本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術(shù)：

以往，公知有檢查半導(dǎo)體元件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置中構(gòu)成為，根據(jù)在檢查部的檢查結(jié)果對(duì)電子部件進(jìn)行分類。而且，該分類包括“檢查結(jié)果合格”、“檢查結(jié)果不合格”、“需再次檢查(例如，參照專利文獻(xiàn)1)”等。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2000-258507號(hào)公報(bào)

在現(xiàn)有的電子部件檢查裝置中，電特性的檢查結(jié)果為“需再次檢查”的情況下，必須將相應(yīng)的電子部件再次放置于電子部件檢查裝置。

然而，該放置作業(yè)例如是經(jīng)由操作人員的手進(jìn)行的，所以該操作人員會(huì)感到很麻煩。

另外，在電特性的檢查結(jié)果為“需再次檢查”的情況下，必須將相應(yīng)的電子部件以載置于托盤(載置部件)的狀態(tài)再次放置于電子部件檢查裝置，但該放置作業(yè)例如是經(jīng)由操作人員的手進(jìn)行的，所以該操作人員會(huì)感到很麻煩。

另外，由于上述放置作業(yè)的精度不同，有可能使電子部件在托盤上產(chǎn)生位置偏移或脫離托盤。

另外，考慮利用輸送部自動(dòng)進(jìn)行該放置作業(yè)的結(jié)構(gòu)，但在自動(dòng)進(jìn)行放置作業(yè)情況下，需要高精度地進(jìn)行輸送部的輸送。

另外，在現(xiàn)有的電子部件檢查裝置中，檢查部周邊的電子部件的輸送方向通常被限制在一個(gè)方向上，但因使用電子部件檢查裝置的用戶不同，存在想改變?cè)撦斔头较虻那闆r。然而，輸送方向的改變是不可能的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分所做出的，能夠作為以下方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。

[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的特征在于，具有輸送部，該輸送部能夠輸送載置有電子部件的載置部件，所述輸送部能夠?qū)⑤d置有所述電子部件的所述載置部件輸送至第一位置，該第一位置是配置進(jìn)行第一檢查前的所述電子部件的位置，并能夠輸送至第二位置，該第二位置是在進(jìn)行第二檢查前配置進(jìn)行了所述第一檢查后的所述電子部件的與所述第一位置不同的位置。

例如在對(duì)電子部件進(jìn)行再次檢查的情況下，以往載置有再次檢查對(duì)象的電子部件的載置部件，例如經(jīng)由電子部件輸送裝置的操作人員的手從第二位置配置于第一位置。然而根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)輸送部的自動(dòng)輸送，由此能夠省去上述操作人員的麻煩，高效地輸送載置部件。由此能夠迅速進(jìn)行再次檢查。

[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具有輸送所述電子部件的多個(gè)電子部件輸送頭。

由此，能夠自如地設(shè)定電子部件的輸送方向進(jìn)行輸送。

[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在進(jìn)行所述第二檢查的情況下，所述輸送部能夠?qū)⑤d置有所述電子部件的所述載置部件從所述第二位置輸送至所述第一位置。

由此，例如在第二檢查是對(duì)進(jìn)行了第一檢查后的電子部件的再次檢查的情況下，能夠使該需要再次檢查的電子部件迅速地移至能夠再次檢查的狀態(tài)。

[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一檢查與所述第二檢查是相同的檢查。

由此，能夠進(jìn)行對(duì)電子部件的再次檢查。

[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一檢查與所述第二檢查是不同的檢查。

由此，能夠改變檢查條件對(duì)電子部件進(jìn)行檢查。

[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一位置和所述第二位置位于所述電子部件輸送裝置的內(nèi)部。

由此，在進(jìn)行第二檢查時(shí)，能夠省略將載置部件暫時(shí)向電子部件輸送裝置的外部排出。

[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在假定相互正交的X方向和Y方向時(shí)，所述輸送部具有沿所述X方向輸送所述載置部件的載置部件輸送機(jī)器人。

該結(jié)構(gòu)在載置有預(yù)定進(jìn)行第二檢查的電子部件的載置部件的每一批為一張的情況下有效，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的電子部件的輸送個(gè)數(shù))的提高。

[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一位置和所述第二位置位于所述電子部件輸送裝置的外部。

由此，例如在對(duì)電子部件進(jìn)行再次檢查動(dòng)作的中途，要從第一位置或者第二位置取出載置部件的情況下，該取出作業(yè)變得容易。

[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在假定相互正交的X方向和Y方向時(shí)，所述輸送部具有：在所述第一位置側(cè)沿所述Y方向輸送所述載置部件的裝載機(jī)、在所述第二位置側(cè)沿所述Y方向輸送所述載置部件的卸載機(jī)、以及沿所述X方向輸送所述載置部件的載置部件輸送機(jī)器人。

由此，例如與利用一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行載置部件的X方向和Y方向的輸送相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的電子部件的輸送個(gè)數(shù))的提高。

[應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具有設(shè)定從所述第一檢查向所述第二檢查自動(dòng)切換的設(shè)定畫面。

由此，根據(jù)設(shè)定畫面的操作，迅速地進(jìn)行從第一檢查向第二檢查的切換。

[應(yīng)用例11]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述設(shè)定畫面設(shè)定所述自動(dòng)切換的ON/OFF。

由此，例如能夠根據(jù)電子部件的種類，在所希望的時(shí)刻進(jìn)行自動(dòng)切換。

[應(yīng)用例12]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述設(shè)定畫面能夠設(shè)定所述自動(dòng)切換的次數(shù)。

由此，例如能夠根據(jù)電子部件的種類，進(jìn)行所希望的次數(shù)的設(shè)定。

[應(yīng)用例13]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具有設(shè)定從所述第一檢查向所述第二檢查手動(dòng)切換的設(shè)定畫面。

由此，例如能夠根據(jù)電子部件輸送裝置的操作人員、以及電子部件的種類，進(jìn)行從第一檢查向第二檢查的切換。

[應(yīng)用例14]在上述應(yīng)用例記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具備能夠顯示正在進(jìn)行所述第一檢查的狀態(tài)和正在進(jìn)行所述第二檢查的狀態(tài)的顯示部。

由此，電子部件輸送裝置的操作人員能夠掌握該電子部件輸送裝置當(dāng)前的狀態(tài)。

[應(yīng)用例15]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具有：輸送部，其能夠輸送載置有電子部件的載置部件；和檢查部，其檢查所述電子部件，所述輸送部能夠?qū)⑤d置有所述電子部件的所述載置部件輸送至第一位置，該第一位置是配置進(jìn)行第一檢查前的所述電子部件的位置，并能夠輸送至第二位置，該第二位置是在進(jìn)行第二檢查前配置進(jìn)行了所述第一檢查后的所述電子部件的與所述第一位置不同的位置。

例如在對(duì)電子部件進(jìn)行再次檢查的情況下，以往載置有再次檢查對(duì)象的電子部件的載置部件，例如經(jīng)由電子部件輸送裝置的操作人員的手從第二位置配置于第一位置。然而根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)輸送部的自動(dòng)輸送，能夠省去上述操作人員的麻煩，高效地輸送載置部件。由此能夠迅速地進(jìn)行再次檢查。

[應(yīng)用例16]本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的特征在于，具備能夠輸送載置有電子部件的載置部件的輸送部，所述輸送部具有：覆蓋所述載置部件的載置所述電子部件的載置面的罩部、和能夠與所述載置部件卡合的卡合部。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)卡合部的卡合，能夠穩(wěn)定地輸送載置部件。另外，由于設(shè)置有覆蓋載置面的罩，所以在電子部件載置于載置部件的狀態(tài)下，罩部件覆蓋電子部件。由此能夠防止電子部件從載置部件脫離。因此能夠?qū)㈦娮硬考c載置部件一起穩(wěn)定地輸送。

[應(yīng)用例17]在上述應(yīng)用例16記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述卡合部設(shè)置有多個(gè)，各所述卡合部在與所述載置面平行的方向上，能夠朝相互不同的方向移動(dòng)。

通過(guò)兩個(gè)卡合部的卡合，能夠更穩(wěn)定地輸送載置部件。另外卡合部構(gòu)成為能夠移動(dòng)，由此能夠進(jìn)行卡合部的卡合以及解除。

[應(yīng)用例18]在上述應(yīng)用例16或者17記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述卡合部呈具有朝與所述載置面平行的方向凹陷的凹部的爪狀。

由此，載置部件的一部分進(jìn)入凹部?jī)?nèi)，能夠穩(wěn)定地維持卡合部卡合的狀態(tài)。

[應(yīng)用例19]在上述應(yīng)用例17或18記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為各所述卡合部中構(gòu)成為能夠相互接近以及分離的所述卡合部，在接近的情況下與所述載置部件卡合。

由此，例如在輸送部接近載置部件時(shí)，各卡合部能夠在分離的狀態(tài)下接近。因此在輸送部接近載置部件時(shí)，能夠防止卡合部阻礙其接近。

[應(yīng)用例20]在上述應(yīng)用例19記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為各所述卡合部通過(guò)供給動(dòng)作流體而動(dòng)作的氣缸進(jìn)行動(dòng)作，在未供給所述動(dòng)作流體的狀態(tài)下，各所述卡合部成為接近的狀態(tài)。

由此，例如即使在氣缸產(chǎn)生不良情況而動(dòng)作意外停止的情況下，卡合部也會(huì)成為接近的狀態(tài)。因此即使在卡合狀態(tài)下氣缸產(chǎn)生了不良情況，也能夠防止載置部件從輸送部意外脫離。

[應(yīng)用例21]在上述應(yīng)用例16～20中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在從與所述載置面正交的方向俯視觀察的情況下，所述載置部件呈具有長(zhǎng)邊和短邊的長(zhǎng)方形，所述卡合部與所述載置部件的所述短邊卡合。

由此，與卡合部卡合長(zhǎng)邊的情況比，能夠抑制載置部件輸送時(shí)的搖晃。

[應(yīng)用例22]在上述應(yīng)用例16～21中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述罩部在與所述電子部件抵接的部分具有孔。

由此，能夠減少罩部與電子部件抵接的面積。因此例如能夠抑制從輸送部傳遞至電子部件的振動(dòng)。

[應(yīng)用例23]在上述應(yīng)用例16～21中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述罩部在與所述電子部件抵接的部分具有突出部。

由此，能夠利用突出部將電子部件按壓于載置部件。因此能夠?qū)㈦娮硬考c載置部件一起穩(wěn)定地輸送。

[應(yīng)用例24]在上述應(yīng)用例16～23中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述罩部的至少與所述電子部件抵接的部分，由具有導(dǎo)電性的材料構(gòu)成。

由此，能夠防止或者抑制電子部件帶電。

[應(yīng)用例25]在上述應(yīng)用例24記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述具有導(dǎo)電性的材料是導(dǎo)電性樹脂。

導(dǎo)電性樹脂材料例如與金屬材料相比硬度低，所以能夠防止或者抑制損傷電子部件。

[應(yīng)用例26]在上述應(yīng)用例16～25中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述罩部能夠與所述載置面抵接。

由此，能夠進(jìn)一步提高卡合狀態(tài)下的穩(wěn)定性。

[應(yīng)用例27]在上述應(yīng)用例16～26中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述輸送部具有將所述罩部朝向所述載置面施力的施力部。

由此，能夠在施力的狀態(tài)下使卡合部與載置部件卡合。因此能夠進(jìn)一步提高卡合狀態(tài)下的穩(wěn)定性。

[應(yīng)用例28]在上述應(yīng)用例27記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述施力部設(shè)置有多個(gè)。

由此，能夠在多個(gè)位置對(duì)載置部件施力。因此能夠進(jìn)一步提高卡合狀態(tài)下的穩(wěn)定性。

[應(yīng)用例29]在上述應(yīng)用例28記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在俯視觀察所述載置面時(shí)，各所述施力部配置為用線段連結(jié)各所述施力部的配置位置而形成的形狀為矩形。

由此，能夠在多個(gè)位置對(duì)載置部件施力。因此能夠進(jìn)一步提高卡合狀態(tài)下的穩(wěn)定性。

[應(yīng)用例30]在上述應(yīng)用例16～29中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述罩部構(gòu)成為能夠向所述載置面移動(dòng)，可動(dòng)范圍是2mm以上且4mm以下。

由此，在罩部被按壓于載置部時(shí)，能夠避開按壓力的一部分。因此能夠防止罩部以超過(guò)需要的力按壓載置部。其結(jié)果能夠緩和施加于載置部件以及電子部件的沖擊。

[應(yīng)用例31]在上述應(yīng)用例16～30中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述輸送部具有緩和從與所述載置面交叉的方向施加的沖擊的緩沖部。

由此，輸送部能夠緩和在罩部與載置部件抵接時(shí)產(chǎn)生的沖擊。因此能夠緩和施加于載置部件以及電子部件的沖擊。

[應(yīng)用例32]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具備能夠輸送載置有電子部件的載置部件的輸送部、和檢查所述電子部件的檢查部，所述輸送部具有：覆蓋所述載置部件的載置所述電子部件的載置面的罩部、和能夠與所述載置部件卡合的卡合部。

根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)卡合部的卡合，能夠穩(wěn)定地輸送載置部件。另外，由于設(shè)置有覆蓋載置面的罩，所以在電子部件載置于載置部件狀態(tài)下，罩部件覆蓋電子部件。由此能夠防止電子部件脫離載置部件。因此能夠?qū)㈦娮硬考c載置部件一起穩(wěn)定地輸送。

[應(yīng)用例33]本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：能夠輸送載置電子部件的載置部件的輸送部、能夠配置檢查電子部件的檢查部的檢查區(qū)域、能夠配置載置有被輸送至所述檢查區(qū)域的所述電子部件的所述載置部件且位于比所述檢查區(qū)域更靠所述電子部件的輸送方向上游側(cè)的第一配置部、以及能夠配置載置有從所述檢查區(qū)域輸送的所述電子部件的所述載置部件并位于比所述檢查區(qū)域更靠所述電子部件的輸送方向下游側(cè)且與所述第一配置部不同的第二配置部，在所述輸送部和所述第一配置部設(shè)置有將所述輸送部和所述第一配置部定位的上游側(cè)定位部。

由此，能夠?qū)⒌谝慌渲貌亢洼斔筒慷ㄎ?。因此在從第二配置部向第一配置部輸送載置部件并在第一配置部配置載置部件時(shí)，能夠高精度地進(jìn)行配置作業(yè)。

[應(yīng)用例34]在上述應(yīng)用例33記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在所述輸送部和所述第二配置部設(shè)置有將所述輸送部和所述第二配置部定位的下游側(cè)定位部。

由此，能夠?qū)⒌诙渲貌亢洼斔筒慷ㄎ弧Ｒ虼嗽趶牡谝慌渲貌肯虻诙渲貌枯斔洼d置部件并在第二配置部配置載置部件時(shí)，能夠高精度地進(jìn)行配置作業(yè)。

[應(yīng)用例35]在上述應(yīng)用例33或者34記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述上游側(cè)定位部具有：設(shè)置于所述輸送部的凸部、和設(shè)置于所述第一配置部并供所述凸部插入的凹部。

由此，通過(guò)將凸部插入凹部之類的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒌谝慌渲貌亢洼斔筒慷ㄎ弧?/p>

[應(yīng)用例36]本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：能夠輸送載置電子部件的載置部件的輸送部、能夠配置所述載置部件的第一配置部、能夠配置所述載置部件且與所述第一配置部不同的第二配置部、以及能夠配置檢查電子部件的檢查部的檢查區(qū)域，在所述第一配置部載置被輸送至所述檢查區(qū)域的所述電子部件，在所述第二配置部載置從所述檢查區(qū)域輸送的所述電子部件，在所述輸送部和所述第二配置部設(shè)置有將所述輸送部和所述第二配置部定位的下游側(cè)定位部。

