本發(fā)明涉及電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

背景技術：

以往，例如已知有檢查IC器件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置組裝有用于將IC器件輸送至作為檢查部的插座的電子部件輸送裝置。在專利文獻1所記載的電子部件檢查裝置中具備在水平方向上將IC器件輸送至插座附近的托盤、以及將IC器件從托盤轉(zhuǎn)移至插座的吸附臂，托盤和吸附臂作為電子部件輸送裝置發(fā)揮作用。

在該專利文獻1所記載的電子部件檢查裝置中，為了在吸附臂從托盤吸附IC器件時進行吸附臂與托盤的定位而采用相互嵌合的嵌合結構。同樣，為了在吸附臂將IC器件釋放至插座時進行吸附臂與插座的定位而采用相互嵌合的嵌合結構。

專利文獻1：日本特開平10－160797號公報

然而，在專利文獻1所記載的電子部件檢查裝置中，對于定位，僅進行吸附臂與托盤的定位、以及吸附臂與插座的定位，不進行托盤與IC器件的定位、吸附臂與IC器件的定位、插座與IC器件的定位。因此，例如在托盤上的IC器件從設計上的正確的位置處于不正確的位置(偏移了的狀態(tài))的情況下，被保持該不正確的狀態(tài)地移載至插座。其結果，不能夠進行由插座的正確的檢查。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠容易地進行由電子部件保持部的對電子部件的定位的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置。

通過下述的本發(fā)明來實現(xiàn)這樣的目的。

(應用例一)

本發(fā)明的電子部件輸送裝置的特征在于，具備：電子部件輸送部，其輸送電子部件；電子部件把持部，其把持上述電子部件；以及電子部件保持部，其保持上述電子部件，上述電子部件輸送部具備輸送部定位部，上述電子部件把持部具備與上述輸送部定位部嵌合的把持部定位部，上述電子部件保持部具備與上述把持部定位部嵌合的保持部定位部，在上述電子部件輸送部形成有連接了流體噴射部或者流體吸引部的流路。

由此，首先，能夠通過經(jīng)由流路噴射或者吸引流體來進行由電子部件輸送部的對電子部件的定位，之后，經(jīng)由電子部件把持部將電子部件輸送至電子部件保持部。在該輸送過程中，按順序進行輸送部定位部與把持部定位部的嵌合、以及把持部定位部與保持部定位部的嵌合。由此，容易地將由電子部件輸送部的對電子部件的定位狀態(tài)維持至電子部件保持部。

(應用例二)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，上述輸送部定位部包括第一定位部以及第二定位部，在輸送具有長度A的邊和長度B的邊的矩形形狀的上述電子部件的情況下，通過上述第一定位部的中心和上述第二定位部的中心的直線通過距上述電子部件輸送部的角部(1/2)×A的位置且通過距上述電子部件輸送部的角部(1/2)×B的位置。

由此，在將電子部件從電子部件輸送部輸送至電子部件保持部時，能夠盡量正確地進行最初的電子部件輸送部與電子部件的定位。

(應用例三)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，上述電子部件輸送部具有構成第一角部的第一壁面以及第二壁面，上述第一壁面與上述第二壁面正交，上述流路包括配置于上述第一角部且上述流體流過的第一流路，表示在上述第一流路內(nèi)流動的上述流體的流動的第一向量分別不與上述第一壁面以及上述第二壁面正交。

由此，例如能夠在電子部件的下落中容易地使該電子部件移動至欲定位的位置。

(應用例四)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，上述電子部件輸送部具有構成第二角部的第三壁面以及第四壁面，上述第二角部配置在與上述第一角部對角的位置，上述流路包括配置于上述第二角部且上述流體流過的第二流路，表示在上述第二流路內(nèi)流動的上述流體的流動的第二向量分別不與上述第一壁面以及上述第二壁面正交。

由此，例如能夠在電子部件的下落中容易地使該電子部件移動至欲定位的位置。

(應用例五)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，在上述第一流路連接有吸引上述流體的吸引部，在上述第二流路連接有噴射上述流體的噴射部。

由此，在進行電子部件的定位的情況下，能夠容易地使電子部件移動。

(應用例六)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，上述電子部件保持部在檢查上述電子部件的情況下保持上述電子部件。

由此，能夠穩(wěn)定地檢查電子部件。

(應用例七)

優(yōu)選在本發(fā)明的電子部件輸送裝置中，上述電子部件輸送部保持上述電子部件并將其移動至規(guī)定的地方。

由此，例如能夠盡量縮短電子部件的總輸送定時。

(應用例八)

本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備：電子部件輸送部， 其輸送電子部件；電子部件把持部，其把持上述電子部件；以及電子部件保持部，其保持上述電子部件，上述電子部件保持部具有檢查上述電子部件的作為檢查部的功能，上述電子部件輸送部具備輸送部定位部，上述電子部件把持部具備與上述輸送部定位部嵌合的把持部定位部，上述電子部件保持部具備與上述把持部定位部嵌合的保持部定位部，在上述電子部件輸送部形成有連接了流體噴射部或者流體吸引部的流路。

