本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，特別涉及一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)和物料輸送系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)：

在集成電路制造過程中，一個(gè)完整的芯片通常需要經(jīng)過多次光刻曝光才能制作完成。在光刻作業(yè)中，由工件臺(tái)承載著被曝光對象(一般為玻璃基板)，掩膜臺(tái)上承載掩膜版，進(jìn)行光刻。

在光刻產(chǎn)線化作業(yè)中，玻璃基板的傳輸效率對光刻機(jī)的產(chǎn)率有著至關(guān)重要的影響。但隨著玻璃基板的尺寸越來越大，傳輸設(shè)備尺寸也越來越大、重量也越來越重，而為了滿足傳輸效率的要求反而需要設(shè)備運(yùn)行的速度越來越快。因此對驅(qū)動(dòng)器的功率要求也越來越高，設(shè)備運(yùn)行的風(fēng)險(xiǎn)及物料的風(fēng)險(xiǎn)也相應(yīng)的提高。

為了提高光刻機(jī)的產(chǎn)率，提高基板的傳輸效率有著至關(guān)重要的作用，所以要求基板傳輸系統(tǒng)必須在工件臺(tái)完成上一塊基板的曝光工作后第一時(shí)間下載已曝光基板，并第一時(shí)間上載第二塊未曝光基板，傳統(tǒng)的做法是分別制作兩個(gè)平臺(tái)，分別用于下載已曝光基板和上載未曝光基板，主要有兩種結(jié)構(gòu)：

一是把兩個(gè)平臺(tái)整體架設(shè)在水平導(dǎo)軌上，驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)平臺(tái)及其上的玻璃基板做整體移動(dòng)。然而此種做法在技術(shù)、裝配及成本上會(huì)有如下問題：

1.由于兩個(gè)平臺(tái)采用水平布置，但往往輸送未加工物料的送料口與曝光機(jī)接收物料的物料口不處于同一個(gè)水平面，那么還需要增設(shè)垂直裝置，將物料輸送至與物料口同一水平面；

2.因?yàn)椴ＡЩ遒|(zhì)量很大，而大質(zhì)量運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生很大的慣量，為保證交接精度，對傳輸設(shè)備的剎車機(jī)構(gòu)以及慣量的消除都會(huì)有很高的要求；

3.傳輸物料尺寸越大，則平臺(tái)水平運(yùn)動(dòng)行程越大，而為了滿足產(chǎn)率要求，則平臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度也越快，相應(yīng)的傳輸設(shè)備運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)及物料風(fēng)險(xiǎn)也越大。

二是把兩個(gè)平臺(tái)垂直布置，即垂直導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)平臺(tái)及平臺(tái)上的玻璃基板做垂向的整體移動(dòng)。然而此種做法具有如下問題：

1.由于平臺(tái)整體質(zhì)量很大，做垂向運(yùn)動(dòng)需要克服很大的垂直方向的重力，對驅(qū)動(dòng)器的功率要求很高；

2.因?yàn)榇蟮馁|(zhì)量運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生很大的慣量，為保證交接精度，對傳輸設(shè)備的剎車機(jī)構(gòu)及慣量消除都會(huì)有很高的要求。

綜上所述，有必要發(fā)明一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)和物料輸送系統(tǒng)及方法，能夠克服上述缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本發(fā)明提出了一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)和物料輸送系統(tǒng)及方法，將原本垂直設(shè)置的兩個(gè)平臺(tái)與導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)連接，導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)與兩個(gè)平臺(tái)皆相交但不垂直，使得兩個(gè)平臺(tái)皆可運(yùn)動(dòng)至曝光機(jī)的物料口上載或者下載物料，由于導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)與兩個(gè)平臺(tái)皆相交但不垂直，因此兩個(gè)平臺(tái)初始處于垂直布置，相對于水平設(shè)置的平臺(tái)，其無需增設(shè)垂直裝置，即可改變物料所在的垂直位置，其次由于兩個(gè)平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)至物料口作上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，是沿導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)移動(dòng)，兩個(gè)平臺(tái)皆與水平面平行，那么導(dǎo)軌即是斜邊結(jié)構(gòu)，在導(dǎo)軌上作運(yùn)動(dòng)相當(dāng)于使其在斜坡上作運(yùn)動(dòng)，而使兩個(gè)平臺(tái)沿斜坡向上運(yùn)動(dòng)做的功要小于使兩個(gè)平臺(tái)垂直上升所做的功，因此這種輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)相對于水平導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)能夠精簡結(jié)構(gòu)，相對于垂直布置的平臺(tái)來說，對驅(qū)動(dòng)器的功率要求降低，則使用包括該物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)的物料輸送系統(tǒng)輸送物料的方法，具有精簡結(jié)構(gòu)、提高輸送效率，節(jié)省能耗的優(yōu)點(diǎn)。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)，包括：

