專利名稱：一種多方位旋轉(zhuǎn)定位閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種定位裝置，尤其涉及一種多方位定位裝置。
技術(shù)背景化學(xué)機(jī)械研磨 (Chemical Mechanical Polish, CMP )是半導(dǎo)體制造工藝的 一道重要工序，由專用的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備完成，主要用于晶圓表面的平坦化 處理和晶圓清洗。常用的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備如圖1所示，主要包括執(zhí)行研磨 工序的研磨臺(tái)1,其上鋪有研磨墊2;連接有兩根液體管路(包括研磨液管路、 去離子水管路，圖未示)的噴頭3，其上具有數(shù)個(gè)噴嘴4;以及用于吸附晶圓， 可在豎直方向上運(yùn)動(dòng)的研磨頭5。噴頭3通過(guò)連接片7連接至底座6,連接片7 和底座6之間通過(guò)螺絲8固定。當(dāng)螺絲8鎖緊時(shí)，噴頭3被固定在研磨臺(tái)1的 邊緣位置，與研磨頭5在豎直方向上位置不重疊，從而，當(dāng)研磨頭5下壓至研 磨臺(tái)1上進(jìn)行晶圓研磨時(shí)，不會(huì)受到噴頭3的影響。然而，在做日常維護(hù)(PM)時(shí)，需要松開螺絲8，完成維護(hù)后，又要重新把 螺絲8鎖緊，并且由于螺絲8的材料是金屬，底座6的材料是塑料，使得時(shí)間 久了 ，螺絲8很容易松動(dòng)。當(dāng)螺絲8松脫后，噴頭3會(huì)隨著研磨臺(tái)1的轉(zhuǎn)動(dòng)和 液體管路(圖未示)的拉扯，從原先的固定位置滑動(dòng)至研磨頭5下方(如圖2 中所示的位置)，于是，當(dāng)研磨頭5下壓至研磨臺(tái)l準(zhǔn)備進(jìn)行晶圓研磨時(shí)，吸附 在研磨頭5上的晶圓就會(huì)與噴頭3發(fā)生碰撞而引起破片。此外，于日常維護(hù)過(guò)程中，需要定期更換研磨墊2。為了方便取下研磨墊2， 需要松開螺絲8,把噴頭3旋轉(zhuǎn)至遠(yuǎn)離研磨臺(tái)1的位置(如圖3所示)。此時(shí)， 由于研磨臺(tái)1內(nèi)部的管路(圖未示)對(duì)噴頭3存在拉扯作用，使噴頭3有回復(fù) 原位的運(yùn)動(dòng)趨勢(shì)和回復(fù)力(如圖中箭頭所示)，因此，工作人員在更換研磨墊2 時(shí)，必須用身體或用一只手擋住噴頭3，防止其回復(fù)原位，造成維護(hù)工作的不便
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，它不僅能旋轉(zhuǎn)定位于 多個(gè)方位，解決了螺絲易松動(dòng)和日常維護(hù)不便的麻煩，而且具有封閉的外部結(jié) 構(gòu)，可防止液體或粉塵污染定位閥的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，也防止了定位閥的內(nèi)部機(jī)構(gòu)產(chǎn) 生的粉塵污染晶圓的加工環(huán)境。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，包括座體 和把手，所述座體上表面開設(shè)有數(shù)個(gè)凹槽，且座體上還設(shè)有一蓋體，蓋體通過(guò)一固定螺絲連接至座體，并可以固定螺絲為軸相對(duì)座體轉(zhuǎn)動(dòng)；所述把手的一端 固定在蓋體上， 一定位螺絲穿設(shè)于把手和蓋體中；所述定位螺絲包括活動(dòng)銷棒 和彈簧，彈簧的上端抵頂于把手的下表面，彈簧的下端固定在活動(dòng)銷棒上，且 活動(dòng)銷棒的下端部的大小與座體上凹槽的大小相匹配。在上述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥中，所述蓋體和座體配合連接，形成封閉的外 表面。在上述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥中，所述固定螺絲穿設(shè)于蓋體和座體的中央。 在上述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥中，當(dāng)所述把手連同蓋體轉(zhuǎn)動(dòng)至凹槽上方時(shí)，活動(dòng)銷棒恰能嵌設(shè)于凹槽中。在上述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥中，所述把手具有"L"型結(jié)構(gòu)。 在上述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥中，所述把手的另一端設(shè)有螺孔，供螺絲穿設(shè)， 以將其他元件固定在把手上。