由此，首先，能夠通過經(jīng)由流路噴射或者吸引流體來進行由電子部件輸送部的對電子部件的定位，之后，經(jīng)由電子部件把持部將電子部件輸送至電子部件保持部。在該輸送過程中，按順序進行輸送部定位部與把持部定位部的嵌合、以及把持部定位部與保持部定位部的嵌合。由此，容易地將由電子部件輸送部的對電子部件的定位狀態(tài)維持至電子部件保持部。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的示意圖。

圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的各部的動作等的圖。

圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的輸送部的水平剖視圖。

圖4是表示在圖1所示的電子部件檢查裝置具備的輸送部定位了電子部件的狀態(tài)的水平剖視圖。

圖5是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至將電子部件定位于輸送部為止的動作的垂直剖視圖。

圖6是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至將電子部件定位于輸送部為止的動作的垂直剖視圖。

圖7是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至將電子部件定位于輸送部為止的動作的垂直剖視圖。

圖8是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件 從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖9是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖10是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖11是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖12是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖13是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。

圖14是表示在圖1所示的電子部件檢查裝置中從輸送未檢查狀態(tài)的電子部件至檢查完成后再次輸送電子部件為止的控制程序的流程圖。

圖15是表示在本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實施方式)中從輸送未檢查狀態(tài)的電子部件至檢查完成后再次輸送電子部件為止的控制程序的流程圖。

圖16是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第三實施方式)具備的輸送部的水平剖視圖。

具體實施方式

以下，基于附圖所示的優(yōu)選的實施方式對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置詳細地進行說明。

(第一實施方式)

圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實施方式的示意圖。圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的各部的動作等的圖。圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置具備的輸送部的水平剖視圖。圖4是表示在圖1所示的電子部件檢查裝置具備的輸送部定位了電子部件 的狀態(tài)的水平剖視圖。圖5～圖7分別是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至將電子部件定位于輸送部為止的動作的垂直剖視圖。圖8～圖13是用于說明在圖1所示的電子部件檢查裝置中直至使電子部件從輸送部移動至保持部為止的動作的立體圖。圖14是表示在圖1所示的電子部件檢查裝置中從輸送未檢查狀態(tài)的電子部件至檢查完成后再次輸送電子部件為止的控制程序的流程圖。

此外，以下為便于說明，如圖1所示，將相互正交的三個軸設為X軸、Y軸以及Z軸。另外，包括X軸和Y軸的XY平面為水平，Z軸為鉛垂。另外，也將與X軸平行的方向稱為“X方向”，將與Y軸平行的方向稱為“Y方向”，將與Z軸平行的方向稱為“Z方向”。另外，也將電子部件的輸送方向的上游側僅稱為“上游側”，將電子部件的輸送方向的下游側僅稱為“下游側”。另外，在本申請說明書中所說的“水平”并不限于完全的水平，只要不阻礙電子部件的輸送，也包括相對于水平稍微(例如小于5°左右)傾斜的狀態(tài)。另外，在圖3～圖7中，在輸送部中省略了與電子部件的端子接觸的探針等的圖示。

圖1所示的檢查裝置(電子部件檢查裝置)1例如是用于檢查、測試(以下僅稱為“檢查”)BGA(Ball Grid Array：球柵陣列)封裝、LGA(Land Grid Array：觸點陣列)封裝等的IC器件、LCD(Liquid Crystal Display：液晶顯示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS圖像傳感器)等電子部件的電特性的裝置。此外，以下為便于說明，代表性地說明作為欲進行檢查的上述電子部件使用IC器件的情況，并將其設為“IC器件9”。而且，以下作為該IC器件9，以BGA封裝為例進行說明。

首先，對IC器件9進行說明。

如圖5～圖7所示，IC器件9為BGA封裝，具有主體部91、以及設置于主體部91的外部的多個端子(電極)92。雖然不對主體部91的形狀進行特別限定，但在本實施方式中呈板狀，另外，從其厚度方向(在IC器件9被配置在梭動件(shuttle)(電子部件輸送部)41上并被保持的狀態(tài)下從Z方向)觀察時呈四邊形(矩形形狀)(參照圖4)。應予說明，在本實施方式中，該四邊形是具有沿X方向的長度A的邊和沿Y方向的長度B的邊的正方形或者長方形。

主體部91的圖5中下側的面是端子配置面93，多個端子92在該端子配置面93配置為格子狀(矩陣狀)。另外，各端子92是半球狀的焊球。此外，各端子92的形狀當然并不限定于半球狀。

接下來，對檢查裝置1進行說明。

如圖1所示，檢查裝置1具備作為分選機(Handler)的輸送裝置(電子部件輸送裝置)10。該輸送裝置10具有圖4所示那樣的進行對IC器件9的定位的定位機構100。

即，檢查裝置1具有供給部2、供給側排列部3、輸送部4、檢查部5、回收側排列部6、回收部7、以及進行這些各部的控制的控制部8。另外，檢查裝置1具有配置供給部2、供給側排列部3、輸送部4、檢查部5、回收側排列部6以及回收部7的基臺(Base)11、和以收納供給側排列部3、輸送部4、檢查部5以及回收側排列部6的方式覆蓋在基臺11上的蓋12。此外，作為基臺11的上表面的基臺面111幾乎水平，并在該基臺面111上配置有供給側排列部3、輸送部4、檢查部5、以及回收側排列部6的結構部件。另外，除此而外，檢查裝置1也可以根據(jù)需要具有用于加熱IC器件9的加熱器、燃燒室等。

