一種加熱勻膠的旋涂裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸（5），所述轉(zhuǎn)軸（5）頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤（1），所述轉(zhuǎn)軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導(dǎo)電滑環(huán)（6），所述隔熱盤（4）上安裝有加熱盤（3），所述加熱盤（3）通過導(dǎo)電滑環(huán)（6）與電源相連接，上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導(dǎo)電滑環(huán)（6）之間，且加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方。本實(shí)用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，能夠在旋轉(zhuǎn)過程中對(duì)膠液進(jìn)行加熱并對(duì)溫度進(jìn)行精確控制。
【專利說明】
一種加熱勻膠的旋涂裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種勻膠旋涂設(shè)備，尤其是涉及一種在勻膠過程中對(duì)載物盤上的膠進(jìn)行加熱的勻膠旋涂設(shè)備(也即勻膠機(jī))，其用于在以硅片等材料為底材的基片上進(jìn)行旋涂鍍膜，屬于半導(dǎo)體集成電路加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。【背景技術(shù)】
[0002]勻膠機(jī)是半導(dǎo)體芯片制造工藝中非常重要的設(shè)備，勻膠機(jī)有許多常用名稱，如:涂膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)等，其可應(yīng)用于溶膠凝膠試驗(yàn)中的薄膜制作，工作原理為高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上。
[0003]目前，普通的勻膠機(jī)可以滿足大多數(shù)膠液的旋涂作業(yè)，但有些特殊的膠液需要在一定的溫度范圍內(nèi)才能實(shí)現(xiàn)良好的成膜效果，并且有使用者需要在勻膠的過程中實(shí)現(xiàn)烤膠作業(yè);所以需要一種能在加熱的狀態(tài)下進(jìn)行勻膠的設(shè)備;如今市面上有內(nèi)嵌式加熱(如中國專利ZL201420683426.7公開的“一種勻膠機(jī)”——其包括主體機(jī)、載片臺(tái)及用于容置載片臺(tái)的限位框，所述載片臺(tái)設(shè)于主體機(jī)的中間位置處，并與主體機(jī)內(nèi)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，用于驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn);該勻膠機(jī)進(jìn)一步包括加熱機(jī)構(gòu)，其主要由感應(yīng)線圈組成，其中所述感應(yīng)線圈固定在載片臺(tái)上，并與主體機(jī)電性連接，用于對(duì)置于載片臺(tái)上的載片進(jìn)行加熱)、以及蓋子加熱(如中國專利ZL201420651955.9公開的“娃片勻膠烘干操作臺(tái)”——其包括操作臺(tái)本體、勻膠機(jī)和烘干裝置，在所述操作臺(tái)本體桌面上設(shè)置有通孔，所述勻膠機(jī)的托盤固定在所述通孔中；所述烘干裝置包括加熱絲、開關(guān)和烘干板，所述開關(guān)設(shè)置在操作臺(tái)本體的桌面一側(cè)，所述加熱絲位于烘干板下方，所述烘干板上表面等間距設(shè)置有若干凸筋)兩種樣式的設(shè)備;但是在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)這兩種設(shè)備的溫度不能做到精確地控制，并且兩種加熱的方式容易產(chǎn)生“皮膚效應(yīng)”，影響作業(yè)效果。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能夠在旋轉(zhuǎn)過程中對(duì)膠液進(jìn)行加熱并對(duì)溫度進(jìn)行精確控制的加熱勻膠的旋涂裝置
[0005]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0006]—種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤，所述轉(zhuǎn)軸上套裝有隔熱盤，所述隔熱盤上安裝有加熱盤，且加熱盤位于載物盤的下方，加熱盤可實(shí)現(xiàn)控溫加熱，并和載物盤一起進(jìn)行旋轉(zhuǎn)勻膠。
[0007]本實(shí)用新型一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤和加熱盤之間設(shè)置有一蓋板。
[0008]本實(shí)用新型一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤內(nèi)部為中空腔體，且載物盤的頂面上設(shè)置有多個(gè)與中空腔體相連通的吸附孔，所述轉(zhuǎn)軸中心沿其軸向設(shè)置有一抽氣通道，該抽氣通道的頂端與中空腔體相連通。