由此，能夠?qū)⒌诙渲貌亢洼斔筒慷ㄎ弧Ｒ虼嗽趶牡谝慌渲貌肯虻诙渲貌枯斔洼d置部件，并在第二配置部配置載置部件時(shí)，能夠高精度地進(jìn)行配置作業(yè)。

[應(yīng)用例37]在上述應(yīng)用例36記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述下游側(cè)定位部由設(shè)置于所述輸送部的凸部、和設(shè)置于所述第二配置部且供所述凸部插入的凹部構(gòu)成。

由此，通過(guò)將凸部插入凹部之類的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒌诙渲貌亢洼斔筒慷ㄎ弧?/p>

[應(yīng)用例38]在上述應(yīng)用例33～37中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為在所述第一配置部以及所述第二配置部中，所述載置部件構(gòu)成為能夠沿與所述第一配置部以及所述第二配置部排列的方向交叉的方向移動(dòng)，并具有限制所述載置部件向與所述載置部件的移動(dòng)方向正交的方向的移動(dòng)的限制部件。

由此，能夠防止配置于第一配置部以及第二配置部的載置部件產(chǎn)生位置偏移。

[應(yīng)用例39]在上述應(yīng)用例38記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第二配置部的所述載置部件的限制方向的寬度比所述第一配置部的所述載置部件的限制方向的寬度小。

特別是在寬度窄的第一配置部載置載置部件時(shí)，由上游側(cè)定位部進(jìn)行的定位很有利。

[應(yīng)用例40]在上述應(yīng)用例39記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一配置部的寬度為136mm以上且137mm以下，所述第二配置部的寬度為136.5mm以上且137.5mm以下。

特別是在寬度窄的第一配置部載置載置部件時(shí)，由上游側(cè)定位部進(jìn)行的定位很有利。

[應(yīng)用例41]在上述應(yīng)用例38～40中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述限制部件分別由在所述第一配置部和所述第二配置部排列的方向?qū)χ玫膬蓚€(gè)壁部構(gòu)成，所述上游側(cè)定位部以及所述下游側(cè)定位部配置在所述兩個(gè)壁部中位于從所述第二配置部朝向所述第一配置部的方向的壁部。

在現(xiàn)有的電子部件檢查裝置中，以第一配置部側(cè)為基準(zhǔn)來(lái)制造，所以能夠減小尺寸誤差。

[應(yīng)用例42]在上述應(yīng)用例38～41中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述限制部具有引導(dǎo)所述載置部件的引導(dǎo)部。

由此，能夠容易地進(jìn)行定位。

[應(yīng)用例43]在上述應(yīng)用例42記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述引導(dǎo)部呈錐形狀。

由此，能夠容易并且順利地進(jìn)行定位。

[應(yīng)用例44]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：能夠輸送載置電子部件的載置部件的輸送部、能夠配置檢查電子部件的檢查部的檢查區(qū)域、能夠配置載置有輸送至所述檢查區(qū)域的所述電子部件的所述載置部件且位于比所述檢查區(qū)域更靠所述電子部件的輸送方向上游側(cè)的第一配置部、能夠配置載置有從所述檢查區(qū)域輸送的所述電子部件的所述載置部件并位于比所述檢查區(qū)域更靠所述電子部件的輸送方向下游側(cè)且與所述第一配置部不同的第二配置部、以及檢查所述電子部件的檢查部，在所述輸送部和所述第一配置部設(shè)置有將所述輸送部和所述第一配置部定位的上游側(cè)定位部。

由此，能夠?qū)⒌谝慌渲貌亢洼斔筒慷ㄎ弧Ｒ虼嗽趶牡诙渲貌肯虻谝慌渲貌枯斔洼d置部件，并在第一配置部配置載置部件時(shí)，能夠高精度地進(jìn)行配置作業(yè)。

[應(yīng)用例45]本應(yīng)用例的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：能夠配置以及輸送電子部件的第一輸送部、能夠配置以及輸送所述電子部件的第二輸送部、以及能夠配置檢查所述電子部件的檢查部的檢查區(qū)域，所述第一輸送部配置所述電子部件，能夠沿朝向所述檢查區(qū)域的方向以及遠(yuǎn)離所述檢查區(qū)域的方向移動(dòng)，所述第二輸送部配置所述電子部件，能夠沿朝向所述檢查區(qū)域的方向以及遠(yuǎn)離所述檢查區(qū)域的方向移動(dòng)。

由此，能夠適當(dāng)?shù)馗淖冸娮硬考鄬?duì)于檢查區(qū)域的輸送方向，因此例如能夠設(shè)定多個(gè)與電子部件對(duì)應(yīng)的輸送模式(輸送方式)，并能夠從上述模式中選擇一個(gè)來(lái)執(zhí)行。

[應(yīng)用例46]在上述應(yīng)用例45記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部和所述第二輸送部輸送所述電子部件的方向是相互相反的方向。

由此，例如在利用檢查部進(jìn)行檢查時(shí)，能夠使電子部件從相互相反的方向進(jìn)入。因此電子部件輸送裝置的操作人員辨認(rèn)電子部件朝向檢查區(qū)域的方向，從而能夠確認(rèn)檢查裝置當(dāng)前是在上述多個(gè)輸送模式中的哪個(gè)輸送模式的動(dòng)作中。

[應(yīng)用例47]在上述應(yīng)用例45或者46記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部和所述第二輸送部分別能夠調(diào)整所述電子部件的溫度。

由此，能夠?qū)㈦娮硬考{(diào)整為適合檢查的溫度。

[應(yīng)用例48]在上述應(yīng)用例45～47中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部和所述第二輸送部分別設(shè)置有多個(gè)。

由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的電子部件的輸送個(gè)數(shù))的提高。

[應(yīng)用例49]在上述應(yīng)用例48記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部和所述第二輸送部朝向所述檢查區(qū)域的時(shí)刻彼此相同。

由此，能夠利用檢查部同時(shí)進(jìn)行對(duì)由第一輸送部輸送的電子部件的檢查、和對(duì)由第二輸送部輸送的電子部件的檢查。

[應(yīng)用例50]在上述應(yīng)用例48記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部和所述第二輸送部朝向所述檢查區(qū)域的時(shí)刻彼此不同。

由此，能夠在檢查部盡可能多地載置并檢查由第一輸送部輸送來(lái)的電子部件，另外，在該檢查的前后，也能夠在檢查部盡可能多地載置并檢查由第二輸送部輸送的電子部件。

[應(yīng)用例51]在上述應(yīng)用例45～50中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述電子部件在所述檢查部至少進(jìn)行了1次檢查。

由此，能夠利用檢查部對(duì)該至少進(jìn)行了1次檢查的電子部件進(jìn)行再次檢查。

[應(yīng)用例52]在上述應(yīng)用例51記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具備載置在所述檢查部至少進(jìn)行了1次檢查的所述電子部件的載置部。

由此，能夠根據(jù)檢查結(jié)果，對(duì)電子部件進(jìn)行分類。

[應(yīng)用例53]在上述應(yīng)用例52記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述載置部不移動(dòng)。

由此，即使載置部位于配置有比較多的各種可動(dòng)部的區(qū)域內(nèi)，也能在該載置部穩(wěn)定載置檢查完畢的電子部件。

[應(yīng)用例54]在上述應(yīng)用例45～53中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為具備從所述載置部向所述第二輸送部輸送多個(gè)所述電子部件的輸送機(jī)器人，所述輸送機(jī)器人能夠改變多個(gè)所述電子部件的間隔。

由此，在作為輸送源的載置部的各電子部件的間隔、與作為輸送目的地的第二輸送部的各電子部件的間隔不同的情況下，也能夠?qū)㈦娮硬考杆俨⑶翼樌貜妮斔驮聪蜉斔湍康牡剌斔汀?/p>

[應(yīng)用例55]在上述應(yīng)用例45～50中任一項(xiàng)所述的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述電子部件在所述檢查部不被檢查。

由此，能夠在相互不同的檢查條件下對(duì)由第一輸送部輸送的電子部件、和由第二輸送部輸送的電子部件進(jìn)行檢查。

[應(yīng)用例56]在上述應(yīng)用例55記載的電子部件輸送裝置中，優(yōu)選為所述第一輸送部或者所述第二輸送部能夠調(diào)整所述電子部件的溫度。

由此，能夠?qū)㈦娮硬考{(diào)整為適合檢查的溫度。

[應(yīng)用例57]本應(yīng)用例的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：能夠配置以及輸送電子部件的第一輸送部、能夠配置以及輸送所述電子部件的第二輸送部、檢查所述電子部件的檢查部、以及能夠配置所述檢查部的檢查區(qū)域，所述第一輸送部配置所述電子部件，能夠沿朝向所述檢查區(qū)域的方向以及遠(yuǎn)離所述檢查區(qū)域的方向移動(dòng)，所述第二輸送部配置所述電子部件，能夠沿朝向所述檢查區(qū)域的方向以及遠(yuǎn)離所述檢查區(qū)域的方向移動(dòng)。

由此，能夠適當(dāng)?shù)馗淖冸娮硬考鄬?duì)于檢查區(qū)域的輸送方向，因此例如能夠設(shè)定多個(gè)與電子部件對(duì)應(yīng)的輸送模式(輸送方式)，并能夠從上述模式中選擇一個(gè)來(lái)執(zhí)行。

附圖說(shuō)明

圖1是的正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。

圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖3是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖4是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖5是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖6是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖7是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖8是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖9是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實(shí)施方式)的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖10是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第三實(shí)施方式)的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖11是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第三實(shí)施方式)的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖12是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作畫面的一個(gè)例子。

圖13是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作畫面的一個(gè)例子。

圖14是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作畫面的一個(gè)例子。

圖15是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作面板的一個(gè)例子。

圖16是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。

圖17是表示圖16所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖18是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖19是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖20是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖21是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖22是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖23是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖24是表示圖16所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的立體圖。

圖25是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。

圖26是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。

圖27是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。

圖28是圖24所示的連結(jié)部的主視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在上升的狀態(tài)的圖。

圖29是圖24所示的連結(jié)部的側(cè)視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在上升的狀態(tài)的圖。

圖30是圖24所示的連結(jié)部的主視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在下降的狀態(tài)的圖。

圖31是圖24所示的連結(jié)部的側(cè)視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在下降的狀態(tài)的圖。

圖32是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部位于第二位置的上方的狀態(tài)的圖。

圖33是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部下降了的狀態(tài)的圖。

圖34是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部位于第一位置的上方的狀態(tài)的圖。

圖35是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部下降了的狀態(tài)的圖。

圖36是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第五實(shí)施方式)的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的立體圖。

圖37是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第六實(shí)施方式)的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。

圖38是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第七實(shí)施方式)的上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的圖。

圖39是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第八實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。

圖40是表示圖39所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)(通常輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖41是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖42是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖43是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖44是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖45是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖46是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖47是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖48是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖49是表示圖39所示的電子部件檢查裝置所具備的設(shè)備輸送頭的動(dòng)作狀態(tài)的圖。

圖50是表示圖39所示的電子部件檢查裝置所具備的設(shè)備輸送頭的動(dòng)作狀態(tài)的圖。

圖51是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第九實(shí)施方式)的與圖40不同的動(dòng)作狀態(tài)(并行輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

圖52是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第九實(shí)施方式)的與圖40不同的動(dòng)作狀態(tài)(并行輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實(shí)施方式，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

在以下的實(shí)施方式中，為了便于說(shuō)明，如圖1所示，將相互正交的3個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸。另外，將包含X軸和Y軸的XY平面設(shè)為水平，將Z軸設(shè)為鉛垂。另外，將平行于X軸的方向稱為“X方向”，平行于Y軸的方向稱為“Y方向”，平行于Z軸的方向稱為“Z方向”。另外，在本申請(qǐng)說(shuō)明書中所說(shuō)的“水平”不限定于完全水平，只要電子部件的輸送不受阻礙，也包含相對(duì)于水平稍微(例如小于5°)傾斜的狀態(tài)。

另外，以下的實(shí)施方式所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)，例如是用于檢查、試驗(yàn)(以下簡(jiǎn)稱為“檢查”)BGA(Ball grid array)卷裝、LGA(Land grid array)卷裝等IC設(shè)備、LCD(Liquid Crystal Display)、CIS(CMOS Image Sensor)等電子部件(電子零件)的電特性的裝置。另外，以下為了便于說(shuō)明，以使用IC設(shè)備作為進(jìn)行檢查的上述電子部件的情況為代表來(lái)說(shuō)明，將其設(shè)為“IC設(shè)備90”。

第一實(shí)施方式

圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖3～圖8分別是按順序表示圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖12～圖14分別是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作畫面的一個(gè)例子。圖15是在圖1所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作的設(shè)定中使用的操作面板的一個(gè)例子。

以下參照上述附圖對(duì)本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。

如圖1、圖2所示，檢查裝置1分為托盤供給區(qū)域A1、設(shè)備供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“供給區(qū)域”)A2、檢查區(qū)域A3、設(shè)備回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“回收區(qū)域”)A4、托盤除去區(qū)域A5。而且，IC設(shè)備90從托盤供給區(qū)域A1到托盤除去區(qū)域A5依次經(jīng)由上述各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。這樣，檢查裝置1具備在各區(qū)域輸送IC設(shè)備90的電子部件輸送裝置、在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、控制部800。而且，檢查裝置1還具備監(jiān)視器300、操作面板700、信號(hào)燈400。

另外，在檢查裝置1中，將配置有托盤供給區(qū)域A1、托盤除去區(qū)域A5的一方(圖2中的下側(cè))作為正面?zhèn)?，將其相反?cè)，即配置有檢查區(qū)域A3的一方(圖2中的上側(cè))作為背面?zhèn)葋?lái)使用。

托盤供給區(qū)域A1通常是供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤(載置部件)200的供材部。在托盤供給區(qū)域A1能夠?qū)盈B多個(gè)托盤200。

供給區(qū)域A2是將在來(lái)自托盤供給區(qū)域A1的托盤200上配置的多個(gè)IC設(shè)備90分別供給到檢查區(qū)域A3的區(qū)域。另外，以跨越托盤供給區(qū)域A1和供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有沿水平方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11B。托盤輸送機(jī)構(gòu)11A是能夠使托盤200與載置于該托盤200的IC設(shè)備90一起，朝Y方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此能夠使IC設(shè)備90穩(wěn)定并送入供給區(qū)域A2。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)11B是能夠使空的托盤200朝Y方向的負(fù)側(cè)，即從供給區(qū)域A2向托盤供給區(qū)域A1移動(dòng)的移動(dòng)部。

在供給區(qū)域A2設(shè)置有：溫度調(diào)整部12和作為電子部件輸送頭的設(shè)備輸送頭13。

溫度調(diào)整部12是能夠統(tǒng)一冷卻、加熱多個(gè)IC設(shè)備90的部件，也被稱為“均溫板”。利用該均溫板，預(yù)先對(duì)在檢查部16檢查之前的IC設(shè)備90進(jìn)行冷卻或加熱，能夠調(diào)整為適合該檢查的溫度。在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12沿Y方向配置、固定有2個(gè)。而且，由托盤輸送機(jī)構(gòu)11A從托盤供給區(qū)域A1搬入(輸送來(lái))的托盤200上的IC設(shè)備90，被輸送到某一溫度調(diào)整部12。

設(shè)備輸送頭13被支承為能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此設(shè)備輸送頭13能夠負(fù)責(zé)從托盤供給區(qū)域A1搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的IC設(shè)備90的輸送、以及溫度調(diào)整部12與后述的設(shè)備供給部14之間的IC設(shè)備90的輸送。

