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復(fù)合鍍金薄膜及其制備方法與流程

文檔序號:12858404閱讀:668來源:國知局

本發(fā)明涉及薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及復(fù)合鍍金薄膜及其制備方法。



背景技術(shù):

出于人們對金本身色彩及價值的追求,在高端裝飾鍍領(lǐng)域,鍍金一直占據(jù)著很重要的范疇。其中,采用物理氣相沉積(pvd)的真空磁控濺射鍍金較以往化學(xué)鍍、陽極氧化、粉末涂裝等工藝,有著污染小、結(jié)晶細(xì)致、平滑光亮、內(nèi)應(yīng)力較小等明顯優(yōu)勢。

隨著現(xiàn)代鍍膜技術(shù)發(fā)展,人們對鍍金薄膜要求越來越高,希望在表面擁有金黃色澤的同時,薄膜在耐時效性、耐高溫性、耐磨性、耐腐蝕性方面能夠進(jìn)一步提升,得到可以長時間保持光亮色澤的鍍金薄膜。而傳統(tǒng)pvd鍍金技術(shù),主要包括離子清洗、ti/cr純金屬打底,面層鍍金等工序,其主要技術(shù)缺陷在于:(1)離子清洗中,為保證表面吸附氣體和雜質(zhì)原子的清除,所需時間較長,表面較復(fù)雜的基材尤其明顯;(2)鍍金層與打底金屬之間結(jié)合力較差,較易磨損,且磨損后會漏出底層銀白色金屬色,觀感變差。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

基于此,有必要提供一種鍍金層與打底金屬之間結(jié)合力強(qiáng)的復(fù)合鍍金薄膜。

一種復(fù)合鍍金薄膜,包括:

層疊于基材表面的金屬打底層;

層疊于所述金屬打底層之上的第一過渡層,該第一過渡層的材料為tin/ticn;

層疊于所述第一過渡層之上的第二過渡層,該第二過渡層的材料為tin/au;

層疊于所述第二過渡層之上的鍍金層。

本發(fā)明在打底金屬層和鍍金層之間設(shè)置第一過渡層tin/ticn和第二過渡層tin/au,其中,第一過渡層tin/ticn本身即為光滑致密的仿金色過渡層薄膜,且呈柱狀生長,配合第二過渡層tin/au,能夠?qū)Φ谝贿^渡層的間隙進(jìn)行填補(bǔ),進(jìn)而有效改善鍍金層與tin/ticn之間的結(jié)合力。

由此,本發(fā)明的復(fù)合鍍金薄膜,能夠較現(xiàn)有技術(shù)顯著提高鍍金層與其余層之間的結(jié)合力,不易磨損,經(jīng)測試具有高亮度、耐溫、耐腐蝕、耐磨的優(yōu)點(diǎn),能夠滿足對鍍金薄膜性能和色彩兩方面的要求。

本發(fā)明的復(fù)合鍍金薄膜能夠廣泛應(yīng)用于高端裝飾鍍領(lǐng)域,如鐘表、手機(jī)或其它電子產(chǎn)品,以及其它飾物、工藝品等。

在其中一個實(shí)施例中,所述第一過渡層的厚度為0.3~0.5μm;所述第二過渡層的厚度為0.05~0.1μm。合理控制第一過渡層和第二過渡層的厚度,能夠進(jìn)一步提高鍍金層的附著力。

在其中一個實(shí)施例中,所述金屬打底層的厚度為0.2~0.5μm;所述鍍金層的厚度為0.1~0.2μm。

在其中一個實(shí)施例中,所述金屬打底層的材料為ti。

在其中一個實(shí)施例中,所述基材為不銹鋼、鈦及其合金或其他硬質(zhì)合金(如鎂鋁合金)中的一種。

本發(fā)明還提供所述的復(fù)合鍍金薄膜的制備方法,采用磁控濺射技術(shù)依次在所述基材上沉積所述金屬打底層、第一過渡層、第二過渡層和鍍金層。

在其中一個實(shí)施例中,所述磁控濺射技術(shù)為中頻磁控濺射。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述第一過渡層的工藝條件如下:

采用ti靶,先通入n2生長tin,再加入c2h2生長ticn,n2的流量為25~35sccm、c2h2的流量為5~15sccm;真空室壓強(qiáng):0.1~0.5pa;ti靶電流:10~40a;時間:30~90min;直流偏壓:-50~-200v。

在第一過渡層的沉積中,關(guān)鍵調(diào)節(jié)在于n2、c2h2的氣流量及偏壓。氣量大小會對顏色l,a,b值產(chǎn)生影響;而偏壓過小會影響粒子轟擊能量導(dǎo)致膜層結(jié)合力偏差,過大則會造成電荷邊緣積累出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象。通過對氣量、沉積速率(靶電流、真空室壓強(qiáng))、偏壓進(jìn)行合理控制,可制備出高亮度、致密的第一過渡層tin/ticn,通用的測量顏色標(biāo)準(zhǔn)cie1976(l*、a*、b*)來標(biāo)定顏色,過渡層顏色l值為80-83,a值1-3,b值30-33,本身即為光滑致密的仿金色。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述第一過渡層的工藝條件如下:

采用ti靶,先通入n2生長tin,再加入c2h2生長ticn,n2的流量為25~35sccm、c2h2的流量為5~10sccm;真空室壓強(qiáng):0.4~0.5pa;ti靶電流:25~40a;時間:50~90min;直流偏壓:-50~-100v。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述第一過渡層時,碳源氣體采用漸增方式供氣。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述第二過渡層的工藝條件如下:

采用ti靶和au靶;真空室壓強(qiáng):0.1~0.5pa;ti靶電流:10~40a,au靶采用直流電源,電流:5~10a;時間:5~10min;直流偏壓:-50~-200v。通過合理控制所述第二過渡層的工藝,能夠進(jìn)一步提高形成膜層的致密性,同時提高鍍金層的附著力。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述第二過渡層的工藝條件如下:

采用ti靶和au靶;真空室壓強(qiáng):0.1~0.3pa;ti靶電流:10~25a,au靶采用直流電源,電流:5~8a;時間:8~10min;直流偏壓:-120~-200v。

在其中一個實(shí)施例中,所述第一過渡層或第二過渡層采用ti靶為高純度熱等靜壓ti靶材。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述金屬打底層之前,先采用ti弧靶轟擊所述基材:真空室壓強(qiáng):0.1-0.5pa;ti弧靶電流:50~100a;時間:2~15min;偏壓:-250~-350v。

沉積金屬打底層之前,先進(jìn)行金屬ti弧靶轟擊處理,以活化基材表面,同時也可以更進(jìn)一步清除基材表面的殘留異物。規(guī)避了常規(guī)的高偏壓等離子體清洗過程,大大節(jié)約了處理時間。

在其中一個實(shí)施例中,采用所述ti弧靶轟擊前,先進(jìn)行預(yù)熱步驟:預(yù)熱溫度控制在50~300℃,真空室壓強(qiáng)為7~9×10-4pa。采用更低的成膜預(yù)熱溫度和真空度,能夠減少基材表面氣體吸附。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述金屬打底層的工藝條件如下:

采用ti靶;真空室壓強(qiáng):0.1~0.5pa;ti靶電流:10~40a;時間:5~10min;偏壓:-50~-200v。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述金屬打底層的工藝條件如下:

采用ti靶;真空室壓強(qiáng):0.3~0.5pa;ti靶電流:30~40a;時間:5~6min;偏壓:-120~-200v。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述鍍金層的工藝條件如下:

采用au靶;真空室壓強(qiáng):0.1~0.5pa;au靶采用直流電源,電流:5~10a;時間:5~10min;直流偏壓:-50~-200v。

在其中一個實(shí)施例中,沉積所述鍍金層的工藝條件如下:

采用au靶;真空室壓強(qiáng):0.1~0.3pa;au靶采用直流電源,電流:5~8a;時間:5~7min;直流偏壓:-100~-200v。

合理控制所述金屬打底層和鍍金層的工藝條件,能夠進(jìn)一步使鍍金層致密且與基材結(jié)合力強(qiáng)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施中的復(fù)合鍍金薄膜的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明的復(fù)合鍍金薄膜及其制備方法作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

實(shí)施例1

本實(shí)施例一種復(fù)合鍍金薄膜,其結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括:

層疊于不銹鋼基材1表面的金屬ti打底層2,厚度為0.2~0.5μm;

層疊于金屬打底層2之上的第一過渡層3,第一過渡層3的材料為tin/ticn,厚度為0.3~0.5μm;

層疊于第一過渡層3之上的第二過渡層4,第二過渡層4的材料為tin/au,厚度為0.05~0.1μm;

層疊于第二過渡層4之上的鍍金層5,厚度為0.1~0.2μm。

上述復(fù)合鍍金薄膜的制備方法,主要采用中頻磁控濺射,包括如下步驟:

第一步:將基材1進(jìn)行前清洗處理,去除基材表面的臟污、油漬及其它殘留異物。

第二步:將經(jīng)檢驗(yàn)清洗合格的基材1放置到真空室內(nèi),抽真空及預(yù)熱:真空室壓力抽到本地真空8.0×10-4pa,預(yù)熱溫度根據(jù)實(shí)際需要可在50~300℃之間。

第三步:進(jìn)行金屬ti弧靶轟擊處理,以活化基材表面同時清除基材表面的殘留異物:真空室壓強(qiáng):0.1~0.5pa,弧靶電流:50~100a,時間:2~15min,偏壓:-300v。