一始終平行于水平面的上平臺(tái)和始終平行于所述上平臺(tái)并且位于所述上平臺(tái)的下方的一下平臺(tái)，用于上載和下載物料；

一導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，其所在的直線與所述上平臺(tái)和所述下平臺(tái)所在的平面皆相交但不垂直，所述上平臺(tái)和所述下平臺(tái)沿著所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)能運(yùn)動(dòng)至曝光機(jī)上載和下載物料的物料口口部。

作為優(yōu)選，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括上平臺(tái)導(dǎo)軌和下平臺(tái)導(dǎo)軌，所述上平臺(tái)導(dǎo)軌所在直線為所述下平臺(tái)導(dǎo)軌所在直線的異面直線。

作為優(yōu)選，在垂直方向上，所述下平臺(tái)導(dǎo)軌位于所述下平臺(tái)下方。

作為優(yōu)選，在垂直方向上，所述上平臺(tái)導(dǎo)軌位于所述上平臺(tái)上方。

作為優(yōu)選，在垂直方向上，所述上平臺(tái)導(dǎo)軌位于所述上平臺(tái)下方。

作為優(yōu)選，在水平方向上，所述上平臺(tái)導(dǎo)軌位于所述上平臺(tái)的兩側(cè)，所述上平臺(tái)與所述上平臺(tái)導(dǎo)軌之間連接有上移動(dòng)機(jī)構(gòu)使得所述上平臺(tái)沿著所述上平臺(tái)導(dǎo)軌移動(dòng)，所述下平臺(tái)導(dǎo)軌位于所述下平臺(tái)的兩側(cè)，所述下平臺(tái)與所述下平臺(tái)導(dǎo)軌之間連接有下移動(dòng)機(jī)構(gòu)使得所述下平臺(tái)沿著所述下平臺(tái)導(dǎo)軌移動(dòng)。

作為優(yōu)選，所述上移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述下移動(dòng)機(jī)構(gòu)皆為氣浮結(jié)構(gòu)或者滾輪結(jié)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)還包括導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)器，分別為位于所述上平臺(tái)導(dǎo)軌一側(cè)的用于驅(qū)動(dòng)所述上移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著所述上平臺(tái)導(dǎo)軌移動(dòng)的上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器和位于所述下平臺(tái)導(dǎo)軌一側(cè)的用于驅(qū)動(dòng)所述下移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著所述下平臺(tái)導(dǎo)軌移動(dòng)的下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器。

作為優(yōu)選，所述上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器和所述下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)方式皆為電驅(qū)動(dòng)或者氣驅(qū)動(dòng)或者液壓驅(qū)動(dòng)。

作為優(yōu)選，所述上平臺(tái)包括上物料存儲(chǔ)平臺(tái)，所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)上還包括可在所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)上移動(dòng)的上物料推送機(jī)構(gòu)，所述下平臺(tái)包括下物料存儲(chǔ)平臺(tái)，所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)上還包括可在所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)上移動(dòng)的下物料推送機(jī)構(gòu)。

作為優(yōu)選，所述上物料推送機(jī)構(gòu)包括若干位于所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)上的且相互平行的上軌道以及在每個(gè)所述上軌道上滑行的上滑塊，所述上滑塊的滑行方向與所述上平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向一致，所述下物料推 送機(jī)構(gòu)包括若干位于所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)上的且相互平行的下軌道以及在每個(gè)所述下軌道上滑行的下滑塊，所述下滑塊的滑行方向與所述下平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)方向一致。

作為優(yōu)選，每個(gè)所述上滑塊上還具有若干個(gè)能夠吸附物料的上吸附氣柱，每個(gè)所述下滑塊上還具有若干個(gè)能夠吸附物料的下吸附氣柱。

作為優(yōu)選，每個(gè)所述上滑塊上具有驅(qū)動(dòng)所述上吸附氣柱升降的上升降氣缸，每個(gè)所述下滑塊上具有驅(qū)動(dòng)所述下吸附氣柱升降的下升降氣缸。

