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玻璃基板涂布裝置的制作方法

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玻璃基板涂布裝置的制作方法

本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種玻璃基板涂布裝置。



背景技術(shù):

液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD),為平面超薄的顯示設(shè)備,液晶顯示器功耗很低,并且具有高畫質(zhì)、體積小、重量輕的特點(diǎn),因此倍受大家青睞,成為顯示器的主流。目前液晶顯示器是以薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)液晶顯示器為主,液晶面板是液晶顯示器的主要組件。

液晶面板通常由薄膜晶體管陣列基板、彩色濾光基板和液晶層組成。彩色濾光基板的作用是將通過(guò)液晶層的白光過(guò)濾為不同顏色的光束,各不同顏色的光束重新匯聚形成圖像畫面。

在制備彩色濾光基板的過(guò)程中,玻璃基板的清洗工藝有著重要的影響?,F(xiàn)有的清洗工藝中,通常先采用清洗劑(例如去離子水)清洗玻璃基板,然后采用紅外線裝置吹干或自然干燥的方式使玻璃基板干燥,在玻璃基板經(jīng)過(guò)清洗裝置清洗后,涂布裝置將光阻涂布至玻璃基板上,并使用干燥系統(tǒng)將大部分溶劑(solvent)抽除,然后進(jìn)行預(yù)烘烤、曝光、顯影及后烘烤。在玻璃基板經(jīng)過(guò)清洗裝置水洗段至涂布裝置涂布前還需要經(jīng)過(guò)傳輸裝置(conveyor)、機(jī)械手(robot)以及緩沖單元(buffer)。

洗凈裝置的清洗效果不佳,設(shè)備內(nèi)氣流異常以及設(shè)備老化,均易導(dǎo)致粒子粘附在玻璃基板上。

為了避免噴嘴被異物刮傷,涂布裝置涂布前會(huì)對(duì)玻璃基板表面異物檢查,在現(xiàn)在技術(shù)中,異物檢查一般有2種方式:

一種是先掃描整個(gè)基板,再涂布,掃描到異物后,記錄坐標(biāo),停止掃描;此種方式處理較長(zhǎng),處理方式是人員進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)部,借助強(qiáng)光燈,用蘸有酒精的無(wú)塵布擦掉,然后再掃描、涂布;

另一種是邊掃描,邊涂布,檢測(cè)到異常之后,涂布載臺(tái)停止涂布,記錄坐標(biāo),報(bào)警,此種方式處理時(shí)間較短,一般是在量產(chǎn)的時(shí)候使用,因?yàn)椴AЩ逡延胁糠忠淹坎迹砸话闾幚矸绞绞峭坎佳b置判異常,進(jìn)行返工。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明提供一種玻璃基板涂布裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中因玻璃基板表面有粒子導(dǎo)致需要停機(jī)進(jìn)行清除的技術(shù)問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種玻璃基板涂布裝置,所述玻璃基板涂布裝置包括涂布機(jī)構(gòu)、涂布載臺(tái)以及粒子移除機(jī)構(gòu),所述涂布載臺(tái)用于運(yùn)載玻璃基板經(jīng)過(guò)所述涂布機(jī)構(gòu)以進(jìn)行涂布,所述粒子移除機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述涂布載臺(tái)遠(yuǎn)離所述涂布機(jī)構(gòu)的一端,當(dāng)發(fā)現(xiàn)所述玻璃基板上有粒子時(shí),所述粒子移除機(jī)構(gòu)將所述粒子移除。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述玻璃基板涂布裝置還包括粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu),所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述涂布機(jī)構(gòu)的前側(cè),用于在所述涂布機(jī)構(gòu)對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行涂布前檢測(cè)所述玻璃基板上是否有粒子。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括投光器和受光器,所述投光器和所述受光器分別設(shè)于所述玻璃基板的兩側(cè),所述投光器發(fā)出檢查光經(jīng)所述玻璃基板表面并由所述受光器接受,所述受光器根據(jù)接受的光量判斷所述玻璃基板表面是否有粒子。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述投光器發(fā)出的光為紅外光。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述涂布機(jī)構(gòu)包括門架和橫向設(shè)置在所述門架上的涂布噴嘴。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述門架包括兩個(gè)支架和連接在所述兩個(gè)支架頂部的橫板,所述涂布噴嘴貼靠裝配在所述橫板上。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述支架包括底板、垂直于所述底板的立板以及垂直于所述底板并與所述立板貼靠設(shè)置的筋板,所述涂布噴嘴及所述橫板的兩端與所述筋板裝配連接。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述涂布機(jī)構(gòu)還包括藥液箱及與所述藥液箱連接的壓力泵,所述壓力泵與所述涂布噴嘴連接,將所述藥液箱中的藥液泵送給所述涂布噴嘴。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述粒子移除機(jī)構(gòu)包括可伸縮吸管及設(shè)置在所述可伸縮吸管上的針孔攝像機(jī),所述可伸縮吸管根據(jù)所述粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)定位的粒子坐標(biāo)移動(dòng)至粒子所在位置進(jìn)行吸除,并通過(guò)所述針孔攝像機(jī)確認(rèn)吸除情況。