這樣的檢查裝置1構成為供給部2向供給側排列部3供給IC器件9，供給側排列部3排列被供給的IC器件9，輸送部4將排列后的IC器件9輸送至檢查部5，檢查部5檢查已輸送的IC器件9，輸送部4將結束了檢查的IC器件9輸送/排列至回收側排列部6，回收部7回收排列至了回收側排列部6的IC器件9。根據(jù)這樣的檢查裝置1，能夠自動地進行IC器件9的供給、檢查、回收。應予說明，在檢查裝置1中，由供給部2、供給側排列部3、輸送部4、檢查部5的一部分、回收側排列部6、回收部7以及控制部8等構成輸送裝置10。輸送裝置10進行IC器件9的輸送、通過定位機構100進行的IC器件9向檢查部5的保持部(電子部件保持部)51的最終的定位等。

以下，對輸送部4、檢查部5以及定位機構100的結構進行說明。

輸送部

如圖2所示，輸送部4是將配置在供給側排列部3的載置工作臺341 上的IC器件9輸送至檢查部5，并將結束了由檢查部5的檢查的IC器件9輸送至回收側排列部6的單元。這樣的輸送部4具有梭動件41、供給機械手(Robot)42、檢查機械手43、以及回收機械手44。

梭動件

梭動件41是用于將載置工作臺341上的IC器件9輸送至檢查部5的附近，并且將由檢查部5進行了檢查的檢查完畢的IC器件9輸送至回收側排列部6的附近的梭動件。在這樣的梭動件41上，在X方向上排列形成有四個用于收納IC器件9的凹槽(Pocket)411。另外，梭動件41被直線運動引導件引導，能夠通過線性馬達等驅(qū)動源在X方向上往復移動。以下，有時將梭動件41與供給機械手42之間進行IC器件9的交換的位置稱為“第一位置”，將梭動件41與檢查機械手43之間進行IC器件9的交換的位置稱為“第二位置”，將梭動件41與回收機械手44之間進行IC器件9的交換的位置稱為“第三位置”。

如圖3、圖4所示，在梭動件41上形成有在X方向上延伸的第一槽451和在Y方向上延伸的第二槽452。形成有一條第一槽451，第一槽451與各凹槽411一并連通。另外，形成有四條第二槽452，第二槽452分別與凹槽411連通。而且，在各槽的兩端配置有照射光的發(fā)光二極管(未圖示)以及接受來自發(fā)光二極管(未圖示)的光的光電二極管。在凹槽411中配置有IC器件9的情況下，光被該IC器件9遮擋而檢測不到由光電二極管的受光。由此，能夠判斷為在凹槽411中配置有IC器件9。另一方面，在凹槽411上未配置有IC器件9的情況下，光被光電二極管接受。由此，能夠判斷為在凹槽411中未配置有IC器件9。此外，在圖2、圖5～圖7中省略了第一槽451、第二槽452。

另外，在凹槽411的底面即下述的保持面47形成有在其大致中央部開口的吸引口453。吸引口453例如與泵等吸引部連接。而且，通過該吸引部的動作，在吸引口453作用吸引力，由此，能夠在凹槽411內(nèi)固定IC器件9。

供給機械手

供給機械手42是將配置在載置工作臺341上的IC器件9輸送至梭 動件41的機械手。這樣的供給機械手42具有被基臺11支承的支承架421、被支承架421支承且能夠相對于支承架421在Y方向上往復移動的移動架422、以及被移動架422支承的四個手部單元(把持機械手)423。各手部單元423具備升降機構以及吸附嘴424，能夠通過吸附來把持IC器件9。各手部單元423相同，所以以下對其中一個進行說明。

手部單元423從Z方向(鉛垂方向)觀察時呈與梭動件41的凹槽411對應的形狀。具體而言，手部單元423從Z方向觀察時呈四邊形，且比凹槽411的內(nèi)周部稍小。此外，在本實施方式中，該四邊形是正方形或者長方形。該手部單元423配置在使IC器件9落入至凹槽411時相對于凹槽411在規(guī)定的距離的位置，由此，能夠通過手部單元423覆蓋凹槽411(參照圖5～圖7)。

另外，在吸附嘴424連接有未圖示的與吸引泵連接的管體，通過該吸引泵的動作來吸附IC器件9。此外，吸引泵的驅(qū)動由控制部8來控制。

檢查機械手

檢查機械手43是向檢查部5輸送收納至了梭動件41的IC器件9(參照圖9～圖13)，并將結束了檢查的IC器件9從檢查部5輸送至梭動件41的機械手。另外，檢查機械手43也能夠在檢查時向檢查部5推壓IC器件9，對IC器件9施加規(guī)定的檢查壓。這樣的檢查機械手43具有被基臺11支承的支承架431、被支承架431支承且能夠相對于支承架431在Y方向上往復移動的移動架432、以及被移動架432支承的四個手部單元(把持機械手)(電子部件把持部)433。各手部單元433具備升降機構以及吸附嘴，能夠通過吸附來把持(保持)IC器件9。

回收機械手

回收機械手44是將結束了由檢查部5的檢查的IC器件9輸送至回收側排列部6的機械手。這樣的回收機械手44具有被基臺11支承的支承架441、被支承架441支承且能夠相對于支承架441在Y方向上往復移動的移動架442、以及被移動架442支承的四個手部單元(把持機械手)443。各手部單元443具備升降機構以及吸附嘴，能夠通過吸附來 把持IC器件9。

