專利名稱：壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件輸送裝置及檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機械手以及機器人。
背景技術：
公知有使由壓電材料形成的部件(振動體)振動來驅(qū)動對象物的壓電馬達。該壓電馬達具有如下特征:與利用電磁力來使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的方式的電磁馬達相比，該壓電馬達的體型小、且能夠得到大的驅(qū)動力，進而，能夠以高分辨率定位對象物。因此，例如作為照相機的驅(qū)動機構(gòu)等各種裝置的致動器而被使用。壓電馬達以如下的原理進行動作。首先，將振動體(壓電材料)形成為近似長方體形狀，并在長邊方向的端面設置凸部。進而，對振動體施加規(guī)定頻率的電壓，從而同時產(chǎn)生振動體伸縮的方式的振動和振動體彎曲的方式的振動。這樣，振動體的端面開始進行朝一個方向旋轉(zhuǎn)的橢圓運動。因此，通過將設置于端面的凸部按壓于對象物，能夠利用在凸部與對象物之間作用的摩擦力使對象物朝一定方向移動。根據(jù)這樣的動作原理，壓電馬達需要在將設置于振動體的端面的凸部按壓于對象物的狀態(tài)下使用。并且，需要保持振動體，以免在驅(qū)動對象物時振動體因凸部從對象物受到的反作用力而脫離。然而，必須允許振動體以凸部進行橢圓運動的方式振動。因此，提出了如下技術:將振動體以使凸部突出的狀態(tài)收納于保持殼體，在該保持殼體內(nèi)，使用彈性部件從彎曲方向支承振動體的兩側(cè)，并且對振動體連同保持殼體朝對象物施力。專利文獻1:日本特開平11 - 346486號公報但是，近年來，對搭載有壓電馬達的裝置的小型化以及性能提高的要求日益增高，伴隨與此，也要求壓電馬達實現(xiàn)進一步的小型化以及驅(qū)動精度的提高。并且，存在難以高效地將振動體所產(chǎn)生的能量利用于對象物的驅(qū)動的問題。這是由于如下原因:由于從彎曲方向支承振動體的兩側(cè)，因此，振動體的振動易于經(jīng)由保持殼體傳遞到外部，傳遞到外部的振動無法利用于驅(qū)動對象物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術所具有的上述課題中的至少一部分而完成的，其目的在于提供能夠使壓電馬達小型化并提高驅(qū)動精度的技術，或者提供能夠高效地驅(qū)動對象物的技術。為了解決上述課題的至少一部分，本發(fā)明的壓電馬達采用了如下結(jié)構(gòu)。S卩，該壓電馬達的特征在于，通過使包含壓電材料的振動體振動，并使突出設置于振動體的端面的凸部與對象物接觸，來使對象物移動，其中，該壓電馬達具備:振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；基臺，在該基臺設置有滑動部，且振動體殼體安裝于基臺，振動體殼體在滑動部滑動；加壓彈性體，該加壓彈性體對從振動體殼體突出的凸部朝對象物的方向施力；以及側(cè)壓彈性體，該側(cè)壓彈性體從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向?qū)φ駝芋w殼體朝基臺的滑動部施力，側(cè)壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面與振動體殼體嵌合。在這種結(jié)構(gòu)的壓電馬達中，通過在使振動體的凸部連同振動體殼體一起與對象物接觸的狀態(tài)下使振動體振動，能夠使對象物移動。并且，由于利用側(cè)壓彈性體將振動體殼體按壓于基臺的滑動部，因此，在驅(qū)動對象物時，振動體不會因凸部從對象物受到的反作用力而脫離。這里，振動體殼體能夠在相對于對象物接近或遠離的方向上滑動。不僅如此，從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向?qū)⒄駝芋w殼體按壓于滑動部的側(cè)壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面與振動體殼體嵌合。這樣，側(cè)壓彈性體的端面不會相對于振動體殼體相對移動。因此，無需在側(cè)壓彈性體的端面與振動體殼體之間設置具有耐磨損性的部件、滾子等，因此能夠使壓電馬達小型化。當然，由于振動體殼體相對于對象物滑動，因此，在側(cè)壓彈性體的端面與振動體殼體嵌合的構(gòu)造中，側(cè)壓彈性體不僅將振動體殼體按壓于基臺的滑動部，還產(chǎn)生沿著阻礙振動體殼體的滑動的方向的力。該力在使將振動體的凸部按壓于對象物的力變動的方向發(fā)揮作用，因此會使在凸部與對象物之間產(chǎn)生的摩擦力變動，結(jié)果成為使壓電馬達的驅(qū)動力變動的主要因素。但是，實際上，因側(cè)壓彈性體的端面在其與振動體殼體之間滑動而產(chǎn)生的摩擦力的變動、因設置于側(cè)壓彈性體與振動體殼體之間的滾子滾動時的摩擦力的變動所引起的影響更大，因而，通過形成為側(cè)壓彈性體的端面在其與振動體殼體之間不滑動的構(gòu)造，反而能夠減少將振動體的凸部按壓于對象物的力的變動。并且,通過側(cè)壓彈性體的端面與振動體殼體嵌合，側(cè)壓彈性體對推壓凸部的推壓力賦予的變動是比因加壓彈性體的制造偏差而引起的推壓力的偏差小的值。根據(jù)以上的理由，通過采用側(cè)壓彈性體的端面與振動體殼體嵌合的構(gòu)造，能夠抑制將振動體的凸部按壓于對象物的力的變動。結(jié)果，能夠使壓電馬達的驅(qū)動力穩(wěn)定，并且能夠在每次通過振動體的振動使凸部進行橢圓運動時使對象物移動相同的距離。因此，根據(jù)本發(fā)明所涉及的壓電馬達，能夠使壓電馬達小型化、且能夠提高驅(qū)動精度。另外，加壓彈性體或側(cè)壓彈性體只要能夠?qū)φ駝芋w殼體施力即可，能夠使用螺旋彈簧、板簧等各種方式的彈簧。并且，例如在使用板簧作為側(cè)壓彈性體的情況下，側(cè)壓彈性體的表面中的、與振動體殼體接觸而施力的部分成為側(cè)壓彈性體的端面。另一方面，通過使螺旋彈簧大幅變形而進行使用，從而能夠以即便振動體殼體滑動、作用力也幾乎不變的狀態(tài)進行使用，因此能夠作為加壓彈性體或側(cè)壓彈性體而適當?shù)剡M行使用。并且，側(cè)壓彈性體的端面只要以使得當振動體殼體滑動時該端面與該振動體殼體之間不滑動的方式嵌合即可。因而，作為側(cè)壓彈性體的端面與振動體殼體嵌合的方式，例如可以在振動體殼體設置凹部并使側(cè)壓彈性體的端面與該凹部嵌合，也可以從振動體殼體設置突起并使側(cè)壓彈性體的端面與該突起嵌合。此外，也可以從側(cè)壓彈性體的端面設置突起，并使該突起與設置于振動體殼體的凹部嵌合。并且，在上述本發(fā)明的壓電馬達的基礎上，還可以利用側(cè)壓彈性體保持部支承側(cè)壓彈性體的不與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面，并使側(cè)壓彈性體的與側(cè)壓彈性體保持部接觸的一側(cè)的端面與側(cè)壓彈性體保持部嵌合。這樣，側(cè)壓彈性體的不與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面也不會滑動。因此，能夠避免因滑動導致摩擦力變動、將振動體的凸部按壓于對象物的力變動的情況。結(jié)果，能夠進一步提聞壓電馬達的驅(qū)動精度。
并且，在上述本發(fā)明的壓電馬達基礎上，還可以不將加壓彈性體設置于振動體殼體的后側(cè)(與面向?qū)ο笪锏囊粋?cè)相反的一側(cè))，而相對于振動體殼體將其設置于設置有滑動部的一側(cè)、或設置于設置有側(cè)壓彈性體的一側(cè)。這樣，與在振動體殼體的后側(cè)設置加壓彈性體的情況相比，能夠縮短壓電馬達的長度。結(jié)果，能夠使壓電馬達進一步小型化。并且，可以使用上述本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成驅(qū)動裝置、印刷裝置、機械手、以及機器人等。根據(jù)上述的壓電馬達，該壓電馬達的體型小、且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動精度。因而，若上述本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成驅(qū)動裝置、印刷裝置、機械手以及機器人等，則能夠獲得小型且高性能的驅(qū)動裝置、印刷裝置、機械手以及機器人等。并且，也可以使用上述的壓電馬達構(gòu)成如下的電子部件檢查裝置。即、該電子部件檢查裝置將所把持的電子部件安裝于檢查插座，并檢查所述電子部件的電氣特性，其中，使用上述任一種壓電馬達進行電子部件相對于檢查插座的對位。此外，也可以使用上述的壓電馬達構(gòu)成如下的電子部件輸送裝置。即，該電子部件輸送裝置輸送所把持的電子部件，其中，使用上述任一種壓電馬達進行電子部件的對位。上述的壓電馬達的體型小、且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動精度，因此能夠?qū)崿F(xiàn)能夠高精度地對電子部件進行對位且小型的電子部件輸送裝置。