作為優(yōu)選，所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)上還對稱分布有若干個(gè)上吸盤，所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)上還對稱分布有若干個(gè)下吸盤。

作為優(yōu)選，所述上吸盤和所述下吸盤皆為真空吸盤或者磁力吸盤。

作為優(yōu)選，所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)兩側(cè)還具有上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)用于固定物料，所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)兩側(cè)還具有下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)用于固定物料。

作為優(yōu)選，還包括一框架，所述物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)位于所述框架內(nèi)。

本發(fā)明還提供一種物料輸送系統(tǒng)，還包括如上所述的物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)，以及與所述上平臺(tái)和所述下平臺(tái)皆電路連接的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明還提供一種使用如上所述的物料輸送系統(tǒng)的輸送方法，所述上平臺(tái)與所述下平臺(tái)通過所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)交替運(yùn)動(dòng)至曝光機(jī)的所述物料口口部，由所述上物料推送機(jī)構(gòu)和所述下物料推送機(jī)構(gòu)將待上載物料上載至所述物料口口部或者將待下載物料從所述物料口口部下載。

作為優(yōu)選，包括以下步驟：

步驟一：所述上平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至送料口口部，所述上滑塊移動(dòng)到物料上載工位，所述上吸附氣柱上升接收待上載物料，所述待上載物料被所述上吸附氣柱吸附固定，同時(shí)所述下平臺(tái)運(yùn)動(dòng)至物料口口部，所述下滑塊移動(dòng)到物料交接工位，所述下吸附氣柱上升并接收待下載物料，所述待下載物料被所述下吸附氣柱吸附固定；

步驟二：所述上吸附氣柱下降至高度等于或者低于所述上吸盤的高度時(shí)，所述上吸附氣柱停止吸附，所述待上載物料由所述上吸盤吸附固定，所述上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)將所述待上載物料調(diào)整至與所述物料口口部對準(zhǔn)并輔助所述上吸盤固定物料，之后所述上滑塊沿所述上軌道向所述物料口口部滑行，所述上平臺(tái)沿著所述上平臺(tái)導(dǎo)軌向所述物料口口部移動(dòng)，同時(shí)所述下吸附氣柱下降至高度等于或者低于所述下吸盤的高度時(shí)，所述下吸附氣柱停止吸附，所述待下載物料由所述下吸盤吸附固定，所述下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)將所述待下載物料調(diào)整至與收料口口部對準(zhǔn)，并輔助所述下吸盤固定物料，之后所述下滑塊沿所述下軌道滑行，滑行方向與所述上滑塊相反，并且所述下平臺(tái)沿著所述下平臺(tái)導(dǎo)軌滑行，滑行方向與所述上平臺(tái)相反；

步驟三：所述上平臺(tái)移動(dòng)至所述物料口口部，所述上吸盤停止吸附，所述上吸附氣柱上升并恢復(fù)吸附，所述上滑塊移動(dòng)至所述物料交接工位，所述上吸附氣柱停止吸附，所述物料口接收所述待上載物料，同時(shí)所述下平臺(tái)移動(dòng)至送料口口部，所述下吸盤停止吸附，所述下吸附氣柱上升并恢復(fù)吸附，所述下滑塊移動(dòng)至物料下載工位，所述下吸 附氣柱停止吸附，所述待下載物料接收裝置從所述下滑塊上接收所述待下載物料使所述待下載物料離開所述下平臺(tái)。

作為優(yōu)選，使用對象為基板或者掩膜版。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提出了一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)和物料輸送系統(tǒng)及方法，將原本垂直設(shè)置的兩個(gè)平臺(tái)與導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)連接，導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)與兩個(gè)平臺(tái)皆相交但不垂直，使得兩個(gè)平臺(tái)皆可運(yùn)動(dòng)至曝光機(jī)的物料口上載或者下載物料，由于導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)與兩個(gè)平臺(tái)皆相交但不垂直，因此兩個(gè)平臺(tái)初始處于垂直布置，相對于水平設(shè)置的平臺(tái)，其無需增設(shè)垂直裝置，即可在輸送物料時(shí)同時(shí)改變物料的水平位置和垂直位置，其次由于兩個(gè)平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)至物料口作上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，是沿導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)移動(dòng)，兩個(gè)平臺(tái)皆與水平面平行，那么導(dǎo)軌即是斜邊結(jié)構(gòu)，在導(dǎo)軌上作運(yùn)動(dòng)相當(dāng)于使其在斜坡上作運(yùn)動(dòng)，而使兩個(gè)平臺(tái)沿斜坡向上運(yùn)動(dòng)做的功要小于使兩個(gè)平臺(tái)垂直上升所做的功，因此這種輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)相對于水平導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)能夠精簡結(jié)構(gòu)，相對于垂直布置的平臺(tái)來說，對驅(qū)動(dòng)器的功率要求降低。