這樣的輸送部4如以下方式輸送IC器件9。首先，梭動件41向圖中左側移動，供給機械手42將載置工作臺341上的IC器件9輸送至梭動件41(STEP1)。接下來，梭動件41向中央移動，檢查機械手43將梭動件41上的IC器件9輸送至檢查部5(STEP2)。接下來，檢查機械手43將結束了由檢查部5的檢查的IC器件9輸送至梭動件41(STEP3)。接下來，梭動件41向圖中右側移動，回收機械手44將梭動件41上的檢查完畢的IC器件9輸送至回收側排列部6(STEP4)。通過反復這樣的STEP1～STEP4，能夠?qū)C器件9經(jīng)由檢查部5輸送至回收側排列部6。

檢查部

檢查部5是檢查、測試IC器件9的電特性的單元，檢查部5連接測試儀(未圖示)。如圖2所示，檢查部5具有保持IC器件9的四個保持部51。這些保持部51分別由凹部構成，在其底部設置有與IC器件9的端子電連接的多個探針511(參照圖12)。各探針與控制部8電連接。在IC器件9的檢查時，一個IC器件9配置(保持)于一個保持部51。配置于保持部51的IC器件9的各端子92分別通過檢查機械手43的手部單元433的按壓而被以規(guī)定的檢查壓推壓至各探針。由此，IC器件9的各端子92與各探針電連接(接觸)，經(jīng)由探針進行IC器件9的檢查?；诖鎯τ诳刂撇?的程序進行IC器件9的檢查。

控制部

控制部8例如具有檢查控制部和驅(qū)動控制部。檢查控制部例如基于存儲于未圖示的存儲器內(nèi)的程序來進行配置于檢查部5的IC器件9的電特性的檢查等控制。另外，驅(qū)動控制部例如控制供給部2、供給側排列部3、輸送部4、檢查部5、回收側排列部6以及回收部7的各部的驅(qū)動，進行IC器件9的輸送、IC器件9向檢查部5的定位等控制。

定位機構

接下來，對定位機構100進行說明，但對各IC器件9進行定位的定位機構100相同，所以以下對其中一個進行說明。

基于該定位機構100的定位有在梭動件41的凹槽411內(nèi)進行IC器件9的定位的一次定位(參照圖4、圖8)和將一次定位的定位狀態(tài)維持至檢查部5的保持部51的二次定位(圖9～圖13)。一次定位通過一次定位機構101進行，二次定位通過二次定位機構102進行。

如圖4所示，一次定位機構101具有：具備梭動件主體410的梭動件41、兩條管體161以及162、兩個閥門171以及172、以及兩個泵181以及182。另外，一次定位機構101具有手部單元423。管體161以及162的內(nèi)腔是空氣G(流體)流動的流路。此外，管體161以及162中的插入至梭動件主體410的下述的壁部46的部位(一端部)是梭動件41的結構構件。即，由梭動件主體410和管體161以及162的插入至壁部46的部位(一端部)等構成保持IC器件9的梭動件41。

如圖5～圖7所示，梭動件主體410具備：具有保持IC器件9的保持面(電子部件保持面)47的基板48、和在基板48上以包圍保持面47的方式設置的壁部46。應予說明，保持面47與XY平面平行。

另外，不對壁部46的形狀進行特別限定，但在本實施方式中，壁部46呈四邊形的框狀，并形成于基板48的外周部。即，從Z方向觀察時，壁部46的內(nèi)表面的形狀以及外表面的形狀分別為四邊形。此外，在本實施方式中，該四邊形是正方形或者長方形。由此，在梭動件主體410上形成從Z方向觀察時呈四邊形的凹槽411。該凹槽411的底面為保持面47。

另外，如圖3、圖4所示，相對于保持面47豎立設置的四個面即第一壁面413、第二壁面414、第三壁面415以及第四壁面416構成凹槽411的內(nèi)表面。第一壁面413～第四壁面416的鄰接的壁面彼此相互正交。而且，第一壁面413與第二壁面414構成直角的第一角部417，第三壁面415與第四壁面416配置在與第一角部417對角的位置，并構成直角的第二角部418。在本實施方式中，如圖4所示，將IC器件9的四個角部中的一個角部94與第一角部417抵接而進行定位。像這樣，在梭動件41中，第一角部417被設定為在該梭動件41內(nèi)進行對IC器件9的定位的基準點。

在壁部46的內(nèi)周部的上部形成有內(nèi)側比外側低的傾斜面461。由此， 在將IC器件9配置于梭動件41時，容易將IC器件9沿傾斜面461插入至凹槽411內(nèi)，并配置在保持面47上。

另外，在梭動件主體410的壁部46連接有管體161、162的一端部。在該情況下，管體161、162的一端部分別配置于四邊形的對角。而且，管體161的一端部的開口(開口部)1611配置于第一角部417并且開放，管體162的一端部的開口(開口部)1621配置于第二角部418并且開放。