本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，通過(guò)在座體上表面開設(shè)多個(gè)定位凹槽， 并在把手和蓋體中穿設(shè)可活動(dòng)的定位銷釘，通過(guò)定位銷釘和凹槽的配合，將把 手定位在任一凹槽的上方，以適應(yīng)不同的工作需要。同時(shí)，由于該旋轉(zhuǎn)定位閥 具有封閉結(jié)構(gòu)，既防止定位閥的內(nèi)部機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的粉塵污染晶圓的加工環(huán)境，又 使得彈簧等內(nèi)置于蓋體中的部件不受液體、灰塵等的污染，有效延長(zhǎng)了旋轉(zhuǎn)定 位閥的使用壽命。


本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥的結(jié)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。 圖1為常用的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示i殳備的噴頭滑動(dòng)至研磨頭下方的俯^L示意圖；圖3為日常維護(hù)時(shí)噴頭的位置示意圖；圖4為本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖視圖；圖5為本實(shí)用新型另一具體實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 圖4為本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖視圖。 該多方位旋轉(zhuǎn)定位閥主要包括座體9、設(shè)于座體9上的蓋體10和固定在蓋體10 上的把手7。座體9上表面開設(shè)有數(shù)個(gè)凹槽91 (為簡(jiǎn)化說(shuō)明，圖中只畫出一個(gè))， 蓋體10通過(guò)一固定螺絲11與座體9連接，并可以固定螺絲11為軸相對(duì)座體9 轉(zhuǎn)動(dòng)，蓋體10與座體9配合連接，形成封閉的外表面。把手7通過(guò)螺絲12固 定在蓋體10上，并通過(guò)一可活動(dòng)的定位銷4丁 13實(shí)現(xiàn)把手7在特定方位的定位。 如圖4所示，該定位銷釘13主要由活動(dòng)銷棒131和彈簧132組成，彈簧132的 上端抵頂于把手7下表面，下端固定在活動(dòng)銷棒131上，當(dāng)把手7連同蓋體10 旋轉(zhuǎn)至座體9的凹槽91上方時(shí)，活動(dòng)銷棒131的下端部恰能嵌設(shè)于凹槽91中， 從而將把手7定位在當(dāng)前方位。如果需要移動(dòng)把手7，則只需通過(guò)外力將活動(dòng)銷 棒131提起，使銷棒131下端部脫離凹槽91，即可轉(zhuǎn)動(dòng)把手7和蓋體10。圖5為本實(shí)用新型另一具體實(shí)施例的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥的^f吏用狀態(tài)示意圖。 于本實(shí)施例中，該旋轉(zhuǎn)定位閥用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備噴頭3的固定。如圖所示， 把手7的一端通過(guò)固定螺絲11連接至蓋體10和座體9，把手7和蓋體10可以 固定螺絲11為軸相對(duì)座體9轉(zhuǎn)動(dòng)，把手7的另一端設(shè)有螺孔，并通過(guò)螺絲14 與化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的噴頭3固定連接。把手7還通過(guò)一定位銷釘13與蓋體10 連接，定位銷釘13由活動(dòng)銷棒131和內(nèi)置彈簧(圖未示)組成。于本實(shí)施例中， 座體9的上表面共開設(shè)有四個(gè)凹槽，分別位于a、 b、 c、 d四個(gè)標(biāo)記的正下方， 可以根據(jù)工藝需要或日常維護(hù)需要將把手7連同噴頭3固定在研磨臺(tái)的邊緣上 方，或遠(yuǎn)離研磨臺(tái)的位置。圖中所示的情況為把手7固定在a位置的情形，此 時(shí)，定位銷釘13的活動(dòng)銷棒131的下端部嵌設(shè)于a標(biāo)記下方的凹槽中，將噴頭 3定位在研磨臺(tái)邊緣上方的噴水位置。當(dāng)需要進(jìn)行日常維護(hù)時(shí)，只需提起活動(dòng)銷