本發(fā)明還提供一種物料輸送系統(tǒng)，還包括上述的物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)，以及與所述上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器、所述下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器和所述上升降氣缸、所述下升降氣缸皆電路連接的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明還提供一種使用如上述的物料輸送系統(tǒng)的物料輸送方法，所述上平臺(tái)與所述下平臺(tái)通過所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)交替運(yùn)動(dòng)至曝光機(jī)的所述物料口口部，由所述上物料推送機(jī)構(gòu)和所述下物料推送機(jī)構(gòu)將物料上載至所述物料口口部或者將所述物料口口部的物料下載并運(yùn)輸至 待下載物料接收裝置。

相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的使用包括該物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)的物料輸送系統(tǒng)及輸送物料的方法，具有精簡結(jié)構(gòu)、提高輸送效率，節(jié)省能耗的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一的物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例一導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例一上平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例一下平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例一上物料推送機(jī)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例一下物料推送機(jī)構(gòu)示意圖；

圖7和圖8皆為本發(fā)明實(shí)施例一物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)示意圖；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例二物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：10-上平臺(tái)、110-上物料存儲(chǔ)平臺(tái)、120-上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)、130-上物料推送機(jī)構(gòu)、131-上滑塊、132-上升降氣缸、133-上吸附氣柱、134-上軌道、140-上吸盤、20-下平臺(tái)、210-下物料存儲(chǔ)平臺(tái)、220-下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)、230-下物料推送機(jī)構(gòu)、231-下滑塊、232-下升降氣缸、233-下吸附氣柱、234-下軌道、240-下吸盤、30-上平臺(tái)導(dǎo)軌、310-上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器、320-上移動(dòng)機(jī)構(gòu)、40-下平臺(tái)導(dǎo)軌、410-下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器、420-下移動(dòng)機(jī)構(gòu)、50-框架。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。

實(shí)施例一

為達(dá)到上述目的，請參照圖1，本發(fā)明提供一種物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)，

包括：

一始終平行于水平面的上平臺(tái)10和始終平行于上平臺(tái)10并且位于上平臺(tái)10的下方的一下平臺(tái)20，用于上載和下載物料，較佳地，本發(fā)明中的物料是指基板或者掩膜版；

一導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，請參照圖2，包括與上平臺(tái)10兩側(cè)連接的上平臺(tái)導(dǎo)軌30和下平臺(tái)20兩側(cè)連接的下平臺(tái)導(dǎo)軌40，上平臺(tái)導(dǎo)軌30所在直線為下平臺(tái)導(dǎo)軌40所在直線的異面直線，兩者與上平臺(tái)10和下平臺(tái)20所在的平面皆相交但不垂直，請參照圖1，上平臺(tái)10與上平臺(tái)導(dǎo)軌30之間連接有上移動(dòng)機(jī)構(gòu)320帶動(dòng)上平臺(tái)10沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30移動(dòng)，下平臺(tái)20與下平臺(tái)導(dǎo)軌40之間連接有下移動(dòng)機(jī)構(gòu)420帶動(dòng)下平臺(tái)20沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40移動(dòng)，較佳地，上移動(dòng)機(jī)構(gòu)320和下移動(dòng)機(jī)構(gòu)420皆為氣浮結(jié)構(gòu)或者滾輪結(jié)構(gòu)。

