技術(shù)特征：

1.一種具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，包括玻璃基底、VO₂鍍層和增透層，其特征在于，所述具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃的鍍膜工藝，包括以下步驟：

步驟S1，玻璃前處理：將所述玻璃基底放入體積分?jǐn)?shù)為50％～70％的乙醇溶液中，進(jìn)行超聲清洗5min～8min，清洗2次～3次，然后烘干備用；

步驟S2，VO₂鍍層：將步驟S1處理后的玻璃基底作為襯底放入真空室中的陰極位置上，將鎢摻雜納米VO₂作為鍍層材料放入真空室內(nèi)，抽真空至真空度為10^-4Pa～10^-6Pa，加熱玻璃基底，然后充入氬氣使真空度為10^-1Pa～10^-2Pa，開啟電源，對(duì)玻璃基底施加負(fù)偏壓500V～800V，進(jìn)行輝光放電清洗6min～10min，然后在真空室內(nèi)充入氮?dú)庵琳婵斩葹?0^-1Pa～10^-2Pa，對(duì)玻璃基底施加負(fù)偏壓為160V～200V，調(diào)解多弧電流至250A～300A，進(jìn)行多弧離子鍍VO₂鍍層，即得具有VO₂鍍層的玻璃基底；

步驟S3，增透層：將Nd₂O₅和B₂O₃混合作為鍍層材料，放入真空室的坩堝中，將步驟S2得到的具有VO₂鍍層的玻璃基底作為襯底放入真空室中，抽真空至真空度為10^-2Pa～10^-4Pa，然后開啟電源，采用電子束蒸發(fā)源加熱鍍膜，鍍膜完成后，即得所述具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，所述VO₂鍍層的厚度為：20nm～30nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，所述增透層的厚度為：30nm～50nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S2中，所述鎢摻雜納米VO₂的粒徑為：30nm～50nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S2中，所述玻璃基底加熱后的溫度為：200℃～300℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S2中，所述充入氮?dú)獾捏w積為：氬氣體積的10％～20％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S2中，所述多弧離子鍍VO₂鍍層的鍍膜時(shí)間為：30min～40min。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S3中，所述Nd₂O₅和B₂O₃的質(zhì)量比為：1:0.05～0.1。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S3中，所述電子束蒸發(fā)源加熱的溫度為：1000℃～1200℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有VO₂鍍膜的智能節(jié)能玻璃，其特征在于，步驟S3中，所述鍍膜的時(shí)間為：40min～50min。