[0009]本實(shí)用新型一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤的底面上設(shè)置有多個(gè)溫度傳感器。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0011]本實(shí)用新型在旋轉(zhuǎn)勻膠的同時(shí)能夠通過加熱盤對(duì)載物盤進(jìn)行加熱，不僅能實(shí)現(xiàn)常規(guī)膠液的勻膠成膜作業(yè)，而且可以滿足有特殊溫度要求的膠液的使用需求，以此得到理想的成膜效果；同時(shí)通過精確的溫度控制，本實(shí)用新型專利邊旋轉(zhuǎn)邊加熱的功能可在勻膠的過程中同時(shí)實(shí)現(xiàn)烤膠作業(yè)?！靖綀D說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型一種加熱勻膠的旋涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中:
[0014]載物盤1、蓋板2、加熱盤3、隔熱盤4、轉(zhuǎn)軸5、導(dǎo)電滑環(huán)6。【具體實(shí)施方式】
[0015]參見圖1，本實(shí)用新型涉及的一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸5,所述轉(zhuǎn)軸5頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤1，所述轉(zhuǎn)軸5上套裝有隔熱盤4和導(dǎo)電滑環(huán)6，所述隔熱盤4上安裝有加熱盤3，所述加熱盤3通過導(dǎo)電滑環(huán)6與電源相連接，上述隔熱盤4位于加熱盤3和導(dǎo)電滑環(huán)6之間，用于防止加熱盤3工作時(shí)產(chǎn)生的熱量對(duì)導(dǎo)電滑環(huán)6產(chǎn)生不利影響，并起到保溫的作用(隔熱盤4采用低導(dǎo)熱系數(shù)材料)，具體的講，所述隔熱盤4上設(shè)置有一沉孔，上述加熱盤3套裝于轉(zhuǎn)軸5上并位于該沉孔內(nèi)；進(jìn)一步的，所述加熱盤3位于載物盤1的下方，加熱盤3產(chǎn)生的熱量對(duì)載物盤1上放置的基片上的膠進(jìn)行加熱，且所述載物盤1和加熱盤3之間設(shè)置有一蓋板2,蓋板2的引入使得加熱時(shí)熱量的傳導(dǎo)更為均勻，避免加熱不均勻而影響其加熱效果；[〇〇16]優(yōu)選的，為了提高載物盤1對(duì)位于其上的基片的吸附力;所述載物盤1內(nèi)部為中空腔體，且載物盤1的頂面上設(shè)置有多個(gè)與中空腔體相連通的吸附孔，所述轉(zhuǎn)軸5中心沿其軸向設(shè)置有一抽氣通道，該抽氣通道的頂端與中空腔體相連通;使用時(shí)，該抽氣通道的底部與真空栗相連通，使得中空腔體內(nèi)抽氣產(chǎn)生負(fù)壓，從而使得基片在大氣壓的作用下，牢牢的吸附在載物盤1上；
[0017]優(yōu)選的，所述載物盤1的底面上設(shè)置有多個(gè)溫度傳感器，所述溫度傳感器通過導(dǎo)電滑環(huán)6與外接溫控裝置相連接，從而可精確的對(duì)溫度進(jìn)行監(jiān)控；
[0018]優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)軸5底部通過同步輪與電機(jī)軸傳動(dòng)相連；
[0019]另外:需要注意的是，上述【具體實(shí)施方式】?jī)H為本專利的一個(gè)優(yōu)化方案，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)上述構(gòu)思所做的任何改動(dòng)或改進(jìn)，均在本專利的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于:所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸(5)，所述 轉(zhuǎn)軸(5)頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤(1)，所述轉(zhuǎn)軸(5)上套裝有隔熱盤(4)，所述隔熱 盤(4)上安裝有加熱盤(3)，且加熱盤(3)位于載物盤(1)的下方。2.如權(quán)利要求1所述一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于:所述載物盤(1)和加熱盤 (3 )之間設(shè)置有一蓋板(2 )。3.如權(quán)利要求1所述一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于:所述載物盤(1)內(nèi)部為中 空腔體，且載物盤(1)的頂面上設(shè)置有多個(gè)與中空腔體相連通的吸附孔，所述轉(zhuǎn)軸(5)中心 沿其軸向設(shè)置有一抽氣通道，該抽氣通道的頂端與中空腔體相連通。4.如權(quán)利要求1所述一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于:所述載物盤(1)的底面上 設(shè)置有多個(gè)溫度傳感器。
【文檔編號(hào)】B05C9/14GK205570723SQ201620161944
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年3月3日
【發(fā)明人】汪竹, 陳建鋒, 曹喜喜, 萬發(fā)能
【申請(qǐng)人】江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司