并且，電子部件輸送裝置還能夠以下述方式實施，即、該電子部件輸送裝置的特征在于，該電子部件輸送裝置具備:把持裝置，該把持裝置把持電子部件；移動裝置，該移動裝置使把持裝置沿相互正交的第一軸和第二軸、以及與第一軸和第二軸正交的第三軸共計三個軸的軸向移動；以及控制裝置，該控制裝置控制移動裝置的動作，其中，把持裝置具有:第一壓電馬達，該第一壓電馬達使電子部件沿第一軸的軸向移動；第二壓電馬達，該第二壓電馬達使電子部件沿第二軸的軸向移動；以及第三壓電馬達，該第三壓電馬達使電子部件繞第三軸旋轉(zhuǎn)，第一壓電馬達至第三壓電馬達為上述的壓電馬達。并且，電子部件檢查裝置能夠以如下方式實現(xiàn)。即、該電子部件檢查裝置的特征在于，具備:檢查插座，電子部件安裝于該檢查插座，且該檢查插座檢查電子部件的電氣特性；把持裝置，該把持裝置把持電子部件；移動裝置，該移動裝置使把持裝置沿相互正交的第一軸和第二軸、以及與第一軸和第二軸正交的第三軸共計三個軸的軸向移動；拍攝裝置，從檢查插座觀察，拍攝裝置設置在第一軸上或者第二軸上，并檢查安裝于檢查插座的電子部件的姿勢；上游側(cè)工作臺，該上游側(cè)工作臺將電子部件從檢查插座輸送至與拍攝裝置連結(jié)的第一軸或者第二軸上的規(guī)定位置；下游側(cè)工作臺，該下游側(cè)工作臺從與從檢查插座觀察設置有拍攝裝置的一側(cè)相反側(cè)的規(guī)定位置輸送電子部件；以及控制裝置，該控制裝置控制移動裝置的動作，其中，控制裝置具備:第一控制部，該第一控制部使把持著上游側(cè)工作臺輸送來的電子部件的把持裝置移動至拍攝裝置的上方；第二控制部，該第二控制部通過使把持裝置移動而將由拍攝裝置確認姿勢后的電子部件安裝于檢查插座；以及第三控制部，該第三控制部通過使把持裝置移動而將在檢查插座對電氣特性進行檢查后的電子部件從檢查插座載置于下游側(cè)工作臺，把持裝置內(nèi)置有:第一壓電馬達，該第一壓電馬達根據(jù)由拍攝裝置檢測到的電子部件的姿勢而使電子部件沿第一軸的軸向移動；第二壓電馬達，該第二壓電馬達根據(jù)由拍攝裝置檢測到的電子部件的姿勢而使電子部件沿第二軸的軸向移動；以及第三壓電馬達，該第三壓電馬達根據(jù)由拍攝裝置檢測到的電子部件的姿勢而使電子部件繞第三軸旋轉(zhuǎn)，第一壓電馬達至第三壓電馬達為上述的壓電馬達。具有這樣的結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置能夠在使用設置于把持裝置的第一至第三壓電馬達調(diào)整電子部件的姿勢后將電子部件安裝于檢查插座。這里，上述的壓電馬達的體積小、且能夠高精度地驅(qū)動對象物，因此特別適合作為設置于把持裝置的第一至第三壓電馬達。本發(fā)明所涉及的電子部件檢查裝置也可以采用如下結(jié)構(gòu)。即、該電子部件檢查裝置的特征在于，該電子部件檢查裝置將所把持的電子部件安裝于檢查插座，并檢查電子部件的電氣特性，其中，電子部件檢查裝置具備壓電馬達，該壓電馬達進行電子部件相對于檢查插座的對位，壓電馬達具備:振動體，該振動體包含壓電材料而形成，并在端面突出設置有凸部；振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；基臺，在該基臺設置有滑動部，且振動體殼體安裝于基臺，振動體殼體在滑動部滑動；加壓彈性體，該加壓彈性體對從振動體殼體突出的凸部朝對象物的方向施力；以及側(cè)壓彈性體，該側(cè)壓彈性體從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向?qū)φ駝芋w殼體朝基臺的滑動部施力，側(cè)壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面與振動體殼體嵌合。本發(fā)明所涉及的電子部件輸送裝置也可以采用如下的結(jié)構(gòu)。該電子部件輸送裝置用于輸送所把持的電子部件，其中，該電子部件輸送裝置具備進行電子部件的對位的壓電馬達，壓電馬達具備:振動體，該振動體包含壓電材料而形成，并在端面突出設置有凸部；振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；基臺，在該基臺設置有滑動部，且振動體殼體安裝于基臺，振動體殼體在滑動部滑動；加壓彈性體，該加壓彈性體對從振動體殼體突出的凸部朝對象物的方向施力；以及側(cè)壓彈性體，該側(cè)壓彈性體從與振動體殼體的滑動方向交叉的方向?qū)φ駝芋w殼體朝基臺的滑動部施力，側(cè)壓彈性體的與振動體殼體接觸的一側(cè)的端面與振動體殼體嵌合。為了解決上述課題的至少一部分，本發(fā)明的壓電馬達采用如下的結(jié)構(gòu)。S卩，壓電馬達的特征在于，該壓電馬達具有:振動體，該振動體包含壓電材料而形成，并在端面突出設置有凸部；振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；以及加壓彈性體，該加壓彈性體朝使振動體的凸部與對象物接觸的方向?qū)φ駝芋w殼體施力，壓電馬達通過使振動體產(chǎn)生伸縮振動和彎曲振動來使對象物移動，其中，壓電馬達具備:緩沖部，該緩沖部在振動體殼體內(nèi)從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)，且包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成；壓蓋，該壓蓋安裝于振動體殼體；以及碟形彈簧，該碟形彈簧設置于壓蓋與緩沖部之間，并被壓蓋壓縮，在緩沖部與碟形彈簧之間設置有壓板，該壓板的沿振動體的伸縮方向以及彎曲方向的移動被限制。在具有這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的壓電馬達中，由于被收納于振動體殼體的振動體的兩側(cè)由緩沖部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持，因此振動體的振動很難傳遞至振動體殼體，因而能夠高效地驅(qū)動對象物。并且，由于緩沖部包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成，因此振動體的振動在緩沖部變形時衰減，因此，根據(jù)該情況振動體的振動也很難傳遞至振動體殼體。另外，動態(tài)粘彈性(tan δ )是如下的指標。當在拉伸材料的模式下施加正弦波應變ε時，在材料上產(chǎn)生正弦波的應力σ，但應力σ的相位會相對于輸入的應變產(chǎn)生相位為S的延遲。使用該相位S對材料的動態(tài)粘性進行定量化而得的指標就是動態(tài)粘彈性(tan S)。S卩，所謂動態(tài)粘彈性較大、即相位5較大，表示所施加的應變在材料內(nèi)部產(chǎn)生傳遞延遲。換言之，能夠使振動的傳遞更加緩慢，從而能夠抑制振動向振動體殼體傳遞。并且，緩沖部被由壓蓋壓縮后的碟形彈簧按壓于振動體。因此，即便振動體、緩沖部的尺寸在振動體的夾持方向(與振動體的彎曲方向交叉的方向)產(chǎn)生偏差，也能夠利用碟形彈簧的彈性變形吸收該偏差。此外，在緩沖部與碟形彈簧之間設置有壓板，該壓板的沿振動體的振動方向(振動體的伸縮方向以及彎曲方向)的移動被限制。另外，“移動被限制”是指無法超過某個移動量而移動的狀態(tài)。因此，即便在振動體的凸部從對象物受到反作用力的情況下，由于壓板的移動被限制，因此碟形彈簧不會在剪切方向大幅變形。這樣，根據(jù)本發(fā)明，通過碟形彈簧彈性變形來吸收振動體、緩沖部的沿夾持方向的尺寸偏差，并且，碟形彈簧在振動體的振動方向、從對象物受到反作用力的方向幾乎不變形。結(jié)果，能夠容易地制造壓電馬達，而不需要進行實際測量振動體、緩沖部的厚度并針對振動體選擇并組裝緩沖部等繁瑣的作業(yè)。并且，在上述的壓電馬達的基礎上，也可以通過使壓板與壓蓋嵌合來限制壓板的移動。例如，在壓蓋的一部分形成凹部，壓板的一部分(壓板的端面，或者從壓板突出設置的凸部等)與壓蓋的凹部嵌合，結(jié)果，能夠避免壓板在振動體的振動方向(伸縮方向以及彎曲方向)移動。當然，也可以壓板的整體與壓蓋的凹部嵌合。此外，也可以在壓板形成凹部，并使從壓蓋突出設置的凸部與壓板的凹部嵌合。這樣，能夠簡單地實現(xiàn)利用碟形彈簧將緩沖部按壓于振動體、并限制壓板的移動的構(gòu)造。并且，在上述的壓電馬達的基礎上，也可以在壓板的與緩沖部接觸的部分的表面(接觸面)形成凹凸?；蛘咭部梢韵喾吹卦诰彌_部的與壓板接觸的部分的表面(接觸面)形成凹凸。這樣，利用將碟形彈簧按壓壓板的力使形成于壓板的凹凸卡入緩沖部、或者使形成于緩沖部的凹凸卡入壓板，因此，緩沖部很難在其與壓板的接觸面上滑動。因此，難以發(fā)生因在驅(qū)動對象物的過程中凸部受到的反作用力而導致振動體隨同緩沖部一起移動的情況。另外，形成于壓板或者緩沖部的凹凸能夠是各種方式的凹凸。例如，可以是凸部的前端尖銳的鋸齒狀的凹凸，也可以是表面粗糙的程度的微小的凹凸?；蛘撸部梢栽趬喊逡约熬彌_部雙方形成凹凸，并使形成于一方的凹凸與形成于另一方的凹凸嵌合。本發(fā)明所涉及的壓電馬達也可以采用如下結(jié)構(gòu)。