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壓電馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件輸送裝置及檢查裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4364188

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本發(fā)明涉及壓電馬達(dá)、驅(qū)動(dòng)裝置、電子部件輸送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機(jī)械手以及機(jī)器人。背景技術(shù)公知有使由壓電材料形成的部件(振動(dòng)體)振動(dòng)來(lái)驅(qū)動(dòng)對(duì)象物的壓電馬達(dá)。該壓電馬達(dá)具有如下特征與利用電磁力來(lái)使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的方式的電磁馬達(dá)相比,該壓電馬達(dá)的體型小、且能夠得到大的驅(qū)動(dòng)力,進(jìn)而,能夠以高分辨率定位對(duì)象物。因此,例如作為照相機(jī)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等各種裝置的致動(dòng)器而被使用。壓電馬達(dá)以如下的原理進(jìn)行動(dòng)作。首先,將振動(dòng)體(壓電材料)形成為近似長(zhǎng)方體形狀,并在長(zhǎng)邊方向的...
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