，所述顯影后通過40?60%的磷酸水溶液進行腐蝕，可以去除顯影后暴露出來的鋁膜采用此種制造工藝加工出來的雷達用傳感器芯片具有分辨率高以及波導傳輸特性好的優(yōu)點，市場潛力巨大，前景廣闊。

技術(shù)研發(fā)人員：周淑清
受保護的技術(shù)使用者：安徽貝萊電子科技有限公司
文檔號碼：201610617720
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.01
技術(shù)公布日：2017.01.11