即，該壓電馬達的特征在于，該壓電馬達具有:振動體，該振動體包含壓電材料而形成，且在端面突出設置有凸部；振動體殼體，該振動體殼體收納振動體；以及加壓彈性體，該加壓彈性體朝使振動體的凸部與對象物接觸的方向?qū)φ駝芋w殼體施力，壓電馬達通過使振動體產(chǎn)生伸縮振動和彎曲振動來使對象物移動，壓電馬達具備:緩沖部，該緩沖部在振動體殼體內(nèi)從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)，且包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成；壓蓋，該壓蓋安裝于振動體殼體；碟形彈簧，該碟形彈簧被壓蓋壓縮；以及壓板，該壓板設置于碟形彈簧與所述緩沖部之間。在具有這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的壓電馬達中，由于被收納于振動體殼體的振動體的兩側(cè)由緩沖部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持，因此振動體的振動很難傳遞至振動體殼體，因而能夠高效地驅(qū)動對象物。并且，由于緩沖部包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成，因此振動體的振動在緩沖部變形時衰減，因此，根據(jù)該情況振動體的振動也很難傳遞至振動體殼體。另外，動態(tài)粘彈性(tan δ )是如下的指標。當在拉伸材料的模式下施加正弦波應變ε時，在材料上產(chǎn)生正弦波的應力σ，但應力σ的相位會相對于輸入的應變產(chǎn)生相位為S的延遲。使用該相位S對材料的動態(tài)粘性進行定量化而得的指標就是動態(tài)粘彈性(tanS)。S卩，所謂動態(tài)粘彈性較大、即相位δ較大，表示所施加的應變在材料內(nèi)部產(chǎn)生傳遞延遲。換言之,能夠使振動的傳遞更加緩慢,從而能夠抑制振動向振動體殼體傳遞。并且，緩沖部被由壓蓋壓縮后的碟形彈簧按壓于振動體。因此，即便振動體、緩沖部的尺寸在振動體的夾持方向(與振動體的彎曲方向交叉的方向)產(chǎn)生偏差，也能夠利用碟形彈簧的彈性變形吸收該偏差。并且，碟形彈簧形成為很難在振動體的振動方向(伸縮方向以及彎曲方向)變形的形狀。除此之外，碟形彈簧的角部通過被壓蓋按壓而卡入壓板以及壓蓋，因此碟形彈簧不會在壓板、壓蓋之間滑動。因而，在振動體的振動方向(振動體的伸縮方向以及彎曲方向)以及從對象物受到反作用力的方向上，從壓板到壓蓋的部分大致能夠作為剛體使用。因此，根據(jù)本發(fā)明，通過碟形彈簧變形來吸收振動體、緩沖部的夾持方向的尺寸偏差，并且，在振動體的振動方向、從對象物受到反作用力的方向上，并不會產(chǎn)生任何因設置碟形彈簧而導致的影響。結(jié)果，能夠容易地制造壓電馬達，而無需進行實際測量振動體、緩沖部的厚度并針對振動體選擇并組裝緩沖部等繁瑣的作業(yè)。并且，該情況也不會對壓電馬達的性能方面產(chǎn)生任何負面影響。并且，在上述的壓電馬達的基礎上，也可以在壓板的與碟形彈簧的角部抵接的部分預先形成供角部嵌入的槽(第一槽)，在壓蓋的與碟形彈簧的角部抵接的部分預先形成供角部嵌入的槽(第二槽)。這樣，能夠使用比碟形彈簧硬的材料(或者在表面實施熱處理后的材料)等作為壓板、壓蓋的材料。并且，通過將第一槽、第二槽形成得較深，能夠在壓板、壓蓋之間可靠地保持碟形彈簧，因此能夠可靠地防止碟形彈簧在壓板、壓蓋之間滑動。并且，在上述的壓電馬達的基礎上，也可以在壓板或者壓蓋中的一方形成供碟形彈簧的外周部分嵌入的凹部。這樣，在重疊地組裝壓板和碟形彈簧時，能夠?qū)⒌螐椈汕度氚疾?，因此組裝作業(yè)變得容易。另外，從使組裝作業(yè)變得容易的觀點出發(fā)，碟形彈簧的外周部分松弛地嵌入凹部就足以使碟形彈簧不會大幅移動。但是，若以碟形彈簧不移動的狀態(tài)將碟形彈簧的外周部分嵌入凹部，則不僅能夠使組裝作業(yè)變得容易，還能夠更加可靠地防止在壓電馬達的動作中碟形彈簧在其與壓板或者壓蓋之間移動。并且，作為凹部的從上面觀察的形狀(從被壓蓋按壓的方向觀察的形狀)，只要是碟形彈簧的外周部分能夠嵌入的形狀即可，因而，可以是與碟形彈簧相同的圓形，也可以是例如多邊形形狀等。并且，在上述的壓電馬達的基礎上，也可以在壓板或者壓蓋中的一方形成供碟形彈簧的內(nèi)周部分嵌入的凸部。這樣，在將壓板、碟形彈簧以及壓蓋重疊地組裝時，能夠?qū)⒌螐椈汕度胪共?，因此組裝作業(yè)變得容易。另外，從使組裝作業(yè)變得容易的觀點出發(fā)，碟形彈簧的內(nèi)周部分松弛地嵌入凸部就足以使碟形彈簧不會大幅移動。但是，若以碟形彈簧不運動的狀態(tài)將碟形彈簧的內(nèi)周部分嵌入凸部，則不僅能夠使組裝作業(yè)變得容易，還能夠更加可靠地防止在壓電馬達的動作中碟形彈簧在其與壓板或者壓蓋之間運動。并且，作為凸部的從上面觀察的形狀(從被壓蓋按壓的方向觀察的形狀)，只要是碟形彈簧的內(nèi)周部分能夠嵌入的形狀即可，因而，可以是與碟形彈簧相同的圓形，也可以是例如多邊形形狀等。


圖1是示出實施方式I的壓電馬達的大體結(jié)構(gòu)的說明圖。圖2是示出主體部的構(gòu)造的分解組裝圖。圖3是示出壓電馬達的動作原理的說明圖。圖4是示出實施方式2中的振動體的夾持方法的剖視圖。圖5是關于振動體的夾持方法的說明圖。圖6是示出變形例中的振動體的夾持方法的剖視圖。圖7是示出變形例中的振動體的夾持方法的剖視圖。圖8是關于實施方式3中的振動體的夾持方法的說明圖。圖9是示出能夠吸收振動體以及緩沖部的厚度方向的尺寸偏差并適當?shù)貖A持振動體的理由的說明圖。圖10是示出振動體的夾持方法的其它方式的說明圖。圖11是示出變形例中的振動體的夾持方法的說明圖。圖12是示出變形例中的振動體的夾持方法的說明圖。圖13是例示出組裝壓電馬達而構(gòu)成的電子部件檢查裝置的立體圖。圖14是內(nèi)置于把持裝置的微調(diào)機構(gòu)的說明圖。圖15是例示出組裝有壓電馬達的印刷裝置的立體圖。圖16是例示出組裝有壓電馬達的機械手的說明圖。圖17是例示出具備機械手的機器人的說明圖。
具體實施例方式(實施方式I)以下，為了明確上述的本申請發(fā)明的內(nèi)容，對實施方式I所涉及的壓電馬達的結(jié)構(gòu)進行說明。(裝置結(jié)構(gòu))圖1是示出本實施方式的壓電馬達10的大體結(jié)構(gòu)的說明圖。圖1的(a)中示出本實施方式的壓電馬達10的整體圖，圖1的(b)中示出分解組裝圖。如圖1的(a)所示，本實施方式的壓電馬達10大體上由主體部100和基臺部200構(gòu)成。主體部100安裝在基臺部200內(nèi)，并能夠在該狀態(tài)下沿一個方向滑動。另外，在本說明書中，將主體部100的滑動方向稱為X方向。并且，如圖中所示，將與X方向正交的方向分別稱為Y方向、Z方向。主體部100以及基臺部200分別組合多個部件而構(gòu)成。例如,基臺部200通過利用固定螺釘240將第一側(cè)壁體210以及第二側(cè)壁體220緊固在呈近似矩形形狀基板230的上表面的兩側(cè)而構(gòu)成(參照圖1的(b))。在組裝壓電馬達10時，使用固定螺釘240從主體部100的上方將第一側(cè)壁體210以及第二側(cè)壁體220安裝于基板230。并且，在第一側(cè)壁體210形成有前方殼體212、中央殼體214、以及后方殼體216三個凹部。進而，當將第一側(cè)壁體210安裝于基板230時，以在前方殼體212收納有前方側(cè)壓彈簧212s、在后方殼體216收納有后方側(cè)壓彈簧216s的狀態(tài)進行安裝。結(jié)果，主體部100成為被前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s按壓于第二側(cè)壁體220的狀態(tài)。并且，在主體部100的側(cè)面的、面向第二側(cè)壁體220的一側(cè)安裝有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r。此外，在主體部100的側(cè)面設置有加壓彈簧222s。該加壓彈簧222s在前側(cè)滾子102r的后側(cè)的部位沿X方向推壓主體部100。另外，在本實施方式中，前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s與本發(fā)明的“側(cè)壓彈性體”對應，加壓彈簧222s與本發(fā)明的“加壓彈性體”對應。此外，基臺部200與本發(fā)明的“基臺”對應，構(gòu)成基臺部200的第一側(cè)壁體210以及第二側(cè)壁體220分別與本發(fā)明的“側(cè)壓彈性體保持部”以及“滑動部”對應。并且，在主體部100的與設置有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r的一側(cè)相反側(cè)的側(cè)面，朝Z方向(在圖中為上方)設置有推壓滾子104r。在安裝第一側(cè)壁體210后的狀態(tài)下，該推壓滾子104r被收納于第一側(cè)壁體210的中央殼體214。