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一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu)的制作方法

文檔序號:12754576閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:它包括機臺、真空吸取三軸機構(gòu)和CCD檢測機構(gòu);所述真空吸取三軸機構(gòu)包括固定在機臺上的機械手臂控制座、機械手臂水平連接桿和機械手臂動作箱;所述機械手臂控制座的頂面與機械手臂水平連接桿的一端的底面驅(qū)動連接;所述機械手臂動作箱的底面的一端與機械手臂水平連接桿的另一端的頂面驅(qū)動連接;所述機械手臂動作箱的底面的另一端驅(qū)動連接有機械手臂豎直移動軸;所述機械手臂豎直移動軸的末端連接有旋轉(zhuǎn)聯(lián)動塊;所述旋轉(zhuǎn)聯(lián)動塊的底面連接有真空吸取板;所述機械手臂動作箱內(nèi)還設(shè)置有真空泵,用于為真空吸取板提供負(fù)壓;所述機臺上在與真空吸取板相對應(yīng)的位置上設(shè)置有膜檢測窗口;所述膜檢測窗口一側(cè)的機臺上固定有滑軌固定塊;所述滑軌固定塊上固定有高精度滑軌;所述高精度滑軌從膜檢測窗口穿至機臺的下方;所述高精度滑軌的下游位置設(shè)置有CCD鏡頭;所述CCD鏡頭上固定有防震鏡頭固定器;所述防震鏡頭固定器通過鏡頭滑塊沿高精度滑軌上下移動;所述高精度滑軌在靠近膜檢測窗口的位置設(shè)置有LED無影環(huán)形光源;所述LED無影環(huán)形光源的底側(cè)設(shè)置有環(huán)形底盤架;所述環(huán)形底盤架通過光源高度調(diào)整滑塊沿高精度滑軌上下移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述機械手臂豎直移動軸可旋轉(zhuǎn)和豎直移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)聯(lián)動塊與真空吸取板之間設(shè)置有壓力控制彈簧。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述機械手臂控制座的側(cè)面還設(shè)置有傳訊光纜端口。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述機械手臂動作箱的頂面上還設(shè)置有排氣口,與內(nèi)部的真空泵連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述LED無影環(huán)形光源的外周設(shè)置有LED保護(hù)外殼。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸取膜的CCD檢驗機構(gòu),其特征在于:所述LED無影環(huán)形光源的外周還設(shè)置有亮度控制旋鈕。

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