在本實施方式中，由管體161的插入至壁部46的部位(一端部)構成第一流路，由管體162的插入至壁部46的部位(一端部)構成第二流路。如圖4所示，表示在第一流路內(nèi)流動的空氣G的流動的第一向量V₁分別不與第一壁面413以及第二壁面414正交。即，第一向量V₁與第一壁面413所成的角度為45°，第一向量V₁與第二壁面414所成的角度也為45°。另外，表示在第二流路內(nèi)流動的流體的流動的第二向量V₂也分別不與第一壁面413以及第二壁面414正交。即，第二向量V₂與第一壁面413所成的角度為45°，第二向量V₂與第二壁面414所成的角度也為45°。如圖7所示，通過第一向量V₁與第二向量V₂分別像這樣朝向相同的方向，能夠容易地使IC器件9移動至作為定位的基準點的第一角部417側。另外，在本實施方式中，由于以IC器件9為正方形的情況為例進行了說明，所以使向量與壁面所成的角度為45°，但在IC器件為長方形的情況下不是該限定，適當?shù)卦O定以長方形的長邊與短邊的長度之比決定的角度。具體而言，是IC器件的對角線與壁面所成的角度。

如圖5～圖7所示，開口1611、1621被配置于在IC器件9保持于梭動件41的狀態(tài)下比端子配置面93靠Z方向下方。通過這樣的配置，能夠通過凹槽411內(nèi)的空氣流使IC器件9稍微浮起，在進行IC器件9的定位的情況下，能夠使IC器件9充分地移動至第一角部417側。

此外，在本實施方式中，開口1611與開口1621的Z方向的位置關系為相同的位置，但并不限定于此，也可以是不同的位置。在該情況下，優(yōu)選開口1611比開口1621位于Z方向上方。該結構是在欲將IC器件9推壓至凹槽411的保持面47側的情況下有效的結構。

另外，開口1611與開口1621的大小在本實施方式中相同，但并不 限定于此，也可以不同。在該情況下，優(yōu)選開口1611比開口1621小。

另外，如圖3、圖4所示，也可以將管體161、162的下游側的內(nèi)徑縮小。

在管體161的與一端部不同的另一端部連接有泵181。另外，在管體161的中途設置有閥門171。另一方面，在管體162的與一端部不同的另一端部連接有泵182。另外，在管體162的中途設置有閥門172。泵182是噴射空氣G的噴射部，泵181是吸引空氣G的吸引部。若通過泵182的動作從泵182噴射空氣G，則該空氣G在管體162內(nèi)流動，并從開口1621噴射至凹槽411內(nèi)。另外，若通過泵181的動作，泵181吸引空氣G，則凹槽411內(nèi)的空氣G從開口1611被吸引(排出)，該空氣G在管體161內(nèi)流動并排出至外部。

另外，能夠通過閥門171的開閉來開閉管體161的內(nèi)腔，能夠通過閥門172的開閉來開閉管體162的內(nèi)腔。另外，作為閥門171、172，若使用能夠調(diào)整其開度的閥門，則能夠通過上述開度的調(diào)整來調(diào)整在管體161、162內(nèi)流動的空氣G的流量。即，能夠通過閥門172的開度的調(diào)整來調(diào)整空氣G的噴射壓或者噴射流量。另外，能夠通過閥門171的開度的調(diào)整來調(diào)整空氣G的吸引壓或者吸引流量。因此，由閥門172構成調(diào)整空氣G的噴射壓或者噴射流量的調(diào)整部，另外，由閥門171構成調(diào)整空氣G的吸引壓或者吸引流量的調(diào)整部。

此外，空氣G的噴射壓與空氣G的吸引壓可以相同，也可以不同。在空氣G的噴射壓與空氣G的吸引壓不同的情況下，優(yōu)選空氣G的噴射壓比空氣G的吸引壓大。

另外，也能夠通過調(diào)整泵181、182的輸出來調(diào)整在管體161、162內(nèi)流動的空氣G的流量。此外，由控制部8控制泵181、182以及閥門171、172的驅(qū)動。

接下來，對一次定位機構101將IC器件9定位于梭動件41的情況下的動作進行說明。

首先，如圖5所示，通過手部單元423保持IC器件9，并將該IC器件9插入至梭動件41的凹槽411內(nèi)的規(guī)定的位置。在本實施方式中， 使手部單元423的下端部配置在凹槽411內(nèi)的上端部，并使手部單元423停止。由此，通過該手部單元423覆蓋凹槽411。由此，能夠抑制空氣G從凹槽411內(nèi)泄漏，另外，能夠防止IC器件9因空氣流而從凹槽411飛出。

接下來，如圖6所示，使IC器件9從手部單元423脫離并下落。由此，IC器件9被插入至凹槽411內(nèi)，并被配置在保持面47上。

接下來，打開閥門171、172，并使泵181、182動作。由此，從泵182噴射空氣G，如圖7所示，空氣G在管體162內(nèi)流動，并從開口1621噴射至凹槽411內(nèi)。另外，泵181吸引空氣G，凹槽411內(nèi)的空氣G從開口1611被吸引，并在管體161內(nèi)流動，并被排出至外部。由此，空氣G向使IC器件9朝向(推壓至)第一角部417側的方向流動。然后，IC器件9被空氣流(風壓)按壓至第一角部417側，角部94與第一角部417抵接。通過以上動作，一次定位結束(參照圖4、圖7)。

這里，不對使IC器件9從手部單元423脫離的第一定時和通過泵181、182的動作來產(chǎn)生空氣流的第二定時進行特別限定，但優(yōu)選第一定時與第二定時相等，或者如上述那樣使第一定時比第二定時靠前(提前)。