并且，在主體部100的設置有推壓滾子104r的部分的背面?zhèn)扰c基板230之間設置有推壓彈簧232s。因此，推壓滾子104r成為相對于中央殼體214的內(nèi)表面被朝Z方向(在圖中為上方)推壓的狀態(tài)。圖2是示出主體部100的構(gòu)造的分解組裝圖。主體部100大體上形成為在振動體殼體120內(nèi)收納有振動部110的構(gòu)造。振動部110包括:利用壓電材料形成為長方體形狀的振動體112、安裝在振動體112的長度方向(X方向)的端面的陶瓷制的驅(qū)動凸部114、以及將振動體112的一個側(cè)面分割成四份而設置成的四個表面電極116等。另外，雖然在圖2中未示出，但是在與設置有四個表面電極116的一側(cè)相反側(cè)的側(cè)面，設置有覆蓋側(cè)面的幾乎整面的背面電極，該背面電極接地。另外，在本實施例中，驅(qū)動凸部114與本發(fā)明的“凸部”對應。振動部110以由樹脂制的緩沖部件130從設置有表面電極116以及背面電極的兩個側(cè)面(在圖2中為Z方向的兩個側(cè)面)夾持的狀態(tài)被收納于振動體殼體120。此外，從表面電極116側(cè)的緩沖部件130的上方載置壓板140、碟形彈簧142、以及壓蓋144，并利用固定螺釘146將壓蓋144緊固于振動體殼體120。另外，緩沖部130由具有動態(tài)粘彈性的材料(聚酰亞胺樹脂、橡膠、彈性體等)形成。因此，雖然振動部110被碟形彈簧142的彈力推壓,但通過緩沖部130剪切變形，該振動部110以振動體112能夠振動的狀態(tài)被收納在振動體殼體120內(nèi)。(壓電馬達的動作原理)圖3是示出壓電馬達10的動作原理的說明圖。對于壓電馬達10，當以一定周期對振動部Iio的表面電極116施加電壓時，振動部110的驅(qū)動凸部114以進行橢圓運動的方式動作。振動部110的驅(qū)動凸部114進行橢圓運動的理由如下。首先，眾所周知，振動體112具有當施加正電壓時伸長的性質(zhì)。因而，如圖3的(a)所示，當反復進行在對四個表面電極116全部施加正電壓后解除施加電壓的操作時，振動體112反復進行在長度方向(X方向)伸縮的動作。將像這樣振動體112在長度方向(X方向)反復伸縮的動作稱為“伸縮振動”。并且，當改變施加正電壓的頻率時，當達到某個確定的頻率時，伸縮量突然變大，產(chǎn)生一種共振現(xiàn)象。在伸縮振動中產(chǎn)生共振的頻率(共振頻率)由振動體112的物性、振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定。并且，如圖3的(b)所示，以相互位于對角線的位置的兩個表面電極116為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、或表面電極116b以及表面電極116c的組),交替地施加正電壓。于是，振動體112的長度方向(X方向)的前端部(安裝有驅(qū)動凸部114的部分)反復進行在圖中朝右方向或左方向擺頭的動作。例如，如圖3的(b)所示，當以一定周期對表面電極116a以及表面電極116d的組施加正電壓時,振動體112反復進行使前端部(驅(qū)動凸部114)在圖中朝右方向擺動的動作。并且，如圖3的(c)所示，當以一定周期對表面電極116b以及表面電極116c的組施加正電壓時，振動體112反復進行使前端部在圖中朝左方向擺動的動作。將這樣的振動體112的動作稱為“彎曲振動”。對于這樣的彎曲振動，也存在由振動體112的物性、振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定的共振頻率。因而，當以該共振頻率對相互位于對角線的位置的兩個表面電極116施加正電壓時，振動體112朝右方向或左方向大幅度擺頭而進行振動。這里，圖3的(a)所示的伸縮振動的共振頻率與圖3的(b)或圖3的(C)所示的彎曲振動的共振頻率均由振動體112的物性、振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定。因而，若適當?shù)剡x擇振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)，則能夠使兩個共振頻率一致。進而，當以共振頻率對上述的振動體112施加如圖3的(b)或圖3的(c)所示的彎曲振動的方式的電壓時，在產(chǎn)生圖3的(b)或圖3的(c)所示的彎曲振動的同時，也會由于共振而誘發(fā)圖3的(a)的伸縮振動。結(jié)果，在以圖3的(b)所示的方式施加了電壓的情況下，振動體112的前端部分(安裝有驅(qū)動凸部114的部分)沿圖中順時針方向開始進行橢圓運動。并且，在以圖3的(c)所示的方式施加了電壓的情況下，振動體112的前端部分沿圖中的逆時針方向開始進行橢圓運動。圖3的(d)是示出使施加電壓(驅(qū)動方法)以上述方式變化時的橢圓運動的旋轉(zhuǎn)方向的變化方式的狀態(tài)轉(zhuǎn)變圖。壓電馬達10利用這樣的橢圓運動驅(qū)動對象物。即、在將振動體112的驅(qū)動凸部114按壓于對象物的狀態(tài)下產(chǎn)生橢圓運動。于是，驅(qū)動凸部114反復進行如下動作:在振動體112伸長時，在被按壓于對象物的狀態(tài)下從左向右(或從右向左)移動，然后，在振動體112收縮時，在從對象物離開的狀態(tài)下返回至原來的位置。結(jié)果，對象物借助從驅(qū)動凸部114受到的摩擦力而朝一個方向被驅(qū)動。并且，對象物所受到的驅(qū)動力與在該對象物和驅(qū)動凸部114之間產(chǎn)生的摩擦力相等，因此，驅(qū)動力的大小由驅(qū)動凸部114與對象物之間的摩擦系數(shù)和將驅(qū)動凸部114按壓于對象物的力決定。根據(jù)以上說明的壓電馬達10的動作原理可知，壓電馬達10需要在將驅(qū)動凸部114按壓于對象物的狀態(tài)下使用。因此，在壓電馬達10中形成為:具備驅(qū)動凸部114的主體部100能夠相對于基臺部200滑動，并利用設置在主體部100與基臺部200之間的加壓彈簧222s將從主體部100突出的驅(qū)動凸部114按壓于對象物(參照圖1)。并且，當驅(qū)動對象物時，驅(qū)動凸部114從對象物受到反作用力。進而，該反作用力被傳遞至主體部100。如上所述，必須形成為主體部100能夠相對于基臺部200滑動，但是，當主體部100因在驅(qū)動時受到的反作用力而沿與滑動方向正交的方向脫離時，不能向?qū)ο笪飩鬟f足夠的驅(qū)動力。并且，當主體部100脫離時，驅(qū)動凸部114的移動量減少，因此對象物的驅(qū)動量變少。此外，主體部100的脫離量未必總是穩(wěn)定，所以導致對象物的驅(qū)動量不穩(wěn)定。因此，如圖1所示，在壓電馬達10中，從與主體部100的滑動方向正交的方向，利用前方側(cè)壓彈簧212S以及后方側(cè)壓彈簧216s將主體部100按壓于第二側(cè)壁體220。這里，在壓電馬達10中，前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s以下述方式安裝。并且，由于壓電馬達10通過在將驅(qū)動凸部114按壓于對象物的狀態(tài)下使振動體112沿伸縮方向(X方向)以及彎曲方向(Y方向)振動而進行使用，所以需要將振動體112以允許在伸縮方向以及彎曲方向振動的狀態(tài)收納在振動體殼體120內(nèi)。此外，在使振動體112振動而使對象物移動時，來自對象物的反作用力作用于驅(qū)動凸部114。當振動體112因該反作用力而在振動體殼體120內(nèi)移動時，則無法將足夠的驅(qū)動力傳遞到對象物，驅(qū)動凸部114的移動量減少，因此對象物的驅(qū)動量減小。主體部100的脫離量并非總是穩(wěn)定的，因此導致對象物的驅(qū)動量不穩(wěn)定。因此，在壓電馬達10中，如圖2所示，采用通過利用緩沖部130從與振動體112的彎曲方向交叉的方向(Z方向)夾持振動體112的兩個側(cè)面而將振動體112保持在振動體殼體120內(nèi)的構(gòu)造。在該保持構(gòu)造中，通過緩沖部130在剪切方向變形來允許振動體112的振動，并且能夠利用緩沖部130在剪切方向變形時的剛性來保持振動體112，以免其因來自對象物的反作用力而移動。但是，該保持構(gòu)造形成為利用緩沖部130從兩側(cè)夾持振動體112的構(gòu)造，其中，該振動體112由壓電材料形成，因而容易產(chǎn)生制造偏差，該緩沖部130由聚酰亞胺樹脂等形成，因而容易產(chǎn)生制造偏差。因此，由于振動體112以及緩沖部130的制造偏差累積，因此厚度方向(Z方向)的尺寸容易產(chǎn)生較大的偏差。進而，緩沖部130需要具有即便受到來自對象物的反作用力也不會使受振動體112移動的程度的剛性，因此，很難利用緩沖部130吸收該尺寸的偏差。因此，在壓電馬達10中，采用不是簡單地利用緩沖部130夾持振動體112，而是利用壓板140、碟形彈簧142、壓蓋144將緩沖部130按壓于振動體112來夾持振動體112的構(gòu)造。(實施方式2)圖4的(a)是通過取得本實施方式的主體部的側(cè)面方向的剖面來示出夾持振動體的構(gòu)造的說明圖。并且，圖4的(b)是示意性地示出夾持振動體的構(gòu)造的說明圖。