檢查區(qū)域A3是檢查IC設(shè)備90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有檢查部16和設(shè)備輸送頭17。另外，還設(shè)置有以跨越供給區(qū)域A2和檢查區(qū)域A3的方式移動(dòng)的設(shè)備供給部14、以及以跨越檢查區(qū)域A3和回收區(qū)域A4的方式移動(dòng)的設(shè)備回收部18。

設(shè)備供給部14是載置溫度被調(diào)整的IC設(shè)備90并將該IC設(shè)備90輸送(移動(dòng))到檢查部16附近的移動(dòng)部，也被稱為“供給用穿梭板”。該設(shè)備供給部14被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備供給部14沿Y方向配置有2個(gè)，溫度調(diào)整部12上的IC設(shè)備90被輸送到某一設(shè)備供給部14。另外，在設(shè)備供給部14中，與溫度調(diào)整部12同樣，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

檢查部16是檢查、試驗(yàn)IC設(shè)備90的電特性單元。在檢查部16設(shè)置有以保持IC設(shè)備90的狀態(tài)與該IC設(shè)備90的端子電連接的多個(gè)探針。而且，IC設(shè)備90的端子與探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。根據(jù)在與檢查部16連接的測(cè)試器所具備的檢查控制部中存儲(chǔ)的程序進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。另外在檢查部16中，與溫度調(diào)整部12同樣，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備輸送頭17被支承為在檢查區(qū)域A3內(nèi)能夠沿Y方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的設(shè)備供給部14上的IC設(shè)備90輸送、載置于檢查部16上。另外，設(shè)備輸送頭17也能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備回收部18是載置在檢查部16的檢查結(jié)束的IC設(shè)備90并將該IC設(shè)備90輸送(移動(dòng))到回收區(qū)域A4的移動(dòng)部，也被稱為“回收用穿梭板”。該設(shè)備回收部18被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備回收部18與設(shè)備供給部14相同，沿Y方向配置有2個(gè)，檢查部16上的IC設(shè)備90被輸送、載置于某一設(shè)備回收部18。該輸送通過(guò)設(shè)備輸送頭17進(jìn)行。

回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束的多個(gè)IC設(shè)備90區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤19和設(shè)備輸送頭20。另外通常還在回收區(qū)域A4準(zhǔn)備空的托盤200。

回收用托盤19是載置IC設(shè)備90的載置部，固定于回收區(qū)域A4內(nèi)，在圖2所示的結(jié)構(gòu)中，沿X方向配置有3個(gè)。另外空的托盤200也是載置IC設(shè)備90的載置部，沿X方向配置有3個(gè)。而且移動(dòng)到回收區(qū)域A4的設(shè)備回收部18上的IC設(shè)備90被輸送、載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的某一個(gè)。由此，IC設(shè)備90按照檢查結(jié)果被分類、回收。

設(shè)備輸送頭20被支承為在回收區(qū)域A4內(nèi)能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭20能夠?qū)C設(shè)備90從設(shè)備回收部18輸送至回收用托盤19、空的托盤200。

另外，以跨越供給區(qū)域A2和回收區(qū)域A4的方式，設(shè)置有托盤輸送機(jī)構(gòu)(載置部件輸送機(jī)器人)15。托盤輸送機(jī)構(gòu)15是能夠使托盤200朝X方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。

利用該托盤輸送機(jī)構(gòu)15，例如，能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)使全部的IC設(shè)備90被除去的狀態(tài)的空的托盤200朝X方向的正側(cè)輸送。而且該輸送后，空的托盤200通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)11B從供給區(qū)域A2返回托盤供給區(qū)域A1。

另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)15能夠使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200在回收區(qū)域A4內(nèi)朝X方向正側(cè)輸送。而且在該輸送后，空的托盤200配置于回收IC設(shè)備90的位置，即成為上述3個(gè)空的托盤200中的某一個(gè)。

托盤除去區(qū)域A5是回收、除去排列有檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤200的除材部。能夠在托盤除去區(qū)域A5層疊多個(gè)托盤200。

另外，以跨越回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有沿Y方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B。托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是能夠使托盤200朝Y方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，例如，能夠?qū)z查完畢的IC設(shè)備90從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是能夠使用于回收IC設(shè)備90的空的托盤200朝Y方向的正側(cè)，即從托盤除去區(qū)域A5向回收區(qū)域A4移動(dòng)的移動(dòng)部。

在這樣檢查裝置1中，作為能夠輸送托盤200的輸送部23，設(shè)置有在托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2之間沿Y方向輸送托盤200的裝載機(jī)即托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、在回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5之間沿Y方向輸送托盤200的卸載機(jī)即托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、在供給區(qū)域A2與回收區(qū)域A4之間沿X方向輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)15。由此，與例如利用一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行托盤200的X方向和Y方向的輸送相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC設(shè)備90的輸送個(gè)數(shù))的提高。

控制部800例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11B、溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部14、托盤輸送機(jī)構(gòu)15、檢查部16、設(shè)備輸送頭17、設(shè)備回收部18、設(shè)備輸送頭20、托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B的各部分的驅(qū)動(dòng)。

另外，上述測(cè)試器的檢查控制部例如根據(jù)在未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)中存儲(chǔ)的程序，進(jìn)行配置于檢查部16的IC設(shè)備90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由監(jiān)視器300設(shè)定、確認(rèn)檢查裝置1的動(dòng)作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面(顯示部)301，配置于檢查裝置1的正面?zhèn)壬喜?。如圖1所示，在托盤除去區(qū)域A5的圖中的右側(cè)設(shè)置有載置鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)600，該鼠標(biāo)在操作顯示于監(jiān)視器300的畫面時(shí)使用。

另外，在相對(duì)于監(jiān)視器300靠圖1中的右下方配置有操作面板700。操作面板700相對(duì)于監(jiān)視器300單獨(dú)地對(duì)檢查裝置1發(fā)出所希望的動(dòng)作的命令。如圖15所示，操作面板700包含按鈕701～714，從圖中的上側(cè)排列有5列。

在圖15中的位于最上部的第一列配置有按鈕701和按鈕702。上述按鈕是檢查裝置1的主電源的切換用按鈕，總稱為“POWER”，按照按鈕701為“ON”，按鈕702為“OFF”來(lái)分配。

在位于第一列的下側(cè)的第二列配置有按鈕703～按鈕706。按照按鈕703為“START”，按鈕704為“HOME”，按鈕705為“PAUSE”，按鈕706為“RESET”來(lái)分配。

在位于第二列的下側(cè)的第三列配置有按鈕707～按鈕710。按照按鈕707為“CLEAN OUT”，按鈕708為“SKIP”，按鈕709為“RETRY”，按鈕710為“ONE CYCLE”來(lái)分配。

在位于第三列的下側(cè)的第四列配置有按鈕711～按鈕713。按照按鈕711為“ALARM RESET”，按鈕712為“TRAY END”，按鈕713“TRAY FEED”來(lái)分配。

在位于第四列的下側(cè)的第五列配置有按鈕714。按照按鈕714為“COVEROPEN”來(lái)分配。

另外，信號(hào)燈400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合，報(bào)告檢查裝置1的動(dòng)作狀態(tài)等。信號(hào)燈400配置于檢查裝置1的上部。此外，在檢查裝置1內(nèi)置有揚(yáng)聲器500，利用該揚(yáng)聲器500也能夠報(bào)告檢查裝置1的動(dòng)作狀態(tài)等。

如圖2所示，檢查裝置1中，托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2之間被第一隔壁61劃分(分隔)，供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間被第二隔壁62劃分，檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間被第三隔壁63劃分，回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5之間被第四隔壁64劃分。上述隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且，檢查裝置1最外表被罩覆蓋，該罩例如包括前罩70、側(cè)罩71、側(cè)罩72、后罩73、頂罩74。

如上所述，在檢查裝置1中，IC設(shè)備90按照檢查部16的按照檢查結(jié)果，在回收區(qū)域A4被分類、回收。該分類例如有“檢查結(jié)果合格”、“檢查結(jié)果不合格”、“需再次檢查”。在本實(shí)施方式中，分類圖3～圖8中的IC設(shè)備90的3種托盤200中，從左側(cè)起依次稱為“托盤200A”、“托盤200B”、“托盤200C”。在檢查裝置1中，作為一個(gè)例子，將托盤200A分配為“檢查結(jié)果合格”用的托盤200，托盤200B分配為“檢查結(jié)果不合格”用的托盤200，托盤200C分配為“需再次檢查”用的托盤200。

以下參照?qǐng)D3～圖8來(lái)說(shuō)明再次檢查托盤200C上的IC設(shè)備90的情況，即自動(dòng)重測(cè)功能。

另外，將再次檢查前的檢查稱為“第一檢查”，再次檢查稱為“第二檢查”。因此，第一檢查與第二檢查是相同的檢查。再次檢查(重測(cè))產(chǎn)生的原因例如可舉出因檢查時(shí)的檢查部16與IC設(shè)備90的端子彼此的接觸不良而無(wú)法判斷檢查結(jié)果是“合格”還是“不合格”。

檢查裝置1中，設(shè)定有第一位置P1和與第一位置P1不同的位置的第二位置P2。第一位置P1在托盤供給區(qū)域A1內(nèi)，是配置載置有第一檢查前的IC設(shè)備90的托盤200的位置。另外，第二位置P2在托盤除去區(qū)域A5內(nèi)，是在第二檢查前配置已載置有第一檢查后的IC設(shè)備90的托盤200(托盤200C)的位置。

另外，如圖1所示，托盤供給區(qū)域A1以及托盤除去區(qū)域A5都向檢查裝置1的外部露出。因此，第一位置P1以及第二位置P2都成為被設(shè)定于檢查裝置1的外部的狀態(tài)。由此，例如在檢查裝置1進(jìn)行再次檢查動(dòng)作的中途，要從第一位置P1或者第二位置P2取出托盤200的情況下，該取出作業(yè)會(huì)變得容易。

進(jìn)行第一檢查的一批的量的各IC設(shè)備90堆積在第一位置P1，如上所述在檢查裝置1內(nèi)被輸送(參照?qǐng)D2)，然后成為圖3所示的狀態(tài)。如該圖3所示，在托盤除去區(qū)域A5的托盤200A載置有多個(gè)IC設(shè)備90，但仍處于能夠載置IC設(shè)備90的空閑狀態(tài)。另外，在位于托盤除去區(qū)域A5的第二位置P2的托盤200C成為載置有盡可能多的IC設(shè)備90，即被多個(gè)IC設(shè)備90放滿的狀態(tài)。

而且，如圖4所示，構(gòu)成輸送部23的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A將載置有IC設(shè)備90的托盤200C從第二位置P2輸送至回收區(qū)域A4。

接下來(lái)，如圖5所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)15(輸送部23)將托盤200C從回收區(qū)域A4輸送到供給區(qū)域A2的規(guī)定位置，即輸送到第一位置P1的之前的位置。

接下來(lái)，如圖6所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)11A(輸送部23)將托盤200C從供給區(qū)域A2輸送至托盤供給區(qū)域A1的第一位置P1。進(jìn)行這樣的如圖3～圖6所示的托盤200C的輸送直到位于第二位置P2的全部托盤200C被輸送至第一位置P1為止。

接下來(lái)，如圖7所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)11A輸送位于第一位置P1的一個(gè)托盤200C，并取出至供給區(qū)域A2內(nèi)。另外，托盤除去區(qū)域A5內(nèi)的托盤200A被托盤輸送機(jī)構(gòu)22A輸送至回收區(qū)域A4內(nèi)，成為在其輸送目的地停止的狀態(tài)。

接下來(lái)，如圖8所示，與第一檢查相同，利用設(shè)備回收部18將托盤200C上的IC設(shè)備90輸送到回收區(qū)域A4。此外，將該IC設(shè)備90設(shè)為“檢查結(jié)果合格”。而且，設(shè)備輸送頭20將設(shè)備回收部18上的IC設(shè)備90輸送、載置于回收區(qū)域A4內(nèi)的托盤200A的空余空間即形成于托盤200A的空的口袋。

如上所述，在要進(jìn)行再次檢查的情況下，能夠利用輸送部23將載置有作為其檢查對(duì)象的IC設(shè)備90的托盤200C從第二位置P2輸送至第一位置P1。由此，成為能夠開始再次檢查的狀態(tài)。以往，載置有IC設(shè)備90的托盤200C例如經(jīng)由操作人員的手從第二位置P2配置于第一位置P1。然而，在檢查裝置1中，通過(guò)輸送部23的自動(dòng)輸送，能夠省去上述操作人員的麻煩，高效地輸送托盤200C。由此，能夠迅速進(jìn)行再次檢查。

接下來(lái)，說(shuō)明能夠從第一檢查向第二檢查的自動(dòng)切換設(shè)定的第一設(shè)定畫面3、第二設(shè)定畫面4以及第三設(shè)定畫面5。上述設(shè)定畫面映出到監(jiān)視器300的顯示畫面301。而且，通過(guò)適當(dāng)?shù)牟僮?，由此能夠迅速進(jìn)行從第一檢查向第二檢查的切換。

如圖12所示，第一設(shè)定畫面3包含第一菜單組31和第二菜單組32。

第一菜單組31包含按鈕311～按鈕317，按照按鈕311為“Exit”，按鈕312為“Shut Down”，按鈕313為“Device Set”，按鈕314為“Unit Set”，按鈕315為“Maintenance”，按鈕316為“My Pad”，按鈕317為“Calculator”來(lái)分配。

第二菜單組32包含按鈕321～按鈕3211，按照按鈕321為“Set up”，按鈕322為“Tray Form”，按鈕323為“Plate Form”，按鈕324為“Tray Assign”，按鈕325為“Temp.Offset”，按鈕326為“Contact”，按鈕327為“Tester I/F”，按鈕328為“Bin”，按鈕329為“DblDevice”，按鈕3210為“Cleaning”，按鈕3211為“FIFO”來(lái)分配。

而且，若按順序操作第一菜單組31的按鈕313、第二菜單組32的按鈕324，則第二設(shè)定畫面4在顯示畫面301上顯示。

如圖13所示，第二設(shè)定畫面4包含第一菜單組41、第二菜單組42、第三菜單組43、第四菜單組44、第五菜單組45、第六菜單組46。

第一菜單組41表示在檢查裝置1的IC設(shè)備90的輸送動(dòng)作，包含表示通常(再次檢查前)的輸送方向的箭頭圖411、表示托盤200的配置的托盤配置圖412、表示再次檢查的輸送方向的箭頭圖413。在箭頭圖411上標(biāo)注“Normal Test”，在箭頭圖413上標(biāo)注“Retest”。

第二菜單組42是設(shè)定再次檢查時(shí)的托盤的輸送實(shí)施方式的設(shè)定畫面“Tray Transport as Retest”，包含復(fù)選框421～423。按照復(fù)選框421為“Same as Normal Test”，復(fù)選框422為“Color trays according to Normal Test setting”，復(fù)選框423為“Original setting”來(lái)分配。

第三菜單組43是能夠設(shè)定再次檢查的自動(dòng)切換的ON/OFF的設(shè)定畫面“Auto Retest”，包含復(fù)選框431～434。按照復(fù)選框431為“Retest Automatically”，復(fù)選框432為“Max_times”，復(fù)選框433為“Manual select at Lot End”，復(fù)選框434為“OFF”來(lái)分配。

此外，在第一檢查后自動(dòng)移至第二檢查，即在要進(jìn)行(希望)再次檢查的自動(dòng)切換的情況下，在復(fù)選框431輸入“檢查”輸入，并且在復(fù)選框432輸入“自動(dòng)切換的次數(shù)”來(lái)設(shè)定。