若第一定時比第二定時靠后，則IC器件9暴露在空氣流中的時間變長，存在IC器件9因該空氣流而被冷卻的顧慮，但若第一定時與第二定時相等，或者第一定時比第二定時靠前，則能夠抑制IC器件9因空氣流而被冷卻。

另外，在第一定時比第二定時靠前的情況下，優(yōu)選在IC器件9到達保持面47之前產(chǎn)生空氣流。由此，除了在保持面47與IC器件9的端子配置面93之間產(chǎn)生空氣流之外，還在保持面47與IC器件9的各端子92之間產(chǎn)生空氣流，通過該空氣流，能夠容易使IC器件9浮起。

如以上所說明的那樣，在檢查裝置1中，能夠通過空氣流使IC器件9移動并定位于梭動件41。另外，由于通過空氣流使IC器件9移動，所以能夠抑制IC器件9的損傷。另外，能夠通過空氣G的噴射、吸引來去除IC器件9的端子92的附近的異物。

如圖8～圖13所示，二次定位機構102由梭動件41所具備的輸送部定位部49、檢查機械手43所具備的把持部定位部435、以及檢查部5所具備的保持部定位部56構成。輸送部定位部49與把持部定位部435在梭動件41與檢查機械手43之間交接IC器件9時嵌合(參照圖10)。另外，把持部定位部435與保持部定位部56在檢查機械手43與檢查部5之間交接IC器件9時嵌合(參照圖13)。

輸送部定位部49由第一定位部491與第二定位部492構成(包括)。

第一定位部491以及第二定位部492是引導銷，從上側被壓入在梭動件主體410上。另外，在第一定位部491以及第二定位部492的上部形成有外徑朝向上方逐漸減小的即呈錐狀的錐形部493。由此，如下述那樣，在將第一定位部491插入至第三定位部436，將第二定位部492插入至第四定位部437時，容易且順利地進行各插入。

如圖4所示，第一定位部491以及第二定位部492經(jīng)由凹槽411而配置，第一定位部491位于凹槽411的第二壁面414與第三壁面415構成的角部附近，第二定位部492位于凹槽411的第一壁面413與第四壁面416構成的角部附近。而且，優(yōu)選以通過第一定位部491的中心O₁和第二定位部492的中心O₂的直線L通過距第一角部417在(1/2)×A的位置且距第一角部417在(1/2)×B的位置的方式配置第一定位部491以及第二定位部492。此外，如上所述，“A”是IC器件9的沿X方向的長度，“B”是IC器件9的沿Y方向的長度。通過將第一定位部491以及第二定位部492配置于這樣的位置，在將IC器件9從梭動件41輸送至檢查部5時，也能夠盡量正確地進行最初的梭動件41與IC器件9的定位。

把持部定位部435由第三定位部436和第四定位部437構成。

第三定位部436以及第四定位部437為環(huán)狀(圓環(huán)狀)的部件，被從上側壓入在移動架432上。另外，在第三定位部436以及第四定位部437的上部形成有外徑擴大的凸緣部438。由此，限制第三定位部436以及第四定位部437的壓入極限，防止各定位部向下方的脫離。

另外，如圖9、圖10所示，第三定位部436被配置于在梭動件41 與檢查機械手43之間交接IC器件9時被插入第一定位部491并嵌合的位置，第四定位部437被配置于在梭動件41與檢查機械手43之間交接IC器件9時被插入第二定位部492并嵌合的位置。通過使檢查機械手43的手部單元433在這樣的嵌合狀態(tài)下把持IC器件9，能夠?qū)⑺髣蛹?1的凹槽411內(nèi)的IC器件9的一次定位的狀態(tài)作為二次定位，保持原樣地由該手部單元433接替。

保持部定位部56由第五定位部561和第六定位部562構成。

第五定位部561以及第六定位部562為引導銷，被從上側壓入在具有保持部51的基板(檢查部主體)54上。另外，在第五定位部561以及第六定位部562的上部形成有外徑朝向上方逐漸減小的即呈錐狀的錐形部563。由此，如下述那樣，在第五定位部561被插入至第三定位部436，第六定位部562被插入至第四定位部437時，容易并且順利地進行各插入。

此外，第五定位部561以及第六定位部562中的各錐形部563的錐形角度可以與第一定位部491以及第二定位部492中的各錐形部493的錐形角度相同，也可以不同。

另外，錐形部563的長度(上下方向的長度)可以與錐形部493的長度(上下方向的長度)相同，也可以不同。在錐形部563的長度與錐形部493的長度不同的情況下，優(yōu)選錐形部563的長度比錐形部493的長度長(參照圖10、圖13)。

如圖13所示，第五定位部561被配置于在檢查機械手43與檢查部5之間交接IC器件9時被插入至第三定位部436并嵌合的位置，第六定位部562被配置于在檢查機械手43與檢查部5之間交接IC器件9時被插入至第四定位部437并嵌合的位置。通過這樣的嵌合狀態(tài)，IC器件9在檢查部5的保持部51內(nèi)也被維持二次定位的狀態(tài)。