另外，所謂側(cè)面方向的剖面是指與含有Y軸和Z軸的平面平行的面中的側(cè)剖視圖。在本實施方式中，對壓電馬達10的厚度方向(Z軸向)的構(gòu)造詳細地進行說明。另夕卜，由于壓電馬達10的裝置結(jié)構(gòu)、動作原理、平面構(gòu)造等與實施方式I中的說明相同，所以省略共通的結(jié)構(gòu)部位、動作說明等重復的說明。(振動體的夾持構(gòu)造)如圖4的(a)所示，振動體112以由緩沖部130從Z軸方向的兩側(cè)夾持的狀態(tài)被收納在振動體殼體120內(nèi)。另外，緩沖部130借助粘接劑粘貼于振動體112。進而，從收納于振動體殼體120的振動體112以及緩沖部130的上方載置壓板140、碟形彈簧142以及壓蓋144，并利用固定螺釘146將壓蓋144安裝于振動體殼體120。并且，在壓蓋144的內(nèi)表面?zhèn)?面向振動體112的一側(cè))形成有凹部144c，當利用固定螺釘146將壓蓋144安裝于振動體殼體120時，碟形彈簧142被壓縮，從而壓板140的上表面?zhèn)惹度氚疾?44c。此處，當利用固定螺釘146將壓蓋144安裝于振動體殼體120時，在碟形彈簧142沿Z方向被壓縮的同時，緩沖部130也沿Z方向被壓縮。但是，與緩沖部130的在Z方向上的剛性相比，碟形彈簧142的在Z方向上的剛性被設定為十分小的值。圖4的(b)中示意性地示出振動體112被夾持在振動體殼體120內(nèi)的狀況。在圖4的(b)中，用較大的彈簧表示具有較大的剛性的緩沖部130，用較小的彈簧表示具有較小的剛性的碟形彈簧142。并且，省略固定螺釘146的圖示。如圖所示，在壓電馬達10中形成為利用具有較大的剛性的緩沖部130夾持振動體112的兩側(cè)，并利用具有比緩沖部130的剛性小的剛性的碟形彈簧142經(jīng)由壓板140將整體(振動體112以及兩側(cè)的緩沖部130)按壓于振動體殼體120而進行保持的構(gòu)造。并且，至少在組裝主體部100后的狀態(tài)下，壓板140的上表面?zhèn)惹度氚疾?44c內(nèi)，因此，壓板140成為在振動體112的振動方向(X方向以及Y方向)的移動被限制的狀態(tài)。這樣，即便在振動體112、緩沖部130的厚度方向(Z方向)的尺寸產(chǎn)生較大的偏差的情況下，也能夠在利用緩沖部130適當?shù)乇３终駝芋w112的狀態(tài)下收納在振動體殼體120內(nèi)。以下，對該點詳細地進行說明。圖5是示出將振動體112以及緩沖部130收納在振動體殼體120內(nèi)的狀況的說明圖。圖5的(a)中示出將壓蓋144安裝于振動體殼體120前的狀態(tài)，圖5的(b)中示出利用未圖示的固定螺釘146將壓蓋144安裝于振動體殼體120后的狀態(tài)。在將壓蓋144安裝于振動體殼體120前的狀態(tài)下，在碟形彈簧142以及緩沖部130均未施加有壓縮力。從該狀態(tài)起，當使用未圖示的固定螺釘146將壓蓋144按壓于振動體殼體120時，在碟形彈簧142以及緩沖部130作用有壓縮力。但是，如上述所，碟形彈簧142的剛性設定為比緩沖部130的剛性小。因此，即便在碟形彈簧142以及緩沖部130作用有相同大小的力，緩沖部130也幾乎不會變形，而只有碟形彈簧142變形。結(jié)果，如圖5的(b)所示，在將壓蓋144安裝于振動體殼體120后的狀態(tài)下，形成為緩沖部130幾乎不收縮、而只有碟形彈簧142收縮的狀態(tài)。此時，將緩沖部130按壓于振動體112力與作用于碟形彈簧142的壓縮力(使碟形彈簧142收縮的力)相當。此處，當振動體112以及緩沖部130的尺寸存在偏差時，碟形彈簧142的壓縮量變化，因此，碟形彈簧142的壓縮力、也就是將緩沖部130按壓于振動體112的力變化。但是，如圖5所示，由于碟形彈簧142以大幅壓縮的方式使用，因此，即便因振動體112以及緩沖部130的尺寸偏差而導致碟形彈簧142的壓縮量發(fā)生變化，該壓縮量的變化相對于整體的壓縮量的比例也很微小。因此，即便在振動體112以及緩沖部130產(chǎn)生尺寸偏差，也能夠避免將緩沖部130按壓于振動體112的力不均衡。并且，能夠像如下那樣考慮上述情況。即，考慮在振動體112以及緩沖部130產(chǎn)生某種大小的尺寸偏差，而利用緩沖部130或者碟形彈簧142的變形吸收該尺寸偏差的情況。由于緩沖部130具有較大的剛性，所以若要通過緩沖部130的變形吸收尺寸偏差，則壓縮力大幅變化。與此相對，如果是比緩沖部130剛性小的碟形彈簧142，則即便吸收相同大小的尺寸偏差，壓縮力也只是略微改變。因此，通過設置具有比緩沖部130的剛性小的剛性的碟形彈簧142，總是能夠利用適當?shù)牧⒕彌_部130按壓于振動體112，而不受振動體112、緩沖部130的尺寸偏差的影響。但是，在僅設置有比緩沖部130的剛性小的部位(本實施方式中為碟形彈簧142)的情況下，當因驅(qū)動對象物時的反作用力而對緩沖部130施加剪切方向的力時，剛性小的部位變形，從而導致在驅(qū)動對象物時振動體112因反作用力而移動。但是，在本實施方式中，如使用圖4在前面所述那樣，壓板140嵌入凹部144c。因此，如圖5的(b)所示，即便碟形彈簧142因來自對象物的反作用力而欲沿剪切方向變形，壓板140與壓蓋144干涉。結(jié)果，碟形彈簧142不會剪切變形，而能夠利用緩沖部130的在剪切方向上的剛性穩(wěn)固地保持振動體112。如以上詳細地說明那樣，在本實施方式的壓電馬達10中，即便在振動體112與緩沖部130產(chǎn)生較大的尺寸偏差的情況下，也能夠通過設置于壓板140與壓蓋144之間的碟形彈簧142的變形吸收該尺寸偏差。因此，即便不進行實際測量振動體112、緩沖部130的在厚度方向(z方向)的尺寸，并針對振動體112選擇并組裝緩沖部130等繁瑣的作業(yè)，也能夠以利用適當?shù)牧⒕彌_部130按壓于振動體112的狀態(tài)收納于振動體殼體120。結(jié)果，能夠容易地制造壓電馬達10。并且，不僅能夠使用剛性較小的碟形彈簧142將緩沖部130按壓于振動體112，并且，相對于驅(qū)動對象物時的反作用力，能夠利用緩沖部130的剛性穩(wěn)固地保持振動體112。此外，振動體112在被收納于振動體殼體120的狀態(tài)下，該振動體112的兩側(cè)由緩沖部130從與振動體112自身的彎曲方向交叉的方向夾持，因此，振動體112的振動很難傳遞至振動體殼體120，驅(qū)動力的損失減少，能夠高效地驅(qū)動對象物。(變形例)上述實施方式2的壓電馬達10存在多種變形例。以下，對這些變形例簡單地進行說明。另外，在以下的變形例中，以與上述的壓電馬達10不同的部分為主進行說明，對與壓電馬達10相同的結(jié)構(gòu)標注相同的標號并省略說明。(第一變形例)在實施方式2中，對通過使壓板140嵌入壓蓋144的凹部144c來限制壓板140的沿X方向或者Y方向的移動的方式進行了說明。但是，只要能夠限制壓板140的沿X方向或者Y方向的移動即可，并非必須是壓板140嵌入凹部144c的方式。例如，如圖6所示，也可以是壓板140與振動體殼體120的內(nèi)壁面干涉，從而限制壓板140的沿X方向或者Y方向的移動的方式。或者，也可以是從壓蓋144突出設置的凸部與設置于壓板140的凹部嵌合的方式。(第二變形例)在上述的實施方式2中，對壓板140僅被朝緩沖部130推壓的方式進行了說明。但是，如圖7所示，也可以在壓板140與緩沖部130接觸的部分的、靠壓板140側(cè)(或者緩沖部130偵D的表面設置凹凸。例如，也可以是通過被碟形彈簧142推壓而使設置于壓板140表面的凹凸卡入聚酰亞胺樹脂制的緩沖部130的表面，或者也可以在壓板140以及緩沖部130的表面設置凹凸并使相互的凹凸嚙合的方式。這樣，在長時間地使用壓電馬達10的期間，能夠可靠地避免緩沖部130在壓板140與緩沖部130(或者緩沖部130與振動體殼體120)之間滑動。當然，也可以不僅在壓板140與緩沖部130的接觸面設置凹凸，還在緩沖部130與振動體殼體120的接觸面的靠振動體殼體120側(cè)設置凹凸。這樣，能夠防止緩沖部130在緩沖部130與振動體殼體120的接觸
