0。第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202保持平齊、并可以沿著滑動(dòng)軌道(圖中未示出)合攏或分開(kāi)，圖2A中示出了兩者分開(kāi)的情形。第一平臺(tái)201上具有限位拐角212和卡槽214，其中卡槽214用于與晶圓轉(zhuǎn)接盒251 (示于圖2C-2E)的卡接部(未示出)相互嚙合，限位拐角212用于限定晶圓轉(zhuǎn)接盒251的位置，從而將晶圓轉(zhuǎn)接盒251固定于第一平臺(tái)201之上。固定好之后，晶圓轉(zhuǎn)接盒251的開(kāi)口朝向第二平臺(tái)202的方向。第二平臺(tái)202上具有卡槽216、第一柱體221和第二柱體222。第一柱體221和第二柱體222相對(duì)而立，兩者的連線方向大體上垂直于第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202的滑動(dòng)方向。第一柱體221和第二柱體222上分別具有溝槽223和溝槽224?？ú?16用于與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252 (示于圖2C-2E)的卡接部(未示出)相互嚙合，料盒252的底托258 (示于圖2C-2E)被容納于溝槽223、224中，從而將標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252固定于第一平臺(tái)202之上。固定好之后，晶圓料盒252的開(kāi)口朝向第一平臺(tái)201的方向。
[0033]如圖2C所示，晶圓料盒252中沿著內(nèi)壁具有多個(gè)大體上平行的馬蹄形的溝槽256，用于容納、承托多片晶圓(圖中未示出)。如所知的，標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252的底托258部分具有中空的開(kāi)口。如圖2A-2B所示，第一柱體221和第二柱體222相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別具有梳狀部分226，左右兩個(gè)梳狀部分226的齒與齒相對(duì)、(齒間)縫隙與縫隙相對(duì)。梳狀部分226的每一(齒間)縫隙與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252內(nèi)壁的一個(gè)溝槽256相互對(duì)齊，左右兩個(gè)梳狀部分226與標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252的底托258部分的中空的開(kāi)口對(duì)齊，且左右兩個(gè)梳狀部分226的齒間縫隙底部之間的距離小于等于標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252的底托258部分的中空的開(kāi)口的寬度。
[0034]推臂270端部連接著直立的懸臂271，另一端通過(guò)連桿272連接到手柄275。連桿272至少部分地位于第二平臺(tái)202之下。手柄275、連桿272、推臂270、懸臂271這一組組件可在操作員的操控下沿著連桿272的長(zhǎng)軸方向移動(dòng)。例如但不限于，連桿272可以經(jīng)由軌道而可滑動(dòng)地固定于第二平臺(tái)202的底部。懸臂271和推臂270的寬度小于左右兩個(gè)梳狀部分226的齒鋒之間的距離，且大體上居中地位于左右兩個(gè)梳狀部分226之間。因此，當(dāng)連桿272沿著其長(zhǎng)軸方向移動(dòng)時(shí)，懸臂271和推臂270可以被帶動(dòng)而在左右兩個(gè)梳狀部分226之間穿過(guò)。
[0035]如圖2C所示，第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202分開(kāi)一段距離，晶圓轉(zhuǎn)接盒251固定于第一平臺(tái)201，晶圓料盒252固定于第二平臺(tái)202。