第四步:pvd沉積純金屬打底層:該層用高純度熱等靜壓ti靶進(jìn)行磁控濺射沉積,同時在沉積過程中對基材施加直流偏壓;真空室壓強(qiáng):0.3pa,ti靶電流:30a,時間:6min,偏壓:-120v。

第五步:pvd沉積tin/ticn過渡層:該層以高純度熱等靜壓ti靶與c2h2、n2氣體進(jìn)行反應(yīng)磁控濺射沉積,碳源氣體采用漸增方式供氣,先通入n2生長tin薄膜,再加入c2h2生長ticn薄膜,n2的流量為30sccm、c2h2的流量為10sccm;真空室壓強(qiáng):0.4pa,ti靶電流:25a,時間:50min,偏壓:-100v。采用通用的測量顏色標(biāo)準(zhǔn)cie1976(l*、a*、b*)來標(biāo)定顏色,過渡層顏色l值為80-83,a值1-3,b值30-33,本身即為光滑致密的仿金色。

第六步:pvd沉積tin/au復(fù)合過渡層:該層以高純度熱等靜壓ti靶與au靶進(jìn)行反應(yīng)磁控濺射沉積,主要解決tin/ticn過渡層在1μm以上因本生柱狀生長特性易產(chǎn)生裂紋及ticn與au結(jié)合力的問題。采用ti靶和au靶;真空室壓強(qiáng):0.3pa;ti靶電流:25a,au靶采用直流電源:8a;時間:8min,直流偏壓:-120v。

第七步:pvd沉積面層純au:該層為鍍金顏色層,薄膜厚度因具體需要可調(diào)節(jié)。真空室壓強(qiáng):0.3pa,au靶采用直流電源:8a,時間:7min,直流偏壓:-100v。

第八步:成膜完成后出爐顏色測量、外觀檢查及百格、震盤、酸性人工汗等各項(xiàng)測試。

實(shí)施例2

本實(shí)施例一種復(fù)合薄膜,其結(jié)構(gòu)和制備方法類似實(shí)施例1,區(qū)別在于:

第五步中,pvd沉積tin/ticn過渡層:n2的流量為25sccm、c2h2的流量為5sccm,真空室壓強(qiáng):0.1pa,ti靶電流:10a,時間:35min,偏壓:-200v。

第六步中,pvd沉積tin/au復(fù)合過渡層:真空室壓強(qiáng):0.5pa;ti靶電流:40a,au靶采用直流電源:10a;時間:5min,直流偏壓:-50v。

實(shí)施例3

本實(shí)施例一種復(fù)合薄膜,其結(jié)構(gòu)和制備方法類似實(shí)施例1,區(qū)別在于:

第五步中,pvd沉積tin/ticn過渡層:n2的流量為35sccm、c2h2的流量為10sccm,真空室壓強(qiáng):0.5pa,ti靶電流:40a,時間:90min,偏壓:-50v。

第六步中,pvd沉積tin/au復(fù)合過渡層:真空室壓強(qiáng):0.1pa;ti靶電流:10a,au靶采用直流電源:5a;時間:10min,直流偏壓:-200v。

實(shí)施例4

本實(shí)施例一種復(fù)合薄膜,其結(jié)構(gòu)和制備方法類似實(shí)施例1,區(qū)別在于:

第四步:pvd沉積純金屬打底層:真空室壓強(qiáng):0.5pa,ti靶電流:40a,時間:5min,偏壓:-200v。

第七步:pvd沉積面層純au:真空室壓強(qiáng):0.1pa,au靶采用直流電源:10a,時間:5min,直流偏壓-200v。

實(shí)施例5

本實(shí)施例一種復(fù)合薄膜,其結(jié)構(gòu)和制備方法類似實(shí)施例1,區(qū)別在于:

第四步:pvd沉積純金屬打底層:真空室壓強(qiáng):0.1pa,ti靶電流:10a,時間:10min,偏壓:-50v。

第七步:pvd沉積面層純au:真空室壓強(qiáng):0.5pa,au靶采用直流電源:5a,時間:10min,直流偏壓:-50v。

對比例

本實(shí)施例一種復(fù)合薄膜,其結(jié)構(gòu)和制備方法類似實(shí)施例1,區(qū)別在于:未設(shè)置第二過渡層4。

對實(shí)施例1-5和對比例制得的薄膜進(jìn)行性能測試:

1.1耐酸測試:ph1.6酸性人工汗中浸泡48小時;

1.2耐溫測試:48小時內(nèi),-20℃~-160℃溫度范圍內(nèi)緩慢爬升;

1.3百格測試:刀片劃出間隔10mm印記后3m膠紙粘貼后撕下無掉膜;

1.4震盤測試:樣品與陶瓷粒在震盤機(jī)上震動48小時;

1.5顏色:檢測l,a,b值。

結(jié)果如表1所示:

表1

以上所述實(shí)施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合,為使描述簡潔,未對上述實(shí)施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述,然而,只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾,都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此,本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。

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