面滑動。(實施方式3)圖8是通過取得本實施方式的主體部的側(cè)剖面來示出夾持振動體的構(gòu)造的說明圖。在本實施方式中，對與實施方式2不同的壓電馬達10的厚度方向(Z軸方向)的構(gòu)造進行說明。另外，由于壓電馬達10的裝置結(jié)構(gòu)、動作原理、平面構(gòu)造(側(cè)壓彈簧的安裝構(gòu)造)等與在實施方式I中的說明相同，所以對共通的結(jié)構(gòu)部位、動作說明等省略重復說明。(振動體的夾持構(gòu)造)如圖8所示，振動體112以其Z方向的兩側(cè)被緩沖部130夾持的狀態(tài)被收納在振動體殼體120內(nèi)。進而，從被收納于振動體殼體120的振動體112以及緩沖部130的上方載置壓板140、碟形彈簧142、壓蓋144，并利用固定螺釘146將壓蓋144安裝于振動體殼體120。另外，緩沖部130通過粘接劑粘貼于振動體112。這樣，能夠容易地將易產(chǎn)生制造偏差的振動體112以及緩沖部130以重疊的狀態(tài)收納在振動體殼體120內(nèi)。以下，對該理由進行說明。圖9是示出能夠容易地將易產(chǎn)生制造偏差的振動體112以及緩沖部130以重疊的狀態(tài)收納在振動體殼體120內(nèi)的理由的說明圖。振動體112、緩沖部130、壓板140、以及碟形彈簧142通過壓蓋144被收納在振動體殼體120內(nèi)，上述部件中的振動體112、壓板140幾乎不在Z方向變形。因而，必須利用其余的部分(緩沖部130以及碟形彈簧142)的壓縮變形吸收因振動體112、緩沖部130的制造偏差而導致的厚度方向(Z方向)的尺寸偏差。并且，振動體112、壓板140幾乎不在振動體112振動的方向(Y方向以及X方向)變形，因此，需要利用其余的部分(緩沖部130或者碟形彈簧142)的剪切變形吸收振動體112振動的移動。并且，緩沖部130或者碟形彈簧142必須承受在驅(qū)動對象物時振動體112受到的反作用力。圖9的(a)通過放大地示出壓蓋144、碟形彈簧142以及壓板140重疊的部分來示出吸收因振動體112、緩沖部130的制造偏差而導致的厚度方向(Z方向)的尺寸偏差的狀況的說明圖。碟形彈簧142相對于厚度方向(Z方向)的壓縮而作為彈簧發(fā)揮功能，因此其剛性比緩沖部130的剛性小。因此，即便振動體112以及緩沖部130的尺寸在厚度方向(Z方向)產(chǎn)生偏差，也能夠通過碟形彈簧142在Z方向彎曲來吸收厚度方向的尺寸偏差。另外，當?shù)螐椈?42在壓板140與壓蓋144之間被壓縮時，碟形彈簧142的角部的部分被按壓于壓板140以及壓蓋144。因此，在壓板140的表面，供碟形彈簧142的角部按壓的部分凹下而形成第一槽140d。同樣，在壓蓋144的表面，供碟形彈簧142的角部按壓的部分凹下而形成第二槽144d。雖然上述第一槽140d以及第二槽144d與碟形彈簧142吸收厚度方向的尺寸偏差的作用無關，但在吸收振動體112的振動、阻止來自對象物的反作用力時有效地發(fā)揮功能。圖9的(b)中示出緩沖部130以及碟形彈簧142吸收振動體112的振動并承受來自對象物的反作用力的狀況。雖然碟形彈簧142相對于厚度方向(Z方向)的壓縮具有較小的剛性，但相對于剪切方向(Y方向或者X方向)的剪切變形具有較大的剛性。并且，碟形彈簧142的上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)鹊慕遣糠謩e嵌入壓蓋144的第二槽144d以及壓板140的第一槽140d，因此，碟形彈簧142不會在壓板140、壓蓋144之間滑動。因而，相對于振動體112的沿Y方向(或者X方向)的移動，可以認為從壓板140到壓蓋144的部分幾乎是剛體。因此,振動體112的振動完全通過緩沖部130剪切變形而被吸收。并且，從對象物受到的反作用力也完全通過緩沖部130剪切變形來承受。另外，壓板140的第一槽140d、壓蓋144的第二槽144d具有避免碟形彈簧142滑動的功能。因而，只要形成為在碟形彈簧142欲滑動時的“卡止件”即可，無需如圖9例示地那樣形成明顯的凹陷。例如，即便是表面輕輕地劃傷而形成的較淺的凹陷，也能夠作為碟形彈簧142欲滑動時的“卡止件”發(fā)揮作用，因此，也與本實施方式的第一槽140d、第二槽144d相當。根據(jù)以上的說明可知，設置于壓板140與壓蓋144之間的碟形彈簧142在將緩沖部130按壓于振動體112的方向(Z方向)作為比緩沖部130剛性小的彈簧發(fā)揮功能。因此，即便因振動體112以及振動體殼體120的制造偏差而在厚度方向(Z方向)產(chǎn)生較大的尺寸偏差，也能夠利用碟形彈簧142吸收該偏差。結(jié)果，無需進行根據(jù)厚度方向(Z方向)的尺寸選擇并組裝振動體112以及緩沖部130等繁瑣的作業(yè)，能夠簡單地將它們收納在振動體殼體120內(nèi)。并且，在振動體112振動的方向(Y方向以及X方向)或者從對象物受到反作用力的方向(主要是Y方向)，從壓板140到壓蓋144的部分幾乎都作為剛體發(fā)揮作用，因此設置有碟形彈簧142的情況不會造成任何影響。因此，不會對緩沖部130吸收振動體112的振動并且承受來自對象物的反作用力的功能造成任何負面影響。結(jié)果，根據(jù)本實施方式的振動體112的夾持構(gòu)造，能夠容易地制造壓電馬達10，而不會在性能方面造成任何負面影響。此外，振動體112在被收納于振動體殼體120的狀態(tài)下其兩側(cè)由緩沖部130從與振動體112自身的彎曲方向交叉的方向夾持，因此，振動體112的振動很難傳遞至振動體殼體120，驅(qū)動力的損失減少，從而能夠高效地驅(qū)動對象物。另外，根據(jù)以上的說明可知，只要將碟形彈簧142設置于壓板140與壓蓋144之間即可。因而，也可以如圖10所示使碟形彈簧142的朝向上下相反地設置。(變形例)上述實施方式3的壓電馬達10存在多種變形例。以下，對這些變形例簡單地進行說明。另外，在以下的變形例中，以與上述的壓電馬達10不同的部分為主進行說明，對與壓電馬達10相同的結(jié)構(gòu)標注相同的標號并省略說明。(第三變形例)在上述的實施方式3中，對在組裝前的壓板140、壓蓋144未形成第一槽140d、第二槽144d，在組裝時被碟形彈簧142推壓而碟形彈簧142的角部卡入，從而形成壓板140的第一槽140d、壓蓋144的第二槽144d的方式進行了說明。但是，也可以在壓板140、壓蓋144的表面預先形成第一槽140d、第二槽144d。這樣，能夠使用比碟形彈簧142硬、具有更強的耐磨損性的材料(例如，實施了表面熱處理后的材料)等作為壓板140、壓蓋144的材料。并且，通過將第一槽140d、第二槽144d形成得較深，能夠在壓板140、壓蓋144之間更加穩(wěn)固地保持碟形彈簧142，因此能夠可靠地防止碟形彈簧142滑動。(第四變形例)在上述的實施方式3以及變形例中，對僅將碟形彈簧142夾在壓板140與壓蓋144之間的方式進行了說明。但是，也可以在壓板140或者壓蓋144中的至少一方形成凹部，并使碟形彈簧142的外周部分嵌入該凹部。圖11是示出第四變形例的夾持構(gòu)造的剖視圖。在圖11的(a)所示的例子中，在壓蓋144形成有凹部144c，碟形彈簧142松弛地嵌入該凹部144c。并且，在圖11的(b)所示的例子中，在壓板140形成有凹部140c，碟形彈簧142松弛地嵌入該凹部140c。這樣，在將壓板140、碟形彈簧142以及壓蓋144重疊而組裝于振動體殼體120時，碟形彈簧142不會大幅移動，因此可容易地進行組裝作業(yè)。另外，形成于壓板140的凹部140c、形成于壓蓋144的凹部144c只要是碟形彈簧142的外周部分能夠嵌入的形狀即可。因而，雖然從壓縮方向(Z方向)觀察碟形彈簧142時其外周形狀為圓形，但從壓縮方向(Z方向)觀察時的凹部140c、凹部144c的形狀并不限于圓形，也可以是正方形等多邊形形狀。并且，在以上的說明中，對碟形彈簧142松弛地嵌入凹部140c或者凹部144c的方式進行了說明。因而，碟形彈簧142在被組裝于壓板140與壓蓋144之間而受到壓縮力之前，形成為能夠在凹部140c或者凹部144c中稍微移動的狀態(tài)。但是，也可以使碟形彈簧142的外周部分以使得碟形彈簧142不在凹部140c或者凹部144c中運動的方式嵌入凹部140c或者凹部144c。這樣，能夠容易地組裝碟形彈簧142，同時還能夠可靠地防止在壓電馬達10的動作中碟形彈簧142因振動體112的振動、從對象物受到的反作用力而與壓板140或者壓蓋144之間滑動。(第五變形例)并且，在上述第四變形例中，對碟形彈簧142的外周部分嵌入壓板140的凹部140c或者壓蓋144的凹部144c的方式進行了說明。與此相對，也可以形成為碟形彈簧142的內(nèi)周部分嵌入從壓板140或者壓蓋144突出設置的凸部。圖12是示出第五變形例的夾持構(gòu)造的剖視圖。在圖12的(a)所示的例子中，從壓板140突出設置有凸部140b，碟形彈簧142的內(nèi)周部分松弛地嵌入該凸部140b。并且，在圖12的(b)所示的例子中，從壓蓋144突出設置有凸部144b，碟形彈簧142的內(nèi)周部分松弛地嵌入該凸部144b。這樣，在將壓板140、碟形彈簧142以及壓蓋144重疊地組裝于振動體殼體120時，碟形彈簧142不會大幅移動，從而可容易地進行組裝作業(yè)。另外，壓板140的凸部140b、壓蓋144的凸部144b只要是碟形彈簧142的內(nèi)周部分能夠嵌入的形狀即可。因而，雖然從壓縮方向(Z方向)觀察碟形彈簧142時碟形彈簧142的內(nèi)周形狀為圓形，但從壓縮方向(Z方向)觀察時的凸部140b、凸部144b的形狀并不限于圓形，也可以是正方形等多邊形形狀。并且，在本變形例中，對碟形彈簧142松弛地嵌入凸部140b或者凸部144b的方式進行了說明。因而，僅將碟形彈簧142嵌入凸部140b或者凸部144b的話，碟形彈簧142能夠稍微移動。但是，也可以使碟形彈簧142的內(nèi)周部分以無法移動的方式嵌入凸部140b或者凸部144b。這樣，也能夠容易地組裝碟形彈簧142，同時還能夠可靠地防止在壓電馬達10的動作中碟形彈簧142與壓板140或者壓蓋144之間滑動。(應用例)上述的各實施方式的壓電馬達10的體型小、能夠高精度地驅(qū)動對象物、并且能夠容易地進行制造，因此能夠作為以下的裝置的驅(qū)動裝置而適當?shù)亟M裝。圖13例示出組裝本應用例的壓電馬達10而構(gòu)成的電子部件檢查裝置600的立體圖。