位于上平臺(tái)導(dǎo)軌30一側(cè)具有上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310，位于下平臺(tái)導(dǎo)軌40一側(cè)具有下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410，上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310驅(qū)動(dòng)上移動(dòng)機(jī)構(gòu)320帶動(dòng)上平臺(tái)10沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30所形成的斜邊運(yùn)動(dòng)，下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410驅(qū)動(dòng)下移動(dòng)機(jī)構(gòu)420帶動(dòng)下平臺(tái)20沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40所形成的斜邊運(yùn)動(dòng)，即等同于上平臺(tái)10和下平臺(tái)20皆在斜坡上作運(yùn)動(dòng)， 導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)與物料口口部相通，上平臺(tái)10和下平臺(tái)20沿著所述導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)作斜坡運(yùn)動(dòng)并且皆能運(yùn)動(dòng)至與物料口口部，兩個(gè)平臺(tái)沿斜坡向上運(yùn)動(dòng)做的功要小于使兩個(gè)平臺(tái)垂直上升所做的功，因此這種輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)在輸送物料時(shí)能夠同時(shí)改變物料的水平位置和垂直位置，因此不僅相對于水平導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)能夠減少垂直裝置的增設(shè)，且相對于垂直導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)做的功少，因此對上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310和下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410的功率要求降低。

較佳地，所述上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310和所述下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410的驅(qū)動(dòng)方式皆為電驅(qū)動(dòng)或者氣驅(qū)動(dòng)或者液壓驅(qū)動(dòng)。

請繼續(xù)參照圖1，下平臺(tái)導(dǎo)軌40位于下平臺(tái)20的下方，上平臺(tái)導(dǎo)軌30位于上平臺(tái)10下方，請參照圖7，上平臺(tái)10的面積大于下平臺(tái)20的面積，這樣可保證，同樣位于下平臺(tái)20兩側(cè)的上平臺(tái)導(dǎo)軌30不影響下平臺(tái)20的運(yùn)動(dòng)。

較佳地，請參照圖3和圖5，上平臺(tái)10包括上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110，上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上還包括可在上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上移動(dòng)的上物料推送機(jī)構(gòu)130以及位于上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110兩側(cè)的上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)120，上物料推送機(jī)構(gòu)130包括位于所述上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上的且相互平行的上軌道134以及在每個(gè)所述上軌道134上滑行的上滑塊131，上滑塊131的滑行方向與上平臺(tái)10的運(yùn)動(dòng)方向一致，每個(gè)上滑塊131上還具有若干個(gè)能夠吸附物料的上吸附氣柱133，以及用于驅(qū)動(dòng)上吸附氣柱133升降的上升降氣缸132，當(dāng)物料放置在上滑塊131上時(shí)，通過上吸附氣柱133上升來吸附物料，使得物料固定在上滑塊 131上，在本實(shí)施例中，具有四個(gè)上吸附氣柱133，每個(gè)上滑塊131上分布兩個(gè)上吸附氣柱133，較佳地，上軌道134在上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上對稱分布，對稱軸為上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110中心線，該中心線所在直線為上平臺(tái)10的運(yùn)動(dòng)方向，同時(shí)上滑塊131、上吸附氣柱133也始終保持關(guān)于該中心線對稱，始終保持對稱的上滑塊131和上吸附氣柱133保證了當(dāng)物料位于上滑塊131的上吸附氣柱133上時(shí)受到的吸附力均勻，保持物料的平穩(wěn)運(yùn)輸。

此外，上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上還對稱分布有若干個(gè)上吸盤140，在上滑塊131接收物料后，上吸附氣柱133降落至高度與上吸盤140齊平，或者高度小于上吸盤140，此時(shí)上吸附氣柱133停止吸附物料，物料被平穩(wěn)放置在上吸盤140上，可防止在上平臺(tái)10沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30運(yùn)動(dòng)的過程中產(chǎn)生的振動(dòng)使得物料從上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上掉落，本實(shí)施例中，上吸盤140對稱分布在上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110四角上，用于吸附物料并使其固定，此時(shí)除了上吸盤140吸附固定物料，兩邊的上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)120將物料對準(zhǔn)需要輸送的物料口口部(如曝光機(jī)的物料口或者基板產(chǎn)線輸送未加班基板的送料口)，并且兩側(cè)給予物料夾力，輔助上吸盤140將物料固定在上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110上。