根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例,所述粒子移除機(jī)構(gòu)還包括帶刻度尺的滑軌,所述可伸縮吸管根據(jù)所述帶刻度尺的滑軌上的刻度進(jìn)行預(yù)定移位。

本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況,本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置可有效地檢測(cè)玻璃基板上的粒子情況并及時(shí)排除,減少人員進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)部的頻率,避免帶入更多粒子;量產(chǎn)過(guò)程中,可以減少玻璃基板返工數(shù)量,提高產(chǎn)能。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,其中:

圖1是本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置檢測(cè)玻璃基板上是否有粒子的原理圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1,圖1是本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖1所示,本發(fā)明提供一種玻璃基板涂布裝置,該玻璃基板涂布裝置包括涂布機(jī)構(gòu)100、涂布載臺(tái)200以及粒子移除機(jī)構(gòu)300,涂布載臺(tái)200用于運(yùn)載玻璃基板400經(jīng)過(guò)涂布機(jī)構(gòu)100以進(jìn)行涂布,粒子移除機(jī)構(gòu)300設(shè)置在涂布載臺(tái)200遠(yuǎn)離涂布機(jī)構(gòu)100的一端,當(dāng)發(fā)現(xiàn)玻璃基板400上有粒子500時(shí),粒子移除機(jī)構(gòu)300將粒子500移除。

請(qǐng)一并參閱圖2,圖2是本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置檢測(cè)玻璃基板400上是否有粒子的原理圖。

本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置還包括粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)600,粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)600設(shè)于涂布機(jī)構(gòu)100的前側(cè),用于在涂布機(jī)構(gòu)100對(duì)玻璃基板400進(jìn)行涂布前檢測(cè)玻璃基板400上是否有粒子500。

具體而言,粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)600包括投光器610和受光器620,投光器610和受光器620分別設(shè)于玻璃基板400的兩側(cè)。

一般可以設(shè)置在玻璃基板400流向方向的左右兩側(cè),投光器610發(fā)出檢查光經(jīng)玻璃基板400表面并由受光器620接受,受光器620根據(jù)接受的光量,將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),通過(guò)計(jì)算,來(lái)確認(rèn)粒子500狀況,判斷玻璃基板400表面是否有粒子500。

如圖2中所示,若玻璃基板400表面沒(méi)有粒子500,則受光器620可顯示圖2中623所示的滿格狀態(tài),若玻璃基板400表面有粒子500,則受光器620可顯示圖2中624所示的淺格狀態(tài)。當(dāng)然,受光器620還可以以其他方式進(jìn)行顯示,如數(shù)值顯示、或者檢測(cè)到玻璃基板400表面沒(méi)有粒子500時(shí)綠燈顯示、或者玻璃基板400表面有粒子500時(shí)紅燈顯示等。

請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1,涂布機(jī)構(gòu)100包括門架110和橫向設(shè)置在門架110上的涂布噴嘴120。

該門架110包括兩個(gè)支架111和連接在兩個(gè)支架111頂部的橫板112,涂布噴嘴120貼靠裝配在橫板112上。

其中,支架111包括底板113、垂直于底板113的立板114以及垂直于底板113并與立板114貼靠設(shè)置的筋板115,涂布噴嘴120及橫板112的兩端與筋板115裝配連接。

涂布機(jī)構(gòu)100還包括藥液箱130及與藥液箱130連接的壓力泵140,壓力泵140與涂布噴嘴120連接,將藥液箱130中的藥液泵送給涂布噴嘴120。

粒子移除機(jī)構(gòu)300包括可伸縮吸管310及設(shè)置在可伸縮吸管310上的針孔攝像機(jī)320,可伸縮吸管310根據(jù)粒子檢測(cè)機(jī)構(gòu)600定位的粒子500坐標(biāo)移動(dòng)至粒子500所在位置進(jìn)行吸除,并通過(guò)針孔攝像機(jī)320確認(rèn)吸除情況。

粒子移除機(jī)構(gòu)300還包括帶刻度尺的滑軌330,可伸縮吸管310根據(jù)帶刻度尺的滑軌330上的刻度進(jìn)行預(yù)定移位。

此外,粒子移除機(jī)構(gòu)300還包括粒子回收槽(圖未示),粒子回收槽連接于可伸縮吸管310的末端,用于收集可伸縮吸管310吸附的粒子以定期集中清除。

綜上所述,本領(lǐng)域技術(shù)員容易理解,本發(fā)明提供的玻璃基板涂布裝置可有效地檢測(cè)玻璃基板400上的粒子情況并及時(shí)排除,減少人員進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)部的頻率,避免帶入更多粒子;量產(chǎn)過(guò)程中,可以減少玻璃基板400返工數(shù)量,提高產(chǎn)能。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。

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