另外，在第一檢查后要通過(guò)手動(dòng)移至第二檢查，即要進(jìn)行再次檢查的手動(dòng)切換的情況下，在復(fù)選框433輸入“檢查”。然后，在顯示第三設(shè)定畫面5之后，按順序操作操作面板700的按鈕709、按鈕703(參照?qǐng)D15)。由此，檢查裝置1能夠移至第二檢查。此外，在第三設(shè)定畫面5的顯示后操作操作面板700的按鈕708的情況下，檢查裝置1結(jié)束動(dòng)作而不移至第二檢查。

另外，在不進(jìn)行(不希望)再次檢查的切換的情況下在復(fù)選框434輸入“檢查”。

第四菜單組44是設(shè)定托盤除去區(qū)域A5側(cè)的托盤200的動(dòng)作的設(shè)定畫面“Unloading Tray Mode”，包含復(fù)選框441～443。按照復(fù)選框441為“Automatically ejects trays after clean-out”，復(fù)選框442為“Auto.sets Empty trays to the Unloader lane at Initial Start”，復(fù)選框443為“Auto.sets Empty trays to the Unloader lane at Retest start”來(lái)分配。

第五菜單組45是設(shè)定托盤200朝X方向的動(dòng)作的使用方式的設(shè)定畫面“Tray X-skip setting(Only Permulation)”，包含復(fù)選框451和復(fù)選框452。按照復(fù)選框451為“Disable Unloader Tray”，復(fù)選框452為“Disable Loader Tray”來(lái)分配。

第六菜單組46是設(shè)定托盤供給區(qū)域A1的托盤200、托盤除去區(qū)域A5的托盤200、回收區(qū)域A4的回收用托盤19的種類等的設(shè)定畫面(表)。圖13中的縱向分配為“Loader”，“Empty Tray1”，“Empty Tray2”，“Auto1”，“Auto2”，“Auto3”，“Fix1”，“Fix2”，“Fix3”，橫向分配為“Type”，“Direction”。

另外，在第二設(shè)定畫面4除了第一菜單組41～第六菜單組46之外，還有按鈕471～476。按照按鈕471為“Load/Unload Position”，按鈕472為“Store”，按鈕473為“Recall”，按鈕474為“OK”，按鈕475為“Cancel”，按鈕476為“Apply”來(lái)分配。

在第二設(shè)定畫面4的第三菜單組43的復(fù)選框433輸入檢查后，顯示圖14所示的第三設(shè)定畫面5。第三設(shè)定畫面5包含第一報(bào)告部51、第二報(bào)告部52、布局圖53。

第一報(bào)告部51包含顯示錯(cuò)誤編碼(Error Code)的錯(cuò)誤編碼顯示部511、顯示單元(Unit)的單元顯示部512、顯示消息(Message)的消息顯示部513。此外，通過(guò)消息顯示部513，檢查裝置1能夠顯示當(dāng)前處于正在進(jìn)行通常的動(dòng)作即第一檢查的狀態(tài)，或者處于進(jìn)行再次檢查即第二檢查的狀態(tài)。由此，操作人員能夠掌握檢查裝置1的當(dāng)前的狀態(tài)。

第二報(bào)告部52包含顯示單元名(Unit Name)的單元名顯示部521、顯示出在消息顯示部513顯示的消息的原因等(Cause and Countermeasure)的原因顯示部522。

布局圖53示意性地圖示了構(gòu)成檢查裝置1的各機(jī)構(gòu)。

第二實(shí)施方式

圖9是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實(shí)施方式)的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

以下參照該圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1A除了第二檢查不同以外，其它與上述第一實(shí)施方式相同。

在本實(shí)施方式的檢查裝置1A中，第二檢查是與第一檢查不同的檢查，是對(duì)第一檢查后的IC設(shè)備90改變檢查條件的檢查。第二檢查沒有特別限定，例如可舉出冷卻或者加熱IC設(shè)備90使該IC設(shè)備90的溫度比第一檢查時(shí)的溫度高或者低的檢查、改變?cè)谏鲜鰴z查控制部中存儲(chǔ)的程序的檢查等。

如圖9所示，載置進(jìn)行第二檢查的IC設(shè)備90的托盤200被分配至托盤200C。而且，與上述第一實(shí)施方式的再次檢查時(shí)相同，從第二位置P2輸送至第一位置P1的托盤200C被托盤輸送機(jī)構(gòu)11A取出至供給區(qū)域A2內(nèi)。該托盤200C上的IC設(shè)備90經(jīng)由圖9所示的路徑被輸送到托盤200B并載置。這樣，能夠?qū)C設(shè)備90進(jìn)行改變了檢查條件的第二檢查。

此外，圖9所示的路徑與圖8所示的路徑的不同點(diǎn)在于以下方面。

在圖9所示的路徑中，IC設(shè)備90經(jīng)由兩個(gè)設(shè)備供給部14、兩個(gè)設(shè)備回收部18中靠前罩70側(cè)的設(shè)備供給部14設(shè)備回收部18。另一方面，在圖8所示的路徑中，IC設(shè)備90經(jīng)由后罩73側(cè)的設(shè)備供給部14和設(shè)備回收部18。最后為“檢查結(jié)果不合格”。

第三實(shí)施方式

圖10以及圖11分別是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第三實(shí)施方式)的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。

以下，參照上述圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第三實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式的檢查裝置1B除了第一位置以及第二位置的設(shè)定位置不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式相同。

如圖10、圖11所示，在本實(shí)施方式置的檢查裝置1B中，第一位置P1b和第二位置P2b在檢查裝置1B的內(nèi)部，第一位置P1b被設(shè)定在供給區(qū)域A2內(nèi)，第二位置P2b被設(shè)定在回收區(qū)域A4內(nèi)。由此，在進(jìn)行第二檢查時(shí)，能夠省略將托盤200C暫時(shí)排出至檢查裝置1B的外部。另外，第一位置P1b與第二位置P2b之間的托盤200C的輸送可由托盤輸送機(jī)構(gòu)15負(fù)責(zé)。

以上那樣的構(gòu)成在每一批的托盤200C為一張的情況下有效。

第四實(shí)施方式

圖16是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。圖17是表示圖16所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖18～圖23是按順序表示圖16所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖24是表示圖16所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的立體圖。圖25是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。圖26是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。圖27是表示圖24所示的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。圖28是圖24所示的連結(jié)部的主視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在上升的狀態(tài)的圖。圖29是圖24所示的連結(jié)部的側(cè)視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在上升的狀態(tài)的圖。圖30是圖24所示的連結(jié)部的主視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在下降的狀態(tài)的圖。圖31是圖24所示的連結(jié)部的側(cè)視圖，是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)正在下降的狀態(tài)的圖。圖32是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部位于第二位置的上方的狀態(tài)的圖。圖33是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部下降了的狀態(tài)的圖。圖34是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部位于第一位置的上方的狀態(tài)的圖。圖35是用于說(shuō)明上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的作用的圖，是表示輸送部下降了的狀態(tài)的圖。

以下參照上述圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式，對(duì)與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)、事項(xiàng)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略其說(shuō)明。

此外，以下為了便于說(shuō)明，在輸送電子部件的路徑中，在通常檢查時(shí)(初次檢查時(shí))，將供給電子部件一側(cè)稱為“上游側(cè)”，排出電子部件一側(cè)稱為“下游側(cè)”。

如圖16、圖17所示，檢查裝置1001分為托盤供給區(qū)域A1、設(shè)備供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“供給區(qū)域”)A2、檢查區(qū)域A3、設(shè)備回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“回收區(qū)域”)A4、托盤除去區(qū)域A5。而且，IC設(shè)備90從托盤供給區(qū)域A1到托盤除去區(qū)域A5依次經(jīng)由上述各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。這樣檢查裝置1001具備在各區(qū)域輸送IC設(shè)備90的電子部件輸送裝置、在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、控制部1800。而且，檢查裝置1001還具備監(jiān)視器300、操作面板1700、信號(hào)燈400。

此外，檢查裝置1001中，將配置有托盤供給區(qū)域A1、托盤除去區(qū)域A5的一方(圖17中的下側(cè))作為正面?zhèn)?，將其相反的一?cè)，即配置有檢查區(qū)域A3的一方(圖17中的上側(cè))作為背面?zhèn)仁褂谩?/p>

托盤供給區(qū)域A1通常是被供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤(載置部件)200的供材部。能夠在托盤供給區(qū)域A1層疊多個(gè)托盤200。

這里，如圖25～圖27所示，托盤200呈長(zhǎng)方形的板狀，在一方的面?zhèn)刃纬捎卸鄠€(gè)凹部202。在該凹部202內(nèi)配置IC設(shè)備90。另外，托盤200形成短片側(cè)的邊緣部201向外側(cè)突出的形狀。此外，托盤200的“載置面”在本說(shuō)明書中包含托盤200的上表面以及凹部202的內(nèi)表面。

供給區(qū)域A2是配置于來(lái)自托盤供給區(qū)域A1的托盤200上的多個(gè)IC設(shè)備90分別被供給到檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以跨越托盤供給區(qū)域A1和供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有沿水平方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11B。托盤輸送機(jī)構(gòu)11A是能夠使托盤200與載置于該托盤200的IC設(shè)備90一起朝Y方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，能夠?qū)C設(shè)備90穩(wěn)定送入供給區(qū)域A2。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)11B是能夠使空的托盤200朝Y方向的負(fù)側(cè)，即從供給區(qū)域A2向托盤供給區(qū)域A1移動(dòng)的移動(dòng)部。

在供給區(qū)域A2設(shè)置有溫度調(diào)整部12和設(shè)備輸送頭13。

溫度調(diào)整部12是統(tǒng)一冷卻、加熱多個(gè)IC設(shè)備90的部件，也被稱為“均溫板”。利用該均溫板，預(yù)先冷卻或加熱在檢查部16檢查之前的IC設(shè)備90，能夠調(diào)整為適合該檢查的溫度。在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12沿Y方向配置、固定有2個(gè)。而且，被托盤輸送機(jī)構(gòu)11A從托盤供給區(qū)域A1搬入(輸送來(lái))的托盤200上的IC設(shè)備90輸送到某一溫度調(diào)整部12。

設(shè)備輸送頭13被支承為在供給區(qū)域A2內(nèi)能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭13能夠負(fù)責(zé)從托盤供給區(qū)域A1搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的IC設(shè)備90的輸送、溫度調(diào)整部12與后述的設(shè)備供給部14之間的IC設(shè)備90的輸送。

檢查區(qū)域A3是檢查IC設(shè)備90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有檢查部16和設(shè)備輸送頭17。另外，還設(shè)置有以跨越供給區(qū)域A2和檢查區(qū)域A3的方式移動(dòng)的設(shè)備供給部14、以跨越檢查區(qū)域A3和回收區(qū)域A4的方式移動(dòng)的設(shè)備回收部18。

設(shè)備供給部14是能夠載置溫度被調(diào)整的IC設(shè)備90并將該IC設(shè)備90輸送(移動(dòng))到檢查部16附近的移動(dòng)部，也被稱為“供給用穿梭板”。該設(shè)備供給部14被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備供給部14沿Y方向配置有2個(gè)，溫度調(diào)整部12上的IC設(shè)備90被輸送到某一個(gè)設(shè)備供給部14。此外，在設(shè)備供給部14中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

檢查部16是檢查、試驗(yàn)IC設(shè)備90的電特性的單元。在檢查部16設(shè)置有以保持IC設(shè)備90的狀態(tài)與該IC設(shè)備90的端子電連接的多個(gè)探針。而且，IC設(shè)備90的端子與探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。根據(jù)在與檢查部16連接的測(cè)試器所具備的檢查控制部中存儲(chǔ)的程序進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。此外，在檢查部16中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備輸送頭17被支承為能夠在檢查區(qū)域A3內(nèi)沿Y方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2被搬入的設(shè)備供給部14上的IC設(shè)備90輸送、載置于檢查部16上。此外，設(shè)備輸送頭17也能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備回收部18是能夠載置在檢查部16的檢查結(jié)束的IC設(shè)備90并將該IC設(shè)備90輸送(移動(dòng))到回收區(qū)域A4的移動(dòng)部，也被稱為“回收用穿梭板”。該設(shè)備回收部18被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿X方向移動(dòng)。另外，在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備回收部18與設(shè)備供給部14相同，沿Y方向配置有2個(gè)，檢查部16上的IC設(shè)備90被輸送、載置于任一個(gè)設(shè)備回收部18。該輸送由設(shè)備輸送頭17進(jìn)行。

回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束的多個(gè)IC設(shè)備90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤19和設(shè)備輸送頭20。另外，通常還在回收區(qū)域A4準(zhǔn)備空的托盤200。

回收用托盤19是載置IC設(shè)備90的載置部，固定于回收區(qū)域A4內(nèi)，在圖17所示的結(jié)構(gòu)中，沿X方向配置有3個(gè)。另外，空的托盤200也是載置IC設(shè)備90的載置部，沿X方向配置有3個(gè)。而且，移動(dòng)到回收區(qū)域A4的設(shè)備回收部18上的IC設(shè)備90被輸送、載置于上述回收用托盤19以及空的托盤200中的某一個(gè)。由此，IC設(shè)備90按照檢查結(jié)果被分類、回收。

設(shè)備輸送頭20被支承為在回收區(qū)域A4內(nèi)能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭20能夠?qū)C設(shè)備90從設(shè)備回收部18輸送至回收用托盤19、空的托盤200。

另外，以跨越供給區(qū)域A2和回收區(qū)域A4的方式，設(shè)置有托盤輸送機(jī)構(gòu)(載置部件輸送機(jī)器人)115。托盤輸送機(jī)構(gòu)115是能夠使托盤200朝X方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。

利用該托盤輸送機(jī)構(gòu)115，例如能夠在供給區(qū)域A2內(nèi)使全部的IC設(shè)備90被除去的狀態(tài)的空的托盤200朝X方向的正側(cè)輸送。而且，在該輸送后，空的托盤200通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)11B從供給區(qū)域A2返回托盤供給區(qū)域A1。

另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)115能夠使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200在回收區(qū)域A4內(nèi)朝X方向正側(cè)輸送。而且，在該輸送后，空的托盤200配置于回收IC設(shè)備90的位置，即成為上述3個(gè)空的托盤200中的某一個(gè)。

托盤除去區(qū)域A5是回收、除去排列有檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤200的除材部。能夠在托盤除去區(qū)域A5層疊多個(gè)托盤200。

另外，以跨越回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有沿Y方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B。托盤輸送機(jī)構(gòu)22A是能夠使托盤200朝Y方向的正側(cè)以及負(fù)側(cè)雙向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，例如能夠?qū)z查完畢的IC設(shè)備90從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)22B是能夠使用于回收IC設(shè)備90的空的托盤200朝Y方向的正側(cè)，即從托盤除去區(qū)域A5朝回收區(qū)域A4移動(dòng)的移動(dòng)部。

在這樣檢查裝置1001中，作為能夠輸送托盤200的輸送部123，設(shè)置有在托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2之間沿Y方向輸送托盤200的裝載機(jī)即托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、在回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5之間沿Y方向輸送托盤200的卸載機(jī)即托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、在供給區(qū)域A2與回收區(qū)域A4之間沿X方向輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)115。由此，例如與利用一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行托盤200的X方向和Y方向的輸送相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC設(shè)備90的輸送個(gè)數(shù))的提高。

控制部1800例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11B、溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部14、托盤輸送機(jī)構(gòu)115、檢查部16、設(shè)備輸送頭17、設(shè)備回收部18、設(shè)備輸送頭20、托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22B的各部分的驅(qū)動(dòng)。