較佳地，請參照圖4和圖6，下平臺(tái)20包括下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210，下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210下還包括可在下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上移動(dòng)的下物料推送機(jī)構(gòu)230以及位于下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210兩側(cè)的下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)220，下物料推送機(jī)構(gòu)230包括位于所述下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上的且相互平行的下軌道234以及在每個(gè)所述下軌道234上滑行的下滑塊 231，下滑塊231的滑行方向與下平臺(tái)20的運(yùn)動(dòng)方向一致，每個(gè)下滑塊231上還具有若干個(gè)能夠吸附物料的下吸附氣柱233以及驅(qū)動(dòng)下吸附氣柱233升降的下升降氣缸232，當(dāng)物料放置在下滑塊231上，此時(shí)僅通過下吸附氣柱233來吸附物料，使得物料固定在下滑塊231上，在本實(shí)施例中，具有四個(gè)下吸附氣柱233，每個(gè)下滑塊231上分布兩個(gè)下吸附氣柱233，較佳地，下軌道234在下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上對稱分布，對稱軸為下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210中心線，該中心線所在直線為下平臺(tái)20的運(yùn)動(dòng)方向，同時(shí)下滑塊231、下吸附氣柱233也始終保持關(guān)于該中心線對稱，始終保持對稱的下滑塊231和下吸附氣柱233保證了當(dāng)物料位于下滑塊231的下吸附氣柱233上時(shí)受到的吸附力均勻，保持物料的平穩(wěn)運(yùn)輸。

此外，下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210下還對稱分布有若干個(gè)下吸盤240，在下滑塊231接收物料后，下吸附氣柱233降落至高度與下吸盤240齊平，或者高度小于下吸盤240，此時(shí)下吸附氣柱233停止吸附物料，物料被平穩(wěn)放置在下吸盤240上，可防止在下平臺(tái)20沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌30運(yùn)動(dòng)的過程中產(chǎn)生的振動(dòng)使得物料從下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上掉落，本實(shí)施例中，下吸盤240對稱分布在下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210四角上，用于吸附物料，此時(shí)除了下吸盤240吸附固定物料，兩邊的下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)220將物料對準(zhǔn)需要輸送的物料口口部，并且兩側(cè)給予物料夾力，輔助下吸盤240將物料固定在下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上。

較佳地，上吸盤140和下吸盤240皆為真空吸盤或者磁力吸盤。

較佳地，還包括一框架50，所述物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)位于所述框架 50內(nèi)，該框架50的一端設(shè)置在物料口口部，使得上平臺(tái)10和下平臺(tái)20皆能運(yùn)動(dòng)至物料口口部，上平臺(tái)10或下平臺(tái)20位于物料口口部進(jìn)行交接物料時(shí)，上滑塊131或下滑塊231所在的位置統(tǒng)一稱為交接工位，另一端的上部由上平臺(tái)導(dǎo)軌30直通往未加工物料的送料口口部，上平臺(tái)10在送料口口部時(shí)上滑塊131所在的位置稱為物料上載位置，下部由下平臺(tái)導(dǎo)軌40直通往收集已加工物料的收料口口部，下平臺(tái)20在收料口口部時(shí)下滑塊231所在的位置稱為物料下載位置，這樣保證上平臺(tái)10從送料口上接收未加工物料，沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30輸送至物料口加工，加工完成后，由下平臺(tái)20從物料口接收已加工物料沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40送往收料口。當(dāng)然也可以使上平臺(tái)導(dǎo)軌30直通往收料口口部，下平臺(tái)導(dǎo)軌40直通往送料口口部，使上平臺(tái)10在交接工位上接收物料口中已加工物料運(yùn)輸至收料口，下平臺(tái)20從送料口上接收為加工物料運(yùn)輸至物料口。

本發(fā)明還提供一種物料輸送系統(tǒng)，包括上述的物料輸送臺(tái)結(jié)構(gòu)，以及與所述上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310、所述下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410和所述上升降氣缸132、所述下升降氣缸232皆電路連接的控制系統(tǒng)(未圖示)，該控制系統(tǒng)控制上平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器310從而控制著上平臺(tái)10沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30移動(dòng)、下平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器410從而控制著下平臺(tái)20沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40移動(dòng)，同時(shí)也控制著上升降氣缸132工作，從而控制上吸附氣柱133的升起和降落，以及控制著下升降氣缸232工作，從而控制下吸附氣柱233的升起與降落。

本發(fā)明還提供一種使用如上述的物料輸送系統(tǒng)的物料輸送方法， 上平臺(tái)10與下平臺(tái)20通過導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)交替運(yùn)動(dòng)至與所述物料口口部，由所述上物料推送機(jī)構(gòu)130和所述下物料推送機(jī)構(gòu)230將未加工物料上載至所述物料口或者將所述物料口的已加工物料下載并傳輸至收料口，請參照圖1、圖7和圖8，以上平臺(tái)10接收并輸送未加工物料、下平臺(tái)20接收并輸送已加工物料為例，具體包括以下步驟：