棒131,將把手7連同蓋體10旋轉(zhuǎn)至d位置，并松開活動(dòng)銷棒131，則銷棒131 在彈簧的彈性回復(fù)力的作用下嵌入d標(biāo)記下方的凹槽中，從而將噴頭3定位在 遠(yuǎn)離研磨臺(tái)的日常維護(hù)位置。本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥通過(guò)在座體9上表面開設(shè)多個(gè)凹槽91，使 把手7連同噴頭3能夠根據(jù)需要定位在不同的方位，避免了螺絲松脫噴頭移位， 以及日常維護(hù)不方便等問(wèn)題。同時(shí)，由于本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)定位閥采用封閉結(jié) 構(gòu)，將彈簧132等部件內(nèi)置于蓋體10中，既防止定位閥的內(nèi)部機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的粉塵 污染晶圓的加工環(huán)境，又有效防止液體、灰塵等對(duì)定位閥內(nèi)部^/L構(gòu)的污染，延 長(zhǎng)定位閥的使用壽命。本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥除了能用于固定化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的噴頭 外，還能應(yīng)用于各種清洗設(shè)備、晶圓表面沖刷設(shè)備，以及需要將部件定位于多 個(gè)方位的各類系統(tǒng)中。
權(quán)利要求1、一種多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，包括座體和把手，其特征在于所述座體上表面開設(shè)有數(shù)個(gè)凹槽，且座體上還設(shè)有一蓋體，蓋體通過(guò)一固定螺絲連接至座體，并可以固定螺絲為軸相對(duì)座體轉(zhuǎn)動(dòng)；所述把手的一端固定在蓋體上，一定位螺絲穿設(shè)于把手和蓋體中；所述定位銷釘包括活動(dòng)銷棒和彈簧，彈簧的上端抵頂于把手的下表面，彈簧的下端固定在活動(dòng)銷棒上，且活動(dòng)銷棒的下端部的大小與座體上凹槽的大小相匹配。
2、 如權(quán)利要求1所述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，其特征在于所述蓋體和座體 配合連接，形成封閉的外表面。
3、 如權(quán)利要求1所述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，其特征在于所述固定螺絲穿 設(shè)于蓋體和座體的中央。
4、 如權(quán)利要求1所述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，其特征在于當(dāng)所述把手連同 蓋體轉(zhuǎn)動(dòng)至凹槽上方時(shí)，活動(dòng)銷棒恰能嵌設(shè)于凹槽中。
5、 如權(quán)利要求1所述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，其特征在于所述把手具有"L" 型結(jié)構(gòu)。
6、 如權(quán)利要求1所述的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，其特征在于所述把手的另一 端設(shè)有螺孔，供螺絲穿設(shè)，以將其他元件固定在把手上。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種多方位旋轉(zhuǎn)定位閥?，F(xiàn)有的化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的噴頭固定結(jié)構(gòu)存在螺絲易松脫使噴頭移位，以及日常維護(hù)不方便等問(wèn)題。本實(shí)用新型的多方位旋轉(zhuǎn)定位閥，包括底體和把手，所述座體上表面開設(shè)有數(shù)個(gè)凹槽，且座體上還設(shè)有一蓋體，蓋體通過(guò)一固定螺絲連接至座體，并可以固定螺絲為軸相對(duì)座體轉(zhuǎn)動(dòng)；所述把手的一端固定在蓋體上，一定位螺絲穿設(shè)于把手和蓋體中；所述定位銷釘包括活動(dòng)銷棒和彈簧，彈簧的上端抵頂于把手的下表面，彈簧的下端固定在活動(dòng)銷棒上，且活動(dòng)銷棒的下端部的大小與凹槽的大小相匹配。本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)定位閥不僅能旋轉(zhuǎn)定位于多個(gè)方位，而且具有封閉的外部結(jié)構(gòu)，可防止定位閥內(nèi)部機(jī)構(gòu)與晶圓加工環(huán)境之間的相互污染。
文檔編號(hào)B24B57/02GK201015843SQ20062004887
公開日2008年2月6日 申請(qǐng)日期2006年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月13日
發(fā)明者吳根興, 周海鋒, 孔建軍, 龍 張 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司