圖示的電子部件檢查裝置600大體上具備基臺610、和立起設置于基臺610的側(cè)面的支承臺630。在基臺610的上表面設置有用于載置并輸送作為檢查對象的電子部件I的上游側(cè)工作臺612u、和用于載置并輸送檢查完畢的電子部件I的下游側(cè)工作臺612d。并且，在上游側(cè)工作臺612u與下游側(cè)工作臺612d之間設置有用于確認電子部件I的姿勢的拍攝裝置614、和為了檢查電氣特性而放置電子部件I的檢查臺616。另外，作為電子部件I的代表性的例子，例舉“半導體”、“CLD、OLED等顯示器件”、“水晶器件”、“各種傳感器”、“噴墨頭”、以及“各種MEMS器件”等。并且，本實施例的檢查臺616與本發(fā)明的“檢查插座”對應。并且，在支承臺630以能夠沿與基臺610的上游側(cè)工作臺612u以及下游側(cè)工作臺612d平行的方向(Y方向)移動的方式設置有Y工作臺632，從Y工作臺632沿朝向基臺610的方向(X方向)延伸設置有臂部634。此外，在臂部634的側(cè)面以能夠沿X方向移動的方式設置有X工作臺636。進而，在X工作臺636設置有攝像機638、和內(nèi)置有能夠沿上下方向(Z方向)移動的Z工作臺的把持裝置650。并且，在把持裝置650的前端設置有把持電子部件I的把持部652。此外，在基臺610的前面?zhèn)冗€設置有對電子部件檢查裝置600整體的動作進行控制的控制裝置618。另外，在本實施例中，X工作臺636、Y工作臺632、以及內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺與本發(fā)明的“移動裝置”對應。具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置600以如下方式進行電子部件I的檢查。首先，將作為檢查對象的電子部件I載置于上游側(cè)工作臺612U，并移動至檢查臺616附近。其次，移動Y工作臺632以及X工作臺636而使把持裝置650移動至載置于上游側(cè)工作臺612u的電子部件I的正上方的位置。此時，能夠使用攝像機638確認電子部件I的位置。進而，當使用內(nèi)置于把持裝置650內(nèi)的Z工作臺使把持裝置650下降而利用把持部652把持電子部件I后，使把持裝置650保持原樣地移動至拍攝裝置614的上方，使用拍攝裝置614確認電子部件I的姿勢。接著，使用內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢。進而，在使把持裝置650移動至檢查臺616的上方后，移動內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺來將電子部件I放置在檢查臺616上。使用把持裝置650內(nèi)的微調(diào)機構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢，因此能夠?qū)㈦娮硬考蘒放置在檢查臺616上的正確位置。進而，在使用檢查臺616進行的對電子部件I的電氣特性的檢查結(jié)束后，再次、此次為從檢查臺616拿起電子部件I后，移動Y工作臺632以及X工作臺636來使把持裝置650移動至下游側(cè)工作臺612d的上方，并將電子部件I放置于下游側(cè)工作臺612d。然后，移動下游側(cè)工作臺612d來將結(jié)束了檢查的電子部件I輸送至規(guī)定位置。圖14是內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機構(gòu)的說明圖。如圖所示，在把持裝置650內(nèi)設置有與把持部652連接的旋轉(zhuǎn)軸654、和微調(diào)板656，旋轉(zhuǎn)軸654以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝于該微調(diào)板656。并且，微調(diào)板656由未圖示的引導機構(gòu)引導、且能夠沿X方向以及Y方向移動。此處，如在圖14標注斜線而示出的那樣，朝向旋轉(zhuǎn)軸654的端面而安裝有旋轉(zhuǎn)方向用的壓電馬達 ο Θ，壓電馬達10 Θ的驅(qū)動凸部(省略圖示)被按壓于旋轉(zhuǎn)軸654的端面。因此，通過使壓電馬達10 Θ動作，能夠使旋轉(zhuǎn)軸654 (以及把持部652)在Θ方向高精度地旋轉(zhuǎn)任意的角度。并且，朝向微調(diào)板656設置有X方向用的壓電馬達IOx和Y方向用的壓電馬達10y，且各自的驅(qū)動凸部(省略圖示)被按壓于微調(diào)板656的表面。因此，通過使壓電馬達IOx動作，能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在X方向高精度地移動任意的距離，同樣，通過使壓電馬達IOy動作，能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在Y方向高精度地移動任意的距離。因而，圖13的電子部件檢查裝置600能夠通過使壓電馬達10 Θ、壓電馬達10x、壓電馬達IOy動作而對由把持部652把持的電子部件I的姿勢進行微調(diào)。另外，在本實施例中，壓電馬達10x、壓電馬達IOy分別與本發(fā)明的“第一壓電馬達”、“第二壓電馬達”對應，壓電馬達10 Θ與本發(fā)明的“第三壓電馬達”對應。并且，由旋轉(zhuǎn)軸654、微調(diào)板656、壓電馬達10 Θ、壓電馬達10x、以及壓電馬達IOy構(gòu)成的微調(diào)機構(gòu)與本發(fā)明的“驅(qū)動裝置”對應。

圖15是例示出安裝有本應用例的壓電馬達10的印刷裝置700的立體圖。圖示的印刷裝置700是在印刷介質(zhì)2的表面噴射墨水來印刷圖像的所謂噴墨印刷機。印刷裝置700呈大致箱形的外觀形狀，并在前表面的大致中央設置有排紙托盤701、排出口 702、以及多個操作按鈕705。并且，在背面?zhèn)仍O置有供給托盤703。當將印刷介質(zhì)2放置于供給托盤703并對操作按鈕705進行操作時，印刷介質(zhì)2被從供給托盤703吸入，并在印刷裝置700的內(nèi)部將圖像印刷在印刷介質(zhì)2的表面，然后從排出口 702將該印刷介質(zhì)2排出。在印刷裝置700的內(nèi)部設置有在印刷介質(zhì)2上沿主掃描方向往復移動的滑架720、和對滑架720的沿主掃描方向的移動進行引導的導軌710。并且，圖示的滑架720由朝印刷介質(zhì)2上噴射墨水的噴頭722、和用于沿主掃描方向驅(qū)動滑架720的驅(qū)動部724等構(gòu)成。在噴頭722的底面?zhèn)?朝向印刷介質(zhì)2的一側(cè))設置有多個噴嘴，從而能夠從噴嘴朝印刷介質(zhì)2噴射墨水。并且，在驅(qū)動部724搭載有壓電馬達10m、10s。壓電馬達IOm的驅(qū)動凸部(省略圖示)被按壓于導軌710。因此，通過使壓電馬達IOm動作，能夠使滑架720沿主掃描方向移動。并且，壓電馬達IOs的驅(qū)動凸部114被按壓于噴頭722。因此，通過使壓電馬達IOs動作，能夠使噴頭722的底面?zhèn)冉咏∷⒔橘|(zhì)2或遠離印刷介質(zhì)2。并且，在使用所謂的卷筒紙作為印刷介質(zhì)2的印刷裝置700中，需要將印刷有圖像后的卷筒紙切斷的機構(gòu)。在這樣的情況下，若在滑架720安裝刀具并使其沿主掃描方向移動，則能夠切斷卷筒紙。圖16是例示了組裝有本應用例的壓電馬達10的機械手800的說明圖。圖示的機械手800從基臺802立起設置有多根指部803，并經(jīng)由腕部804而與臂810連接。這里，指部803的指根的部分能夠在基臺802內(nèi)移動，并以將驅(qū)動凸部114按壓于該指部803的指根的部分的狀態(tài)安裝有壓電馬達10f。因此，通過使壓電馬達IOf動作，能夠使指部803移動來把持對象物。并且，在腕部804的部分同樣以將驅(qū)動凸部114按壓于腕部804的端面的狀態(tài)安裝有壓電馬達10r。因此，通過使壓電馬達IOr動作，能夠使基臺802整體旋轉(zhuǎn)。圖17是例示出具備機械手800的機器人850的說明圖。如圖所示，機器人850具備多條臂810、和將這些臂810之間以能夠彎曲的狀態(tài)連接起來的關節(jié)部820。并且，機械手800連接在臂810的前端。進而，在關節(jié)部820內(nèi)置有作為用于使關節(jié)部820彎曲的作為致動器的壓電馬達IOj。因此，通過使壓電馬達IOj動作，能夠使各個關節(jié)部820彎曲任意的角度。
