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玻璃基板涂布裝置的制作方法

文檔序號(hào):11928132閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述玻璃基板涂布裝置包括涂布機(jī)構(gòu)、涂布載臺(tái)以及粒子移除機(jī)構(gòu),所述涂布載臺(tái)用于運(yùn)載玻璃基板經(jīng)過(guò)所述涂布機(jī)構(gòu)以進(jìn)行涂布,所述粒子移除機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述涂布載臺(tái)遠(yuǎn)離所述涂布機(jī)構(gòu)的一端,當(dāng)發(fā)現(xiàn)所述玻璃基板上有粒子時(shí),所述粒子移除機(jī)構(gòu)將所述粒子移除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述玻璃基板涂布裝置還包括粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu),所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述涂布機(jī)構(gòu)的前側(cè),用于在所述涂布機(jī)構(gòu)對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行涂布前檢測(cè)所述玻璃基板上是否有粒子。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括投光器和受光器,所述投光器和所述受光器分別設(shè)于所述玻璃基板的兩側(cè),所述投光器發(fā)出檢查光經(jīng)所述玻璃基板表面并由所述受光器接受,所述受光器根據(jù)接受的光量判斷所述玻璃基板表面是否有粒子。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述投光器發(fā)出的光為紅外光。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述涂布機(jī)構(gòu)包括門架和橫向設(shè)置在所述門架上的涂布噴嘴。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述門架包括兩個(gè)支架和連接在所述兩個(gè)支架頂部的橫板,所述涂布噴嘴貼靠裝配在所述橫板上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述支架包括底板、垂直于所述底板的立板以及垂直于所述底板并與所述立板貼靠設(shè)置的筋板,所述涂布噴嘴及所述橫板的兩端與所述筋板裝配連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述涂布機(jī)構(gòu)還包括藥液箱及與所述藥液箱連接的壓力泵,所述壓力泵與所述涂布噴嘴連接,將所述藥液箱中的藥液泵送給所述涂布噴嘴。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述粒子移除機(jī)構(gòu)包括可伸縮吸管及設(shè)置在所述可伸縮吸管上的針孔攝像機(jī),所述可伸縮吸管根據(jù)所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)定位的粒子坐標(biāo)移動(dòng)至粒子所在位置進(jìn)行吸除,并通過(guò)所述針孔攝像機(jī)確認(rèn)吸除情況。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的玻璃基板涂布裝置,其特征在于,所述粒子移除機(jī)構(gòu)還包括帶刻度尺的滑軌,所述可伸縮吸管根據(jù)所述帶刻度尺的滑軌上的刻度進(jìn)行預(yù)定移位。

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