接下來，基于圖14所示的流程圖對將未檢查狀態(tài)的IC器件9輸送至梭動件41，并在檢查完成后將IC器件9再次輸送至梭動件41為止的控制程序進行說明。

若使供給機械手42動作，并已將該供給機械手42的各手部單元423 所把持的IC器件9輸送至處于第一位置的梭動件41上(步驟S101)，則釋放IC器件9(步驟S102)。

接下來，使一次定位機構101動作，如上述那樣，使IC器件9的角部94與凹槽411的第一角部417抵接(參照圖4、圖8)，進行一次定位(步驟S103)。

步驟S103執(zhí)行后，內(nèi)置于控制部8的計時器動作(步驟S104)，判斷為時間到達的情況下(步驟S105)，使與凹槽411的吸引口453連接的吸引部動作，通過真空吸附在凹槽411內(nèi)固定IC器件9(步驟S106)。此外，能夠通過步驟S105的時間到達來充分地確保直至進行一次定位為止的時間，因此，能夠視為一次定位完成。

接下來，將梭動件41從第一位置移動至第二位置(步驟S107)。

接下來，在使檢查機械手43動作，使該檢查機械手43的各手部單元433位于處于第二位置的梭動件41上之后(參照圖9)，使手部單元433下降并通過吸附來把持IC器件9(參照圖10)(步驟S108)。應予說明，通過該下降，第一定位部491與第三定位部436嵌合，并且第二定位部492與第四定位部437嵌合。由此，如上述那樣，保持原樣地接替IC器件9的一次定位的狀態(tài)來作為二次定位。

步驟S108執(zhí)行后，停止與凹槽411的吸引口453連接的上述吸引部的動作，解除對IC器件9的固定(步驟S109)。

接下來，使檢查機械手43動作，使該檢查機械手43的各手部單元433上升(參照圖11)，之后，將IC器件9輸送至檢查部5(參照圖12)的上方(步驟S110)。

若IC器件9來到檢查部5上，則使檢查機械手43的各手部單元433下降(參照圖13)，并將IC器件9按入檢查部5(步驟S111)。應予說明，通過該下降，第三定位部436與第五定位部561嵌合，并且第四定位部437與第六定位部562嵌合。由此，如上述那樣，能夠維持二次定位的狀態(tài)，使IC器件9的各端子92與各探針正確地電連接。像這樣，檢查裝置1能夠容易地進行由檢查部5的對IC器件9的定位。

接下來，開始IC器件9的檢查(步驟S112)，若該檢查完成(步驟S113)，則使檢查機械手43動作，將IC器件9再次返回至梭動件41(步驟S114)。

步驟S114執(zhí)行后，將梭動件41從第二位置移動至第三位置。之后，使回收機械手44動作，并按照檢查結果將梭動件41上的IC器件9分配至回收側排列部6。

(第二實施方式)

圖15是表示在本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第二實施方式)中從輸送未檢查狀態(tài)的電子部件至檢查完成后再次輸送電子部件為止的控制程序的流程圖。

以下，參照該圖對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第二實施方式進行說明，但以與上述的實施方式的不同點為中心進行說明，對于相同的事項，省略其說明。

本實施方式除了一次定位的定時不同以外，與上述第一實施方式相同。

若使供給機械手42動作，并已將該供給機械手42的各手部單元423所把持的IC器件9輸送至處于第一位置的梭動件41上(步驟S201)，則釋放IC器件9(步驟S202)。

接下來，使梭動件41從第一位置移動至第二位置(步驟S203)。

接下來，使一次定位機構101動作，并如上述那樣，使IC器件9的角部94與凹槽411的第一角部417抵接來進行一次定位(步驟S204)。

步驟S204執(zhí)行后，內(nèi)置于控制部8的計時器動作(步驟S205)，在判斷為時間到達的情況下(步驟S206)，使檢查機械手43動作，使該檢查機械手43的各手部單元433位于處于第二位置的梭動件41上。之后，使手部單元433下降并通過吸附來把持IC器件9(步驟S207)。

接下來，使檢查機械手43的各手部單元433上升，并將IC器件9輸送至檢查部5上(步驟S208)。若IC器件9來到檢查部5上，則使 檢查機械手43的各手部單元433下降，將IC器件9按入檢查部5(步驟S209)。由此，在本實施方式中，也與上述第一實施方式相同，使IC器件9的各端子92與各探針正確地電連接。因此，本實施方式的檢查裝置1也能夠容易地進行由檢查部5的對IC器件9的定位。

接下來，開始IC器件9的檢查(步驟S210)，若該檢查完成(步驟S211)，則使檢查機械手43動作，將IC器件9再次返回至梭動件41(步驟S212)。

步驟S212執(zhí)行后，將梭動件41從第二位置移動至第三位置。之后，使回收機械手44動作，并按照檢查結果將梭動件41上的IC器件9分配至回收側排列部6。

(第三實施方式)

圖16是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置(第三實施方式)具備的輸送部的水平剖視圖。應予說明，在圖16中省略了第一槽、第二槽。

以下，參照該圖對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置的第三實施方式進行說明，但以與上述的實施方式的不同點為中心進行說明，對于相同的事項，省略其說明。