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以上，對本發(fā)明的壓電馬達、安裝有壓電馬達的各種裝置進行了說明，但是本發(fā)明不限于上述的實施例、變形例、應用例，能夠在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)以各種方式實施。標號說明:I…電子部件；2…印刷介質(zhì);10…壓電馬達；IOf> 10j、10m、10r、10s、10x、10y...壓電馬達；100…主體部；110…振動部；112…振動體；114…驅(qū)動凸部；116…表面電極；120…振動體殼體;130…緩沖部;140…壓板;140b…凸部;140c…凹部;140d…第一槽；142…碟形彈簧；144…壓蓋；144b…凸部；144c...凹部；144d…第二槽；146…固定螺釘；200…基臺部；210…第一側(cè)壁體；212…前方殼體；212s…前方側(cè)壓彈簧；214…中央殼體；216…后方殼體；216s…后方側(cè)壓彈簧；220…第二側(cè)壁體；222s…加壓彈簧；230…基板；232s…推壓彈簧；240…固定螺釘；600…電子部件檢查裝置;610…基臺;612d…下游側(cè)工作臺；612u...上游側(cè)工作臺；614…拍攝裝置；616…檢查臺；618…控制部；630…支承臺；632…Y工作臺；634…臂部；636…X工作臺；638…照相機；650…把持裝置；652…把持部；654…旋轉(zhuǎn)軸；656…微調(diào)板；700…印刷裝置；710…導軌；720…滑架；722…噴射頭；724…驅(qū)動部；800…機械手;802…基臺;803…指部;804…腕部;810…臂;820…關節(jié)部；850…機器人
權利要求
1.一種壓電馬達，其特征在于， 該壓電馬達具有: 振動體,該振動體包含壓電材料而形成,并在端面突出設置有凸部； 振動體殼體，該振動體殼體收納所述振動體；以及 加壓彈性體，該加壓彈性體朝使所述振動體的所述凸部與對象物接觸的方向?qū)λ稣駝芋w殼體施力， 所述壓電馬達通過使所述振動體產(chǎn)生伸縮振動和彎曲振動來使所述對象物移動， 其中， 所述壓電馬達具備: 緩沖部，該緩沖部在所述振動體殼體內(nèi)從與所述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動體的兩側(cè)，且包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成； 壓蓋，該壓蓋安裝于所述振動體殼體；以及 碟形彈簧，該碟形彈簧設置于所述壓蓋與所述緩沖部之間，并被所述壓蓋壓縮， 在所述緩沖部與所述碟形彈簧之間設置有壓板，該壓板的沿所述振動體的伸縮方向以及彎曲方向的移動被限制。
2.根據(jù)權利要求1所述的壓電馬達，其特征在于， 所述壓板與所述壓蓋嵌合。
3.根據(jù)權利要求1所述的壓電馬達，其特征在于， 在所述壓板的與所述緩沖部接觸的接觸面形成有凹凸。
4.根據(jù)權利要求1所述的壓電馬達，其特征在于， 在所述緩沖部的與所述壓板接觸的接觸面形成有凹凸。
5.一種壓電馬達， 其特征在于， 該壓電馬達具有: 振動體，該振動體包含壓電材料而形成，且在端面突出設置有凸部； 振動體殼體，該振動體殼體收納所述振動體；以及 加壓彈性體，該加壓彈性體朝使所述振動體的所述凸部與對象物接觸的方向?qū)λ稣駝芋w殼體施力， 所述壓電馬達通過使所述振動體產(chǎn)生伸縮振動和彎曲振動來使所述對象物移動， 所述壓電馬達具備: 緩沖部，該緩沖部在所述振動體殼體內(nèi)從與所述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動體的兩側(cè)，且包含具有動態(tài)粘彈性的材料而形成； 壓蓋，該壓蓋安裝于所述振動體殼體； 碟形彈簧，該碟形彈簧被所述壓蓋壓縮；以及 壓板，該壓板設置于所述碟形彈簧與所述緩沖部之間。
6.根據(jù)權利要求5所述的壓電馬達，其特征在于， 在所述壓板形成有供與所述壓板抵接的所述碟形彈簧的角部嵌入的第一槽， 在所述壓蓋形成有供與所述壓蓋抵接的所述碟形彈簧的角部嵌入的第二槽。
7.根據(jù)權利要求5所述的壓電馬達，其特征在于， 在所述壓板或者所述壓蓋中的一方形成有供所述碟形彈簧的外周部分嵌入的凹部。
8.根據(jù)權利要求5所述的壓電馬達，其特征在于， 在所述壓板或者所述壓蓋中的一方形成有供所述碟形彈簧的內(nèi)周部分嵌入的凸部。
9.一種驅(qū)動裝置，其特征在于， 該驅(qū)動裝置具備權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達。
10.一種印刷裝置，其特征在于， 該印刷裝置具備權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達。
11.一種機械手，其特征在于， 該機械手具備權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達。
12.一種機器人，其特征在于， 該機器人具備權利要求11所述的機械手。
13.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 該電子部件檢查裝置將所把持的電子部件安裝于檢查插座，并檢查所述電子部件的電氣特性， 其中， 使用權利要求1至 5中任一項所述的壓電馬達來進行所述電子部件相對于所述檢查插座的對位。
14.一種電子部件輸送裝置，其特征在于， 該電子部件輸送裝置用于輸送所把持的電子部件，其中， 使用權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達來進行所述電子部件的對位。
15.—種電子部件輸送裝置,其特征在于， 該電子部件輸送裝置具備: 把持裝置，該把持裝置把持電子部件； 移動裝置，該移動裝置使所述把持裝置沿相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸共計三個軸的軸向移動；以及控制裝置，該控制裝置控制所述移動裝置的動作， 其中， 所述把持裝置內(nèi)置有:第一壓電馬達，該第一壓電馬達使所述電子部件沿所述第一軸的軸向移動；第二壓電馬達，該第二壓電馬達使所述電子部件沿所述第二軸的軸向移動；以及第三壓電馬達，該第三壓電馬達使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)， 所述第一壓電馬達至第三壓電馬達為權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達。
16.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 該電子部件檢查裝置具備: 檢查插座，電子部件安裝于該檢查插座，且該檢查插座檢查所述電子部件的電氣特性； 把持裝置，該把持裝置把持所述電子部件； 移動裝置，該移動裝置使所述把持裝置沿相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸共計三個軸的軸向移動； 拍攝裝置，從所述檢查插座觀察，所述拍攝裝置設置在所述第一軸上或者所述第二軸上，且所述拍攝裝置檢測安裝于所述檢查插座的所述電子部件的姿勢；上游側(cè)工作臺，該上游側(cè)工作臺將所述電子部件從所述檢查插座輸送至與所述拍攝裝置連結(jié)的所述第一軸或者所述第二軸上的規(guī)定位置； 下游側(cè)工作臺，該下游側(cè)工作臺從與自所述檢查插座觀察設置有所述拍攝裝置的一側(cè)相反側(cè)的規(guī)定位置輸送所述電子部件；以及 控制裝置，該控制裝置控制所述移動裝置的動作， 其中， 所述控制裝置具備: 第一控制部，該第一控制部使把持著所述上游側(cè)工作臺輸送來的所述電子部件的所述把持裝置移動至所述拍攝裝置的上方； 第二控制部，該第二控制部通過使所述把持裝置移動而將由所述拍攝裝置確認姿勢后的所述電子部件安裝于所述檢查插座；以及 第三控制部，該第三控制部通過使所述把持裝置移動而將在所述檢查插座對所述電氣特性進行檢查后的所述電子部件從所述檢查插座載置于所述下游側(cè)工作臺， 所述把持裝置內(nèi)置有:第一壓電馬達，該第一壓電馬達根據(jù)由所述拍攝裝置檢測到的所述電子部件的姿勢而使所述電子部件沿所述第一軸的軸向移動；第二壓電馬達，該第二壓電馬達根據(jù)由所述拍攝裝置檢測到的所述電子部件的姿勢而使所述電子部件沿所述第二軸的軸向移動；以及第三壓電馬達，該第三壓電馬達根據(jù)由所述拍攝裝置檢測到的所述電子部件的姿勢而使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)， 所述第一壓電馬達 至第三壓電馬達為權利要求1至5中任一項所述的壓電馬達。
全文摘要
本發(fā)明提供壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件輸送裝置及檢查裝置。在壓電馬達中，利用緩沖部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持包含壓電材料的振動體的兩側(cè)，并經(jīng)由彈性部利用壓蓋將緩沖部按壓于振動體，在該狀態(tài)下將其收納于振動體殼體。此外，在緩沖部與彈性部之間設置壓板，從而限制壓板的沿振動體的振動方向的移動。
文檔編號B65G47/74GK103151958SQ20121052133
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月6日 優(yōu)先權日2011年12月6日
發(fā)明者西村義輝 申請人:精工愛普生株式會社