[0036]圖2D示出了利用手柄275、連桿272、推臂270、懸臂271這一組組件進(jìn)行整盒晶圓轉(zhuǎn)移的示意圖。如圖所示，晶圓轉(zhuǎn)接盒251和晶圓料盒252隨著第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202的合攏而開(kāi)口相對(duì)地合攏。在晶圓轉(zhuǎn)接盒251和晶圓料盒252的開(kāi)口處還可以設(shè)置有嚙合部件以使得兩者牢固結(jié)合。與晶圓料盒252類(lèi)似，晶圓轉(zhuǎn)接盒251中沿著內(nèi)壁具有多個(gè)大體上平行的溝槽用于容納、承托晶圓(圖中未示出)，且晶圓轉(zhuǎn)接盒251內(nèi)壁的溝槽與晶圓料盒252內(nèi)壁的溝槽256對(duì)齊。操作手柄275使得連桿272沿著其長(zhǎng)軸方向移動(dòng)，并帶動(dòng)推臂270和懸臂271從第一柱體221、第二柱體222的梳狀部分226之間穿過(guò)并繼續(xù)向前推動(dòng)，直到將一整盒晶圓從晶圓料盒252推動(dòng)到了晶圓轉(zhuǎn)接盒251中的相應(yīng)溝槽之中承托。此后，操作手柄275使得推臂270和懸臂271從第一柱體221、第二柱體222的梳狀部分226之間退出，再將第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202分開(kāi)為如圖2C所示，此時(shí)即可取下晶圓轉(zhuǎn)接盒251并隨之將其中的晶圓運(yùn)載到任何需要的地方。
[0037]圖2E示出了利用推板260進(jìn)行單片晶圓轉(zhuǎn)移的示意圖。推臂270被設(shè)置為可繞著連桿272的長(zhǎng)軸旋轉(zhuǎn)，且可至少被固定于直立和水平兩個(gè)位置。圖2E中所示為推臂270和懸臂271 (圖中未示出)被固定于水平位置。推板260的寬度小于左右兩個(gè)梳狀部分226的齒間縫隙底部之間的距離以及標(biāo)準(zhǔn)晶圓料盒252的底托258部分的中空的開(kāi)口的寬度，且優(yōu)選大于一側(cè)梳狀部分縫隙底部與另一側(cè)對(duì)應(yīng)梳狀部分齒鋒之間的距離。推板260的厚度小于梳狀部分226的齒間縫隙的寬度。因此，推板260能夠從左右兩個(gè)梳狀部分226的任一對(duì)對(duì)齊的齒縫之間插入。晶圓轉(zhuǎn)接盒251和晶圓料盒252已經(jīng)隨著第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202的合攏而開(kāi)口相對(duì)地合攏。當(dāng)選定了需要從晶圓料盒252轉(zhuǎn)移到晶圓轉(zhuǎn)接盒251的單片晶圓，則將推板260從第一柱體221、第二柱體222的梳狀部分226的相應(yīng)齒縫間插入并向前推動(dòng)，直到將這一片晶圓從晶圓料盒252推動(dòng)到了晶圓轉(zhuǎn)接盒251中的相應(yīng)溝槽之中承托。此后，將推板260抽出，再將第一平臺(tái)201和第二平臺(tái)202分開(kāi)為如圖2C所示，此時(shí)即可取下晶圓轉(zhuǎn)接盒251并隨之將其中晶圓運(yùn)載到任何需要的地方。
[0038]盡管已經(jīng)闡明和描述了本實(shí)用新型的不同實(shí)施例，本實(shí)用新型并不限于這些實(shí)施例。僅在某些權(quán)利要求或?qū)嵤├谐霈F(xiàn)的技術(shù)特征并不意味著不能與其他權(quán)利要求或?qū)嵤├械钠渌卣飨嘟Y(jié)合以實(shí)現(xiàn)有益的新的技術(shù)方案。在不背離如權(quán)利要求書(shū)所描述的本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，許多修改、改變、變形、替代以及等同對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而目是明顯的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，該晶圓轉(zhuǎn)移工具包括: 第一平臺(tái)和第二平臺(tái)，所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)保持平齊且可以沿著滑動(dòng)軌道合攏或分開(kāi); 所述第一平臺(tái)上具有限位拐角和第一卡槽，所述限位拐角和第一卡槽用于將晶圓轉(zhuǎn)接盒固定于所述第一平臺(tái)之上且使得所述晶圓轉(zhuǎn)接盒的開(kāi)口方向朝向所述第二平臺(tái)； 所述第二平臺(tái)上具有第二卡槽、第一柱體和第二柱體； 其中，所述第一柱體和第二柱體相對(duì)而立，兩者的連線垂直于所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)的滑動(dòng)方向； 所述第一柱體和第二柱體上具有溝槽以容納晶圓料盒的底托，所述第二卡槽用于與所述晶圓料盒的卡接部分嚙合，以將所述晶圓料盒固定于所述第二平臺(tái)之上且使得所述晶圓料盒的開(kāi)口方向朝向所述第一平臺(tái)； 所述第一柱體和第二柱體的內(nèi)側(cè)與所述晶圓料盒的底托部分的中空開(kāi)口對(duì)齊。