此外，上述測(cè)試器的檢查控制部例如根據(jù)存儲(chǔ)于未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)的程序，進(jìn)行配置于檢查部16的IC設(shè)備90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由監(jiān)視器300設(shè)定、確認(rèn)檢查裝置1001的動(dòng)作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面(顯示部)301，并配置于檢查裝置1001的正面?zhèn)壬喜?。如圖16所示，在托盤除去區(qū)域A5的圖中的右側(cè)設(shè)置有載置鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)600，該鼠標(biāo)在操作顯示于監(jiān)視器300的畫面時(shí)使用。

另外，在相對(duì)于監(jiān)視器300靠圖16中的右下方配置有操作面板1700。操作面板1700相對(duì)于監(jiān)視器300單獨(dú)地對(duì)檢查裝置1001發(fā)出所希望的動(dòng)作的命令。

另外，信號(hào)燈400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合，報(bào)告檢查裝置1001的動(dòng)作狀態(tài)等。信號(hào)燈400配置于檢查裝置1001的上部。此外，在檢查裝置1001內(nèi)置有揚(yáng)聲器500，利用該揚(yáng)聲器500也能夠報(bào)告檢查裝置1001的動(dòng)作狀態(tài)等。

如圖17所示，檢查裝置1001中，托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2之間被第一隔壁61劃分(分隔)，供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間被第二隔壁62劃分，檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間被第三隔壁63劃分，回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5之間被第四隔壁64劃分。上述隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且，檢查裝置1001的最外表由罩覆蓋，該罩例如包括前罩70、側(cè)罩71、側(cè)罩72、后罩73、頂罩74。

如上所述，在檢查裝置1001中，IC設(shè)備90按照在檢查部16的按照檢查結(jié)果，在回收區(qū)域A4被分類、回收。該分類例如有“檢查結(jié)果合格”、“檢查結(jié)果不合格”、“需再次檢查”。在本實(shí)施方式中，在圖18～圖23中的IC設(shè)備90被分類的3種托盤200中，從左側(cè)依次稱為“托盤200A”、“托盤200B”、“托盤200C”。在檢查裝置1001中，作為一個(gè)例子，將托盤200A分配為“檢查結(jié)果合格”用的托盤200，將托盤200B分配為“檢查結(jié)果不合格”用的托盤200，將托盤200C分配為“需再次檢查”用的托盤200。

以下參照?qǐng)D18～圖23來(lái)說(shuō)明再次檢查托盤200C上的IC設(shè)備90的情況，即自動(dòng)重測(cè)功能。

另外，將再次檢查前的檢查稱為“第一檢查”，將再次檢查稱為“第二檢查”。因此，第一檢查與第二檢查是相同的檢查。作為再次檢查(重測(cè))產(chǎn)生的原因例如可舉出因檢查時(shí)的檢查部16與IC設(shè)備90的端子彼此的接觸不良而無(wú)法判斷檢查結(jié)果是“合格”還是“不合格”。

在檢查裝置1001中，設(shè)定相互不同的第一位置P11、第二位置P12、第三位置P13以及第四位置P14。第一位置P11設(shè)定于供給區(qū)域A2內(nèi)。第二位置P12設(shè)定于回收區(qū)域A4內(nèi)。第三位置P13設(shè)定于托盤供給區(qū)域A1內(nèi)，是配置已載置有第一檢查前的IC設(shè)備90的托盤200的位置。另外，第四位置P14設(shè)定于托盤除去區(qū)域A5內(nèi)，是在第二檢查前配置已載置有第一檢查后的IC設(shè)備90的托盤200(托盤200C)的位置。

另外，如圖16所示，托盤供給區(qū)域A1以及托盤除去區(qū)域A5都向檢查裝置1001的外部露出。因此，第三位置P13以及第四位置P14也成為被設(shè)定于檢查裝置1001的外部的狀態(tài)。由此，例如在檢查裝置1001正在進(jìn)行再次檢查動(dòng)作的中途，要從第三位置P13或者第四位置P14取出托盤200的情況下，該取出作業(yè)變得容易。

進(jìn)行第一檢查的一批的量的各IC設(shè)備90堆積在第三位置P13，如上所述輸送至檢查裝置1001內(nèi)(參照?qǐng)D17)，然后成為圖18所示的狀態(tài)。如該圖18所示，在托盤除去區(qū)域A5的托盤200A載置有多個(gè)IC設(shè)備90，但仍處于能夠載置IC設(shè)備90的空閑狀態(tài)。另外，在位于托盤除去區(qū)域A5的第四位置P14的托盤200C成為載置有盡可能多的IC設(shè)備90，即被多個(gè)IC設(shè)備90放滿的狀態(tài)。

而且，如圖19所示，構(gòu)成輸送部123的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A將載置有IC設(shè)備90的托盤200C從第四位置P14輸送至第二位置P12。

接下來(lái)，如圖20所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)115(輸送部123)從第二位置P12輸送到第一位置P11。

接下來(lái)，如圖21所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)11A(輸送部123)從第一位置P11輸送至第三位置P13。這樣的圖18～圖21所示的托盤200C的輸送一直進(jìn)行到位于第四位置P14的全部的托盤200C被輸送到第三位置P13為止。

接下來(lái)，如圖22所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)11A輸送位于第三位置P13的一個(gè)托盤200C，并向供給區(qū)域A2內(nèi)取出。另外，托盤除去區(qū)域A5內(nèi)的托盤200A被托盤輸送機(jī)構(gòu)22A輸送至回收區(qū)域A4內(nèi)，成為在其輸送目的地停止的狀態(tài)。

接下來(lái)，如圖23所示，與第一檢查相同，利用設(shè)備回收部18將托盤200C上的IC設(shè)備90輸送到回收區(qū)域A4。此外，將該IC設(shè)備90設(shè)為“檢查結(jié)果合格”。而且，設(shè)備輸送頭20將設(shè)備回收部18上的IC設(shè)備90輸送、載置到回收區(qū)域A4內(nèi)的托盤200A的空余空間，即形成于托盤200A的空的口袋。

如上所述，在要進(jìn)行再次檢查的情況下，能夠利用輸送部123將載置有作為其檢查對(duì)象的IC設(shè)備90的托盤200C，從第四位置P14輸送至第三位置P13。由此，成為能夠開始再次檢查的狀態(tài)。以往，載置有IC設(shè)備90的托盤200C例如經(jīng)由操作人員的手從第四位置P14配置于第三位置P13。然而，在檢查裝置1001中，通過(guò)輸送部123的自動(dòng)輸送，能夠省去上述操作人員的麻煩，高效地輸送托盤200C。由此，能夠迅速進(jìn)行再次檢查。

接下來(lái)，詳細(xì)說(shuō)明托盤輸送機(jī)構(gòu)115。

如圖24～圖31所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)115具有輸送機(jī)構(gòu)主體130和將輸送機(jī)構(gòu)主體130與未圖示的驅(qū)動(dòng)源連結(jié)的連結(jié)部140。此外，驅(qū)動(dòng)源沒有特別限定，例如可以使用具有滾珠絲杠和線性引導(dǎo)器，使輸送機(jī)構(gòu)主體130沿X方向以及Y方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

如圖24所示，輸送機(jī)構(gòu)主體130具有固定于連結(jié)部140的基材131、和相對(duì)于基材131能夠滑動(dòng)而構(gòu)成且能夠把持托盤200的手部132。

基材131由沿Y方向延伸的呈長(zhǎng)條板狀的金屬板構(gòu)成。另外，基材131的各長(zhǎng)邊側(cè)的邊緣部1313以朝-Z側(cè)突出的方式折彎。向該折彎的各邊緣部1313的內(nèi)側(cè)插入手部132，手部132能夠沿Y方向滑動(dòng)。

另外，在基材131形成有沿Y方向延伸的窄縫1311，在該窄縫1311插入有螺栓1312。該螺栓1312將基材131和手部132固定。在擰松螺栓1312的狀態(tài)下，成為基材131和手部132能夠沿Y方向滑動(dòng)的狀態(tài)，在擰緊螺栓1312的狀態(tài)下，成為基材131和手部132的滑動(dòng)被限制的狀態(tài)。由此，能夠調(diào)節(jié)手部132相對(duì)于基材131的位置。即能夠調(diào)節(jié)輸送機(jī)構(gòu)主體130的Y方向的長(zhǎng)度。

如圖24～圖27所示，手部132具有能夠滑動(dòng)地插入基材131的基部1321、固定于基部1321的2根棒材1322、設(shè)置于棒材1322的減震器1323、經(jīng)由減震器1323固定于各棒材1322的作為罩部的罩部件150、把持托盤200的把持部8、經(jīng)由連結(jié)棒1325固定于基部1321的銷(凸部)101。

基部1321由沿Y方向延伸的長(zhǎng)條金屬板構(gòu)成。另外，基部1321的各長(zhǎng)邊側(cè)的邊緣部1324以朝-Z側(cè)突出的方式折彎。在該基部1321的折彎的邊緣部1324分別固定有棒材1322。

各棒材1322沿Y方向相互平行地配置。另外，棒材1322的兩端部1326分別朝-Z側(cè)突出地折彎。另外，在各棒材1322的兩端部1326附近分別各設(shè)置有2個(gè)共計(jì)4個(gè)減震器1323。

各減震器1323構(gòu)成為能夠沿Z方向伸縮。該減震器1323在內(nèi)側(cè)具有施力部，并與罩部件150連結(jié)。

另外，減震器1323的伸縮范圍優(yōu)選為2mm以上、4mm以下，更優(yōu)選為2.5mm以上、3.5mm以下。由此，能夠?qū)⒄植考?50的Z方向的可動(dòng)范圍設(shè)為上述數(shù)值范圍。因此，在罩部件150被按壓于托盤200時(shí)，能夠有效避開按壓力的一部分。其結(jié)果是，能夠防止罩部件150以超過(guò)需要的力按壓托盤200。因此，能夠緩和施加于托盤200以及IC設(shè)備90的沖擊。

連結(jié)棒1325沿X方向設(shè)置。另外，連結(jié)棒1325的+X側(cè)的端部固定于基部1321的上部，-X側(cè)的端部比基部1321更向-X側(cè)突出。在該突出的-X側(cè)的端部的下側(cè)固定有棒狀的銷101。因此，銷101以朝-Z側(cè)突出的方式設(shè)置。

罩部件150是把持部8把持托盤200時(shí)覆蓋托盤200的部件。該罩部件150是具有金屬層151和導(dǎo)電性樹脂層152的雙層構(gòu)造。另外，導(dǎo)電性樹脂層152與金屬層151從下側(cè)按其順序?qū)盈B。

金屬層151硬度比較高，負(fù)責(zé)提高罩部件150整體的剛性。金屬層151的結(jié)構(gòu)材料沒有特別限定，例如可以使用不銹鋼、鋁、鋁合金等各種金屬材料等。

另一方面，導(dǎo)電性樹脂層152是與托盤200、IC設(shè)備90抵接的部分。導(dǎo)電性樹脂層152具有樹脂層1521和在樹脂層1521中分散的導(dǎo)電性填料1522。因此，導(dǎo)電性樹脂層152的硬度比金屬層151低。因此，和金屬層151直接與托盤200、IC設(shè)備90接觸的情況比，能夠防止損傷托盤200、IC設(shè)備90。

并且，導(dǎo)電性樹脂層152具有導(dǎo)電性。由此，在與帶電的IC設(shè)備90接觸時(shí)，能夠除去其電子。因此，能夠防止IC設(shè)備90帶電。

樹脂層1521的結(jié)構(gòu)材料沒有特別限定，例如可以使用丙烯酸系、聚氨酯系、聚酯系、環(huán)氧類、聚氯乙烯系、三聚氰胺系、聚酰亞胺系等。

另外，導(dǎo)電性填料1522的結(jié)構(gòu)材料沒有特別限定，例如可舉出氧化鋅系、氧化鈦系、氧化錫系、氧化銦系、氧化銻系等。

如圖24～圖27所示，把持部8具有2根臂81、驅(qū)動(dòng)各臂81的氣缸82、連結(jié)各臂81的彈簧83。

臂81具有長(zhǎng)條部811和從長(zhǎng)條部811的一端部朝下側(cè)下垂設(shè)置的爪部件812。各臂81的長(zhǎng)條部811沿Y方向配置為同一直線狀，另一端部即與爪部件812相反的一側(cè)的端部彼此由氣缸82以及彈簧83連結(jié)。

各爪部件812的下端部是具有朝相互對(duì)置的方向開放的凹部813的爪狀。托盤200的邊緣部201能夠進(jìn)入該爪部件812的凹部813。即作為卡合部的爪部件812能夠在各臂81接近的狀態(tài)下與托盤200卡合。在該卡合狀態(tài)下，托盤200被各臂81把持。因此，能夠穩(wěn)定地輸送托盤200。

氣缸82通過(guò)供給以及排出動(dòng)作流體由此沿Y方向移動(dòng)操作各臂81。另外，氣缸82的上部固定于基部1321。

在動(dòng)作流體被供給到的氣缸82狀態(tài)下，各臂81朝分離的方向移動(dòng)操作。另一方面，在各臂81分離的狀態(tài)下，若動(dòng)作流體從氣缸82排出，則各臂81朝接近的方向移動(dòng)操作。

彈簧83由兩端分別與各臂81連結(jié)的拉伸彈簧構(gòu)成。由此，各臂81無(wú)論是接近的接近狀態(tài)還是分離的分離狀態(tài)，都成為朝相互接近的方向拉伸的狀態(tài)。因此，例如即使在氣缸82的動(dòng)作意外停止的情況下，各臂81也是接近的狀態(tài)。其結(jié)果是，即使在把持托盤200的狀態(tài)下氣缸82產(chǎn)生不良情況，也能夠繼續(xù)把持托盤200，能夠防止托盤200意外從臂81脫離(落下)。

接下來(lái)，說(shuō)明這樣的托盤輸送機(jī)構(gòu)115的動(dòng)作。

圖25是表示托盤輸送機(jī)構(gòu)115位于第二位置P12的上方的狀態(tài)的圖。如上所述，在配置于第二位置P12的托盤200載置有再次檢查用的IC設(shè)備90。在該狀態(tài)下，如圖25中的雙點(diǎn)劃線所示，各臂81成為接近狀態(tài)。

而且，從該接近狀態(tài)向氣缸82供給動(dòng)作流體，由此如圖25中的實(shí)線所示，各臂81分別朝分離的方向移動(dòng)操作而成為分離狀態(tài)。

如圖26所示，在保持分離狀態(tài)下托盤輸送機(jī)構(gòu)115下降。該下降一直進(jìn)行到棒材1322的折彎的端部與托盤200的邊緣部抵接為止。由此，如后所述，手部132能夠穩(wěn)定地把持托盤200。另外，在該抵接的狀態(tài)下，罩部件150與托盤200的上表面以及IC設(shè)備90抵接，成為覆蓋托盤200的上表面的狀態(tài)。

此外，如上所述，在成為抵接狀態(tài)以前，罩部件150位于比棒材1322的端部更靠下側(cè)。因此，隨著托盤輸送機(jī)構(gòu)115的下降，罩部件150先與托盤200的上表面抵接。此時(shí)，罩部件150與托盤200抵接的沖擊被減震器1323吸收。因此，能夠緩和施加于托盤200、IC設(shè)備90的沖擊。另外，在卡合狀態(tài)下，成為罩部件150朝托盤200被施力的狀態(tài)，能夠更穩(wěn)定地輸送托盤200。

特別是如圖24所示，減震器1323設(shè)置有4個(gè)，分別配置于罩部件150的角部附近。即在從Z方向觀察時(shí)，4個(gè)減震器1323配置為矩形。因此，能夠盡量均衡地吸收沖擊。

另外，如圖26所示，在托盤輸送機(jī)構(gòu)115下降時(shí)成為抵接狀態(tài)之前，臂81朝相互不同的方向移動(dòng)并成為分離狀態(tài)。由此，隨著托盤輸送機(jī)構(gòu)115的下降，能夠防止爪部件812與托盤200接觸而阻礙下降。