本實施方式除了一次定位機構的結構不同以外，與上述第一實施方式相同。

如圖16所示，在本實施方式中，一次定位機構101具有與梭動件41連接的四條管體131、132、133以及134、四個閥門141、142、143以及144、以及四個泵151、152、153以及154。管體131～134的內(nèi)腔是空氣G流動的流路。另外，管體131～134的一端部的開口(開口部)1311、1321、1331、1341在壁部46的內(nèi)表面開放。此外，由管體131的插入至壁部46的部位(一端部)構成第一流路，由管體132的插入至壁部46的部位(一端部)構成另一個第一流路。另外，由管體133的插入至壁部46的部位(一端部)構成第二流路，由管體134的插入至壁部46的部位(一端部)構成另一個第二流路。

在本實施方式中，管體131以及132的一端部配置在凹槽411的 第一角部417的附近，管體133以及134的一端部配置在凹槽411的第二角部418的附近。并且，管體131的一端部與構成凹槽411的內(nèi)表面的第一壁面413正交，管體132的一端部與構成凹槽411的內(nèi)表面的第二壁面414正交，管體133的一端部與構成凹槽411的內(nèi)表面的第三壁面415正交，管體134的一端部與構成凹槽411的內(nèi)表面的第四壁面416正交。

由此，表示在管體131的一端部流動的流體的流動的第一向量V₁、和表示在管體132的一端部流動的流體的流動的第一向量V₁所成的角度為90°。由此，合成雙方的向量而得的向量為使IC器件9朝向第一角部417的方向的向量。另外，表示在管體133的一端部流動的流體的流動的第二向量V₂、和表示在管體134的一端部流動的流體的流動的第二向量V₂所成的角度為90°。由此，合成雙方的向量而得的向量也為使IC器件9朝向第一角部417的方向的向量。

通過使這樣的向量產(chǎn)生的一次定位機構101，能夠容易地進行對IC器件9的一次定位。

此外，在一次定位機構101中，管體131的一端部的流路方向與管體132的一端部的流路方向交叉即可，另外，管體133的一端部的流路方向與管體134的一端部的流路方向交叉即可。即，表示在管體131的一端部流動的流體的流動的第一向量V₁、和表示在管體132的一端部流動的流體的流動的第一向量V₁所成的角度不是0°以及180°即可，表示在管體133的一端部流動的流體的流動的第二向量V₂、和表示在管體134的一端部流動的流體的流動的第二向量V₂所成的角度不是0°以及180°即可。

以上，基于圖示的實施方式對本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置進行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，能夠?qū)嫵呻娮硬考斔脱b置以及電子部件檢查裝置的各部置換為能夠發(fā)揮相同功能的任意結構的各部。另外，也可以附加任意的結構物。

另外，本發(fā)明的電子部件輸送裝置以及電子部件檢查裝置也可以是組合了上述各實施方式中的任意的兩個以上的結構(特征)的裝置。

另外，當然，梭動件的凹槽的配置數(shù)量以及配置方式、供給機械手的手部單元的配置數(shù)量以及配置方式、檢查機械手的手部單元的配置數(shù)量以及配置方式、回收機械手的手部單元的配置數(shù)量以及配置方式、以及檢查部的保持部的配置數(shù)量以及配置方式并不限定于圖2所示的結構。

另外，對于輸送部定位部、把持部定位部以及保持部定位部，在上述各實施方式中，輸送部定位部以及保持部定位部為引導銷(凸部)，保持部定位部為引導孔(凹部)，但并不限定于此，也可以為輸送部定位部以及保持部定位部是引導孔(凹部)，保持部定位部是引導銷(凸部)。

另外，在上述各實施方式中，電子部件輸送部為具有第一流路和第二流路的雙方的結構，但并不限定于此，也可以為省略了第二流路的結構。

另外，作為流體，在上述各實施方式中使用了空氣，但在本發(fā)明中并不限定于此，例如，能夠應用氮氣、氬氣、二氧化碳、氟類氣體、包括這些氣體的混合氣體等各種絕緣性氣體等氣體。

符號說明：1…檢查裝置，2…供給部，3…供給側排列部，341…載置工作臺，4…輸送部，41…梭動件，410…梭動件主體，411…凹槽，413…第一壁面，414…第二壁面，415…第三壁面，416…第四壁面，417…第一角部，418…第二角部，42…供給機械手，421…支承架，422…移動架，423…手部單元，424…吸附嘴，43…檢查機械手，431…支承架，432…移動架，433…手部單元，435…把持部定位部，436…第三定位部，437…第四定位部，438…凸緣部，44…回收機械手，441…支承架，442…移動架，443…手部單元，451…第一槽，452…第二槽，453…吸引口，46…壁部，461…傾斜面，47…保持面，48…基板，49…輸送部定位部，491…第一定位部，492…第二定位部，493…錐形部，5…檢查部，51…保持部，511…探針，54…基板，56…保持部定位部，561…第五定位部，562…第六定位部，563…錐形部，6…回收側排列部，7…回收部，8…控制部，9…IC器件，91…主體部，92…端子，93…端子配置面，94…角部，10…輸送裝置，100…定位機構，101…一次定位機構，102…二次定位機構，11…基臺，111…基臺面，12…蓋，131、132、133、134… 管體，1311、1321、1331、1341…開口，141、142、143、144…閥門，151、152、153、154…泵，161、162…管體，1611，1621…開口，171、172…閥門，181、182…泵，A、B…長度，G…空氣，L…直線，O₁、O₂…中心，S101～S114、S201～S212…步驟，V₁…第一向量，V₂…第二向量。