步驟一：上平臺(tái)10位于輸送未加工物料的送料口，上滑塊131位于物料上載位置時(shí)，上吸附氣柱133經(jīng)上升降氣缸132驅(qū)動(dòng)上升，從送料口接收待上載物料(即未加工物料)，待上載物料被上滑塊131上的上吸附氣柱133吸附固定，與上平臺(tái)10的運(yùn)動(dòng)同步進(jìn)行的下平臺(tái)20中，同時(shí)下平臺(tái)20運(yùn)動(dòng)到物料口口部位置，此時(shí)物料口中的已加工物料已被內(nèi)部機(jī)械結(jié)構(gòu)推送至被下平臺(tái)20接收狀態(tài)，下滑塊231運(yùn)動(dòng)至交接工位，下吸附氣柱233經(jīng)下升降氣缸232驅(qū)動(dòng)升高，直至接觸到已加工物料，接觸的同時(shí)，下滑塊231上的下吸附氣柱233將已加工物料瞬間吸附固定。

步驟二：上吸附氣柱133下降至高度等于或者低于上吸盤140，此時(shí)上吸附氣柱133停止吸附，待上載物料由對稱分布在上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110四角的上吸盤140吸附固定，上對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)120將待上載物料調(diào)整至與物料口對準(zhǔn)并且夾緊，保證在運(yùn)輸至物料口時(shí)，待上載物料無需再調(diào)整角度就能被推送至物料口內(nèi)，之后上滑塊131沿著上物料存儲(chǔ)平臺(tái)110的上軌道134向所述物料口滑行同時(shí)上平臺(tái)10沿著上平臺(tái)導(dǎo)軌30向物料口移動(dòng)，同時(shí)下吸附氣柱233下降至高度等于或者低于下吸盤240，所述下吸附氣柱233停止吸附，待下載物料 由下吸盤240吸附固定，下對準(zhǔn)夾緊機(jī)構(gòu)220將待下載物料對準(zhǔn)至收料口并且夾緊固定，之后與上平臺(tái)10的運(yùn)動(dòng)同步進(jìn)行的下滑塊231沿下物料存儲(chǔ)平臺(tái)210上的下軌道234滑行，滑行方向與上滑塊131相反，即向著接收已加工物料(待下載物料)的收料口滑行，并且下平臺(tái)20沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40移動(dòng)，移動(dòng)方向與下滑塊231的滑行方向一致。

步驟三：當(dāng)上平臺(tái)10運(yùn)動(dòng)至物料口口部，上吸盤140停止吸附，上升降氣缸132驅(qū)動(dòng)上吸附氣柱133上升并恢復(fù)吸附未加工物料，上滑塊131運(yùn)動(dòng)至交接工位后，上吸附氣柱133停止吸附物料，物料口內(nèi)具有接收結(jié)構(gòu)將待加工物料接收推送至物料口內(nèi)，與上平臺(tái)10同步進(jìn)行的下平臺(tái)20已沿著下平臺(tái)導(dǎo)軌40移動(dòng)至接收已加工物料的收料口處，下吸盤240停止吸附已加工物料，下吸附氣柱233上升并恢復(fù)吸附，下滑塊231移動(dòng)到物料下載位置，下吸附氣柱233停止吸附，收料口內(nèi)的機(jī)械裝置將下滑塊231上的待下載物料接收至收料口內(nèi)。

待上平臺(tái)10送入物料口的未加工物料在曝光機(jī)內(nèi)加工完成后，按照以上操作步驟，下平臺(tái)20從物料口接收，然后上平臺(tái)10繼續(xù)向物料口輸送未加工物料，如此循環(huán)往復(fù)，保證物料口在加工完物料并將物料送出后能立即接收未加工物料并加工。

實(shí)施例二

請參照圖9，本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于，上平臺(tái)導(dǎo)軌30位于上平臺(tái)10下方，這種結(jié)構(gòu)可保證下平臺(tái)20的運(yùn)動(dòng)時(shí)無需受到上平臺(tái)導(dǎo)軌30的影響，因此下平臺(tái)20的面積無需保證小于上平臺(tái)導(dǎo)軌 30的兩根導(dǎo)軌之間的距離，使得下平臺(tái)20具有更大的面積用于接收物料。

本發(fā)明對上述實(shí)施例進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施例。顯然本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。