接下來(lái)，如圖27所示，從氣缸82排出動(dòng)作流體，使各臂81成為接近狀態(tài)。在該接近狀態(tài)下，使托盤200的邊緣部進(jìn)入爪部件812的凹部813內(nèi)并卡合。由此，各臂81能夠把持托盤200。

然后，使輸送機(jī)構(gòu)主體130上升并朝-X方向移動(dòng)，使托盤200移動(dòng)至第一位置P11。在該移動(dòng)時(shí)，被把持于各臂81的托盤200的上表面成為被罩部件150覆蓋的狀態(tài)。由此，能夠防止IC設(shè)備90脫離托盤200。因此，能夠穩(wěn)定地進(jìn)行IC設(shè)備90以及托盤200的輸送。

并且，如圖24所示，在檢查裝置1001中，托盤輸送機(jī)構(gòu)115把持(卡合)托盤200的短邊而構(gòu)成。因此，與托盤輸送機(jī)構(gòu)115把持長(zhǎng)邊的情況相比，能夠穩(wěn)定地輸送托盤200。

如圖24以及圖28～圖31所示，連結(jié)部140具有與驅(qū)動(dòng)源連接的基部141、氣缸142、支承氣缸142的支承板143、固定于基部141的連結(jié)板144、145、設(shè)置于連結(jié)板144的減震器(緩沖部)146、設(shè)置于連結(jié)板145的減震器(緩沖部)147。

基部141具有沿X方向以及Y方向配置的第一板狀部1411、和設(shè)置于第一板狀部1411的+Y側(cè)的邊緣部并沿X方向以及Z方向配置的第二板狀部1412。從第一板狀部1411的下表面下垂設(shè)置有支承板143。

氣缸142具有活塞桿1421，供給或者排出動(dòng)作流體由此使活塞桿1421沿Z方向伸縮而構(gòu)成。另外，在活塞桿1421連結(jié)有輸送機(jī)構(gòu)主體130的基材131。由此，進(jìn)行動(dòng)作流體的供給或者排出，由此能夠進(jìn)行輸送機(jī)構(gòu)主體130的升降操作。

如圖24以及圖28～圖31所示，連結(jié)板144是沿Z方向延伸的長(zhǎng)條板狀。另外，在連結(jié)板144的上部形成有朝+Y方向突出為板狀的突出部1441。在該突出部1441設(shè)置有減震器146。

另外，連結(jié)板144具有兩個(gè)突起1442、1443。突起1442設(shè)置于連結(jié)板144的下端附近，突起1443設(shè)置于上端附近，即突出部1441的附近。突起1442如圖28以及圖30所示，在輸送機(jī)構(gòu)主體130上升時(shí)，與后述的突出部1451抵接，能夠限制輸送機(jī)構(gòu)主體130進(jìn)一步上升。另一方面，突起1443在輸送機(jī)構(gòu)主體130下降時(shí)，與后述的突出部1451抵接，能夠限制輸送機(jī)構(gòu)主體130進(jìn)一步下降。

連結(jié)板145是沿Z方向延伸的長(zhǎng)條板狀。該連結(jié)板145配置于連結(jié)板144的-X側(cè)，比連結(jié)板144更向+Y側(cè)偏離。連結(jié)板145上端部固定于基部141的第二板狀部1412。

另外，在連結(jié)板145的下端部設(shè)置有朝+Y方向突出為板狀的突出部1451。在該突出部1451設(shè)置有減震器147。另外，突出部1451具有朝連結(jié)板144側(cè)突出的部分1452。該部分1452是與減震器146抵接的部分。

在這樣的連結(jié)部140中，如圖28以及圖29所示那樣，在輸送機(jī)構(gòu)主體130上升的狀態(tài)下，減震器147與基材131抵接，能夠吸收該抵接時(shí)的沖擊。另外，如圖30以及圖31所示那樣的在輸送機(jī)構(gòu)主體130下降了的狀態(tài)下，減震器146與突出部1451的突出的部分1452抵接，能夠吸收該抵接時(shí)的沖擊。

這樣根據(jù)連結(jié)部140，能夠緩和伴隨著輸送機(jī)構(gòu)主體130的升降的沖擊。因此，在輸送機(jī)構(gòu)主體130升降時(shí)，能夠緩和沖擊施加于托盤200，其結(jié)果是，能夠緩和施加于IC設(shè)備90的沖擊，能夠更有效地防止IC設(shè)備90意外脫離托盤200。

這里，如圖24以及圖32～圖35所示，檢查裝置1001具備上游側(cè)定位部10A和下游側(cè)定位部10B。

上游側(cè)定位部10A由上述銷101和供銷101插入的引導(dǎo)孔(凹部)102A構(gòu)成。

引導(dǎo)孔102A在第一位置P11沿X方向?qū)χ玫囊粚?duì)壁部(限制部件)103、104中設(shè)置于位于-X側(cè)的壁部103。

壁部103、104沿Y方向跨越檢查裝置1001的內(nèi)外而延伸。該壁部103、104防止配置于第一位置P11內(nèi)的托盤200在X方向上偏離，并且對(duì)利用托盤輸送機(jī)構(gòu)11A進(jìn)行的托盤200的Y軸方向的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)。

此外，由壁部103、104以及其間的區(qū)域構(gòu)成第一配置部。

下游側(cè)定位部10B由上述銷101和供銷101插入的引導(dǎo)孔(凹部)102B構(gòu)成。

壁部(限制部件)105、106沿Y方向跨越檢查裝置1001的內(nèi)外而延伸。該壁部105、106防止配置于第二位置P12內(nèi)的托盤200在X方向上偏離，并且對(duì)利用托盤輸送機(jī)構(gòu)22A進(jìn)行的托盤200的Y軸方向的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)。

此外，由壁部105、106以及其間的區(qū)域構(gòu)成第二配置部。

接下來(lái)，說(shuō)明托盤輸送機(jī)構(gòu)115的動(dòng)作以及上游側(cè)定位部10A以及下游側(cè)定位部10B的作用。以下使用圖32～圖35，說(shuō)明從第二位置P12向第一位置P11輸送托盤200的情況。

圖32是表示在第二位置P12配置有托盤200的狀態(tài)的圖。在該圖32所示的狀態(tài)下，托盤輸送機(jī)構(gòu)115位于第二位置P12的上方。

圖33是使托盤輸送機(jī)構(gòu)115從圖32所示的狀態(tài)下降并把持托盤200的圖。在該下降時(shí)，托盤輸送機(jī)構(gòu)115的銷101被引導(dǎo)并插入到引導(dǎo)孔102B。由此，能夠?qū)⑼斜P輸送機(jī)構(gòu)115相對(duì)于第二位置P12定位。因此，在該定位的狀態(tài)下，使手部132動(dòng)作，由此能夠正確把持托盤200。

接下來(lái)，如圖34所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)115以把持有托盤200的狀態(tài)朝第一位置P11的上方移動(dòng)。而且，如圖35所示，托盤輸送機(jī)構(gòu)115以把持托盤200的狀態(tài)下降。在該下降時(shí)，銷101被引導(dǎo)并插入到引導(dǎo)孔102A。由此，能夠?qū)⑼斜P輸送機(jī)構(gòu)115相對(duì)于第一位置P11定位。而且，在該定位的狀態(tài)下，解除手部132的托盤200的把持，由此能夠?qū)⑼斜P200正確配置于第一位置P11。

此外，也可以不將銷101插入引導(dǎo)孔102A、102B，在與壁部103、105碰撞的情況下使托盤輸送機(jī)構(gòu)115的動(dòng)作停止而構(gòu)成。

這樣，根據(jù)檢查裝置1001，例如即使第一位置P11與托盤輸送機(jī)構(gòu)115的定位、第二位置P12與托盤輸送機(jī)構(gòu)115的定位不充分，也能夠防止托盤輸送機(jī)構(gòu)115下降。因此，能夠防止托盤輸送機(jī)構(gòu)115與壁部103、104、105、106碰撞。

另外，在定位的狀態(tài)下進(jìn)行托盤200的把持或者其解除等配置作業(yè)，所以能夠?qū)⑼斜P200從第二位置P12正確輸送至第一位置P11。

另外，在檢查裝置1001中，通過(guò)將銷101插入引導(dǎo)孔102A之類的簡(jiǎn)單方法，能夠?qū)⑼斜P輸送機(jī)構(gòu)115與第一位置P11定位，并且通過(guò)將銷101插入引導(dǎo)孔102B之類的簡(jiǎn)單構(gòu)成，能夠?qū)⑼斜P輸送機(jī)構(gòu)115與第二位置P12定位。

另外，如圖32所示，壁部103與壁部104的分離距離，即第一位置P11的寬度W1比壁部105與壁部106的分離距離，即第二位置的寬度W2小。寬度W1為136mm以上、137mm以下，寬度W2為136.5mm以上、137.5mm以下。這是不具有自動(dòng)重測(cè)功能的現(xiàn)有裝置的規(guī)格。

在這樣的現(xiàn)有裝置的規(guī)格中，在從第二位置P12向?qū)挾日牡谝晃恢肞11輸送托盤200的情況下，特別有利于上游側(cè)定位部10A的定位。

另外，如上所述，上游側(cè)定位部10A的引導(dǎo)孔102A設(shè)置于壁部103、104中的靠-X側(cè)的壁部103。并且，下游側(cè)定位部10B的引導(dǎo)孔102B設(shè)置于壁部105、106中的靠-X側(cè)的壁部105。檢查裝置1001一般以IC設(shè)備90的輸送方向的上游側(cè)即-X側(cè)的端為基準(zhǔn)來(lái)設(shè)計(jì)。因此，隨著朝+X側(cè)離開，設(shè)計(jì)的累積誤差有增大的趨勢(shì)。在檢查裝置1001中，在-X側(cè)的壁部103配置引導(dǎo)孔102A，在-X側(cè)的壁部105配置引導(dǎo)孔102B，由此能夠盡可能抑制設(shè)計(jì)的累積誤差。因此，能夠?qū)N101正確并且順利地插入引導(dǎo)孔102A、102B。

第五實(shí)施方式

圖36是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第五實(shí)施方式)的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的立體圖。

以下，參照該圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第五實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式除了罩部件的結(jié)構(gòu)不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第四實(shí)施方式相同。

如圖36所示，在檢查裝置1001A的托盤輸送機(jī)構(gòu)115A中，罩部件150A形成了由金屬材料構(gòu)成的線材編織形成的網(wǎng)狀。即在整體觀察罩部件150A時(shí)是在與IC設(shè)備90抵接的位置設(shè)置有多個(gè)孔的形狀。

根據(jù)這樣的罩部件150A，能夠減小罩部件150A與IC設(shè)備90抵接的面積。因此，例如即使伴隨著托盤輸送機(jī)構(gòu)115A的移動(dòng)而產(chǎn)生振動(dòng)，也能夠抑制該振動(dòng)經(jīng)由罩部件150A傳遞至IC設(shè)備90。

第六實(shí)施方式

圖37是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第六實(shí)施方式)的托盤輸送機(jī)構(gòu)(輸送部)的剖視圖。

以下參照該圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第六實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式除了罩部件的結(jié)構(gòu)不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第四實(shí)施方式相同。

如圖37所示，在檢查裝置1001B的托盤輸送機(jī)構(gòu)115B中，設(shè)置于輸送機(jī)構(gòu)主體130B的罩部件150B具有在下表面突出的多個(gè)突起(突出部)153。該突起153如圖37所示，設(shè)置于在托盤輸送機(jī)構(gòu)115B把持有托盤200的狀態(tài)下與IC設(shè)備90抵接的位置。另外，突起153從Z方向觀察時(shí)的面積比IC設(shè)備90小。

根據(jù)這樣的罩部件150B，能夠使罩部件150B與IC設(shè)備90抵接的面積比第四實(shí)施方式小。因此，例如即使伴隨著托盤輸送機(jī)構(gòu)115B的移動(dòng)而產(chǎn)生振動(dòng)，也能夠抑制該振動(dòng)經(jīng)由罩部件150B傳遞至IC設(shè)備90。并且，突起153能夠按壓IC設(shè)備90，所以能夠更穩(wěn)定地輸送IC設(shè)備90。

第七實(shí)施方式

圖38是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第七實(shí)施方式)的上游側(cè)定位部以及下游側(cè)定位部的圖。

以下參照該圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第七實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式除了壁部的結(jié)構(gòu)不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第四實(shí)施方式相同。

如圖38所示，在檢查裝置1001C中，在壁部103的+X側(cè)的邊緣部設(shè)置有相對(duì)于Z軸傾斜的傾斜面(引導(dǎo)部)103a。在壁部104的-X側(cè)的邊緣部設(shè)置有相對(duì)于Z軸傾斜的傾斜面(引導(dǎo)部)104a。在壁部105的+X側(cè)的邊緣部設(shè)置有相對(duì)于Z軸傾斜的傾斜面(引導(dǎo)部)105a。在壁部106的-X側(cè)的邊緣部設(shè)置有相對(duì)于Z軸傾斜的傾斜面(引導(dǎo)部)106a。

這樣使壁部103～106成為錐狀，由此具有如下優(yōu)點(diǎn)。如圖38中的雙點(diǎn)劃線所示，在第一位置P11配置托盤200時(shí)，即使托盤200的位置朝-X側(cè)偏離，托盤200的-X側(cè)的端部與傾斜面103a抵接，如圖中箭頭所示，托盤200也會(huì)被傾斜面103a引導(dǎo)而配置于第一位置P11。

這樣，根據(jù)檢查裝置1001C，即使第一位置P11與托盤200的定位稍微偏離，也能夠?qū)⑼斜P200配置于第一位置P11。因此，能夠更正確地將托盤200配置于第一位置P11。

此外，不限定于圖示那樣的情況，例如，在壁部104的傾斜面104a與IC設(shè)備90接觸的情況下也能夠得到與上述相同的效果。另外，即使在第二位置P12配置托盤200的情況下，傾斜面105a、106a也能夠發(fā)揮與上述相同的功能。

第八實(shí)施方式

圖39是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第八實(shí)施方式的簡(jiǎn)要立體圖。圖40是表示圖39所示的電子部件檢查裝置的通常的動(dòng)作狀態(tài)(通常輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖41～圖48分別是按順序表示圖39所示的電子部件檢查裝置的重測(cè)動(dòng)作狀態(tài)(再次檢查輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。圖49以及圖50分別是表示圖39所示的電子部件檢查裝置所具備的設(shè)備輸送頭的動(dòng)作狀態(tài)的圖。

以下，參照上述圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第八實(shí)施方式，對(duì)與上述實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)、事項(xiàng)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略其說(shuō)明。

圖39、圖40所示的檢查裝置2001能夠以各種輸送模式輸送IC設(shè)備90。在本實(shí)施方式中，輸送模式有如圖40所示輸送未檢查的IC設(shè)備90的通常輸送模式、如圖41～圖48所示輸送應(yīng)再次檢查的IC設(shè)備90的再次檢查輸送模式。

如圖40所示，檢查裝置2001分為托盤供給區(qū)域A1、設(shè)備供給區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“供給區(qū)域”)A2、檢查區(qū)域A3、設(shè)備回收區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱為“回收區(qū)域”)A4、托盤除去區(qū)域A5。而且，例如在通常輸送模式下，IC設(shè)備90從托盤供給區(qū)域A1到托盤除去區(qū)域A5依次經(jīng)由上述各區(qū)域，在中途的檢查區(qū)域A3進(jìn)行檢查。

這樣，檢查裝置2001具備在各區(qū)域輸送IC設(shè)備90的電子部件輸送裝置(自動(dòng)分揀機(jī))、在檢查區(qū)域A3內(nèi)進(jìn)行檢查的檢查部16、控制部2800。而且，檢查裝置2001具備監(jiān)視器300、信號(hào)燈400、操作面板2700。

