技術(shù)編號：12812465
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，特別涉及一種物料輸送臺結(jié)構(gòu)和物料輸送系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)在集成電路制造過程中，一個(gè)完整的芯片通常需要經(jīng)過多次光刻曝光才能制作完成。在光刻作業(yè)中，由工件臺承載著被曝光對象(一般為玻璃基板)，掩膜臺上承載掩膜版，進(jìn)行光刻。在光刻產(chǎn)線化作業(yè)中，玻璃基板的傳輸效率對光刻機(jī)的產(chǎn)率有著至關(guān)重要的影響。但隨著玻璃基板的尺寸越來越大，傳輸設(shè)備尺寸也越來越大、重量也越來越重，而為了滿足傳輸效率的要求反而需要設(shè)備運(yùn)行的速度越來越快。因此對驅(qū)動(dòng)器的功率要求也越來越高，設(shè)備運(yùn)行的風(fēng)險(xiǎn)及物料的風(fēng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。