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述第一柱體和第二柱體相對(duì)的內(nèi)側(cè)分別具有梳狀部分，且所述兩個(gè)梳狀部分的齒與齒相對(duì)、縫隙與縫隙相對(duì)，每一縫隙與所述晶圓料盒內(nèi)壁的一個(gè)溝槽相互對(duì)齊。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述兩個(gè)梳狀部分的齒間縫隙底部之間的距離小于等于所述晶圓料盒的底托部分的中空開(kāi)口的寬度。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述晶圓轉(zhuǎn)接盒和所述晶圓料盒可隨著所述第一平臺(tái)和第二平臺(tái)的合攏而開(kāi)口相對(duì)地合攏。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，在所述晶圓轉(zhuǎn)接盒和晶圓料盒的開(kāi)口處還可以設(shè)置有嚙合部件以使得兩者牢固結(jié)合。
6.如權(quán)利要求2-3中任一項(xiàng)所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，還包括推板，所述推板可從所述第一柱體、第二柱體的梳狀部分的齒縫間插入并將相應(yīng)的單片晶圓從所述晶圓料盒推動(dòng)到所述晶圓轉(zhuǎn)接盒之中。
7.如權(quán)利要求2-3中任一項(xiàng)所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，還包括以下組件: 推臂，其一端部連接著直立的懸臂，另一端通過(guò)連桿連接到手柄； 所述懸臂和推臂的寬度小于所述兩個(gè)梳狀部分的齒鋒之間的距離，且大體上居中地位于所述兩個(gè)梳狀部分之間； 所述連桿至少部分地位于第二平臺(tái)之下； 所述組件可操控地沿著所述連桿的長(zhǎng)軸方向移動(dòng)，以使得所述懸臂和推臂可以在所述兩個(gè)梳狀部分之間穿過(guò)。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述連桿經(jīng)由軌道而可滑動(dòng)地固定于所述第二平臺(tái)的底部。
9.如權(quán)利要求7所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述推臂被設(shè)置為可繞著所述連桿的長(zhǎng)軸旋轉(zhuǎn)。
10.如權(quán)利要求9所述的晶圓轉(zhuǎn)移工具，其特征在于，所述推臂可至少被固定于直立和水平兩個(gè)位置。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及晶圓轉(zhuǎn)移工具。一種晶圓轉(zhuǎn)移工具包括：保持平齊且可以沿著滑動(dòng)軌道合攏或分開(kāi)的第一平臺(tái)和第二平臺(tái)；第一平臺(tái)上具有限位拐角和第一卡槽用于將晶圓轉(zhuǎn)接盒固定于第一平臺(tái)之上且使其開(kāi)口方向朝向第二平臺(tái)；第二平臺(tái)上具有第二卡槽、第一柱體和第二柱體；第一柱體和第二柱體上具有溝槽以容納晶圓料盒的底托，第二卡槽用于與晶圓料盒的卡接部分嚙合，以將晶圓料盒固定于第二平臺(tái)之上且使其開(kāi)口方向朝向第一平臺(tái)；第一柱體和第二柱體的內(nèi)側(cè)與晶圓料盒的底托部分的中空開(kāi)口對(duì)齊。這種工具可以避免現(xiàn)有晶圓轉(zhuǎn)移方式中的風(fēng)險(xiǎn)，以降低晶圓損耗。
【IPC分類(lèi)】H01L21-677, H01L21-687
【公開(kāi)號(hào)】CN204577411
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420856881
【發(fā)明人】余志軍
【申請(qǐng)人】蘇州日月新半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2014年12月30日