此外，檢查裝置2001中，將配置有托盤供給區(qū)域A1、托盤除去區(qū)域A5的一方(圖40中的下側(cè))作為正面?zhèn)龋瑢⑵湎喾吹囊粋?cè)，即配置有檢查區(qū)域A3的一方(圖40中的上側(cè))作為背面?zhèn)葋?lái)使用。

托盤供給區(qū)域A1是被供給排列有未檢查狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤(載置部件)200的供材部。能夠在托盤供給區(qū)域A1層疊多個(gè)托盤200。

供給區(qū)域A2是配置于來(lái)自托盤供給區(qū)域A1的托盤200上的多個(gè)IC設(shè)備90分別被供給到檢查區(qū)域A3的區(qū)域。此外，以跨越托盤供給區(qū)域A1和供給區(qū)域A2的方式，設(shè)置有沿水平方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11b。托盤輸送機(jī)構(gòu)11a是能夠使托盤200與載置于該托盤200的IC設(shè)備90一起朝Y方向的正側(cè)移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，能夠?qū)C設(shè)備90穩(wěn)定送入供給區(qū)域A2。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)11b是能夠使空的托盤200朝Y方向的負(fù)側(cè)即從供給區(qū)域A2向托盤供給區(qū)域A1移動(dòng)的移動(dòng)部。

在供給區(qū)域A2設(shè)置有溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、托盤輸送機(jī)構(gòu)215。

溫度調(diào)整部12是能夠統(tǒng)一冷卻、加熱多個(gè)IC設(shè)備90的部件，也被稱為“均溫板”。利用該均溫板，預(yù)先冷卻或加熱在檢查部16檢查前的IC設(shè)備90，能夠調(diào)整為適合該檢查的溫度。在圖40所示的結(jié)構(gòu)中，溫度調(diào)整部12沿Y方向配置、固定有2個(gè)。而且，被托盤輸送機(jī)構(gòu)11a從托盤供給區(qū)域A1搬入(輸送來(lái))的托盤200上的IC設(shè)備90被輸送到某一溫度調(diào)整部12。

設(shè)備輸送頭13被支承為在供給區(qū)域A2內(nèi)能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭13能夠負(fù)責(zé)從托盤供給區(qū)域A1搬入的托盤200與溫度調(diào)整部12之間的IC設(shè)備90的輸送、溫度調(diào)整部12與后述的設(shè)備供給部214之間的IC設(shè)備90的輸送。

托盤輸送機(jī)構(gòu)215是使全部的IC設(shè)備90被除去的狀態(tài)的空的托盤200在供給區(qū)域A2內(nèi)朝X方向的正側(cè)輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)11b從供給區(qū)域A2返回托盤供給區(qū)域A1。

檢查區(qū)域A3是檢查IC設(shè)備90的區(qū)域。在該檢查區(qū)域A3設(shè)置有檢查部16和設(shè)備輸送頭17。另外，還設(shè)置有以跨越供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3的方式移動(dòng)的設(shè)備供給部214、和以跨越檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4的方式移動(dòng)的設(shè)備回收部218。

設(shè)備供給部214配置溫度被調(diào)整的IC設(shè)備90，被支承為能夠在供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間沿X方向移動(dòng)。由此，設(shè)備供給部214能夠相對(duì)于檢查部16接近、分離，從而能夠?qū)C設(shè)備90輸送到檢查部16附近。這樣，設(shè)備供給部214成為沿X方向輸送IC設(shè)備90的輸送部(第一輸送部)，也被稱為“供給用穿梭板”。另外，在圖40所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備供給部214沿Y方向配置有2個(gè)。而且，溫度調(diào)整部12上的IC設(shè)備90被輸送到在供給區(qū)域A2內(nèi)待機(jī)的某一個(gè)設(shè)備供給部214。這樣，設(shè)置兩個(gè)設(shè)備供給部214，由此能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率(每單位時(shí)間的IC設(shè)備90的輸送個(gè)數(shù))的提高。此外，在設(shè)備供給部214中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

檢查部16是檢查、試驗(yàn)IC設(shè)備90的電特性的單元。在檢查部16設(shè)置有多個(gè)以保持IC設(shè)備90的狀態(tài)與該IC設(shè)備90的端子電連接的探針。而且，IC設(shè)備90的端子與探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。根據(jù)在與檢查部16連接的測(cè)試器所具備的檢查控制部中存儲(chǔ)的程序進(jìn)行IC設(shè)備90的檢查。此外，在檢查部16中，與溫度調(diào)整部12相同，能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備輸送頭17被支承為在檢查區(qū)域A3內(nèi)能夠沿Y方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭17能夠?qū)墓┙o區(qū)域A2搬入的設(shè)備供給部214上的IC設(shè)備90輸送、載置于檢查部16上。此外，設(shè)備輸送頭17也能夠冷卻或者加熱IC設(shè)備90，將該IC設(shè)備90調(diào)整為適合檢查的溫度。

設(shè)備回收部218配置在檢查部16的檢查結(jié)束的IC設(shè)備90，被支承為能夠在檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間沿X方向移動(dòng)。由此，設(shè)備回收部218能夠相對(duì)于檢查部16接近、分離，從而能夠?qū)?lái)自檢查部16的IC設(shè)備90輸送到回收區(qū)域A4。這樣，設(shè)備回收部218作為沿X方向輸送IC設(shè)備90的輸送部(第二輸送部)，也被稱為“回收用穿梭板”。另外，在圖40所示的結(jié)構(gòu)中，設(shè)備回收部218與設(shè)備供給部214相同，沿Y方向配置有2個(gè)。而且，檢查部16上的IC設(shè)備90被輸送、載置于在檢查區(qū)域A3內(nèi)待機(jī)的某一個(gè)設(shè)備回收部218。該輸送由設(shè)備輸送頭17進(jìn)行。此外，設(shè)備回收部218也可以與溫度調(diào)整部12、設(shè)備供給部214相同，能夠調(diào)整IC設(shè)備90的溫度而構(gòu)成。另外，設(shè)置兩個(gè)設(shè)備回收部218，由此能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率的提高。

回收區(qū)域A4是回收檢查結(jié)束的多個(gè)IC設(shè)備90的區(qū)域。在該回收區(qū)域A4設(shè)置有回收用托盤219、設(shè)備輸送頭(輸送機(jī)器人)20、托盤輸送機(jī)構(gòu)221。另外，在回收區(qū)域A4，通常輸送模式下也準(zhǔn)備空的托盤200。

回收用托盤219是載置在檢查部16至少進(jìn)行了1次檢查的IC設(shè)備90的載置部，以在回收區(qū)域A4內(nèi)不移動(dòng)的方式固定。由此，即使在配置有比較多的設(shè)備輸送頭220等各種可動(dòng)部的回收區(qū)域A4，也能在回收用托盤219上穩(wěn)定載置檢查完畢的IC設(shè)備90。此外，在圖40所示的結(jié)構(gòu)中，回收用托盤219沿X方向配置有3個(gè)。

另外，空的托盤200沿X方向也配置有3個(gè)。該空的托盤200在通常輸送模式下成為載置在檢查部16至少進(jìn)行了1次檢查的IC設(shè)備90的載置部。而且，移動(dòng)到回收區(qū)域A4的設(shè)備回收部218上的IC設(shè)備90被輸送、載置至回收用托盤219以及空的托盤200中的某一個(gè)。由此，IC設(shè)備90按照檢查結(jié)果被分類、回收。

設(shè)備輸送頭220被支承為在回收區(qū)域A4內(nèi)能夠沿X方向、Y方向以及Z方向移動(dòng)。由此，設(shè)備輸送頭220例如能夠在通常輸送模式下將IC設(shè)備90從設(shè)備回收部218輸送至回收用托盤219、空的托盤200。

如圖49、圖50所示，設(shè)備輸送頭220具有多個(gè)吸附部210，上述吸附部210與噴射器(未圖示)連接并通過(guò)該噴射器的動(dòng)作一個(gè)個(gè)地吸附IC設(shè)備90。由此，能夠統(tǒng)一把持并輸送多個(gè)IC設(shè)備90。另外，設(shè)備輸送頭220以各吸附部210彼此沿X方向以及Y方向接近、分離的方式構(gòu)成。由此，能夠改變和調(diào)整被各吸附部210吸附的IC設(shè)備90彼此的間隔。能夠進(jìn)行這樣的調(diào)整，由此即使在輸送源(例如設(shè)備回收部218)的各IC設(shè)備90的間隔、與輸送目的地(例如回收用托盤219)的各IC設(shè)備90的間隔不同的情況下，也能迅速并且順利地將IC設(shè)備90從輸送源輸送至輸送目的地。

此外，優(yōu)選為設(shè)備輸送頭13、設(shè)備輸送頭17也與設(shè)備輸送頭220相同，能夠改變、調(diào)整把持的IC設(shè)備90彼此的間隔而構(gòu)成。

托盤輸送機(jī)構(gòu)221是在通常輸送模式下使從托盤除去區(qū)域A5搬入的空的托盤200在回收區(qū)域A4內(nèi)沿X方向輸送的機(jī)構(gòu)。而且，在該輸送后，空的托盤200配置于回收IC設(shè)備90的位置，即成為上述3個(gè)空的托盤200中的某一個(gè)。這樣在檢查裝置2001中，在回收區(qū)域A4設(shè)置托盤輸送機(jī)構(gòu)221，此外在供給區(qū)域A2設(shè)置托盤輸送機(jī)構(gòu)215。由此，例如與利用一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行空的托盤200的X方向的輸送相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)率的提高。

托盤除去區(qū)域A5是在通常輸送模式下回收、除去排列有檢查完畢狀態(tài)的多個(gè)IC設(shè)備90的托盤200的除材部。能夠在托盤除去區(qū)域A5層疊多個(gè)托盤200。

另外，以跨越回收區(qū)域A4和托盤除去區(qū)域A5的方式，設(shè)置有沿Y方向一張張地輸送托盤200的托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22b。托盤輸送機(jī)構(gòu)22a是能夠使托盤200沿Y方向移動(dòng)的移動(dòng)部。由此，例如在通常輸送模式下，能夠?qū)z查完畢的IC設(shè)備90從回收區(qū)域A4輸送至托盤除去區(qū)域A5。另外，托盤輸送機(jī)構(gòu)22b是能夠在通常輸送模式下使用于回收IC設(shè)備90的空的托盤200從托盤除去區(qū)域A5移動(dòng)至回收區(qū)域A4的移動(dòng)部。

控制部2800例如具有驅(qū)動(dòng)控制部。驅(qū)動(dòng)控制部例如控制托盤輸送機(jī)構(gòu)11A、11b、溫度調(diào)整部12、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備供給部214、托盤輸送機(jī)構(gòu)215、檢查部16、設(shè)備輸送頭17、設(shè)備回收部218、設(shè)備輸送頭220、托盤輸送機(jī)構(gòu)221、托盤輸送機(jī)構(gòu)22A、22b的各部分的驅(qū)動(dòng)。

此外，上述測(cè)試器的檢查控制部例如根據(jù)在未圖示的存儲(chǔ)器內(nèi)中存儲(chǔ)的程序，進(jìn)行配置于檢查部16的IC設(shè)備90的電特性的檢查等。

操作人員能夠經(jīng)由監(jiān)視器300，設(shè)定、確認(rèn)檢查裝置2001的動(dòng)作條件等。該監(jiān)視器300具有例如由液晶畫面構(gòu)成的顯示畫面(顯示部)301，并配置于檢查裝置2001的正面?zhèn)壬喜?。如圖39所示，在托盤除去區(qū)域A5的圖中的右側(cè)設(shè)置有載置鼠標(biāo)的鼠標(biāo)臺(tái)600，該鼠標(biāo)在操作顯示于監(jiān)視器300的畫面時(shí)使用。

另外，在相對(duì)于監(jiān)視器300靠圖39中的右下方配置有操作面板2700。操作面板2700相對(duì)于監(jiān)視器300單獨(dú)地對(duì)檢查裝置2001發(fā)出所希望的動(dòng)作的命令。

另外，信號(hào)燈400能夠通過(guò)發(fā)光的顏色的組合，報(bào)告檢查裝置2001的動(dòng)作狀態(tài)等。信號(hào)燈400配置于檢查裝置2001的上部。此外，在檢查裝置2001內(nèi)置有揚(yáng)聲器500，利用該揚(yáng)聲器500也能夠報(bào)告檢查裝置2001的動(dòng)作狀態(tài)等。

如圖40所示，檢查裝置2001中，托盤供給區(qū)域A1與供給區(qū)域A2之間第一隔壁61被劃分(分隔)，供給區(qū)域A2與檢查區(qū)域A3之間被第二隔壁62劃分，檢查區(qū)域A3與回收區(qū)域A4之間被第三隔壁63劃分，回收區(qū)域A4與托盤除去區(qū)域A5之間被第四隔壁64劃分。另外，供給區(qū)域A2與回收區(qū)域A4之間被第五隔壁65劃分。上述隔壁具有保持各區(qū)域的氣密性的功能。并且，檢查裝置2001的最外表由罩覆蓋，該罩例如包括前罩70、側(cè)罩71、側(cè)罩72、后罩73、頂罩74。

如上所述，檢查裝置2001是能夠分別進(jìn)行通常輸送模式下的IC設(shè)備90的輸送(參照?qǐng)D40)、和再次檢查輸送模式下的IC設(shè)備90的輸送(參照?qǐng)D41～圖48)的裝置。

通常輸送模式是輸送未檢查的IC設(shè)備90并根據(jù)檢查部16的檢查結(jié)果分類的模式。

如圖40所示，在通常輸送模式下，首先IC設(shè)備90在托盤200上被配置于托盤供給區(qū)域A1。然后，IC設(shè)備90從該狀態(tài)開始通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)11a的動(dòng)作與托盤200一起被輸送至供給區(qū)域A2內(nèi)。

在供給區(qū)域A2內(nèi)，IC設(shè)備90通過(guò)設(shè)備輸送頭13的動(dòng)作，經(jīng)由溫度調(diào)整部12，被輸送到設(shè)備供給部214。

接下來(lái)，設(shè)備供給部214上的IC設(shè)備90通過(guò)該設(shè)備供給部214的動(dòng)作被輸送至檢查區(qū)域A3內(nèi)。

在檢查區(qū)域A3內(nèi)，IC設(shè)備90通過(guò)設(shè)備輸送頭17的動(dòng)作被載置于檢查部16，在該檢查部16進(jìn)行檢查。而且，在檢查結(jié)束后，IC設(shè)備90通過(guò)設(shè)備輸送頭17的動(dòng)作，被輸送至位于檢查區(qū)域A3內(nèi)的設(shè)備回收部218。

接下來(lái)，設(shè)備回收部218上的IC設(shè)備90通過(guò)該設(shè)備回收部218的動(dòng)作被輸送至回收區(qū)域A4內(nèi)。

在回收區(qū)域A4內(nèi)，IC設(shè)備90根據(jù)檢查部16的檢查結(jié)果，并通過(guò)設(shè)備輸送頭220的動(dòng)作，被輸送至3個(gè)回收用托盤219以及3個(gè)空的托盤200的某一方的托盤。由此，對(duì)一個(gè)IC設(shè)備90的通常輸送模式結(jié)束。此外，在圖40所示的結(jié)構(gòu)中，IC設(shè)備90被輸送、載置于3個(gè)回收用托盤219中的最右側(cè)的回收用托盤219。

這樣，在檢查裝置2001中，IC設(shè)備90按照檢查部16的檢查結(jié)果在回收區(qū)域A4被分類。而且，該分類例如包括“檢查結(jié)果合格”、“檢查結(jié)果不合格”、“需再次檢查”。在本實(shí)施方式中，圖41～圖48中的3個(gè)空的托盤200中的左側(cè)兩個(gè)托盤200被分配為“檢查結(jié)果合格”用的托盤200a，右側(cè)一個(gè)托盤被分配為“檢查結(jié)果不合格”用的托盤200b。另外，3個(gè)回收用托盤219都被分配為“需再次檢查”用的回收用托盤219。作為需要再次檢查(重測(cè))的理由例如可舉出因檢查時(shí)的檢查部16與IC設(shè)備90的端子彼此的接觸不良而無(wú)法判斷檢查結(jié)果是“合格”還是“不合格”。

接下來(lái)，參照?qǐng)D41～圖48來(lái)說(shuō)明再次檢查輸送模式。

再次檢查輸送模式是輸送在通常輸送模式2檢查暫時(shí)結(jié)束但該檢查結(jié)束的IC設(shè)備90中應(yīng)再次檢查的IC設(shè)備90(以下稱為“IC設(shè)備90a”)并根據(jù)檢查部16的再次檢查結(jié)果分類的模式。例如在監(jiān)視器300上選擇再次檢查輸送模式，由此從通常輸送模式自動(dòng)地切換為再次檢查輸送模式，從而能夠進(jìn)行IC設(shè)備90a的再次檢查。

圖41表示對(duì)一批量的IC設(shè)備90的通常輸送模式結(jié)束的狀態(tài)。在圖41中，在左側(cè)的托盤200a載置有多個(gè)IC設(shè)備90，但仍處于能夠載置IC設(shè)備90的空閑狀態(tài)。另外，最右側(cè)的回收用托盤219成為載置有IC設(shè)備90a的狀態(tài)。

從圖41所示的狀態(tài)開始使設(shè)備輸送頭220動(dòng)作，由此如圖42所示，IC設(shè)備90a從回收用托盤219，向位于回收區(qū)域A4內(nèi)的兩個(gè)設(shè)備回收部218中的一方(圖42中的上側(cè))的設(shè)備回收部218輸送。以下將上述一方的設(shè)備回收部218稱為“設(shè)備回收部218a”，將剩余的另一方(圖42中的下側(cè))的設(shè)備回收部218稱為“設(shè)備回收部218b”。

接下來(lái)，如圖43所示，設(shè)備回收部218a在配置有IC設(shè)備90a的狀態(tài)下，向檢查區(qū)域A3移動(dòng)并停止。由此，IC設(shè)備90a被輸送到檢查部16附近。

而且，使設(shè)備輸送頭17動(dòng)作，由此如圖44所示，IC設(shè)備90a被輸送、載置于檢查部16。由此，進(jìn)行對(duì)IC設(shè)備90a的再次檢查。

再次檢查結(jié)束后使設(shè)備輸送頭17動(dòng)作，由此如圖45所示，IC設(shè)備90a被輸送至在檢查區(qū)域A3內(nèi)停止的設(shè)備回收部218a。

接下來(lái)，如圖46所示，設(shè)備回收部218a在配置有IC設(shè)備90a的狀態(tài)下，遠(yuǎn)離檢查區(qū)域A3而向回收區(qū)域A4移動(dòng)并停止。另外，在IC設(shè)備90a的檢查結(jié)果例如被判斷為“合格”的情況下，如圖46所示，圖中的左側(cè)的托盤200a通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)22a的動(dòng)作，從托盤除去區(qū)域A5移動(dòng)至回收區(qū)域A4。

接下來(lái)，使設(shè)備輸送頭220動(dòng)作，由此如圖47所示，IC設(shè)備90a從設(shè)備回收部218a，向移動(dòng)到回收區(qū)域A4內(nèi)的托盤200a輸送。由此，IC設(shè)備90a被分類為“檢查結(jié)果合格”的IC設(shè)備90。

接下來(lái)，如圖48所示，載置有IC設(shè)備90a的托盤200a通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)22a的動(dòng)作，從回收區(qū)域A4移動(dòng)至托盤除去區(qū)域A5。由此，對(duì)IC設(shè)備90a的再次檢查輸送模式結(jié)束。

另外，如上述那樣，設(shè)備供給部214和設(shè)備回收部218中，朝向檢查區(qū)域A3并且輸送IC設(shè)備90的方向是相互相反的方向(參照?qǐng)D40、圖43)。另外，遠(yuǎn)離檢查區(qū)域A3的方向也是相互相反的方向。由此，例如在檢查部16進(jìn)行檢查時(shí)，能夠使IC設(shè)備90從相互相反的方向進(jìn)入。因此，操作人員辨認(rèn)IC設(shè)備90朝向檢查區(qū)域A3的方向，從而能夠確認(rèn)檢查裝置2001當(dāng)前是在通常輸送模式下的動(dòng)作中或者在再次檢查輸送模式下的動(dòng)作中。

這樣在檢查裝置2001中，能夠適當(dāng)?shù)馗淖僆C設(shè)備90的輸送方向而構(gòu)成，由此，除了通常輸送模式之外，還能夠進(jìn)行再次檢查輸送模式。

此外，在本實(shí)施方式的再次檢查輸送模式下，如上所述回收用托盤219被分配為“需再次檢查”用，但并不局限于此，例如，3個(gè)空的托盤200中的一個(gè)托盤200也可以被分配為“需再次檢查”用。

第九實(shí)施方式

圖51以及圖52分別是按順序表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第九實(shí)施方式)的與圖40不同的動(dòng)作狀態(tài)(并行輸送模式)的簡(jiǎn)要俯視圖。

以下參照上述圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第九實(shí)施方式，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來(lái)說(shuō)明，省略相同事項(xiàng)的說(shuō)明。

本實(shí)施方式除了對(duì)IC設(shè)備的輸送模式不同以外，其它結(jié)構(gòu)與上述第八實(shí)施方式相同。

在本實(shí)施方式中，檢查裝置2001A構(gòu)成為使并行輸送模式成為可能。如圖51、圖52所示，并行輸送模式是從托盤供給區(qū)域A1開始未檢查的IC設(shè)備90(以下稱為“IC設(shè)備90b”)的供給，將該IC設(shè)備90b向檢查部16輸送，并且還從托盤除去區(qū)域A5開始未檢查的IC設(shè)備90(以下稱為“IC設(shè)備90c”)的供給，將該IC設(shè)備90c向檢查部16輸送的模式。而且，IC設(shè)備90b和IC設(shè)備90c都是根據(jù)檢查部16的檢查結(jié)果被分類至規(guī)定位置。此外，在本實(shí)施方式中，分類目的地是回收用托盤219中的某一個(gè)回收用托盤219。

這樣的并行輸送模式在針對(duì)IC設(shè)備90b的檢查、與針對(duì)IC設(shè)備90c的檢查不同的情況下有效。例如，可以將針對(duì)IC設(shè)備90c的檢查設(shè)為所謂的“常溫檢查(常溫試驗(yàn))”，將針對(duì)IC設(shè)備90b的檢查設(shè)為所謂的“高溫檢查(高溫試驗(yàn))”或者“低溫檢查(低溫試驗(yàn))”。以下參照?qǐng)D51、圖52來(lái)說(shuō)明在這種情況下應(yīng)用的并行輸送模式。

在該并行輸送模式下，設(shè)備回收部218a以及設(shè)備回收部218b中，將設(shè)備回收部218a用于IC設(shè)備90b的輸送，將設(shè)備回收部218b用于IC設(shè)備90c的輸送。

另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)備回收部218a以及設(shè)備回收部218b中，至少設(shè)備回收部218b與設(shè)備供給部214相同，能夠調(diào)整IC設(shè)備90c的溫度。由此，利用設(shè)備回收部218b能夠?qū)C設(shè)備90c調(diào)整為適合檢查的溫度。

如圖51所示，IC設(shè)備90b與通常輸送模式(參照?qǐng)D40)相同，從托盤供給區(qū)域A1被輸送到回收區(qū)域A4。而且，在回收區(qū)域A4內(nèi)，IC設(shè)備90b通過(guò)設(shè)備輸送頭220的動(dòng)作，被輸送、載置于3個(gè)回收用托盤219中的圖51中的最右側(cè)的回收用托盤219。

另一方面，在托盤除去區(qū)域A5內(nèi)載置于托盤200上的IC設(shè)備90c通過(guò)托盤輸送機(jī)構(gòu)22a的動(dòng)作，與托盤200一起被輸送至回收區(qū)域A4內(nèi)。然后，通過(guò)設(shè)備輸送頭220的動(dòng)作，IC設(shè)備90c在回收區(qū)域A4內(nèi)被輸送到設(shè)備回收部218b。接下來(lái)，設(shè)備回收部218b上的IC設(shè)備90c通過(guò)該設(shè)備回收部218b的動(dòng)作被輸送至檢查區(qū)域A3內(nèi)。此外，IC設(shè)備90c在設(shè)備回收部218b上被調(diào)整溫度。而且，在檢查區(qū)域A3內(nèi)，IC設(shè)備90c通過(guò)設(shè)備輸送頭17的動(dòng)作被載置于檢查部16，在該檢查部16進(jìn)行檢查。

在檢查結(jié)束后，如圖52所示，IC設(shè)備90c通過(guò)設(shè)備輸送頭17的動(dòng)作，被輸送至位于檢查區(qū)域A3內(nèi)的設(shè)備回收部218b。接下來(lái)，設(shè)備回收部218b上的IC設(shè)備90c通過(guò)該設(shè)備回收部218b的動(dòng)作被再次輸送至回收區(qū)域A4內(nèi)。在回收區(qū)域A4內(nèi)，IC設(shè)備90c根據(jù)檢查部16的檢查結(jié)果，并通過(guò)設(shè)備輸送頭220的動(dòng)作，被輸送、載置于圖52中的最右側(cè)的回收用托盤219。

通過(guò)以上那樣的檢查裝置2001A內(nèi)的動(dòng)作，并行輸送模式結(jié)束。

在這樣本實(shí)施方式中，檢查裝置2001A也能夠適當(dāng)?shù)馗淖僆C設(shè)備90的輸送方向，從而能夠進(jìn)行并行輸送模式。而且，通過(guò)該并行輸送模式，能夠?qū)?yīng)于檢查裝置2001A的使用者處理的IC設(shè)備90的種類等即需求，利用一個(gè)檢查裝置2001A并行進(jìn)行不同條件的檢查。

另外，在并行輸送模式下，由于各種條件不同，設(shè)備供給部214和設(shè)備回收部218朝向檢查區(qū)域A3的時(shí)刻相互相同或不同。各種條件例如可舉出IC設(shè)備90b、IC設(shè)備90c的種類、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備輸送頭220的動(dòng)作速度的大小、設(shè)備輸送頭13、設(shè)備輸送頭220的移動(dòng)距離的大小、設(shè)備供給部214、設(shè)備回收部218的動(dòng)作速度的大小等。

在設(shè)備供給部214與設(shè)備回收部218在相同的時(shí)刻朝向檢查區(qū)域A3的情況下，可以在檢查部16同時(shí)進(jìn)行針對(duì)IC設(shè)備90b的檢查、和針對(duì)IC設(shè)備90c的檢查。

另外，在設(shè)備供給部214與設(shè)備回收部218在不同的時(shí)刻朝向檢查區(qū)域A3的情況下，可以在檢查部16載置并檢查盡可能多的IC設(shè)備90b，在該檢查的前后，可以在檢查部16載置并檢查盡可能多的IC設(shè)備90c。

此外，在本實(shí)施方式的并行輸送模式下，如上所述回收用托盤219作為檢查后的IC設(shè)備90的分類目的地，但并不局限于此，例如，也可以將在回收區(qū)域A4內(nèi)沿X方向配置的上述3個(gè)托盤200中的圖51、圖52中的最右側(cè)的托盤200作為檢查后的IC設(shè)備90的分類目的地。

以上針對(duì)圖示的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置，但本發(fā)明不限定于此，構(gòu)成電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的各部分可以置換為能夠發(fā)揮相同功能的任意結(jié)構(gòu)。另外，也可以附加任意結(jié)構(gòu)物。

另外，本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置也可以組合上述各實(shí)施方式中的任意2種以上的結(jié)構(gòu)(特征)。

另外，在上述第四～第七實(shí)施方式中，兩個(gè)卡合部分別與載置部件的長(zhǎng)邊卡合，但本發(fā)明并不局限于此，例如也可以分別與短邊卡合。

另外，在上述第四～第七實(shí)施方式中，卡合部設(shè)置2個(gè)，但本發(fā)明并不局限于此，也可以設(shè)置3個(gè)以上。另外，例如在卡合部設(shè)置有4個(gè)的情況下，優(yōu)選為各卡合部分別與載置部件的兩個(gè)長(zhǎng)邊以及兩個(gè)短邊卡合。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1…檢查裝置(電子部件檢查裝置)，11A…托盤輸送機(jī)構(gòu)，11B…托盤輸送機(jī)構(gòu)，12…溫度調(diào)整部，13…設(shè)備輸送頭，14…設(shè)備供給部，15…托盤輸送機(jī)構(gòu)(載置部件輸送機(jī)器人)，16…檢查部，17…設(shè)備輸送頭，18…設(shè)備回收部，19…回收用托盤，20…設(shè)備輸送頭，22A…托盤輸送機(jī)構(gòu)，22B…托盤輸送機(jī)構(gòu)，23…輸送部，3…第一設(shè)定畫面，31…第一菜單組，311…按鈕，312…按鈕，313…按鈕，314…按鈕，315…按鈕，316…按鈕，317…按鈕，32…第二菜單組，321…按鈕，322…按鈕，323…按鈕，324…按鈕，325…按鈕，326…按鈕，327…按鈕，328…按鈕，329…按鈕，3210…按鈕，3211…按鈕，4…第二設(shè)定畫面，41…第一菜單組，411…箭頭圖，412…托盤配置圖，413…箭頭圖，42…第二菜單組，421…復(fù)選框，422…復(fù)選框，423…復(fù)選框，43…第三菜單組，431…復(fù)選框，432…復(fù)選框，433…復(fù)選框，434…復(fù)選框，44…第四菜單組，441…復(fù)選框，442…復(fù)選框，443…復(fù)選框，45…第五菜單組，451…復(fù)選框，452…復(fù)選框，46…第六菜單組，471…按鈕，472…按鈕，473…按鈕，474…按鈕，475…按鈕，476…按鈕，5…第三設(shè)定畫面，51…第一報(bào)告部，511…錯(cuò)誤編碼顯示部，512…單元顯示部，513…消息顯示部，52…第二報(bào)告部，521…單元名顯示部，522…原因顯示部，53…布局圖，61…第一隔壁，62…第二隔壁，63…第三隔壁，64…第四隔壁，70…前罩，71…側(cè)罩，72…側(cè)罩，73…后罩，74…頂罩，90…IC設(shè)備，200…托盤(載置部件)，200A…托盤(載置部件)，200B…托盤(載置部件)，200C…托盤(載置部件)，300…監(jiān)視器，301…顯示畫面(顯示部)，400…信號(hào)燈，500…揚(yáng)聲器，600…鼠標(biāo)臺(tái)，700…操作面板，701…按鈕，702…按鈕，703…按鈕，704…按鈕，705…按鈕，706…按鈕，707…按鈕，708…按鈕，709…按鈕，710…按鈕，711…按鈕，712…按鈕，713…按鈕，714…按鈕，800…控制部，A1…托盤供給區(qū)域，A2…設(shè)備供給區(qū)域(供給區(qū)域)，A3…檢查區(qū)域，A4…設(shè)備回收區(qū)域(回收區(qū)域)，A5…托盤除去區(qū)域，P1…第一位置，P2…第二位置。